| JP2006234427 | FLATNESS MEASURING METHOD AND INSTRUMENT |
| JP2008026128 | SURFACE FOLLOWING MEASURING DEVICE |
| JP11118408 | HOLDING DEVICE FOR MEASURING APPARATUS |
LUDWIG, Josef (Prieche 7, Northeim, 37154, DE)
ZIEGENBEIN, Rainer (An der Worth 2b, Rosdorf, 37124, DE)
DÖRRER, Peggy (Hermann-Hanker-Strasse 9, Göttingen, 37083, DE)
LUDWIG, Josef (Prieche 7, Northeim, 37154, DE)
ZIEGENBEIN, Rainer (An der Worth 2b, Rosdorf, 37124, DE)
| Patentansnrüche :
1. Tastgerät (1), insbesondere zur Rauheitsmessung,
mit einem Grundkδrper (6) ,
mit einem Tastarm (7, 7'), der an dem Grundkörper (6) schwenkbar gelagert ist,
mit zumindest einer Biegefeder (14) , die einstückiger Bestandteil des Tastarms (7, 7') und/oder des Grundkörpers (6) ist und die zur schwenkbaren Lagerung des Tastarms (7, 7 1 ) an dem Grundkörper (6) dient.
2. Tastgerät (1), insbesondere zur Rauheitsmessung,
mit einem Grundkörper (6) ,
mit einem Tastarm (7, 7 1 ) , der an dem Grundkörper (6) schwenkbar gelagert ist,
mit zumindest einer Biegefeder (14) , die zur schwenkbaren Lagerung des Tastarms (7, 7') an dem Grundkörper (6) und als Messfeder dient.
3. Tastgerät (1), insbesondere zur Rauheitsmessung,
mit einem Grundkörper () , an dem eine Sensorspule (35) angeordnet ist,
mit einem Tastarm (7, 7') , der an dem Grundkδrper (6) schwenkbar gelagert ist und an dem ein Gegenpol (12) für die Sensorspule als einstückiger Bestandteil des Tastarms (7, 7') ausgebildet ist.
4. Tastgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich- net , dass der Tastarm (7, 7 r ) aus einem metallischen
Flachmaterial ausgebildet ist.
5. Tascgerät nach Anspruch 1 oder 2 , dadurch gekennzeichnet, dass an dem Tastarm (7, 7') als Biegefeder (14) ein Federbereich ausgebildet ist dessen Dicke geringer isr als die Dicke des übrigen Materials des Tastarms (7, 7') .
6. Tastgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich- nee, dass an dem Tastarm (7, 7') als Biegefeder (14) ein Federbereich ausgebildet ist, dessen Breite geringer ist als die Breite eines Arms (9 oder 12) des Tastarms (7, 7') .
7. Tastgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Tastarm (7, 7') zwei zueinander parallel orientierte Federbereiche (14, 15) ausgebildet sind, die eine gemeinsame Gelenkachse (16) festlegen.
8. Tastgerät nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass sich zwischen oder neben den Federbereichen (14, 15) wenigstens ein Steg (13, 13a) erstreckt, der einen den Gegenpol (12) der Sensorspule (35) bildenden Flachabschnitt des Tastarms (7, 7') trägt.
9. Tastgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Tastarm (7, 7') mit dem Grundkörper (6) verschweißt ist.
10. Tastgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich ¬ ne t :, dass zum Anschluss des Tastarms (7, 7' ) an dem Grundkörper (6) ein justierbares Lager (27) vorgesehei ist. |
Tastgerät
Die Erfindung betrifft ein Tastgerät, insbesondere in einer Ausführung als Rauheitstaster .
