以下、添付図面を参照しながら本発明の� ��ましい実施の一形態について詳述する。

 図1および図2は、本発明の一実施形態に� �る基板の検査装置1を概略的に示している。� ��れらの図に示すように、検査装置1は、全体 が箱形を成し、その後方側を構成する後側部 分2Aと、この後側部分2Aの前端下部から前方� �延びる前側部分2Bとを具備した側面視L字型� �外観形状を有している。このような検査装� �1の外形は、後述する検査ユニット50等の内� �部品を覆うケーシングCaにより形成されてい る。

 この検査装置1のうち上記前側部分2Bには� ��プリント基板Pを装置内に出し入れするため の上向きに開口する出し入れ口6が設けられ� �いる。この出し入れ口6は、ケーシングCaに� �成される開口部からなり、検査装置1の幅方� ��中央(図2では左右方向における中央)に設け� ��れている。

 上記出し入れ口6の上方であって後側部分 2Aの前面部分には、液晶モニタ4(本発明にか� �る表示手段に相当)が配置されている。この� ��晶モニタ4は、いわゆるタッチパネル型液晶 表示器からなり、検査結果等の各種情報がこ の液晶モニタ4上に表示されるとともに、モ� �タ表示に作業者が指先で触れることにより� �査装置1に対して各種操作入力を行えるよう� ��なっている。

 上記前側部分2Bのうち液晶モニタ4に並ぶ� ��分にはメンテナンス用の扉9が設けられてい る。この扉9は、上記ケーシングCaの一部が開 閉可能に構成されたもので、必要に応じてこ の扉9を開くことにより作業者が検査装置1の� ��部にアクセスして後述するチェックペン56� �交換等を行えるようになっている。また、� �記ケーシングCaのうち上面カバーCa1は取り外 し可能とされており、この上面カバーCa1を取 り外した状態で後述する撮像ユニット51のメ� ��テナンス等を行えるようになっている。

 図1に示すように、上記ケーシングCaには� ��その後側部分2Aの左右両側部に、凹部から� �る取手部3が設けられており、この取手部3を 手に掛けた状態で検査装置1を持ち運べるよ� �になっている。なお、図1および図2において 符号8は、上記出し入れ口6の側方に配置され� ��非常停止用ボタンである。

 検査装置1は、その幅が装置後側から前側 に向かって先細りに形成されている。詳しく は、上記ケーシングCaにより構成される検査� ��置1の側面のうち前側部分2Bの一方側の側面( 図2では左側の側面)が前後方向に対して所定� ��度αだけ傾斜して設けられることにより検� �装置1の幅が先細りに形成されている。これ� ��複数台の検査装置1をコンパクトに設置して 作業性を高めるための工夫であって、この点 については後に詳述する。

 図3および図4は、検査装置1の具体的な内� ��構成を示すための図である。本図に示すよ� ��に、検査装置1の内部にはベースフレーム10� ��設けられており、このベースフレーム10に� �、作業者の手により上記出し入れ口6を通じ� ��供給されたプリント基板Pを保持してこれを 移動させる基板供給ユニット24と、この基板� ��給ユニット24に保持されたプリント基板Pの� ��像等を行うことによりこのプリント基板Pの 外観を検査する検査ユニット50等が組み付け� ��れている。

 上記ベースフレーム10は、前方側(液晶モ� ��タ4が設置されている側)に至るほど高さが� �くなる前下がりの傾斜面12aを有した基台部12 と、この基台部12の左右両端からそれぞれ立� ��上がる側壁部14とを一体に備えた構造を有� �ており、例えばアルミダイカスト等の鋳造� �により構成されている。

 上記基板供給ユニット24は、上記基台部12 の傾斜面12a上に固定され、当該斜面12aに沿っ てスライダ22を前後方向(以下、この方向をY� �方向という)に移動させるリニアモータ式の� ��軸ロボット20と、上記スライダ22に固定され るテーブル30とから構成されている。

 上記テーブル30は、プリント基板Pを保持� ��るもので、具体的には、被検査面が上記傾� ��面12aと平行となるように保持する。このテ� ��ブル30は、上記単軸ロボット20の作動に応じ て、上記出し入れ口6に対向するホームポジ� �ョン(図3の実線で示す位置)と、後述する撮� �ユニット51に対向する検査ポジション(図3の� ��点鎖線で示す位置)とに亘ってY軸方向に移� �可能に構成されている。そして、上記ホー� �ポジションにおいてテーブル30に対するプリ ント基板Pの着脱が作業者の手動操作により� �われるとともに、そこから検査ポジション� �でテーブル30が移動した状態で、撮像ユニッ ト51によるプリント基板Pの撮像が行われるよ うになっている。

 このテーブル30は、上記スライダ22の上面 部に固定されたプレート32と、このプレート3 2に組み付けられて左右方向に延びる前後一� �の基板保持フレーム36,38(以下、前側フレー� �36,後側フレーム38ということがある)とを有� �ており、これらフレーム36,38の間にプリント 基板Pが挟持されるようになっている。具体� �には、両フレーム36,38のうちの後側フレーム 38に、Y軸方向に変位可能でかつ圧縮コイルバ ネ等の弾性部材により前方側に付勢される可 動部39が設けられ、この可動部39と前側フレ� �ム36との対向する部分に、それぞれ階段状の 基板受部が形成されている。そして、プリン ト基板Pを手に持った作業者が、これら基板� �部にプリント基板Pの前後縁部を載せ、当該� ��板Pを前側フレーム36と可動部39との間に嵌� �込むと(図3参照)、圧縮コイルバネ等の弾性� �によりプリント基板Pが両フレーム36,38の間� �弾性的に挟み込まれ、これに応じてプリン� �基板Pが前側フレーム36を基準としてY軸方向� ��位置決めされた状態でテーブル30に保持さ� �るようになっている。また、前側フレーム36 の左右方向の一端側には、位置決めプレート 36aが設けられており、このプレート36aにプリ ント基板Pの一端(左右方向の一端)が当接する ことにより、当該基板Pが左右方向(以下、X軸 方向という)に位置決めされるようになって� �る。

