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Patent Searching and Data


Title:
STATIC PRESSURE BEARING PAD
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2009/004853
Kind Code:
A1
Abstract:
A static pressure bearing pad in which separation between a housing (2) and a pad member (1) as well as entry of a bonding agent into gas supply grooves (4) are prevented, with the result that the bearing pad has stable bearing performance. The static pressure bearing pad has the pad member (1) including a bearing surface that forms a static pressure bearing and having gas supply holes (3) formed in it, and the static pressure bearing pad also has the housing (2) bonded to the pad member (1) by the bonding agent. The gas supply grooves (4) for supplying compressed gas to the pad member (1) are formed in the housing (2) in its surface bonded to the pad member (1) and are arranged so as to correspond to the gas supply holes (3). The housing (2) and the pad member (1) are bonded to each other at bonding sections (11, 12) with the bonding agent in between, and bonding agent release grooves (7, 8) are formed between a gas supply groove (4) and a bonding section (12) and between bonding sections (11), respectively. The bonding agent release grooves (7, 8) are formed in the housing (2) in its surface bonded to the pad member (1) so as to lie along the gas supply grooves (4).

Inventors:
HIRATA JUNICHI (JP)
Application Number:
JP2008/057592
Publication Date:
January 08, 2009
Filing Date:
April 18, 2008
Export Citation:
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Assignee:
NTN TOYO BEARING CO LTD (JP)
HIRATA JUNICHI (JP)
International Classes:
F16C32/06
Foreign References:
JP2006112497A2006-04-27
JP2003232352A2003-08-22
JPH08114230A1996-05-07
Attorney, Agent or Firm:
FUKAMI, Hisao et al. (Nakanoshima Central Tower 22nd Floor, 2-7, Nakanoshima 2-chome, Kita-ku, Osaka-sh, Osaka 05, JP)
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Claims:
 圧縮気体の静圧によって回転体(22)を支持する静圧軸受パッドであって、
 静圧軸受を形成する軸受面を含むパッド部材(1)と、
 接着剤によって前記パッド部材(1)と接着されているハウジング(2)とを備え、
 前記接着剤を介在させて前記ハウジング(2)と前記パッド部材(1)とが接着している接着部(11,12)と、前記パッド部材(1)に前記圧縮気体を供給するための給気路(3,4,5)との間に、接着剤逃げ溝(7,8)が形成されており、
 前記接着剤逃げ溝(7,8)は、前記ハウジング(2)の前記パッド部材(1)に接着している面(11b,12b)と連なる面と、前記パッド部材(1)の前記ハウジング(2)に接着している面(11a,12a)と連なる面との少なくともいずれか一方に形成されている、静圧軸受パッド。
 前記給気路(3,4,5)は、前記ハウジング(2)の前記パッド部材(1)に接着している面(11b,12b)と連なる面と、前記パッド部材(1)の前記ハウジング(2)に接着している面(11a,12a)と連なる面との、少なくともいずれか一方に形成されている給気溝(4)を含む、請求の範囲第1項に記載の静圧軸受パッド。
 前記パッド部材(1)は、内部に複数個の給気孔(3)が、前記給気溝(4)から前記軸受面に到達するように形成されている中実体である、請求の範囲第2項に記載の静圧軸受パッド。
 前記接着剤逃げ溝(7,8)は、前記給気溝(4)に沿って形成されている、請求の範囲第2項に記載の静圧軸受パッド。
 前記接着剤逃げ溝(7,8)は、前記接着部(11,12)を複数に分割するように形成されている、請求の範囲第1項に記載の静圧軸受パッド。
 前記ハウジング(2)の内部に、前記接着剤逃げ溝(7,8)と外部空間とを連通する排気孔(10,13)が形成されており、
 前記排気孔(10,13)の前記外部空間側の開口部を封止する封止体(14)をさらに備える、請求の範囲第1項に記載の静圧軸受パッド。
Description:
静圧軸受パッド