Tastgeräte, insbesondere Rauheitstaster, sind bekannt. Ein typischer Rauheitstaster weist einen Grundkörper auf, an dem ein wenige zehn Millimeter langer Tastarm geringfügig schwenkbar gelagert ist. Der Tastarm kann beispielsweise aus Keramik bestehen. Der Tastarm weist an einem Ende eine Tastnadel auf, die zur Abtastung einer Werkstückober- flache dient. Dazu wird das Tastgerät parallel zu der Werk- stückoberflache bewegt. Die Tastnadel gleitet dabei über die Werkstückoberfläche und lenkt den Tastarm in Bezug auf den Grundkörper des Tastgeräts aus. Der Grundkörper des Tastgeräts kann sich über eine Kufe an der Werkstückoberfläche abstützen.
Zur Erzeugung einer definierten Antastkraft sind in der Regel ein oder mehrere Federelemente vorgesehen, die den Tastarm auf die Werkstückoberfläche hin vorspannen. Die Montage derartiger Einrichtungen ist aufwendig.
Des Weiteren stellen beispielsweise in der Schwenklagerung des Tastarms vorhandene Reibeinflüsse eine Fehlerquelle dar, die insbesondere dann zu erheblichen Fehlern führen können, wenn der Tastarm etwas flexibel ist. Deshalb wird er meist von einem steifen Keramikstab gebildet . Auch kann eine Fehlmontage des Federelements zu Messfehlern führen. Des Weiteren können Fehlereinflüsse von der Sensoreinrichtung herrühren, die zur Erfassung einer Verschwenkung des Tastarms vorgesehen sind. Ist die Sensoreinrichtung beispielsweise durch eine Sensorspule gebildet, der eine an dem Tastarm gelagerte Ankerplatte zugeordnet ist, kann eine geringfügige Fehlmontage der Ankerplatte Messfehler hervorrufen.
Davon ausgehend ist es Aufgabe der Erfindung, ein verbessertes Tastgerät anzugeben.
Das erfindungsgemäße Tastgerät weist einen Tastarm auf, der über eine Biegefeder an dem Grundkörper gelagert ist. Die Biegefeder ist einstückiger Bestandteil des Tastarms und/oder des Grundkörpers. Dies führt zunächst: zu einem einfachen Aufbau und geringen Anforderungen an die Montage beim Montieren des Tastarms an dem Grundkörper. Fehl- justagen sind hier kaum zu befürchten. Die Präzision der
Biegefeder hinsichtlich der Festlegung der Gelenkachse und der Erzeugung einer entsprechenden, einer Auslenkung entgegen wirkenden Kraft ist vollständig in einen Abschnitt
des Herstellungsprozesses verlagert, der maschinell durchzuführen ist. Subjektive Fehlereinflüsse scheiden weitgehend aus .
Die Lagerung des Tastarms an dem Grundkörper mittels Biegefeder vermeidet Fehlereinflüsse, die durch Lagerreibung bekannter Schneiden oder Spitzenlager auftreten könnten. Durch die reibungsfreie Lagerung des Tastarms spielt eine Durchbiegung desselben bei der Messung keine Rolle. Er kann deshalb eine gewisse Flexibilität aufweisen und z.B. durch ein dünnes Stahlblech gebildet werden. Die Durchbiegung ist in jedem Fall reproduzierbar und somit unbeachtlich. Außer einem besonders einfachen und übersichtlichen Aufbau des Tastgeräts und einer Reduktion der Anzahl der notwendigen Teile ergibt sich somit auch eine Verbesserung der Genauigkeit des erfindungsgemäßen Tastgeräts gegenüber herkömmlichen Geräten.
Der Tastarm und die Biegefeder wie auch der Grundkör- per können aus einem Metall, vorzugsweise Stahl, bestehen.