 なお、上記前側および後側フレーム36,38� �間隔は基板サイズに応じて可変となってい� �。具体的には、上記プレート32の後端にエン ドプレート34が固定され、このエンドプレー� ��34と上記前側フレーム36とに亘って互いに平 行な左右一対のガイドバー35が固定されてい� ��。そして、これらガイドバー35に対して上� �後側フレーム38がスライド可能に装着される とともに、上記ガイドバー35に対して後側フ� ��ーム38を任意の位置でロックできる図外の� �ック手段が設けられている。つまり、前側� �レーム36を基準として後側フレーム38をスラ� ��ドさせ、上記ロック手段により後側フレー� ��38を所望の位置でロックすることによって� �フレーム36,38の間隔を変更できる構成となっ ている。

 上記テーブル30のプレート32には、図4に� �すように、光学式センサからなる基板検知� �段33が埋め込まれており、この基板検知手段 33により、プリント基板Pがテーブル30にセッ� ��されたか否かが検知されるようになってい� ��。なお、当実施形態では、プリント基板Pが テーブル30上にセットされている状態では基� ��検知手段33の検出信号がONとなり、プリント 基板Pがセットされていない状態ではOFFにな� �ようになっている。

 上記検査ユニット50は、スライダ42をX軸� �向に移動させる単軸ロボット40と、この単軸 ロボット40に上記スライダ42を介して組み付� �られる撮像ユニット51とを備えている。

 上記単軸ロボット40は、テーブル30駆動用 の上記単軸ロボット20と同様に、リニアモー� ��式の単軸ロボットからなり、上記両側壁部1 4に亘って横架された状態でベースフレーム10 に固定されている。

 上記撮像ユニット51は、CCDあるいはCMOSイ� ��ージセンサ等のエリアセンサからなるカメ� ��52(本発明にかかる認識手段に相当)と、被写 体であるプリント基板Pに照明光を照射する� �明装置54とを備えており、上記テーブル30に� ��持されたプリント基板Pを、その表面に対し て直交する方向からカメラ52が撮像するよう� ��構成されている。この撮像ユニット51は、� �記スライダ42のX軸方向の移動に伴い、基板� �給ユニット24の単軸ロボット20上方にあたる� ��像位置や、図4において二点鎖線および実線 で示す位置に移動可能とされている。そして 、撮像ユニット51は、通常時において上記撮� ��位置に保持されているとともに、後述する� ��うなマーキングユニット55の交換時等に図4� ��二点鎖線で示す位置に移動したり、上面カ� ��ーCa1を取り外しての撮像ユニット51のメン� �ナンス時等に図4の実線で示す位置に移動し� ��りする。

 上記検査ユニット50には、検査結果等に� �じてプリント基板Pに所定のマークを記入す� ��マーキングユニット55(本発明にかかるマー� ��ング手段に相当)が取り付けられている。こ のマーキングユニット55は、マークを記入す� ��ためのチェックペン56と、このチェックペ� �56を進退駆動する駆動機構とから構成されて おり、この駆動機構の作動に応じて、上記チ ェックペン56が、テーブル30に保持されたプ� �ント基板Pに当接する作業位置(図3において� �点鎖線で示す位置)と、この位置から上方に� ��避する退避位置(図3において実線で示す位� �)とに亘って進退移動するようになっている� ��なお、上記駆動機構としては、例えばモー� ��駆動のボールネジによりチェックペン56を� �軸方向に進退移動させる直動機構等が適用� �れている。

 上記マーキングユニット55は、図3および� ��4に示すように、連結アーム58を介して撮像� ��ニット51に固定されることにより、この撮� �ユニット51と一体的にX軸方向に移動するよ� �に構成されている。なお、マーキングユニ� �ト55は、その左右方向の可動領域のうちの一 端側(図4において二点鎖線で示す位置)におい て、図1および図2に示した扉9の裏側(後方側)� ��位置するようになっている。つまり、この� ��置にマーキングユニット55を配置した状態� �扉9を開くことによって作業者が容易にチェ� ��クペン56の交換等を行えるようになってい� �。

 上記ベースフレーム10の上方には、前後� �向に延びるビーム19がさらに設けられている 。このビーム19は、図5に示すように、ベース フレーム10の両側壁部14に亘って固定された� �後一対の門型のサブフレーム16,18に固定され ている。このビーム19の先端には上記液晶パ� ��ル4が支持されている。液晶パネル4の当該� �持位置は、図3に示すように、前後方向にお� ��て、撮像ユニット51による基板Pの撮像位置� ��上記出し入れ口6との略中間部分であって、 かつ撮像ユニット51よりも前側に設定されて� ��る。

 上記液晶パネル4はビーム19の先端にチル� ��可能に支持されている。具体的には、上記� ��ーム19の前端部に、X軸方向に延びる支軸45� �支点に回動可能な状態でジョイント46が連結 され、このジョイント46に上記液晶モニタ4が 組み付けられることにより、この液晶モニタ 4の鉛直軸に対する傾斜角が可変(上下方向に� ��勢変更可能)となるように構成されている。 なお、液晶パネル4は、さらに左右方向に姿� �変更可能な構成、あるいは任意の方向に姿� �変更可能な構成であってもよい。

 また、図3に示すように、上記基板供給ユ ニット24の設置部の上方であってかつ上記検� ��ユニット50の後方側のスペースには、検査� �ニット50における上記単軸ロボット40の駆動� ��御を行うドライバ66が配置されている。具� �的には、ベースフレーム10の両側壁部14およ� ��サブフレーム18に左右一対の側板67が固定さ れるとともにこれら側板67間に支持プレート6 8が横架され、この支持プレート68上に上記ド ライバ66が固定されている。

 一方、上記ベースフレーム10における基� �部12の内部には、検査装置1を統括的に制御� �るコントロールユニット60や、上記基板供給 ユニット24の単軸ロボット20用のドライバ62等 が配設されている。すなわち、図6に示すよ� �に、上記基台部12の内部には下方および後方 に開口する凹部からなる断面略三角形状の空 間15が形成されており、この空間15に上記コ� �トロールユニット60やドライバ62が配設され� ��いる。なお、図3および図6において符号64は 、上記コントロールユニット60等を冷却する� ��めの冷却ファンである。

 上記コントロールユニット60、ドライバ62 、および冷却ファン64は、検査装置1の下面部 および後面部を主に覆うアンダカバー65に一� ��的に固定されており、このアンダカバー65� �ベースフレーム10の基台部12に対して下側か� ��組み付けられた状態で、上記各デバイス60,6 2,64がこの基台部12における上記空間15内に収� ��されるようになっている。