 この発明は、静圧軸受パッドに関し、特 、対向する面との間の隙間に供給される圧 気体の静圧によって可動部を支持する、静 軸受パッドに関する。

 従来、回転体の支持に転がり軸受を使用 てきた分野において、高速高精度回転・低 音・低振動・長寿命などを実現するために 静圧気体軸受を採用する例が増えている。

 たとえば、医療診断用撮像の分野におけ CTスキャナにおいて、回転ガントリの回転 ピードの向上、回転時の静粛化、支持部の 耗防止などのために、可動部を支持する軸 として、パッド型の静圧空気軸受(静圧軸受 ッド)が用いられる。また精密工作機械や半 導体露光装置においても、加工工具や被加工 物の高精度な位置決め、支持部の磨耗防止な どのために、静圧軸受パッドが用いられる。 静圧軸受パッドは、可動部および固定部から なる一対の対向面の少なくとも一方に取り付 けられ、静圧軸受パッドに形成されたノズル または絞り孔から対向する面に向かって加圧 流体を噴出し、静圧軸受を形成している。

 このような静圧軸受パッドの構造は、たと ば特開昭63-231020号公報(特許文献1)で提案さ ている。特開昭63-231020号公報(特許文献1)で 、多孔質の軸受部材と、軸受部材に加圧空 を供給するための空気溝が刻設されたハウ ングとを備え、軸受部材とハウジングとは 軸受部材の外周面、および、ハウジングの 気溝間に形成された隆起面において、接着 で接着されている、静圧軸受パッドが開示 れている。

特開昭63-231020号公報

 上記の従来技術においては、空気溝間の 起面に塗布された接着剤が、軸受部材とハ ジングとを接着するときに横方向の空気溝 はみ出し、はみ出した接着剤が空気溝を塞 場合があった。その結果、多孔質の軸受部 への加圧空気の供給状態が不均一となり、 来の静圧軸受の性能が発揮できない場合が った。

 また、空気溝間の隆起面の面積が小さい めに、隆起面における接着剤の塗布量が少 い場合には、加圧流体の圧力および温度変 によって発生する内部応力が接着剤の薄い 分を劣化させ、そのためハウジングと軸受 材との間において剥離が発生する場合があ た。

 それゆえに、この発明の主たる目的は、 ウジングと軸受部材(以下、本発明ではパッ ド部材と称する)との間の剥離を防止し、か 空気溝(以下、本発明では給気溝と称する)に 対して接着剤が入り込むことを防止し、安定 した軸受性能を得ることを可能とする、静圧 軸受パッドを提供することである。

 この発明に係る静圧軸受パッドは、圧縮 体の静圧によって回転体を支持する静圧軸 パッドであって、静圧軸受を形成する軸受 を含むパッド部材と、接着剤によってパッ 部材と接着されているハウジングとを備え 。接着剤を介在させてハウジングとパッド 材とが接着している接着部と、パッド部材 圧縮気体を供給するための給気路との間に 接着剤逃げ溝が形成されている。接着剤逃 溝は、ハウジングのパッド部材に接着して る面と連なる面と、パッド部材のハウジン に接着している面と連なる面との、少なく もいずれか一方に形成されている。

 この場合は、パッド部材とハウジングと 接着するとき接着部からはみ出した余分な 着剤は、接着部と給気路との間に形成され いる接着剤逃げ溝の内側へ流れる。これに り、接着時に接着剤が給気路に入り込むこ を防止し、静圧軸受パッドの性能低下を防 することができる。接着剤逃げ溝は、ハウ ングとパッド部材とのいずれか一方に形成 れていてもよく、両方に形成されていても い。

 接着剤逃げ溝は、接着部と同一の平面ま は曲面に形成されていてもよい。また接着 逃げ溝は、ハウジングとパッド部材とが互 に面接触している面であって、ハウジング パッド部材とが接着している接着部と、ハ ジング側の給気路とパッド部材側の給気路 の接続箇所と、の間に存在する面(すなわち 、ハウジングとパッド部材との接着している 面と連なる面)内であれば、接着部と異なる に形成されてもよい。つまり、ハウジング の給気路とパッド部材側の給気路との接続 所が接着部と異なる面内に存在する場合、 着剤逃げ溝は、ハウジング側の給気路とパ ド部材側の給気路との接続箇所と同一の面 形成されてもよい。