Die Biegefeder wird durch zumindest einen Federbereich gebildet, dessen Dicke geringer ist als die Dicke des übrigen Materials des Tastarms . Außerdem kann dieser Federbereich durch einen schmalen freigestellten Streifen gebildet sein, der schmaler ist als der übrige Tastarm. Während der Tastarm und die Biegefeder somit aus dem gleichen Material bestehen, weisen sie auf Grund der geometrischen Ausbildung des Federbereichs unterschiedliche Federeigenschaften auf. Durch den Verzicht auf Schraubstellen oder sonstige Verbin- düngen im übergang von dem Tastarm zu dem Federbereich wird außerdem eine Verspannung der Biegefeder vermieden. Es kann auf einfache Weise eine weitgehend lineare und hysterese-
freie Federkennlinie erzeugt werden. Dies kommt wiederum der Messgenauigkeit und der Produktionssicherheit zu Gute.
Die Biegefeder kann so präzise hergestellt werden, dass sie nicht nur als Federgelenk sondern zugleich zur
Generierung der Messkraft dient. Es kann dann auf jegliche zusätzliche Federelemente zur Vorspannung des Tastarms verzichtet werden. Dies reduziert die Anzahl der erforderlichen Einzelteile für das Tastgerät weiter. Außerdem verein- facht ein solcher Aufbau die Montage.
Als einstückiger Bestandteil des Tastarms kann außerdem ein Abschnitt vorgesehen werden, der den Gegenpol für den Sensor bildet. Dieser Abschnitt wird beispielsweise durch einen flachen Plattenabschnitt gebildet, der über einen Steg einstückig mit dem Tastarm verbunden ist. Vorzugsweise ist die Verbindung naht- und übergangslos . Der Tastarm und der Gegenpol können aus einem geeigneten Blech, beispielsweise Stahlblech, ausgeschnitten sein. Der Gegen- pol kann für den Tastarm zugleich ein Gegengewicht bilden, so dass an dem Tastarm angreifende Gewichtskräfte kompensiert sind. Auch dies kommt der Messgenauigkeit zu Gute, insbesondere wenn das Tastgerät in unterschiedlichen Mess- positionen zu verwenden ist.
Der Tastarm kann mit dem Grundkörper verbunden, beispielsweise verschraubt oder vorzugsweise verschweißt, werden. Dazu sind an dem Tastarm Verbindungsbereiche ausgebildet, die über die Biegefedern an den übrigen Tastarm anschließen. Die Anschlussbereiche sind so groß bemessen, dass ein z.B. in einer entsprechenden in ihnen vorgesehenen öffnung angeordneter Schweißpunkt keine thermische Beeinflussung der Biegefeder verursacht.
Zum Anschluss des Tastarras an dem Grundkörper kann ein justierbares Lager vorgesehen sein. Dieses wird beispielsweise durch exnen freigestellten und durch Quetschschrauben in geringem Maß verschwenkbaren Abschnitt gebildet . Wenn die Genauigkeicsanforderungen geringer sind oder die Herstellung der Biegefedern ausreichend präzise erfolgt, kann auf eine solche Einstellmöglichkeit jedoch auch verzichtet werden.
Weitere Einzelheiten vorteilhafter Ausführungsformen der Erfindung sind Gegenstand der Zeichnung, der Beschreibung oder von Ansprüchen.
In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel des er- findungsgemäßen Tastgeräts veranschaulicht. Es zeigen:
Figur 1 das erfindungsgemäße Tastgerät in einer Ausführungsform als Rauheitstaster in vergrößerter, längs geschnittener Darstellung,
Figur 2 den Grundkörper des Rauheitstasters nach Figur 1 in perspektivischer Ansicht,
Figur 3 den Tastarm des Rauheitstasters nach Figur 1 in perspektivischer Ansicht,
Figur 4 den Tastarm nach Figur 3 in einer ausschnitts- weisen Draufsicht,
Figur 5 den Tastarm nach Figur 4 in einer Seiten- und
Schnittansicht, geschnitten entlang der Linie V-V in Figur 4,
Figur 6 eine Biegefeder des Tascarms in längs geschnittener Darstellung und abgewandelter Ausführungs- form,
Figur 7 die Biegefeder nach Figur 5 oder 6 in quer geschnittener Darstellung in einer ersten Ausführungsform,
Figur 8 die Biegefeder nach Figur 5 oder 6 in quer geschnittener Darstellung in abgewandelter Ausfüh- rungsform,
Figur 9 eine abgewandelte Ausführungsform eines Tastarms des Rauheitstasters nach Figur 1 in perspektivischer Ansicht einer seiner Flachseiten und
Figur 10 den Tastarm nach Figur 9 in perspektivischer Ansicht seiner anderen Flachseite.
