以下、本発明の実施の形態につき、図面� ��用いて詳細に説明する。図1は、本実施形態 のプレス装置のブロック図である。図1に示� �れるように、本実施形態のプレス装置1は、C CL、プリプレグシート、銅箔が積層された積� ��体Lが複数ストックされている積層体ストッ カ100と、治具板J(後述)が複数ストックされて いる治具板ストッカ200と、治具板Jと積層体L� ��交互に積み重ねた積層体ブロックBを組み立 てる仕組み部300と、仕組み部300で組み立てら れた積層体ブロックBが一時的にストックさ� �る仕組品ストッカ500と、仕組品ストッカ500� �積層体ブロックBを熱圧締するプレス部400と� ��有する。仕組み品ストッカ500にストックさ� ��ている積層体ブロックBは、先ずローダ600に よってプレス部400に搬送される。次いでプレ ス部400が積層体ブロックBを熱圧締すると、� �数の多層基板製品Pが得られる。最後に多層� ��板製品Pがアンローダ900によってプレス部400 から取り出され、下流工程(例えば、多層基� �製品Pの表面に形成されている銅箔面に配線� ��ターンを形成する処理)に搬送される。また 、治具板ストッカ200と仕組み部の300との間に は、治具板Jを加熱する治具板加熱部700が配� �されている。ここで、治具板Jはステンレス� ��等の金属板か、ポリイミド等の耐熱性の樹� ��から形成される、厚さ数100マイクロメート� ��程度のプレートである。

 本実施形態のプレス装置1においては、治 具板加熱部700は、治具板ストッカ200から治具 板Jを一枚ずつ引き出して所定温度に加熱す� �。また、仕組み部300は、積層体ストッカ100� �治具板加熱部700から、夫々積層体Lと治具板J を一枚ずつ交互に取り出して重ね、治具板J� �介して積層体Lが複数重ねられた積層体ブロ� ��クBを生成する。なお、積層体ブロックBは� �上下両面が治具板Jとなるように構成されて� ��る。

 仕組み部300にて生成された積層体ブロッ� ��Bは、仕組み品ストッカ500内に一時的にスト ックされる。この仕組み品ストッカ500の内部 はヒータによって所定の温度に保温されてお り、積層体ブロックBが冷めないようになっ� �いる。次いで、ローダ600によって、積層体� �ロックBは1つずつ仕組み品ストッカ500から取 り出され、プレス部400の内部に搬送される。 そして、プレス部400は積層体ブロックBを真� �雰囲気下で加熱しながら圧迫する。これに� �って、積層体Lのプリプレグシートに含浸さ� ��た熱硬化樹脂が隣接するCCLや銅箔と隙間無� ��密着し、さらに硬化する。この結果、CCL及� ��銅箔とプリプレグシートとが接着された多� ��基板製品Pが複数得られる。そして、この複 数の多層基板製品Pは、アンローダ900によっ� �プレス部400から取り出され、下流工程に搬� �される。なお、これらの処理は、プレス装� �1のコントローラ800が治具板ストッカ200、仕� ��み部300、プレス部400、仕組み品ストッカ500� ��ローダ600、治具板加熱部700及びアンローダ9 00を制御することによってなされる。

 次いで、仕組み部300及び治具板加熱部700� ��構成につき説明する。図2は、治具板加熱部 700及び仕組み部300の側面図である。治具板加 熱部700は、上側ヒートロール711と下側ヒート ロール712から構成される上流側ヒートロール 対710と、上側ヒートロール721と下側ヒートロ ール722から構成される下流側ヒートロール対 720とを備えている。上流側ヒートロール対710 の上側ヒートロール711及び下側ヒートロール 712は、その回転軸が水平かつ互いに平行であ り、また、両ヒートロールは鉛直方向に並べ て配置されている。下流側ヒートロール対720 の上側ヒートロール721及び下側ヒートロール 722についても同様である。また、上流側ヒー トロール対710と下流側ヒートロール対720とは 、同じ高さに配置されている。なお、上流側 ヒートロール対710及び下流側ヒートロール対 720は、共に治具板ストッカ200(図1)と仕組み部 300との間に配置されている。そして、上流側 ヒートロール対710は治具板ストッカ200に対し て近位となる位置に、下流側ヒートロール対 720は仕組み部300に近位となる位置に、夫々配 置されている。

 また、上流側及び下流側ヒートロール対� ��各ヒートロール711、712、721、722は図示しな� ��ヒータを内蔵しており、ヒートロール711、7 12、721、722の円周面は積層体Lを構成するプリ プレグの樹脂のガラス転位温度よりも高く、 且つ硬化温度より低い温度に加熱されている 。本実施形態においては、80℃付近にガラス� ��位温度を、120℃付近に硬化温度をもつプリ� ��レグ樹脂が使用されるため、ヒートロール� ��約100℃に加熱されている。なお、ヒートロ� ��ルの加熱温度は100℃に限定されるものでは� ��く、プリプレグの材料特性や積層体L又は積 層体ブロックBの構成等に応じて適宜設定さ� �る。また、ヒートロールの加熱温度は、必� �しもプリプレグの樹脂のガラス転位温度よ� �も高くなくても良い。また、好ましくは、� �示しない付勢手段よって、上側ヒートロー� �711、721は、対応する下側ヒートロール712、72 2に向って付勢されている。