 上記静圧軸受パッドにおいて好ましくは 給気路は、ハウジングのパッド部材に接着 ている面と連なる面と、パッド部材のハウ ングに接着している面と連なる面との、少 くともいずれか一方に形成されている、給 溝を含む。この場合は、ハウジングとパッ 部材とが面接触している一または複数の面 内いずれかの面において、接着部と給気溝 の間に接着剤逃げ溝が形成されていること よって、接着時に接着剤が給気溝に入り込 ことを防止し、静圧軸受パッドの性能低下 防止することができる。

 好ましくは、パッド部材は、内部に複数 の給気孔が、給気溝から軸受面に到達する うに形成されている、中実体である。この 合は、パッド部材の内部に形成されている 気孔を、たとえば矩形状、円形状など、パ ド部材の軸受面の形状に合わせて、軸受面 平面形状の外周部に配置することができる 給気孔の配置と対応するように、ハウジン とパッド部材とのいずれかに給気溝を形成 れば、パッド部材に圧縮気体を供給するこ ができる。

 パッド部材が多孔体である場合、軸受面 均一に給気するためには、パッド部材全体 均一に給気する必要がある。その場合、ハ ジングとパッド部材との接触面に多数の給 溝を形成する必要があり、そのため接着部 面積が小さくなっていた。その結果、圧縮 体の圧力などによって発生する内部応力に って、接着部の剥離が発生しやすかった。 れに対し、パッド部材を中実体とすると、 気孔に対応して給気溝を形成するのみでよ ため、大面積の接着部を確保することがで るので、ハウジングとパッド部材との剥離 発生を防止することができる。

 上記静圧軸受パッドにおいて好ましくは 接着剤逃げ溝は、給気溝に沿って形成され いる。この場合は、給気溝の近傍において 給気溝の延在方向と接着剤逃げ溝の延在方 とを略同一の方向とするように、接着剤逃 溝を形成することができる。そのため、接 部の面積をより大きくすることができる。

 好ましくは、接着剤逃げ溝は、接着部を 数に分割するように形成されている。接着 の面積が大きいと、ハウジングとパッド部 とを接着するときに接着剤が接着部の全体 広がらず、接着性能が低下する場合がある このため、接着剤逃げ溝によって接着部を 数に分割することにより、接着剤を接着部 全体に広がりやすくすることができる。

 好ましくは、ハウジングの内部に、接着 逃げ溝と外部空間とを連通する排気孔が形 されており、排気孔の外部空間側の開口部 封止する封止体をさらに備える。この場合 、ハウジングとパッド部材とを接着すると に、排気孔を通して空気を排出することが きる。そのため、接着部に気泡が残存する とによる接着性能の低下を防止することが きる。また、接着後に排気孔の外部空間側 開口部を封止することによって、外部への 着剤の漏れや、排気孔を通じた静圧軸受パ ド内部への異物混入を防止することができ 。

 この発明の静圧軸受パッドによれば、ハ ジングとパッド部材との間の剥離を防止し かつ給気路に接着剤が入り込むことを防止 ることができるので、安定した軸受性能を ることができる。

この発明の静圧軸受パッドの平面図で る。 図1に示すII-II線による断面における静 軸受パッドの断面図である。 図1に示すIII-III線による断面における 圧軸受パッドの断面図である。 ハウジングの平面図である。 図4に示すV-V線による断面におけるハウ ジングの断面図である。 CTスキャナの構成を示す模式図である

符号の説明

 1 パッド部材、2 ハウジング、3 給気孔 4 給気溝、5 給気口、6 ボールスタッド、7 ,8 接着剤逃げ溝、9 隙間、10,13 排気孔、11,1 2 接着部、11a,12a パッド部材の接着面、11b,12 b ハウジングの接着面、14 ボルト、21 非回 部、21a テーブル支柱、21b テーブルベース 、21c 直動案内、22 回転軸、22a 先端面、22b ベアリングレース、22c 外周面、23,26 静圧 受パッド、24 ボールスタッド、29 放射線源 、30 コリメータ・シャッタ組立体、31 放射 検出器。