In Figur 1 ist als Tastgerät ein Rauheitstaster 1 veranschaulicht, der zur Erfassung der Oberflächenrauheit einer Werkstückoberfläche dient und zu diesem Zweck über eine lediglich schematisch angedeutete Werkstückoberfläche 2 geschleppt wird. Zu diesem Zweck wird der Rauheitstaster 1 in einer durch einen Pfeil 3 bezeichneten Richtung geschleppt, wobei er auf der Werkstückoberfläche 2 lastet und mit seiner Kufe 4 auf dieser entlang gleitet . Die Kufe 4 ist an einem Ausleger 5 befestigt, der sich beispielsweise in Form eines Rohres oder eines U-Profils etwa parallel zu der durch den Pfeil 3 bezeichneten Richtung von einem Grundkörper 6 des Rauheitstasters 1 weg erstreckt. Der Ausleger 5 kann einstückiger Bestandteil des Grundkörpers 6 sein. Er ist hohl und nimmt einen länglichen Tastarm 7 auf, der an einer Lagerstelle 8 schwenkbar gelagert ist.
Ein Arm 9 des Tastarms 7 erstreckt sich bis zu einer oberhalb der Kufe 4 befindlichen Stelle und trägt dort einen Taststift 10, der durch eine in der Kufe 4 vorgesehene öffnung 11 mit seiner Spitze auf der Werkstückoberfläche 2 ruht. Bezüglich der Lagerstelle 8 liegt dem Arm 9 ein entgegengesetzt gerichteter Arm 12 gegenüber, der zu dem Arm 9 eine gegensinnige Schwenkbewegung vollführt, wenn der Tast- arm 7 schwenkt. Die Arme 9, 12 weisen, wie beispielsweise aus den Figuren 1 und 5 hervorgeht, vorzugsweise eine einheitliche Dicke auf. Der Tastarm 7 ist beispielsweise aus einem Stahlblech hergestellt. Jedoch definieren sie eine unterschiedliche Breite, wie die Figuren 3 und 4 veranschaulichen. Während der Arm 9 eher einen schmalen Stab bildet ist der Arm 12 eher nach Art einer Platte ausgebildet. Sie sind untereinander durch einen Steg 13 verbunden, der sich durch die Lagerstelle 8 hindurch erstreckt.
Die Lagerstelle 8 wird vorzugsweise durch aus den Figuren 3, 4 und 5 ersichtliche Biegefedern 14, 15 gebildet, die einstückiger Bestandteil des Tastarms 7 sind, d.h. sie bestehen aus dem gleichen Material wie dieser und schließen ohne Naht an diesen an. Die Biegefedern 14, 15 sind zu beiden Seiten des Stegs 13 angeordnet und definieren eine gemeinsame, in Figur 4 schematisch angedeutete, Gelenkachse 16. Sie werden jeweils durch Biegebereiche des Tastarms 7 gebildet. Die Biegebereiche sind dadurch definiert, dass in ihnen, wie aus Figur 5 hervorgeht, die Dicke D des ansonsten beidseitig ebenen Tastarms 7 reduziert ist . Außerdem kann ihre Breite B von beiden Enden zur Mitte hin jeweils reduziert sein (Figur 4) . Ihre Breite B ist an der Gelenkachse 16 am geringsten. Die Dicke D nimmt ebenfalls von den Enden der jeweiligen Biegebereiche zu der Mitte in der Nähe der Scharnierlinie 16 hin ab. An beide Seiten der jeweiligen Biegefeder 14, 15 schließen sich Bereiche des Tastarms 7 an, die die gewöhnliche Dicke D aufweisen. Es sind dies ein freies Ende bildende Befestigungsabschnitte 17, 18 und an der gegenüber liegenden Seite ein Halsbereich 19, der von den Biegefedern 14, 15 sich verjüngend zu dem Arm 9 übergeht. An den Halsbereich 19 schließt außerdem zwischen den Biegefedern 14, 15 der Steg 13 an.
