Title:
STAMPER FOR MICROSTRUCTURE TRANSFER AND MICROSTRUCTURE TRANSFER DEVICE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2011/155582
Kind Code:
A1
Abstract:
Disclosed is a stamper for microstructure transfer, which comprises a supporting base and a microstructure layer that is formed on the surface of the supporting base. The microstructure layer has a surface layer which contains a polymer of a resin composition that contains a polymerization initiator and a silsesquioxane derivative having a plurality of polymerizable functional groups. The microstructure layer has an elastic modulus lower than 2.0 GPa. The thickness of the microstructure layer is four or more times the height of the microstructure that is formed in the surface of the microstructure layer.
Inventors:
ISHII Satoshi (HITACHI LTD., 1-1, Omika-cho 7-chome, Hitachi-sh, Ibaraki 92, 〒3191292, JP)
石井 聡之 (〒92 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株式会社日立製作所 日立研究所内 Ibaraki, 〒3191292, JP)
OGINO Masahiko (HITACHI LTD., 1-1, Omika-cho 7-chome, Hitachi-sh, Ibaraki 92, 〒3191292, JP)
荻野 雅彦 (〒92 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株式会社日立製作所 日立研究所内 Ibaraki, 〒3191292, JP)
SHIZAWA Noritake (1600 Kami, Kamisato-machi, Kodama-gu, Saitama 95, 〒3690395, JP)
志澤 礼健 (〒95 埼玉県児玉郡上里町嘉美１６００ 株式会社日立ハイテクノロジーズ内 Saitama, 〒3690395, JP)
MORI Kyoichi (1600 Kami, Kamisato-machi, Kodama-gu, Saitama 95, 〒3690395, JP)
森 恭一 (〒95 埼玉県児玉郡上里町嘉美１６００ 株式会社日立ハイテクノロジーズ内 Saitama, 〒3690395, JP)
石井 聡之 (〒92 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株式会社日立製作所 日立研究所内 Ibaraki, 〒3191292, JP)
OGINO Masahiko (HITACHI LTD., 1-1, Omika-cho 7-chome, Hitachi-sh, Ibaraki 92, 〒3191292, JP)
荻野 雅彦 (〒92 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株式会社日立製作所 日立研究所内 Ibaraki, 〒3191292, JP)
SHIZAWA Noritake (1600 Kami, Kamisato-machi, Kodama-gu, Saitama 95, 〒3690395, JP)
志澤 礼健 (〒95 埼玉県児玉郡上里町嘉美１６００ 株式会社日立ハイテクノロジーズ内 Saitama, 〒3690395, JP)
MORI Kyoichi (1600 Kami, Kamisato-machi, Kodama-gu, Saitama 95, 〒3690395, JP)
森 恭一 (〒95 埼玉県児玉郡上里町嘉美１６００ 株式会社日立ハイテクノロジーズ内 Saitama, 〒3690395, JP)
Application Number:
JP2011/063307
Publication Date:
December 15, 2011
Filing Date:
June 10, 2011
Export Citation:
Assignee:
HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION (24-14, Nishi Shimbashi 1-chome Minato-k, Tokyo 17, 〒1058717, JP)
株式会社日立ハイテクノロジーズ (〒17 東京都港区西新橋一丁目２４番１４号 Tokyo, 〒1058717, JP)
ISHII Satoshi (HITACHI LTD., 1-1, Omika-cho 7-chome, Hitachi-sh, Ibaraki 92, 〒3191292, JP)
石井 聡之 (〒92 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株式会社日立製作所 日立研究所内 Ibaraki, 〒3191292, JP)
OGINO Masahiko (HITACHI LTD., 1-1, Omika-cho 7-chome, Hitachi-sh, Ibaraki 92, 〒3191292, JP)
荻野 雅彦 (〒92 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株式会社日立製作所 日立研究所内 Ibaraki, 〒3191292, JP)
SHIZAWA Noritake (1600 Kami, Kamisato-machi, Kodama-gu, Saitama 95, 〒3690395, JP)
志澤 礼健 (〒95 埼玉県児玉郡上里町嘉美１６００ 株式会社日立ハイテクノロジーズ内 Saitama, 〒3690395, JP)
MORI Kyoichi (1600 Kami, Kamisato-machi, Kodama-gu, Saitama 95, 〒3690395, JP)
株式会社日立ハイテクノロジーズ (〒17 東京都港区西新橋一丁目２４番１４号 Tokyo, 〒1058717, JP)
ISHII Satoshi (HITACHI LTD., 1-1, Omika-cho 7-chome, Hitachi-sh, Ibaraki 92, 〒3191292, JP)
石井 聡之 (〒92 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株式会社日立製作所 日立研究所内 Ibaraki, 〒3191292, JP)
OGINO Masahiko (HITACHI LTD., 1-1, Omika-cho 7-chome, Hitachi-sh, Ibaraki 92, 〒3191292, JP)
荻野 雅彦 (〒92 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株式会社日立製作所 日立研究所内 Ibaraki, 〒3191292, JP)
SHIZAWA Noritake (1600 Kami, Kamisato-machi, Kodama-gu, Saitama 95, 〒3690395, JP)
志澤 礼健 (〒95 埼玉県児玉郡上里町嘉美１６００ 株式会社日立ハイテクノロジーズ内 Saitama, 〒3690395, JP)
MORI Kyoichi (1600 Kami, Kamisato-machi, Kodama-gu, Saitama 95, 〒3690395, JP)
International Classes:
H01L21/027; B29C33/40; B29C59/02; G11B5/84; G11B7/26
Attorney, Agent or Firm:
POLAIRE I.P.C. (7-1 Hatchobori 2-chome, Chuo-ku Tokyo, 32, 〒1040032, JP)
Claims:
Previous Patent: SHIELD TERMINAL CONNECTION STRUCTURE AND METHOD
Next Patent: CURABLE RESIN COMPOSITION AND CURED PRODUCT THEREOF
Next Patent: CURABLE RESIN COMPOSITION AND CURED PRODUCT THEREOF