 以下、図面に基づいてこの発明の実施の 態を説明する。なお、以下の図面において 同一または相当する部分には同一の参照番 を付し、その説明は繰返さない。

 図1は、この発明の静圧軸受パッドの平面 図である。図2は、図1に示すII-II線による断 における静圧軸受パッドの断面図である。 1および図2に示すように、この静圧軸受パッ ドは、カーボンの中実体からなるパッド部材 1と、表面に形成された凹部にパッド部材1を 容するハウジング2と、ハウジング2におい パッド部材1を収容する側と反対側の背後側 らハウジング2を支持するボールスタッド6 、によって構成されている。

 図2に示すように、パッド部材1の軸受面 形成する表面は、回転体の外周部の曲率に わせた曲率を有する、曲面として形成され いる。また図2に示すように、パッド部材1の 内部には、複数個の給気孔3が、給気溝4から 面の軸受面に到達するように、形成されて る。給気孔3は、図1に示すように、平面形 矩形のパッド部材1に合わせて、パッド部材1 の外周部付近において矩形状に配置されてい る。パッド部材1は、金属材料により成形さ てもよく、その場合、パッド部材1が誤って 転体に接触したときの焼付きの発生を防止 るために、軸受面を形成する金属表面に潤 性のある表面処理を施して使用してもよい

 図2に示すように、ハウジング2の表面に 成された凹部には、給気溝4が形成されてい 。給気孔3は、給気溝4に連結している。圧 気体は、外部に設けられた図示しない圧縮 体源から、給気口5、給気溝4へと順に導かれ 、さらに給気孔3の軸受面における絞られた 口部から噴出するように、供給される。

 ハウジング2の背後側には、球面形状また はテーパ状の凹み部が形成されている。凹み 部には、ボールスタッド6の球状の先端部が 入されている。後述するように、たとえば ールスタッド6の基部を非回転部に固定し、 ッド部材1の軸受面を回転部に対向するよう に配置して回転部を非接触支持する場合、ボ ールスタッド6によって、静圧軸受パッドは 回転部に対して揺動可能に結合されている つまり、静圧軸受パッドは、ボールスタッ 6を介在させて支持されていることにより、 ッド部材1が対向する回転部の位置に対して 最適な角度に自動調整される。

 図3は、図1に示すIII-III線による断面にお る静圧軸受パッドの断面図である。図4は、 ハウジングの平面図である。図4では、図1に す静圧軸受パッドの平面図から、パッド部 1が除かれている状態を示す。そのため、図 4では、ハウジング2の表面にパッド部材1を収 容するために形成された凹部の底面に、給気 溝4、接着剤逃げ溝7、8が形成されている様子 が示されている。給気溝4は、給気孔3の配置 れた形状に合わせた形状に形成されている つまり、給気溝4は、平面形状矩形のパッド 部材1に合わせて矩形状に配置されている給 孔3の配置(図1参照)と同じく矩形状に、ハウ ング2のパッド部材1と接触する面において 成されている。

 ハウジング2の表面の凹部底面において、 接着剤逃げ溝8が、矩形状の給気溝4の内側に 成されている。接着剤逃げ溝8は、接着部を 複数に分割するように形成されている。つま り図3に示すように、パッド部材1とハウジン 2とは、矩形状の給気溝4の内側では、パッ 部材の接着面11aおよびハウジングの接着面11 bにおいて、接着剤を介在させて接着してお 、接着部11を構成している。接着剤逃げ溝8 、ハウジングの接着面11bと給気溝4との間に 成されている。図4に示すように、給気溝4 内側におけるハウジングの接着面11bは、接 剤逃げ溝8によって、8箇所に分割されている 。

 接着剤逃げ溝8がハウジングの接着面11bを 複数に分割していることにより、ハウジング の接着面11bの面積は相対的に小さくなってい る。よって、ハウジングの接着面11bに塗布さ れた接着剤は、ハウジングの接着面11bの全体 に広がりやすくなっている。このため、ハウ ジング2とパッド部材1とを接着するときに、 着剤が接着部11の全体に広がらず接着性能 低下する不具合の発生を、防止することが きる。