 上記コントロールユニット60は、論理演� �を実行するCPU、そのCPUを制御する種々のプ� �グラムなどを記憶するROM、装置動作中に種� �のデータを一時的に記憶するRAM、各種デー� �やソフトを記憶するHDD等から構成されてい� �。そして、図7のブロック図に示すように、� ��のコントロールユニット60には、基板供給� �ニット24および検査ユニット50用の各単軸ロ� ��ット20,40、撮像ユニット51(カメラ52および照 明装置54)、マーキングユニット55、液晶モニ� ��4、および基板検知手段33が電気的に接続さ� ��ている。なお、このうち単軸ロボット20,40� �、上記ドライバ62,66を介してそれぞれコント ロールユニット60に接続されている。そして� ��コントロールユニット60は、あらかじめ記� �された動作プログラムに従ってプリント基� �Pに対する一連の検査作業を進めるべく、上� ��基板供給ユニット24や検査ユニット50等の動 作を統括的に制御するとともに、上記検査ユ ニット50のカメラ52により撮像された画像に� �づいてプリント基板Pの良否を判定したり、� ��の判定結果に応じて上記液晶モニタ4の表示 内容を制御したりする等の動作を行うように 構成されている。

 以上のように構成された検査装置1では、 例えば以下のようにしてプリント基板Pの検� �が実行される。

 検査装置1が起動されると、試験が開始さ れるまで装置1はスタンバイ状態に保たれる� �このスタンバイ状態では、上記基板供給ユ� �ット24のテーブル30がホームポジションにセ� ��トされるとともに、液晶パネル4に所定のメ ニュー画面が表示される。

 この状態で、作業者が手動操作によって� ��記ホームポジションにあるテーブル30にプ� �ント基板Pをセットし、さらに液晶パネル4を タッチ操作して上記メニュー画面から「検査 開始」を選択すると、当該基板Pの検査が開� �される。なお、上記テーブル30へのプリント 基板Pのセットは、プリント基板Pをその被検� ��面(部品が実装された側の面)を上向きにし� �状態で基板保持フレーム36,38の間に嵌め込む ことにより行う。この際、位置決めプレート 36aにプリント基板Pが当接することによりそ� �位置決めがなされる。

 そして、検査が開始されると、プリント� ��板Pがテーブル30にセットされていることが� ��記基板検知手段33の検出信号に基づき確認� �れた上で、上記基板供給ユニット24の単軸ロ ボット20の作動によりテーブル30がY軸方向に� ��動して、プリント基板Pが検査ポジションに 位置決めされる。さらに、検査ユニット50の� ��軸ロボット40の作動により撮像ユニット51が X軸方向に移動し、これに応じて撮像ユニッ� �51のカメラ52がプリント基板Pに対向する位置 に位置決めされ、上記照明装置54による照明� ��の下、このカメラ52によるプリント基板Pの� ��像が行われる。

 このカメラ52によるプリント基板Pの撮像� ��、プリント基板Pのサイズや部品の実装密度 等の諸条件により、あらかじめ設定された撮 像エリアごとに分けて行われる。つまり、プ リント基板Pのサイズ等に応じて、プリント� �板Pの被検査面が複数の撮像エリアに分割さ� ��るとともに、その分割された各撮像エリア� ��、テーブル30および撮像ユニット51の移動に 伴いプリント基板Pに対してXY方向に相対移動 するカメラ52により順次撮像されるようにな� ��ている。これにより、プリント基板Pのサイ ズが大きい場合等においても優れた解像度で この基板Pの撮像を行うことができる。なお� �プリント基板Pのサイズ等によっては、1回の 撮像処理でプリント基板Pの全体像を撮像す� �ことも可能である。

 そして、上記カメラ52によるプリント基� �Pの撮像が完了すると、その撮像画像に基づ� ��て上記コントロールユニット60がプリント� �板Pの外観(より具体的にはプリント基板P上� �部品の実装状態)の良否を判定する。そして� ��ここでの判定結果が不良品であると、コン� ��ロールユニット60は、その基板Pの画像を液� ��パネル4に表示させ、この液晶パネル4に表� �されたプリント基板Pの画像に基づいて作業� ��に目視判定を行わせる。そしてさらに、こ� ��での目視判定で再度不良品と判定された場� ��、すなわち、上記コントロールユニット60� �よる自動判定と作業者による目視判定との� �方でプリント基板Pが不良品と判定された場� ��に、プリント基板Pがはじめて不良品として 処理されることになる。なお、上記コントロ ールユニット60によるプリント基板Pの良否判 定動作の具体的内容については後で詳述する 。

 このようにしてプリント基板Pの良否判定 動作が完了すると、テーブル30および撮像ユ� ��ット51の移動に伴いプリント基板P上方の所� ��位置に位置決めされたマーキングユニット5 5が作動して図8に示すように、プリント基板P の上面(被検査面)の所定箇所にこの基板Pが検 査済みであることを表す検査終了マークMが� �与される。なお、この図8の例では、テーブ� ��30にセットされた状態で装置後側(検査ポジ� ��ョン側)にあたるプリント基板Pの端部(隅角� ��)に検査終了マークMが付与されている。そ� �て、テーブル30の移動に応じてプリント基板 Pがホームポジションに復帰するとともに、� �業者の手によりこのプリント基板Pがテーブ� ��30から取り出され、当該基板Pに対する検査� ��終了する。その後は、以上のような検査手� ��が繰り返し行われることにより、複数のプ� ��ント基板Pに対して次々と外観検査が実行さ れる。なお、検査終了後、作業者が液晶パネ ル4に対して所定のタッチ操作を行うと、当� �液晶パネル4の表示がメニュー画面に戻り、� ��査装置1が上記のスタンバイ状態にリセット されるようになっている。