Die insoweit beschriebene Geometrie, insbesondere der Biegefedern 14, 15 kann durch spanlose Umformverfahren wie auch durch spanabhebende Verfahren oder Laserbearbeitungs- verfahren wie auch durch eine Kombination derselben erzeugt werden. Beispielsweise können L-förmige, den Steg 13 und die Biegefedern 14, 15 nebst Befestigungsabschnitten 17, 18 von dem übrigen Tastarm 7 trennende Einschnitte 20, 21 in einem Laserschneidverfahren, einem Stanzverfahren oder einem anderen geeigneten Trennverfahren hergestellt werden.
Die Dickenreduktion der Biegefedern 14, 15 kann durch ein Präge- und/oder Schleifverfahren erzielt werden. Die Dickenreduktion kann, wie Figur 15 andeutet, beidseitig und symmetrisch sein. Es ist jedoch auch möglich, die Biegefe- dern jeweils lediglich durch einseitige Schwächung des Materials des Tastarms 7 zu erzeugen, wie beispielsweise Figur 6 an einem abgewandelten Beispiel für die Biegefeder 14 veranschaulicht. Des Weiteren kann die Biegefeder auf gesamter Breite eine einheitliche Dicke aufweisen, wie Figur 7 andeutet. Sie kann jedoch an ihren Rändern 22, 23 auch gerundet sein, was eine besondere Robustheit und Sicherheit gegen Federbrüche mit sich bringt .
Der Grundkörper 6 weist vorzugsweise ein justierbares Lager 24 zur Aufnahme des Tastarms 7 auf. Das Lager 24 wird im einfachsten Fall durch zwei im Abstand zueinander und in gleicher Ebene angeordnete Flächen 25, 26 gebildet (Figur 2) , deren Größe und Anordnung etwa mit der Größe und Anordnung der Befestigungsabschnitte 17, 18 übereinstimmt. Die Flächen 25, 26 sind an einem Block 27 ausgebildet, der über einen Steg 28 mit dem übrigen Grundkörper 6 verbunden ist. Der Steg 28 erstreckt sich vorzugsweise quer zu dem Tastarm 7 und ermöglicht eine gewisse Schwenkbewegung des Blocks 27. Die Schwenkachse ist dabei vorzugsweise etwa parallel zu der von den Biegefedern 14, 15 festgelegten Gelenkachse 16. Um den Block 27 in gewünschter Richtung schwenken zu können, sind aus Figur 1 ersichtliche Justierschrauben 29, 30 vorgesehen, die in entsprechenden Gewindebohrungen des Grundkörpers 6 sitzen und die mit ihren Enden gegen den Block 27 drücken. Sie durchragen dabei Querbohrungen 31, 32, die in den Grundkδrper 6 eingebracht sind, um zwischen einander den Steg 28 auszubilden.
Der Tastarm 7 wird vorzugsweise durch Laserschweißpunkte mit dem Grundkörper 6 verbunden. Dazu sind in den Befestigungsabschnitten 17, 18 ein oder mehrere öffnungen vorgesehen. Werden die Befestigungsabschnitte 17, 18 an die Flächen 25, 26 gelegt und der innere Rand der öffnungen der Befestigungsabschnitte 17, 18 mittels Laserstrahls erhitzt wird somit ein Schweißpunkt erzeugt, der den Befestigungsabschnitt 17 mit der Fläche 25 und den Befestigungsabschnitt 18 mit der Fläche 26 verbindet. Der Wärmeeintrag in die Befestigungsabschnitte 17, 18 ist dabei relativ gering. Insbesondere bleiben die Biegefedern 14, 15 von zu großer Wärme verschont, so dass sie ihre Federeigenschafuen behalten .
