本发明涉及显示技术领域， 特别涉及到一种基板干燥装置及基板清洗系 统。 背景技术

在液晶显示设备的制作过程中，通常采用玻璃 基板作为衬底来制作彩膜基 板和阵列基板， 在制作彩膜基板之前需通过基板清洗系统将玻 璃基板冲洗干 净， 使基板的表面保持较高的清洁度。

目前的基板清洗系统采用传送带传送玻璃基板 ，使玻璃基板依次通过毛刷 清扫装置、 高压喷气清扫装置、 喷淋装置、 冲洗装置进行清洗， 并在清洗完后 通过风刀装置对玻璃基板进行吹干。

然而， 随着液晶面板的精度及分辨率不断增加， 同时， 在生产加工时玻璃 基板不断增大， 采用现有技术中的基板清洗系统清洗的玻璃基 板上会轻微残存 一些水泽， 从而造成后续工序中涂覆的光刻胶发生脱落， 影响到生产出的液晶 显示装置的产品质量。 发明内容

本发明提供了一种基板干燥装置及基板清洗系 统， 用以提高基板的清洁 度， 进而提高后续工序中涂覆在基板上的光刻胶的 涂覆效果。

本发明提供了一种基板干燥装置， 包括：

用于烘干基板上表面的第一烘干部件以及用于 烘干基板下表面的第二烘 干部件。

在上述技术方案中， 通过基板干燥装置烘干清洗后的基板， 使清洗完后残 存在基板上的水泽蒸发掉， 提高了基板的清洁度， 进而改善了后续工序中光刻 胶的涂覆效果， 从而提高了生产出的显示装置的产品质量。

优选的， 所述第一烘干部件和所述第二烘干部件中的每 一个均为电加热部 件， 用以对基板的上表面和下表面进行烘烤。

优选的， 所述第一烘干部件和第二烘干部件中的每一个 均为具有多个出风 口的送风装置， 用于向基板的上表面和下表面吹出经过加热的 气体。

优选的， 所述第一烘干部件为具有进风口和多个出风口 的送风装置， 用于 向_1 ^反上表面送出热风。 通过送出的热气流吹干_1 ^反上残存的水泽。

优选的， 所述第二烘干部件包括供热气体流通的腔室， 以及设置在腔室内 的至少一个加热单元； 所述腔室的出风口与所述送风装置的进风口气 体连通。 通过第二烘干部件产生的热量将基板下表面的 水泽烘干， 同时， 第二烘干部件 对进入到送风装置的热气流进行加热。

优选的， 所述第二烘干部件的所述腔室内设置多个加热 单元， 所述多个加 热单元交错设置在所述腔室的上表面和下表面 ，使所述腔室内形成弯曲的气流 通道。 采用在所述腔室上表面和下表面交错设置的多 个加热单元， 从而形成曲 折的气流通道， 提高了送风装置吹出的气体的热量， 更加彻底的烘干基板。

优选的， 所述第二烘干部件还包括设置在所述腔室内的 多个挡片， 所述多 个挡片交错设置在腔室的上表面和下表面， 使所述腔室内形成弯曲的气流通 道。通过交错设置在腔室的上表面和下表面上 的挡片进一步增加了气体在流动 中与加热单元的接触， 提高了气体的加热效果。

优选的， 所述基板干燥装置还包括气泵， 所述气泵与所述第二烘干部件的 所述腔室的进风口连接， 用于向所述腔室泵入气流， 提高第一烘干部件的烘干 效果。

可选择的， 所述加热单元为陶瓷加热片或金属加热片。 采用金属加热片或 陶瓷加热片， 具有较快的温升且能量利用率高的优点。

本发明还提供了一种 反清洗系统， 包括： 传送基板的传送装置； 沿传送装置传送基板的方向依次设置的风刀装 置和上述任一种基板干燥 装置。

在上述技术方案中， 基板在传送装置传送的过程中进行清洗， 并在经过风 刀装置后通过基板干燥装置烘干， 使清洗完后残存在基板上的水泽蒸发掉， 提 高了基板的清洁度， 进而改善了后续工序中光刻胶的涂覆效果， 从而提高了生 产出的显示装置的产品质量。