 ところで、上記検査ユニット50による検� �の対象となっている(つまりカメラ52による� �像処理等の対象となっている)プリント基板P が、既に検査が済んだ基板である可能性があ る。すなわち、検査ユニット50により一度検� ��されたプリント基板Pが、作業者のミスによ って再び基板供給ユニット24にセットされる� ��とがあり、このような検査済みの基板に対� ��て再度検査ユニット50による検査が行われ� �と、その分だけ検査作業の時間にロスが生� �てしまう。そこで、このような検査ユニッ� �50によるプリント基板Pの重複検査を防止す� �ための措置として、コントロールユニット60 は、検査済みのプリント基板Pに付与される� �記検査終了マークMが存在するか否かをまず� ��メラ52を通じて確認し、ここで検査終了マ� �クMが存在しないこと(つまりプリント基板P� �未だ検査を受けていないこと)が判明したと� ��にはじめて、カメラ52によるプリント基板P� ��撮像(基板P上の部品の実装状態の撮像)等の� ��連の検査動作を検査ユニット50に実行させ� �ように構成されている。一方、これとは逆� �、上記検査終了マークMがプリント基板Pに付 与されていること(つまりプリント基板Pが既� ��検査を受けていること)が確認された場合、 コントロールユニット60は、上記検査ユニッ� ��50にプリント基板Pの検査動作を実行させる� ��となく、液晶モニタ4にプリント基板Pが検� �済みである旨を表示させる。すなわち、検� �終了マークMの有無に応じてプリント基板Pの 検査履歴を確認する履歴確認手段と、このプ リント基板Pが検査済みであることが確認さ� �た場合に、液晶モニタ4にその旨の表示を行� ��せるとともに、上記検査ユニット50による� �リント基板Pの検査動作の実行を禁止するよ� ��に制御する制御手段とが、上記コントロー� ��ユニット60によって構成されている。

 次に、上記コントロールユニット60によ� �良否判定動作等の具体的内容について説明� �る。上記カメラ52によりプリント基板Pの被� �査面が撮像されると、コントロールユニッ� �60は、まず、上記基板Pの撮像画像を、良品� �板の基準となる基準画像データと比較する� �理を行う。具体的に、コントロールユニッ� �60は、その内部に設けられた記憶部61(図7)に� ��1つまたは複数の良品基板のサンプル画像か らなる基準画像データを記憶しており、この 基準画像データと、上記カメラ52によるプリ� ��ト基板Pの撮像画像とを比較して差分をとり 、その差分画像に基づいてプリント基板Pの� �否を判定する。なお、この差分画像の抽出� �、例えばプリント基板Pの上面(被実装面)の� �数個所に離間して設けられた位置合わせ用� �フィデューシャルマークF(図8参照)を、プリ� ��ト基板Pの撮像画像と基準画像データとの間 で一致させ、それによって両画像を位置合わ せした状態で実行される。

 図9は、上記のような画像処理の内容を模 式的に説明するための図であり、同図(a)はカ メラ52により撮像されたプリント基板Pの撮像 画像、同図(b)は基準画像データ、同図(c)はコ ントロールユニット60による画像処理を経て� ��られた差分画像を示している。これらの図� ��示すように、プリント基板P上には各種電子 部品が実装されており、この電子部品の実装 位置や種類等が、図9(a)の撮像画像と同図(b)� �基準画像データとの間で相違した場合に、� �れに応じた差分要素が図9(c)の差分画像に表� ��されるようになっている。例えば、図9(a)に おける電子部品aと、同図(b)における電子部� �a’とは、その実装位置にずれが存在するた� ��、同図(c)の差分画像には、各電子部品a,a’� ��位置ずれに応じた差分要素αが表示される� �とになる。また、図9(a)における電子部品bと 、同図(b)における電子部品b’とは、その部� �の種類が異なっているため、同図(c)の差分� �像には、各電子部品b,b’の表面色の相違等� �応じた差分要素βが表示されることになる。 なお、図9(c)の差分画像には、上記のような� �分要素α,β以外にも、符号εで示すような微� ��な差分要素も表示されている。

 所定の画像処理を経て上記図9(c)に示すよ うな差分画像を抽出したコントロールユニッ ト60は、次いで、上記各差分要素(α,βなど)の 面積があらかじめ定められた上限値以下であ るか否かを判定し、上限値以下であった場合 にはプリント基板Pを良品と判定するととも� �、上限値よりも大きかった場合には不良品� �判定する。

 図10は、作業者の目視判定のための画像と� �て上記液晶モニタ4に表示されるプリント基� ��Pの画像を示している。本図に示すように、 液晶モニタ4には、図9(a)に示し
たプリント基板Pの撮像画像に、図9(c)の差分� ��像を足し合わせた画像が表示される。この� ��、面積が上記上限値以下であった差分要素( 図9(c)のε)は省略されるとともに、上限値よ� �も大きい差分要素α,βについては、その差分 の特性に応じて異なる色に着色された状態で 表示される。これは、作業者の目視判定をよ り容易化するための措置であり、例えば、電 子部品の位置ずれにより生じた差分要素αに� ��いては青色、電子部品の種類が異なるため� ��生じた差分要素βについては赤色、などの� �うにして着色される。そして、作業者は、� �のような液晶モニタ4の表示画面を見ながら� ��プリント基板Pの目視判定を行うとともに、 その結果を液晶モニタ4のタッチ操作を通じ� �入力する。

 次に、以上のように構成された検査装置1 におけるコントロールユニット60の制御動作� ��、図11~図12に示すフローチャートに基づい� �説明する。この制御動作がスタートすると� �コントロールユニット60は、液晶パネル4が� �業者によりタッチ操作されて検査開始の指� �が入力されるのを待ってから(ステップS1)、� ��板供給ユニット24のテーブル30にプリント基 板Pがセットされた否か、すなわち、ホーム� �ジションにあるテーブル30(図3の実線参照)に 作業者の手によってプリント基板Pがセット� �れた否かを判定する(ステップS3)。具体的に� ��、上記ステップS1で検査開始の指示が入力� �れる前に基板検知手段33の検出信号がOFF→ON� ��切り替わったかどうかを確認することによ� ��、テーブル30にプリント基板Pがセットされ� ��か否かを判定する。そして、このステップS 3でNOと判定されてプリント基板Pがテーブル30 にセットされていない状態(検出信号がOFFの� �態)にあること、または前回検査された基板P が交換されずにテーブル30に残されている状� ��(検出信号がONのまま変わらない状態)にある ことが確認された場合には、液晶モニタ4に� �告メッセージを表示して作業者にプリント� �板Pを新たにセットする(または別のプリント 基板Pにセットし直す)ように促す制御を実行� ��る(ステップS5)。