In oder an dem Grundkörper 6 ist außerdem ein Sensor 33, beispielsweise in Form einer auf einem Magnetkern 34 sitzenden Spule 35 vorgesehen. Die Stirnflächen des Magnetkerns 34 bilden mit dem Arm 12 einen relativ engen Luftspalt. Schwenkt der Tastarm 7 verändert sich die Weite des Luftspalts. An die Spule 35 kann beispielsweise über die lediglich schematisch angedeutete Steckeinrichtung 36 eine elektrische Leitung angeschlossen sein, die zu einer Auswerteschaltung führt. Die Auswerteschaltung kann bedarfs- weise auch in den Rauheitstaster 1 integriert werden, so dass an der Steckeinrichtung 36 aufbereitete Signale abgegeben werden. Zur Gewinnung aussagekräftiger Signale wird die änderung des magnetischen Widerstands des aus dem Mag- netkreis 34 und dem Arm 12 insgesamt gebildeten Magnetkreises erfasst und in ein Signal umgesetzt .
Neben dem Sensor 33 kann eine Justierschraube 37 vorgesehen sein , mit der die Pos ition des Tastarms 7 und ins -
besondere auch des Arms 9 vor dem Einsetzen des Taststifts 10 in den Arm 9 reguliert wird.
Der insoweit beschriebene Rauheitstaster 1 arbeitet wie folgt :
Zur Erfassung der Rauheit der Werkstückoberfläche 2 wird der Rauheitstaster 1 so positioniert, dass er mit seiner Kufe 4 auf der Werkstückoberfläche 2 lastet . Der Taststift 10 steht dabei mit seiner Spitze (die beispielsweise durch eine feine Diamantspitze gebildet wird) ebenfalls auf der Werkstückoberfläche 2. Die Justierschraube 37 ist zuvor in eine Rückzugsposition geschraubt worden. Der Arm 12 schwebt mit einigem Abstand unter der unteren Stirn- fläche des Magnetkreises 34 und bildet mit diesem einen
Luftspalt. Die Biegefedern 14, 15 spannen den Arm 9 und den Taststift 10 gegen die Werkstückoberfläche 2. Sie sind dazu entsprechend vorgespannt . Wird der Rauheitstaster 1 nun in Richtung des Pfeils 3 bewegt, folgt die Spitze des Taststifts 10 der Rauheit, so dass der Arm 9 geringfügigste Winkelbewegungen ausführt . Entsprechend führt der Arm 12 gegensinnige geringfügige Winkelbewegungen aus, die von der Spule 35 erfasst und als Rauheitssignal ausgewertet werden.
Die Vorspannung des Tastarms 7 und somit die Kraft mit der der Taststift 10 gegen die Werkstückoberfläche 2 drückt, ist durch die Justierschrauben 29, 30 veränderbar, indem mit diesen der Block 27 geringfügig geschwenkt werden kann. Beispielsweise vergrößert ein geringfügiges Lösen der Justierschraube 30 verbunden mit einem Festziehen der Justierschraube 29 die Vorspannung. Umgekehrte Betätigung vermindert die Vorspannung. Auf die Justierschrauben 29, 30 kann jedoch, wie erwähnt, auch verzichtet werden, wenn die
Biegefedern 14, 15 entsprechend präzise hergestellt und die Schweißverbindung zwischen den Befestigungsabschnitten 17, 18 und den Flächen 25, 26 ausreichend präzise hergestellt wird.