 治具板ストッカ200は図示しないローダを� ��えており、治具板ストッカ200内にストック� ��れている治具板Jを一枚ずつ引き出して治具 板加熱部700に送るようになっている。より具 体的には、上流側ヒートロール対710のヒート ロール711と712との間に治具板Jが差し込まれ� �ように、治具板Jが搬送されるようになって� ��る。

 治具板Jの先端が上流側ヒートロール対710 に到達すると、下側ヒートロール712、722が図 中反時計回りに回動する。前述のように、上 側ヒートロール711、721は夫々下側ヒートロー ル712、722に向って付勢されているので、下側 ヒートロール712、722を回動させることによっ て、治具板Jは上流側ヒートロール対710のヒ� �トロール711、712の間に挟み込まれ、下流側� �ートロール対720に向って搬送される。そし� �、治具板Jの先端が下流側ヒートロール対720� ��到達すると、治具板Jは下流側ヒートロール 対720のヒートロール721、722の間に挟み込まれ てさらに搬送され、最終的には仕組み部300に 到達する。

 このように、本実施形態においては、ヒ� ��トロール711、712、721、722によって、治具板J が加熱されながら仕組み部300に搬送されるよ うになっている。ここで、治具板Jは薄板で� �るため、治具板加熱部700を通過した治具板J� ��、ヒートロール711、712、721、722の表面温度� ��略同じ所定の温度に加熱されている。

 仕組み部300に搬送された治具板Jは、仕組 み部300のローラコンベア310の上に載置された キャリアプレートCの上に配置されるように� �っている。また、仕組み部300は、積層体ス� �ッカ100(図1)にストックされている積層体Lを� ��り出して仕組み部300に送る図示しないロー� ��を備えている。コントローラ800(図1)は、治� ��板ストッカ200のローダ、ヒートロール対710� ��720及び仕組み部300のローダを制御して、治� ��板Jと積層体Lとが交互に重ねられるように� �る。そして、所定数、例えば10の積層体Lが� �置されたのち、最上段の積層体Lの上に治具� ��Jを重ねる。かくして、一対の治具板Jの間� �積層体Lと交互に重ね合わされた、積層体ブ� ��ックBが形成される。次いで、コントローラ 800は、ローダ600(図1)を制御してキャリアプレ ートC及びその上の積層体ブロックBをプレス� ��400(図1)内に搬送する。なお、キャリアプレ� ��トCはステンレス鋼又は耐熱性の樹脂(ポリ� �ミドなど)からなる薄板である。

 本実施形態のプレス部400の構成につき、� ��下説明する。図3は、本実施形態のプレス部 400の側面図である。プレス部400は、プレスフ レーム403と、上部熱盤部410と、下部熱盤部420 と、シリンダ部430を有する。プレスフレーム 403はベースbの上に剛体支持されている。下� �熱盤部420の固定定盤421はプレスフレーム3の� ��ース部403b上に固定されている。また、上部 熱盤部410のクラウン定盤411は、シリンダ部430 を介してプレスフレーム403の天井部403aから� �り下げられている。

 シリンダ部430は、シリンダ431と、シリン� ��431の内壁と摺動しながら上下動可能なピス� ��ン432と、ピストン432の下面中央部より鉛直� ��向きに延出して形成されたシャフト433を有� ��る。シリンダ431の下面中央部分には貫通孔4 31aが設けられており、シャフト433はピストン 432の上下動に従って貫通孔431aと摺動しなが� �上下動する。上部熱盤部411のクラウン定盤41 1は、シャフト433の下端に固定されている。

 シリンダ431の空洞部434はピストン432によ� ��て空洞部(上)434aおよび空洞部(下)434bに分断� ��れている。この空洞部(上)434aおよび空洞部( 下)434bはそれぞれ作動油で満たされている。� ��た、この空洞部(上)434aおよび空洞部(下)434b� ��図示しない油圧ポンプと接続されている。� ��圧ポンプはコントローラ800(図1)と接続され� ��おり、コントローラ800は油圧ポンプを駆動� ��て空洞部(上)434aおよび空洞部(下)434bのそれ� ��れに注入されている作動油の一方を加圧し� ��方を減圧することにより、ピストン432を自� ��に上下動させることができる。従って、コ� ��トローラ800が油圧ポンプを制御することに� ��り、上部熱盤部410を上下動させることがで� ��る。