 一方、上記ステップS3でYESと判定されて� �リント基板Pが適正にテーブル30にセットさ� �ていることが確認された場合には、単軸ロ� �ット20を作動させて上記テーブル30をY軸方向 に移動させ、これに応じてプリント基板Pを� �3の二点鎖線で示す検査ポジションに移動さ� ��る制御を実行する(ステップS7)。そして、次 のステップS9に移行してプリント基板Pが既に 検査済みであるか否かを判定する。具体的に は、単軸ロボット40の作動に応じて撮像ユニ� ��ト51のカメラ52をX軸方向に移動させるとと� �に、必要に応じて上記テーブル30をY軸方向� �移動させることにより、プリント基板Pにお� ��る検査終了マークM(図8)が付与される部位の 上方にカメラ52を位置決めし、このカメラ52� �通じて上記検査終了マークMの有無を確認す� ��ことにより、プリント基板Pが検査済みであ るか否かを判定する。

 そして、上記ステップS9でNOと判定されて プリント基板Pが検査済みでないことが確認� �れた場合には、プリント基板Pを撮像してそ� ��良否を判定する等の動作を行う基板検査制� ��に移行する(ステップS11)。なお、この基板� �査制御の具体的内容については後で詳述す� �。そして、この基板検査制御が終了してプ� �ント基板Pの検査動作が完了すると、コント� ��ールユニット60は、マーキングユニット55を 作動させてプリント基板Pに検査終了マークM� ��付与する制御を実行した後に(ステップS13)� �単軸ロボット20を作動させてテーブル30をY軸 方向に移動させることにより、このテーブル 30上のプリント基板Pを、作業者によるプリン ト基板Pの着脱操作が可能なホームポジショ� �に復帰させる制御を実行する(ステップS15)。

 一方、上記ステップS9でYESと判定されて� �リント基板Pが検査済みであること、すなわ� ��、一度検査されたプリント基板Pが再度基板 供給ユニット24にセットされていることが確� ��された場合には、プリント基板Pが既に検査 済みである旨の警告メッセージを液晶モニタ 4に表示させる制御を実行する(ステップS17)。 このとき、液晶モニタ4には、検査を継続す� �かどうかの指示を行うための選択画面が同� �に表示されるようになっている。これは、� �査済みのプリント基板Pに対して作業者が何� ��かの理由でもう一度検査をしたいときがあ� ��ため、そのような作業者の意図を確認する� ��めのものである。そして、この液晶モニタ4 の選択操作により検査を継続する旨の指示が 入力されたか否かを判定し(ステップS19)、こ� ��でYESと判定されて検査継続の指示があった� ��とが確認された場合には、上記ステップS11� ��移行して基板検査制御を実行する。一方、� ��記ステップS19でNOと判定されて検査を中止� �る旨の指示が入力されたことが確認された� �合には、上記基板検査制御を実行すること� �くステップS15に移行し、プリント基板Pをホ� ��ムポジションに復帰させる制御を実行する� ��

 図12は、上記図11のステップS11における基 板検査制御の具体的内容を示すサブルーチン である。このサブルーチンがスタートすると 、コントロールユニット60は、まず、撮像ユ� ��ット51のカメラ52によりプリント基板Pを撮� �する制御を実行する(ステップS21)。具体的に は、単軸ロボット40を作動させて上記検査ポ� ��ションにあるプリント基板Pの上方に撮像ユ ニット51を位置決めするとともに、照明装置5 4に照明光を照射させてプリント基板Pを照ら� ��、その状態でカメラ52に制御信号を出力し� �プリント基板Pの撮像を行わせる。そして、� ��のプリント基板Pの撮像画像の大きさ等に応 じて、後のステップでプリント基板Pの良否� �判定する際の基準となる上限差分面積Aを決� ��する制御を実行する(ステップS23)。

 次いで、コントロールユニット60は、そ� �記憶部61から良品基板の基準となる基準画像 データを読み出すとともに(ステップS25)、そ� ��基準画像データと、上記ステップS21で得ら� ��たプリント基板Pの撮像画像とを比較して差 分をとることにより、図9(c)に示したような� �分画像を抽出し、その画像内の各差分要素(� ��図におけるαやβ)の面積sを算出する制御を� ��行する(ステップS27)。

 そして、コントロールユニット60は、上� �各差分要素の面積s(以下差分面積sと略称す� �)が、上記ステップS23で求められた上限差分� ��積A以下であるか否かを判定し(ステップS29)� ��ここでYESと判定されて上記差分面積sが上限 差分面積A以下であることが確認された場合� �すなわち、プリント基板P上の電子部品に大� ��な位置ずれ等の不具合が存在しないことが� ��認された場合には、次のステップS31に移行� ��、液晶パネル4に検査結果が良品である旨を 表示する制御を実行する。なお、プリント基 板Pが上述したように複数のエリアごとに分� �て撮像されている場合、上記ステップS29に� �ける差分面積sの判定処理は、その撮像エリ� ��ごとに行われる。この場合、全ての撮像エ� ��アにおいて上記差分面積sが上限差分面積A� �下であることが確認されたときに、上記ス� �ップS29でYESと判定されることになる。また� �このステップS29において、上記基準画像デ� �タが複数個存在する場合には、その複数の� �準画像データのうちのいずれかのデータと� �比較において上記差分面積sが上限差分面積A 以下であることが確認されれば、このプリン ト基板Pは良品と判定される(ステップS29でYES) 。逆に、上記ステップS29では、複数の基準画 像データのうちの全てのデータとの比較にお いて上記差分面積sが上限差分面積Aよりも大� ��いことが確認された場合に、はじめてNOと� �定されることになる。

 上記ステップS29でNOと判定されて上記差分� �積sが上限差分面積Aよりも大きいことが確認 された場合、すなわち、電子部品の実装位置 が大きくずれている等の不具合が存在する可 能性が確認された場合には、次のステップS33 に移行し、液晶モニタ4に作業員による目視� �定用の画像を表示させる制御を実行する。� �体的には、カメラ52によるプリント基板Pの� �像画像に、上記ステップS27で抽出した差分� �像を足し合わせ、さらに上述したような着� �処理(差分の特性に応じた色に差分要素を着� ��する処理)等を施したもの(図10参照)を、液� �モニタ4に表示させる。そして、コントロー� ��ユニッ
ト60は、この液晶モニタ4に表示された画像に 基づいて行われた目視判定の結果が良品であ ったか否かを判定する(ステップS35)。具体的� ��は、作業者による液晶パネル4のタッチ操作 を通じて判定結果が良品であることを示す操 作信号が液晶パネル4から入力されたか否か� �判定する。