 また、パッド部材1とハウジング2とは、 気溝4の矩形形状の外側では、パッド部材の 着面12aおよびハウジングの接着面12bにおい 、接着剤を介在させて接着しており、接着 12を構成している。ハウジング2の表面の、 形状の給気溝4の外側には、接着剤逃げ溝7 形成されている。図3および図4に示すように 、給気溝4の外側の接着部12においてパッド部 材1とハウジング2が接着されている場合には 給気溝4の外側の、接着部12と給気溝4との間 に、接着剤逃げ溝7を形成することができる

 たとえば、図3、図4に示す、給気溝4と、 ウジング2の表面に形成された凹部周壁との 間隔が、給気溝4の幅の2倍以上である場合に 、接着部12に塗布された余分な接着剤が給 溝4に入り込むことを防止するために、接着 逃げ溝7を形成することができる。図4では 着剤逃げ溝7は図の左右側にのみ形成された を示しているが、図4の上下側における給気 溝4の外側にも接着部が設けられる場合には 給気溝4の図4の上下側における外側にも接着 剤逃げ溝が形成される。

 接着剤逃げ溝7、8は、給気溝4に沿って形 されている。つまり、給気溝4の近傍におい て、給気溝4の延在方向と接着剤逃げ溝7、8の 延在方向とを略同一の方向とする(すなわち 給気溝4と接着剤逃げ溝7、8とは、略平行と る)ように、接着剤逃げ溝7、8は形成されて る。たとえば、図4に示すように、接着剤逃 溝7は、給気溝4と隙間9を隔てて形成されて る。接着剤逃げ溝7と給気溝4との間隔(すな ち、隙間9の幅方向の寸法)が、給気溝4の幅 下となるように、接着剤逃げ溝7を形成する ことができる。このように接着剤逃げ溝7、8 給気溝4に沿って形成されていることにより 、接着部11、12の面積をより大きくすること できるので、ハウジング2とパッド部材1との 剥離の発生を防止することができる。

 以上説明したように、この静圧軸受パッ では、接着部11、12と給気溝4との間に接着 逃げ溝7、8が形成されているために、パッド 部材1とハウジング2とを接着するとき接着部1 1、12からはみ出した余分な接着剤は、接着剤 逃げ溝7、8の内側へ流れる。これにより、パ ド部材1とハウジング2との接着時に接着剤 給気溝4に入り込むことを防止し、静圧軸受 ッドの性能低下を防止することができるの 、安定した軸受性能を得ることができる。

 また、パッド部材1の給気孔3の配置に対 して給気溝4が形成されているため、ハウジ グ2のパッド部材1と接触する面における、 ッド部材1に圧縮気体を供給するための給気 4が形成されている面積は小さい。さらに、 接着剤逃げ溝7、8は、給気溝4に沿って形成さ れている。これにより、大面積の接着部11、1 2を確保することができるので、静圧軸受パ ドの運転中のハウジング2とパッド部材1との 剥離の発生を防止することができる。

 図5は、図4に示すV-V線による断面におけ ハウジングの断面図である。図4および図5に 示すように、接着剤逃げ溝7、8には、排気孔1 0が設けられている。排気孔10は、接着剤逃げ 溝7、8それぞれの少なくとも一箇所に設けら ていればよい。排気孔10は、ハウジング2の 部に形成された排気孔13に連通する。排気 13はさらに、ハウジング2の背後側に到達す ように形成されている。排気孔13のハウジン グ2の背後側における開口部には、タップ加 が施されている。排気孔13の上記開口部には 、封止体としてのボルト14が螺合している。 ルト14は、排気孔13のハウジング2の背後側 形成された開口部を塞ぐように、設けられ いる。

 パッド部材1とハウジング2とを接着する きには、ボルト14は排気孔13の開口部に取り けられていない。排気孔13は、ハウジング2 背後側の開口部において、外部空間に連通 ている。このため、パッド部材1とハウジン グ2とを接着するときに、接着剤逃げ溝7、8か ら排気孔10、13を経由して、空気を外部に排 することができる。これにより、接着部に 気が残存し気泡を形成して接着部11、12に接 剤が塗布されている接着面積を低減させて パッド部材1とハウジング2との接着性能を 下させる不具合の発生を防止することがで る。