In Abwandlung der vorstehend beschriebenen Ausführungsform können die Biegefedern 14, 15 auch Teil des Grundkörpers 6 sein, an dem dann entsprechend dünne und schmale, als Biegefeder dienende Abschnitte ausgebildet werden. Es ist des Weiteren möglich, den Tastarm 7 und den Grundkörper 6 einschließlich der dazwischen angeordneten Biegefedern 14, 15 insgesamt einstückig auszubilden. Jedoch vergrößert dies den zu treibenden Hersteiiungsaufwand wieder.
Während das bevorzugte Ausführungsbeispiel zwei in einem Abstand zueinander angeordnete Biegefedern 14, 15 aufweist, die an dem äußeren Rand des breitesten Abschnitts des Tastarms 7 angeordnet sind und somit die Gelenkachse besonders gut definieren ist es auch möglich, mit lediglich einer einzigen Biegefeder auszukommen. Beispielsweise kann diese sich über einen größeren Teil der Breite des Tastarms 7 erstrecken. Der Steg 13 kann asymmetrisch außermittig angeordnet werden. Weitere Abwandlungen sind möglich.
Wie Figur 9 und Figur 10 veranschaulichen, kann der Tastarm auch abgewandelt ausgebildet sein. Er weist anstelle eines Stegs 13 Stege 13a, 13b auf, die eine im Wesentlichen starre Verbindung zwischen den Armen 9, 12 schaffen und ein Fenster umgrenzen. In diesem Fenster sind die Biegefedern 14, 15 und die Befestigungsabschnitte 17, 18 angeordnet. Die Befestigungsabschnitte 17, 18 können getrennt oder, wie dargestellt, zu einem Stück vereinigt ausgebildet
sein. Der Tastarm 7' ist bezüglich seiner Längsachse im Wesentlichen symmetrisch ausgebildet. Wenn einer der Stege 13a, 13b eine ausreichende Steifigkeit aufweist, kann auch einer der Stege 13a, 13b weggelassen werden. Dies führt zu einem asymmetrischen Design. Anstelle der beiden Biegefedern 14, 15 kann auch eine einzige breite Biegefeder oder eine Gruppe von z.B. drei oder mehr Biegefedern vorgesehen sein. Die Biegefedern 14, 15 weisen wie schon bei dem vorbeschriebenen Tastarm 7 eine Dicke auf, die geringer ist, als die vorzugsweise einheitliche Dicke des übrigen Tast- arms . Ergänzend gilt die Beschreibung des Tastarms 7 für den Tastarm 7' nach Figur 9 und 10 entsprechend.
Ein neuartiges, insbesondere als Rauheitstaster 1 die- nendes Tastgerät weist einen Grundkörper 6 -und einen daran schwenkbar gelagerten Tastarm 7 auf. Zur Lagerung dienen Biegefedern 14, 15, die nahtloser und einstückiger Bestandteil des Tastarms 7 sind. Das so ausgebildete Federgelenk ist reibungsfrei . Es kann nicht nur als Schwenkachse son- dem zusätzlich als Messfeder genutzt werden, um die den
Tastarm 7 bzw. seine Tastspitze gegen die Werkstückoberfläche 2 spannende Tastkraft zu erzeugen. Außerdem kann ein Arm 12 des Tastarms 7 als Sensorgegenpol dienen. Alle an dem Tastarm 7 vorhandenen funktionalen Einheiten können somit mit Ausnahme des Taststifts 10 aus einem einzigen
Bauteil herausgearbeitet werden. Dies betrifft die Arme 7, 12 des Tastarms, den Sensorgegenpol in Form des Arms 12, die Biegefedern 14, 15, die ein Federscharnier zur schwenkbaren Lagerung des Tastarms 7 bilden sowie an die Biegefe- dern 14, 15 anschließende Befestigungsabschnitte 17, 18.
Die Herstellung ist einfach und prozesssicher.
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