 そして、上記ステップS35でYESと判定され� ��作業者による目視判定の結果が良品である� ��とが確認された場合には、上記ステップS31� ��移行し、液晶パネル4に検査結果が良品であ る旨を表示する制御を実行する。一方、上記 ステップS35でNOと判定されて作業者による目� ��判定の結果が不良品であることが確認され� ��場合には、警報用のアラームを発するとと� ��に(ステップS37)、上記マーキングユニット55 を作動させてプリント基板Pに、このプリン� �基板Pが不良品であることを表すNGマーク(図� ��省略)を付与する制御を実行する(ステップS3 9)。なお、図11のステップS13でプリント基板P� ��付与される検査終了マークMの種類を、プリ ント基板Pが良品である場合と不良品である� �合とで異なるものにすれば、この検査終了� �ークMをNGマークとしても兼用できるため、� �記ステップS39の処理を省略することができ� �。

 以上説明したような制御動作に基づき行� ��れるプリント基板Pの外観検査には、ある程 度の時間を要するため、通常は、上記検査装 置1を複数台並べて設置し、各検査装置1に時� ��差を持たせてプリント基板Pの検査を行うよ うにする。これにより、一人の作業者でプリ ント基板Pの検査を効率的に進めることがで� �る。この場合、図13に示すように、複数台(� �例では5台)の検査装置1,1・・を扇形状に並べ て配置することにより、作業者はより効率よ く検査を行うことが可能になる。すなわち、 検査装置1は、上記の通り前側部分2Bの幅が先 窄まりに形成されているため、この部分を互 いに当接させた状態で各検査装置1,1・・を並 べることにより、作業者の立ち位置を中心と した扇形状に複数の検査装置1,1・・を配置す ることができる。

 以上のように、上記検査装置1は、プリン ト基板Pを検査する検査ユニット50と、この検 査ユニット50に手動でプリント基板Pを供給可 能な基板供給ユニット24と、上記プリント基� ��Pの検査結果を含んだ所定の情報を表示する 液晶モニタ4とを備えた検査装置1であって、� ��リント基板Pに付与される検査終了マークM� �基づきその基板Pが検査済みであることが確� ��された場合に、上記液晶モニタ4にその旨を 表示させるとともに、上記検査ユニット50に� ��るプリント基板Pの検査動作(カメラ52による プリント基板Pの撮像等の一連の動作)の実行� ��禁止するように制御するコントロールユニ� ��ト60を備えているため、同一のプリント基� �Pに対して重複して検査が行われるのを確実� ��防止することができ、この重複検査による� ��ス時間の発生を回避しながら効率よく基板� ��査を行うことができるという利点がある。

 すなわち、上記検査装置1では、プリント 基板Pが部品供給ユニット24により搬送されて 検査ポジションに到達すると、直ちにこのプ リント基板P上の検査終了マークMの有無がカ� ��ラ52により調べられ、それによってこの検� �終了マークMが存在しないこと、つまりプリ� ��ト基板Pが未だ検査を受けていないことが確 認された場合にのみ、カメラ52によるプリン� ��基板Pの撮像(プリント基板P上の部品の実装� ��態の撮像)やその画像処理等の動作が実行さ れるように制御されるため、検査済みのプリ ント基板Pに対して検査ユニット50が再度検査 を行ってしまうことがなく、同一の基板Pが� �複して検査されることに起因したロス時間� �発生を有効に回避することができる。

 特に、図13に示すように検査装置1を複数� ��用いてプリント基板Pの検査を行う場合には 、既に検査されたプリント基板Pを誤って再� �検査装置1(の基板供給ユニット24)にセットし てしまうミスが相対的に生じ易くなると考え られるが、このような使用状態において上記 構成を採用することにより、ロス時間の発生 を有効に回避しながらより効率的にプリント 基板Pの検査を進めることが可能になる。

 また、上記検査装置1は、プリント基板P� �対する検査が終了した時点で、このプリン� �基板Pが終了済みであることを表す検査終了� ��ークMを、マーキングユニット55の作動に応� ��てプリント基板Pに付与するように構成され ていので、プリント基板Pが検査済みである� �否かを、この検査終了マークMの有無を調べ� ��だけの簡単な構成で判定できるという利点� ��ある。

 また、上記検査装置1は、基板供給ユニッ ト24の作動に応じて、プリント基板Pの着脱が 可能なホームポジションと、検査ユニット50� ��よる基板の検査が行われる検査ポジション� ��の間でプリント基板Pを往復移動させ、上記 基板供給ユニット24のホームポジションにプ� ��ント基板Pをセットするだけで、その後の一 連の動作、すなわち、プリント基板Pの検査� �ジションへの移動や、そこで検査されたプ� �ント基板Pのホームポジションへの復帰等の� ��作が自動的に実行されるように構成されて� ��るので、検査装置の使い勝手を効果的に向� ��させることができる。

 また、上記検査装置1は、プリント基板P� �基板供給ユニット24により検査ポジションに 搬送された時点でこの基板Pが検査済みであ� �か否かを調べ、そこでプリント基板Pが検査� ��みということが確認されたときに、液晶モ� ��タ4に警告メッセージを表示させる等の所定 の動作を経て直ちに基板供給ユニット24を作� ��させ、プリント基板Pをホームポジションへ 移動(復帰)させるように構成されているので� ��検査済みのプリント基板Pを誤って基板供給 ユニット24にセットしたことで生じるロス時� ��の長さをできるだけ短くすることができ、� ��板検査の作業効率の低下を効果的に抑制で� ��るという利点がある。

 また、上記検査装置1は、検査ポジション にあるプリント基板Pを基板供給ユニット24が ホームポジションへ移動させる動作を、作業 者からの検査継続の指示がないこと(液晶モ� �タ4を通じて作業者が検査を中止する旨の指� ��を入力したこと)を確認してから実行させる ように構成されているので、作業者の意図に 応じて適正にプリント基板Pの検査を中止ま� �は継続することができるという利点がある� �

 また、上記検査装置1は、基板供給ユニッ ト24のホームポジションにセットされたプリ� ��ト基板Pを検査ポジションまで搬送する動作 を、上記基板供給ユニット24に設けられた基� ��検知手段33によりプリント基板Pの存在を確� ��してから実行するように構成されているの� ��、上記プリント基板Pがホームポジションに セットされていない状態(基板Pのセットを忘� ��た状態)で基板供給ユニット24による検査ポ� ��ションへの搬送動作が実行されるのを防止� ��きるため、それによるロス時間の発生を確� ��に回避することができる。

 また、上記検査装置1は、検査ユニット50� ��基板供給ユニット24、液晶パネル4等の各部� ��共通のフレーム部材(すなわち、上記ベース フレーム10、サブフレーム16,18及びビーム19等 )に一体的に組み付けられて卓上に載置可能� �構成されているので、検査装置1の省スペー� ��化等を図ることができるとともに、特に場� ��を問わずに様々な場所でこの検査装置1を使 用できるという利点がある。例えば従来のこ の種の検査装置(背景技術の特許文献1)では、 試験ユニットとメインユニットとの別個独立 した二つのユニットから構成され、さらにメ インユニットがデスクトップ型のパーソナル コンピュータから構成されているため、複数 の検査装置を少ないスペースにコンパクトに 配置することは到底望めなかったが、上記実 施形態の検査装置1によれば、このような不� �合を解消して、少ないスペースに複数の検� �装置1をコンパクトに配置することが可能と� ��る。特に、この検査装置1では、液晶パネル 4が、前後方向において撮像ユニット51による 撮像位置(検査ポジション)と上記出し入れ口6 との略中間部分であって、かつ撮像ユニット 51よりも前側に配置されることにより、液晶� ��ネル4が装置側方(幅方向)に張り出し難くい� ��成とされている。従って、このような張り� ��しが無い分、検査装置1そのものを幅方向に 省スペース化できるとともに、上記の通り複 数の検査装置1を互いに当接させた状態で横� �びに並べることが可能となる。この際、上� �の通り作業者の立ち位置を中心として複数� �検査装置1を扇形状に並べて配置することが� ��きるので、複数の検査装置1をコンパクトに 配置するとともに各検査装置1に対する作業� �のアクセス距離を略均一化することができ� �。従って、横並びに真っ直ぐに検査装置を� �べる場合に比べると、少ないスペースで能� �的に検査作業を進めることができるという� �点がある。

 また、この検査装置1では、基板供給ユニ ット24によって上記出し入れ口6に対向する位 置と検査ポジションとの間でプリント基板P� �搬送するが、上記のように出し入れ口6に対� ��て検査ポジションが上方に設けられ、プリ� ��ト基板Pを斜め方向に搬送する構成となって いるため、プリント基板Pを水平方向に同じ� �離だけ搬送する場合に比べると基板供給ユ� �ット24の前後方向の占有スペースが小さくな る。そのため、検査装置1を前後方向に省ス� �ース化することができる。また、このよう� �プリント基板Pを斜め方向に搬送するという� ��成を利用し、基板供給ユニット24(単軸ロボ� ��ト20)の下方に断面三角形状の空間15を設け� �ここにコントロールユニット60を配設してい るので、別途配置スペースを設けることなく コントロールユニット60を合理的に検査装置1 に組み込むことができる。そのため、この点 でも検査装置1が省スペース化されるという� �点がある。しかも、この場合には、基台部12 内の頑丈なスペースにコントロールユニット 60が配設されることとなるため当該ユニット6 0を保護する上でも有利になるという利点も� �る。

 さらに、基板供給ユニット24は、被検査� �がベースフレーム10の傾斜面12aと平行(プリ� �ト基板Pの搬送方向と平行)となる傾斜姿勢で プリント基板Pをテーブル30により支持し、そ の状態で当該基板Pを搬送するので、つまり� �側が起きあがった状態でプリント基板Pを搬� ��するので、取り出し口6においてプリント基 板Pをテーブル30にセットする際にも基板後側 の視認性が良い。そのため、目視確認を行い ながら確実、かつ正確にプリント基板Pをテ� �ブル30にセットすることができ、不完全なセ ット状態のままで検査が進行するのを有効に 防止することができるという利点もある。

 ところで、以上説明にした検査装置1は、 本発明の好ましい実施形態の一例であって、 その具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱し ない範囲で適宜変更可能である。

 例えば、上記実施形態では、プリント基� ��P上の検査終了マークMの有無を確認する動� �(当該マークMの有無をカメラ52で確認する動� ��)を、プリント基板Pが図3の二点鎖線で示す� ��査ポジションに移動してから実行するよう� ��したが、このプリント基板Pの検査ポジショ ンへの移動が完了する前に(基板Pがホームポ� ��ションと検査ポジションとの間に位置する� ��態で)上記検査終了マークMの確認動作を実� �するようにしてもよい。そして、この時点� �検査終了マークMの存在が確認されれば直ち� ��プリント基板Pをホームポジションに復帰さ せることにより、検査済みのプリント基板P� �誤ってセットしたことで生じるロス時間の� �さをより短縮することができる。特に、図8� ��示すように、テーブル30にセットされたプ� �ント基板Pにおける検査ポジション側の端部� ��検査終了マークMが付与されている場合には 、上記プリント基板Pの検査ポジション側の� �部が撮像ユニット51の下方に到達した時点で 上記検査終了マークMの有無をカメラ52で確認 することができるため、この検査終了マーク Mの確認が可能な位置までプリント基板Pを移� ��させる距離がより短くなり、上記ロス時間� ��より効果的に短縮することができる。

 また、上記実施形態では、プリント基板P が検査済みであるか否かを判定する(すなわ� �プリント基板Pの検査履歴を確認する)ための 識別情報として、検査済みのプリント基板P� �付与される検査終了マークMを用いたが、例� ��ば図8の二点鎖線で示すように、プリント基 板Pを個々に特定可能なIDコードBが各基板Pに� ��与されている場合には、このIDコードBを上� ��識別情報として利用することも可能である� ��すなわち、例えばコントロールユニット60� �記憶部61(記憶手段)に、上記IDコードBとプリ� ��ト基板Pの検査履歴とを対応付けて記憶させ ておき、カメラ52を通じて取得されたIDコー� �Bを上記記憶部61内の履歴情報と照合するこ� �により、現在検査対象となっているプリン� �基板Pが検査済みであるか否かを確実に判定� ��ることができる。