 パッド部材1とハウジング2とを接着した は、ボルト14を排気孔13の開口部のタップ加 部に螺合させることにより、排気孔13は外 から遮断される。つまり、接着剤逃げ溝7、8 は、外部空間と連通していないことになる。 よって、接着剤の外部への漏れを防止するこ とができる。また、排気孔10、13を経由して 部から静圧軸受パッド内部へごみなどの異 混入を防止することができる。

 排気孔13の開口部の止め栓として機能す 封止体は、ボルト14に限られない。たとえば 、排気孔13の開口部に樹脂などの封止部材を 填することによって、パッド部材1とハウジ ング2とを接着した後に排気孔13の開口部を塞 ぎ、排気孔13を外部空間と遮断してもよい。

 次に、上記の静圧軸受パッドを使用した 転装置の例について説明する。図6は、回転 装置の一例としてのCTスキャナの構成を示す 式図である。図6に示すように、CTスキャナ 、非回転部21と、回転体としての回転軸22と を備える。非回転部21の四隅には、テーブル 柱21aが設置されている。回転軸22を半径方 に支持する複数の静圧軸受パッド23は、傾い て設置されているテーブル支柱21a上に設置さ れたテーブルベース21b上に固着された直動案 内21c上に、直動案内21cに沿って移動可能なよ うに組み込まれている。

 回転軸22は、図の手前側に突き出した突 出し部を含み、先端面22aおよび外周面22cは き出し部を構成する。突き出し部の外周面22 cは、回転軸22の軸方向に延在する、円筒形状 を有する。突き出し部の基部は、フランジ状 に形成された円環形状のベアリングレース22b に固定されている。回転軸22は、突き出し部 よびベアリングレース22bによって構成され いる。

 回転軸22は、非回転部21に固定された、複 数の静圧軸受パッド23によって支持されてい 。静圧軸受パッド23は、突き出し部の外周 22cにおいて、回転軸22を半径方向に支持して いる。つまり、外部から供給された圧縮気体 は、給気孔3の先端の絞られた開口部から回 軸22の突き出し部の外周面22cに向けて噴出す る。静圧軸受パッド23のパッド部材1の軸受面 は、外周面22cと同じ、または、パッド部材1 外周面22cとの間の軸受隙間分だけ大きな曲 半径を有する。

 静圧軸受パッド23のパッド部材1と外周面2 2cとの間の軸受隙間に供給された高圧の圧縮 体によって、軸受隙間に流体膜が形成され その流体膜によって負荷を支える、静圧気 ジャーナル軸受が形成されている。静圧気 ジャーナル軸受によって、回転軸22は半径 向に非接触支持されている。

 図6に示すように、静圧軸受パッド23は、 転軸22の外周面22c上の5箇所に配置されてお 、回転軸22の下側に3個、上側に2個の静圧軸 受パッド23が配置されている。このように、 転軸22および回転軸22への搭載物による重力 が作用する方向に、より多くの静圧軸受パッ ド23を配置することにより、最小個数の静圧 受パッド23によって効率よく回転軸22の荷重 を支持することができる。なお、静圧軸受パ ッド23の配置を調整するだけでなく、たとえ 給気孔3の直径や個数など、静圧軸受パッド 23の他の諸元を調整することによっても同様 、最小個数の静圧軸受パッド23によって効 よく回転軸22の荷重を支持できる効果を得る ことができる。

 直動案内21cの往復直進運動によって、直 案内21cに固定されているボールスタッド24 移動し、これに伴い静圧軸受パッド23も移動 する。直動案内21cは、回転軸22を半径方向に 持する静圧軸受パッド23を移動させる、移 部材として機能している。直動案内21cが静 軸受パッド23を異動させる方向は、回転軸22 回転中心とボールスタッド24とを結ぶ方向 対して交差している。そのため、静圧軸受 ッド23の移動によって、回転軸22の回転中心 ボールスタッド24との距離、すなわち軸受 間も変化する。静圧軸受パッド23では、軸受 隙間の変化量に対して、直動案内21cが静圧軸 受パッド23を移動させる移動調整量がより大 い。よって、回転軸22の半径方向における 受隙間の微細な量の調整を、精度よく行な ことができる。