 上部熱盤部410の上部熱盤412は、断熱材413� ��介してクラウン定盤411の下面に固定されて� ��る。同様に、下部熱盤部420の下部熱盤422は� ��熱材423を介してテーブル定盤421の上面に固� ��されている。上部熱盤412及び下部熱盤422は� ��図示しない加熱手段によって、積層体Lのプ リプレグの反応温度以上の温度に加熱されて いる。

 プレスフレーム403は、上部熱盤部410、下� ��熱盤部420及びシリンダ部430を覆っている。� ��た、プレスフレーム403の一側面(図中右側)� �は開口403cが設けられており、ローダ600(図1)� ��、この開口403cを介して、キャリアプレート C及びその上の積層体ブロックBを下部熱盤422� ��上に載置させることができる。また、プレ� ��部400は開口403cを覆うための開閉扉442を有し ている。図示されているように、開閉扉442は 、開口403cよりも下方に位置してキャリアプ� �ートC及び積層体ブロックBの搬送を可能とす る第1の位置(図中実線部)と、開口403cを覆う� �2の位置(図中破線部)との間でスライド可能� �構成されている。

 同様に、プレスフレーム403の他方の側面( 図中左側)には開口403dが設けられており、ア� ��ローダ900(図1)は、この開口403dを介して、キ ャリアプレートC及びその上の積層体ブロッ� �Bを下部熱盤422の上から取り出すことができ� ��。また、プレス部400は開口403dを覆うための 開閉扉444を有している。図示されているよう に、開閉扉444は、開口403dよりも下方に位置� �てキャリアプレートC及び積層体ブロックBの 搬送を可能とする第1の位置(図中実線部)と、 開口403dを覆う第2の位置(図中破線部)との間� �スライド可能に構成されている。

 開閉扉442及び444の内側には図示しないガ� ��ケットが設けられており、開閉扉442及び444� ��第2の位置にある時は、プレスフレーム403の 内部にある上部熱盤部410、下部熱盤部420及び シリンダ部430は、外気から密閉される。

 プレス部400は図示しない真空ポンプを有� ��ており、コントローラ800は、開閉扉442及び4 44が夫々開口403c及び403dを覆っている状態で� �空ポンプを駆動することによって、プレス� �レーム403の内部を真空引きすることができ� �。

 下部熱盤422の上にキャリアプレートC及び 積層体ブロックBが配置された状態で、油圧� �ンプを駆動して上部熱盤部410を下方に駆動� �ることにより、積層体ブロックBを上部熱盤4 12と下部熱盤422との間で挟んで熱圧締するこ� ��ができる。なお、熱圧締を行う際は、あら� ��じめ開閉扉442、444及び真空ポンプを制御し� ��プレスフレーム403内部を真空に保っておく� ��

 このように、本実施形態においては、複� ��の積層体Lが治具板Jを介して上下方向に重� �られている積層体ブロックBがプレスされる� ��で、一度のプレス動作で複数の多層基板製� ��P(図1)が成形されるようになっている。また 、前述のように、治具板Jが加熱された状態� �積層体ブロックBが仕組まれるので、積層体� ��ロックBがプレス部400に搬送された時点で、 治具板Jによって各積層体Lのプリプレグの樹� ��は略均一に軟化している。そのため、プレ� ��部400によって積層体ブロックBの各積層体L� �プリプレグの樹脂を短時間で銅箔やCCLと接� �することができる。

 また、図3に示されるプレス部400は、クラ ウン定盤411がシリンダ部430を介して天井部403 aに吊り下げられており、シリンダ部430によ� �てクラウン定盤411及びそれに固定された上� �熱盤412が上下に駆動されるようになってい� �。しかし、天地を逆にした構成としてもよ� �。すなわち、テーブル定盤421とベース部403b� ��の間にシリンダ部を配置して、シリンダに� ��ってテーブル定盤421及びそれに固定された� ��部熱盤部422が積層体Lをその上に載置したま ま上下駆動されるように構成されてもよい。

 以上、本発明について、これを実施する� ��め好適な形態に即して説明してきた。当然� ��ことながら、本発明の範囲は、請求の範囲� ��よってのみ限定されるものであり、上述の� ��施形態に限定されるものではない。また、� ��発明の実施形態による実際の装置は、本願� ��図面に示され、又は明細書に記載されてい� ��特徴の全てを備える必要は無い。また、こ� ��に示されている方法及び装置の変形例は、� ��求の範囲によってのみ限定される本発明の� ��囲に含まれる。更に、本発明は場合によっ� ��は、主に方法として説明されているが、本� ��明の範囲はその方法を実行するようにプロ� ��ラムされた装置、例えば、専用回路、ハー� ��ウェア、ファームウェア及び/又はソフトウ ェア(相当するソフトウェアを記録したコン� �ュータ読取可能な媒体を含む)を含む。また� ��ある実施形態の特徴は、本発明の別の実施� ��態の特徴と共に提供されてもよい。なお、� ��こで使用する用語「有する」、「持つ」、� ��含む」、「備える」は、「~を含んでいるが 、これに限定されない」を意味する。