优选的， 所述风刀装置和基板干燥装置之间设有隔板。 通过隔板避免风刀 装置和送风装置吹出的气流出现交叉从而影响 到对^反的处理效果。

优选的， 所述基板清洗系统还包括： 设置于所述传送装置两侧的挡板， 用 以使所述风刀装置和所述送风装置吹出的气体 沿基板方向流动，提高了能量的 利用率。

优选的， 所述 反清洗系统还包括： 热排风管道， 位于所述送风装置出风 口的下风侧。 通过设置的热排风管道将含有水蒸气的气流带 走， 避免水蒸气冷 却后再次附着到基板上。

优选的， 所述热风排风管道的进风口具有扩口结构。 通过扩口结构提高了 热排风管道与气流的接触面积， 提高了排风的效果。

优选的， 所述传送装置为具有支撑间隙的传送带。 采用带传送能够平稳的 支撑基板，且传送带上的支撑间隙使得第二加 热部件的热量能够快速的散发到 基板， 并对基板烘干。 附图说明

图 1为本发明实施例提供的差 清洗系统的俯视透视图；

图 2为本发明实施例提供的^反清洗系统的侧视透� ��图；

图 3为本发明实施例提供的^反干燥装置的结构示� ��图；

图 4为本发明实施例提供的 反干燥装置的第二烘干部件的结构示意图。 附图标记：

10-传送装置 20-风刀装置 30-基板干燥装置 31-第一烘干部件 32-第二烘干部件 33-腔室

34-加热单元 35-气流通道 40-隔板

50-热排风管道 60-挡板 70-基板 具体实施方式

为了提高基板的清洁效果， 从而改善后续工序中光刻胶的涂覆效果， 进而 提高生产出的液晶显示装置的产品质量， 本发明提供了一种基板干燥装置及基 板清洗系统。 在本发明提供的技术方案中， 通过采用基板干燥装置分别对清洗 后的基板的上表面和下表面进行烘干， 提高了基板的清洁度， 进而提高了光刻 胶的涂覆效果， 以及生产出的显示装置的产品质量。 为使本发明的目的、 技术 方案和优点更加清楚， 以下以非限制性的实施例为例对本发明作进一 步详细说 明。

如图 1、 图 2和图 3所示， 图 1为本发明实施例提供的基板清洗系统的俯 视透视图； 图 2为本发明实施例提供的^反清洗系统的侧视透� ��图； 图 3为本 发明实施例提供的基板干燥装置的结构示意图 。

本发明实施例提供的一种基板干燥装置 30, 包括：

用于烘干基板 70上表面的第一烘干部件 31以及用于烘干基板下表面的第 二烘干部件 32。

在该实施例中， 基板 70在经基板干燥装置 30烘干之前， 通过毛刷清扫装 置、 高压喷气清扫装置、 喷淋装置、 冲洗装置进行清洗， 并在清洗完后通过风 刀装置 20对基板 70进行吹干。 之后， 再通过基板干燥装置 30烘干残存在基 板 70上的水泽。 具体的， 通过第一烘干部件 31来烘干基板 70的上表面， 通 过第二烘干部件 32来烘干基板 70的下表面。 从而提高基板 70的清洁度。 进 而改善后续工序中光刻胶的涂覆效果， 提高了生产出的显示装置的产品质量。

如图 3所示， 图 3为本发明实施例提供的 反干燥装置 30的结构示意图。 第一烘干部件 31和第二烘干部件 32可以采用相同的或不同的结构， 如： 第一 烘干部件 31和第二烘干部件 32均为电加热部件， 分别烘烤基板 70的上表面 和下表面； 或第一烘干部件 31和第二烘干部件 32均为具有多个出风口的送风 装置， 吹出的气体为经过加热装置加热过的气体； 或第一烘干部件 31和第二 烘干部件 32中的一个烘干部件为带有气流通道的电加热� ��件， 另一个烘干部 件为与所述气流通道连通的送风装置， 以通过从送风装置吹出的加热过的气体 来烘干基板 70的一面， 以及通过电加热部件的烘烤来烘干基板 70的另一面。

