Title:
STRUCTURE PROVIDED WITH WIRING STRUCTURE, AND MEMS RELAY
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2011/145549
Kind Code:
A1
Abstract:
A ground conductor comprises: first ground wirings formed on one surface side of a base substrate, and at both sides in the width direction of a signal line; second ground wirings comprised of via-holes formed on the base substrate and electrically connected to each of the first ground wirings; a third ground wiring that electrically connects the second ground wirings with each other at the other surface side of the base substrate (1), and that is parallel to the signal line; a fourth ground wiring that is formed on a cover substrate, at a face opposing the base substrate; and fifth ground wirings that are formed on an intermediate substrate (2) at both sides of a cavity section, and that are comprised of penetrating slit wirings that electrically connect each of the first ground wirings and the fourth ground wiring.
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Inventors:
YOSHIHARA, Takaaki (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
吉原 孝明 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 パナソニック電工株式会社内 Osaka, 〒5718686, JP)
BABA, Toru (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
馬場 徹 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 パナソニック電工株式会社内 Osaka, 〒5718686, JP)
IWAMOTO, Narimasa (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
岩本 成正 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 パナソニック電工株式会社内 Osaka, 〒5718686, JP)
SHIRAI, Takeo (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
白井 健雄 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 パナソニック電工株式会社内 Osaka, 〒5718686, JP)
YOKOYAMA, Koji (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
横山 浩司 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 パナソニック電工株式会社内 Osaka, 〒5718686, JP)
吉原 孝明 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 パナソニック電工株式会社内 Osaka, 〒5718686, JP)
BABA, Toru (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
馬場 徹 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 パナソニック電工株式会社内 Osaka, 〒5718686, JP)
IWAMOTO, Narimasa (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
岩本 成正 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 パナソニック電工株式会社内 Osaka, 〒5718686, JP)
SHIRAI, Takeo (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
白井 健雄 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 パナソニック電工株式会社内 Osaka, 〒5718686, JP)
YOKOYAMA, Koji (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
横山 浩司 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 パナソニック電工株式会社内 Osaka, 〒5718686, JP)
Application Number:
JP2011/061159
Publication Date:
November 24, 2011
Filing Date:
May 16, 2011
Export Citation:
Assignee:
PANASONIC ELECTRIC WORKS CO., LTD. (1048, Oaza-Kadoma Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
パナソニック電工株式会社 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 Osaka, 〒5718686, JP)
YOSHIHARA, Takaaki (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
吉原 孝明 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 パナソニック電工株式会社内 Osaka, 〒5718686, JP)
BABA, Toru (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
馬場 徹 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 パナソニック電工株式会社内 Osaka, 〒5718686, JP)
IWAMOTO, Narimasa (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
岩本 成正 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 パナソニック電工株式会社内 Osaka, 〒5718686, JP)
SHIRAI, Takeo (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
白井 健雄 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 パナソニック電工株式会社内 Osaka, 〒5718686, JP)
YOKOYAMA, Koji (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
パナソニック電工株式会社 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 Osaka, 〒5718686, JP)
YOSHIHARA, Takaaki (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
吉原 孝明 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 パナソニック電工株式会社内 Osaka, 〒5718686, JP)
BABA, Toru (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
馬場 徹 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 パナソニック電工株式会社内 Osaka, 〒5718686, JP)
IWAMOTO, Narimasa (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
岩本 成正 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 パナソニック電工株式会社内 Osaka, 〒5718686, JP)
SHIRAI, Takeo (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
白井 健雄 (〒86 大阪府門真市大字門真１０４８番地 パナソニック電工株式会社内 Osaka, 〒5718686, JP)
YOKOYAMA, Koji (1048, Oaza-Kadoma, Kadoma-sh, Osaka 86, 〒5718686, JP)
International Classes:
H01H50/10; B81B3/00
Attorney, Agent or Firm:
NISHIKAWA, Yoshikiyo et al. (Hokuto Patent Attorneys Office, Umeda Square Bldg. 9F., 12-17, Umeda 1-chome, Kita-ku, Osaka-sh, Osaka 01, 〒5300001, JP)
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