 また回転軸22は、ベアリングレース22bに いて、複数の静圧軸受パッド26によって、軸 方向に支持されている。静圧軸受パッド26は 図6に示すベアリングレース22bの手前側の面 と、図示されていないベアリングレース22bの 反対面とにおいて、それぞれ複数、ベアリン グレース22bに対向して設置されている。静圧 軸受パッド26の、ベアリングレース22bに対向 る軸受面は、平面状に形成されている。

 静圧軸受パッド26には圧縮空気が供給さ 、供給された圧縮空気が回転軸22のベアリン グレース22bの両面に向けて噴出される。静圧 軸受パッド26のパッド部材とベアリングレー 22bとの間の軸受隙間に供給された圧縮気体 よって、静圧気体スラスト軸受が形成され いる。静圧気体スラスト軸受によって、回 軸22は軸方向に非接触支持されている。

 医療診断用のCTスキャナにおいては、撮 される対象が配置される所定の検査領域を する。たとえばX線管のような放射線源29に って放射線ビームが生成される。放射線ビ ムは、コリメータ・シャッタ組立体30を貫通 する際に平行光とされる。放射線ビームは、 薄い扇形状をなし、検査領域を横切って対向 配置された放射線検出器31へ照射される。撮 時には、放射線源29が放射線ビームを放射 つつ検査領域の周りを回転し、撮像される 象(たとえば検査領域内の患者など)を通過し た放射線ビーム(たとえばX線)は放射線検出器 31に入射し、その放射線ビームの強度などの ータが収集される。上記の放射線源29、コ メータ・シャッタ組立体30および放射線検出 器31は、一般に回転軸22の突き出し部の先端 22aに搭載され、放射線源29およびコリメータ ・シャッタ組立体30は放射線検出器31と対向 置される。つまり、回転軸22は、先端面22aに おいて被搭載物としての放射線源29などを搭 し、回転する。

 このように、静圧軸受パッドによって回 軸22は軸方向および半径方向において非接 支持されている。そのため、回転軸22の静粛 な高速運転が可能である。また、非接触であ るため、摩耗部もなく、メンテナンスフリー となる。静圧軸受パッド23、26では、ハウジ グ2とパッド部材1との間の剥離を防止し、か つ給気溝4に接着剤が入り込むことを防止す ことができるので、安定した軸受性能を得 ことができる。

 以上、CTスキャナの回転軸を静圧軸受パ ドによって支持する例について説明したが この発明の静圧軸受パッドは、他の大型の 転体を備える回転装置または直進案内部の 接触支持部に利用されるすべての静圧軸受 ッドについて、適用することができる。ま 、非回転部に固定された静圧軸受パッドの 受面が回転部と対向するように配置され、 転部を非接触支持する例について説明した 、静圧軸受パッドを回転部に固定する構造 し、非回転部の円環形状の壁面に対向する うに静圧軸受パッドを配置して、回転部を 径方向に支持することも可能である。

 またこれまでの説明では、給気溝4および 接着剤逃げ溝7、8がハウジング2に形成された 凹部の底面の同一平面上にのみ形成されてい たが、この発明の静圧軸受パッドはこのよう な構造に限られるものではない。給気溝4、 着剤逃げ溝7、8は、パッド部材1の、ハウジ グ2と接触する面に掲載されていてもよく、 の場合ハウジング2のパッド部材と接触する 面における接着剤逃げ溝7、8と対向する位置 、排気孔10が形成されていればよい。また 給気溝4は、ハウジング2の表面に形成された 凹部の底面ではなく、壁面に形成されていて もよく、この場合接着剤逃げ溝は、当該凹部 の底面または壁面のいずれに形成されていて もよい。つまり接着剤逃げ溝は、ハウジング 2とパッド部材1との接着している面と連なる である、凹部の底面または壁面のいずれか 形成されていればよい。

 今回開示された実施の形態はすべての点 例示であって、制限的なものではないと考 られるべきである。この発明の範囲は上記 た説明ではなくて請求の範囲によって示さ 、請求の範囲と均等の意味、および範囲内 のすべての変更が含まれることが意図され 。

 この発明の静圧軸受パッドは、医療診断 撮像の分野におけるCTスキャナの回転ガン リ支持部や、工作機および測定機のテーブ 支持部などに使用される静圧軸受パッドに 特に有利に適用され得る。




 
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