作为一种优选方案， 第一烘干部件 31 为具有进风口和多个出风口的送风 装置， 用于向 _ί ^反 70上表面送出加热过的气体。 图 4为本发明实施例提供的 反干燥装置的第二烘干部件 32的结构示意图。所述第二烘干部件 32包括可 供热气体流通的腔室 33 , 以及设置在腔室 33内的多个加热单元 34; 所述腔室 33的出风口与作为第一烘干部件 31的送风装置的进风口连通。 其中， 腔室 34 内的多个加热单元 34之间形成气流通道 35,所述气流通道 35—端与气泵连通， 气流通道 35的另一端与作为第一烘干部件 31的送风装置的进风口连通。 由于 在清洗基板 70时， 喷淋装置等都是从上方喷淋到基板 70上， 因此， 第一烘干 部件 31采用送风装置， 该送风装置将气体从其多个出风口吹出前要经 第二烘 干部件 32的加热单元 34对气体进行加热，通过气体的流速以及热量� ��基板 70 残存的水泽进行清洗， 对于残存在基板 70下表面的水泽， 通过第二烘干部件 32进行烘干。 从而针对基板 70的前期处理结果采用不同结构的基板干燥装� �� 对基板 70进行清洗， 既达到了烘干的效果， 又节约了能源。

继续参考图 4,上述实施例中，为了使经过第二烘干部件 32的气体能够充 分加热，在腔室 33内壁上设置了多个加热单元 34,且多个加热单元 34在所述 腔室 33内壁上交错设置。 在图 4所示的实施中， 多个加热单元 34交错设置在 所述腔室 33的上表面和下表面上， 从而形成曲折的气流通道 35, 使流经气流 通道 35的气体充分与加热单元 34接触， 提高了送风装置吹出的气体的热量， 从而更加彻底的烘干液晶基板 70。 更进一步的， 第二烘干部件 32还可以包括 设置在所述腔室 33内的多个挡片 （图中未示出）， 所述多个挡片交错设置在腔 室 33内壁上， 使所述腔室内形成弯曲的气流通道， 增加了气体在腔室 33内的 流动时间， 便于气体的充分加热。 其中， 加热单元 34可以为陶瓷加热片或金 属加热片， 但是本发明不限于此， 只要为能够具有较快的温升和较高的能量利 用率的加热片即可。

本发明实施例还提供了一种 反清洗系统， 包括：

传送基板的传送装置 10;

沿传送装置传送基板 70的方向依次设置的风刀装置 20和上述任一种基板 干燥装置 30。其中， 第一烘干部件 31位于传送装置 10的上方， 第二烘干部件 32位于传送装置 10的下方。

在基板 70经过基板烘干装置 30时， 通过第一烘干部件 31和第二烘干部 件 32同时作用， 烘干残存在基板 70上的水泽。

继续参考图 1 , 上述实施例中的基板清洗系统还包括设置于风 刀装置 20 和基板干燥装置 30之间的隔板 40。 通过设置隔板 40来避免风刀装置 20和作 为基板干燥装置 30中的第一烘干部件 31和 /或第二烘干部件 32的送风装置吹 出的气流出现交叉形成乱流影响到对 反 70的处理效果。

继续参考图 1 , 为了进一步提高基板干燥装置 30对基板 70的烘干效果， 较佳的， 基板清洗系统还包括： 设置于所述传送装置 10两侧的挡板 60。 通过 挡板 60使风刀装置 20和送风装置吹出的气体沿基板 70方向流动， 提高了能 量的利用率。

此外， 为了避免对基板 70进行处理后送风装置吹出的热气流携带的水� �� 气在基板 70上再次冷凝， 在送风装置出风口的下风侧设置热排风管道 50。 通 过设置的热排风管道 50将含有水蒸气的气流带走， 避免水蒸气冷却后再次附 着到基板 70上， 提高了基板干燥装置 30的烘干效果。 更佳的， 热排风管道 50 的进风口具有扩口结构（图中未示出）。 通过扩口结构提高了热排风管道 50与 气流的接触面积， 提高了排风的效果。

其中， 传送装置 10为具有支撑间隙的传送带。 采用带传送能够平稳的支 撑基板 70,且传送带上的支撑间隙使得第二加热部件的 热量能够快速的散发到 基板 70, 并对基板 70烘干。 明的精神和范围。 这样， 倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利 要求及 其等同技术的范围之内， 则本发明也意图包含这些改动和变型在内。