 また、上記実施形態では、基板供給ユニ� ��ト24のテーブル30にプリント基板Pがセット� �れたか否かを検知する基板検知手段33として 光学式センサを用いたが、この基板検知手段 33としてはプリント基板Pの有無を検知できる ものであればよく、例えばカメラ52を基板検� ��手段33として兼用することも可能である。� �体的には、テーブル30のプレート32に、周囲� ��は色の異なる白色プレートを貼り付ければ� ��この白色プレートがカメラ52により認識さ� �たか否かでプリント基板Pの有無を確認する� ��とができる。すなわち、プリント基板Pがセ ットされていない状態では上記テーブル30上� ��白色プレートが撮像されて撮像画像の輝度� ��高くなるが、プリント基板Pがセットされる と、この白色プレートが遮られて画像の輝度 が低下する。そして、このような画像の輝度 の差によってプリント基板Pを検知すること� �できる。

 また、上記実施形態では、作業者による� ��視判定によりプリント基板Pが不良品と判定 されたとき(プリント基板Pが不良品であるこ� ��が確定したとき)に警報用のアラームを発生 させるようにしたが、上記のようなタイミン グ以外にも適宜アラームを発生させることが 可能である。例えば、検査終了後にプリント 基板Pがホームポジションに戻された時点で� �作業者にプリント基板Pの取り出しを促す意� ��で短時間アラームを発生させるようにして� ��よいし、コントロールユニット60による自� �判定でプリント基板Pが不良品と判定された� ��きに、作業者にプリント基板Pの目視判定を 促す意味で短時間アラームを発生させるよう にしてもよい。そして、このように複数のタ イミングでアラームを発生させる場合、アラ ームの長さや音をタイミングに応じて変化さ せるようにすれば、作業者はアラームの意味 を容易に理解することができる。

 また、上記実施形態では、検査装置1は、 前側部分2Bのうち一方側の側面部分だけが前� ��方向に対して傾斜した左右非対称な構成と� ��っているが、前側部分2Bの両方の側面部分� �傾斜した左右対称な構成であってもよい。� �の構成によれば、図13に示すように複数の検 査装置1を扇形状に並べる場合の当該配列の� �率を大きくすることができる。

 また、上記実施形態では、検査装置1の側 面部分のうち前側部分2Bだけが傾斜した構成� ��なっているが、勿論、後側部分2Aから前側� �分2Bに亘って連続する傾斜面となる構成であ ってもよい。この場合、上記と同様に検査装 置1の両方の側面部分が傾斜した左右対称な� �成であってもよい。このような構成によれ� �、図13に示すように複数の検査装置1を扇形� �に並べる場合に隣接するもの同士を隙間無� �密着させることが可能となる。但し、この� �成の場合には、検査装置1の側面部分のうち� ��斜する部分が増える分、実施形態のものに� ��べて検査装置1の内部スペースが狭くなるこ とが考えられるため、上記基板供給ユニット 24等の構成要素を、余裕をもって組み込む上� ��は、実施形態のように側面部分のうち傾斜� ��る部分を極力小さくする方が好ましい。

 また、上記実施形態では、テーブル30が� �平面に対して傾斜した方向に移動するよう� �基板供給ユニット24が構成されているが、勿 論、水平方向に移動する構成であってもよい 。また、上記実施形態では、プリント基板P� �被検査面が上向きになるようにテーブル30に プリント基板Pをセットしておき、撮像ユニ� �ト51によりプリント基板Pの上方から被検査� �を撮像するようにしているが、例えば、被� �査面が側方(図4では左方又は右方)を向くよ� �にプリント基板Pをテーブル30にセットし、� �像ユニット51により被検査面をその側方から 撮像するように基板供給ユニット24および撮� ��ユニット51等を構成してもよい。

 また、上記実施形態では、被検査面がベ� ��スフレーム10の傾斜面12aと平行(プリント基� ��Pの搬送方向とほぼ平行)となる傾斜姿勢で� �リント基板Pを保持し、この状態で、当該プ� ��ント基板Pを搬送するように基板供給ユニッ ト24が構成されているが、例えばプリント基� ��Pを水平姿勢に保持し、その姿勢を保ったま まで当該プリント基板Pを傾斜面12aに沿って� �め方向に搬送するように基板供給ユニット24 を構成してもよい。

 また、上記実施形態では、プリント基板P の任意の位置を撮像ユニット51により撮像す� ��ために、テーブル30をY軸方向に、撮像ユニ� ��ト51をX軸方向にそれぞれ移動させ、これら� ��相互の移動によりプリント基板P上の任意の 位置に撮像ユニット51を配置し得るようにし� ��いるが、勿論、プリント基板P又は撮像ユニ ット51の何れか一方側を静止させた状態で他� ��側だけをX軸方向およびY軸の両方向に移動� �せる構成としてもよい。

 また、上記実施形態では、図3に示すよう に、液晶パネル4を撮像ユニット51の前側に配 置しているが、撮像ユニット51の上側(上面カ バーCa1上)に液晶パネル4を配置するようにし� ��もよい。具体的には、液晶パネル4を上記ビ ーム19の上側に配置するようにしてもよい。� ��のような構成の場合にも、装置側方(幅方向 )への液晶パネル4の張り出しを抑えることが� ��きる。

 また、上記実施形態では、前後方向に延� ��るビーム19の先端に液晶パネル4を組み付け� ��いるが、例えば撮像ユニット51の前側に基� �供給ユニット24を跨ぐような門型のフレーム を設け、このフレームに液晶パネル4を組み� �けるようにしてもよい。但し、実施形態の� �うにビーム19の先端に液晶パネル4を組み付� �る構成によれば、上記のような門型フレー� �を設ける場合に比べて、検査装置1の内部ス� ��ースを有効的に活用することが可能となる� ��いうメリットがある。

 また、上記実施形態では、プリント基板P を斜め方向に搬送し、撮像ユニット51により� ��方からプリント基板Pを撮像するという構成 上、撮像ユニット51の後方に比較的広いスペ� ��スが形成される。そのため、ここに検査ユ� ��ット50(単軸ロボット40)の駆動制御を行うド� ��イバ66を配設しているが、このドライバ66を コントロールユニット60に含め、ベースフレ� ��ム10内の前記空間15に一体に配設するように してもよい。但し、実施形態のように撮像ユ ニット51の後方にドライバ66を配置する構成� �よると、撮像ユニット51後方の広いスペース を有効に利用することができ、また、単軸ロ ボット40とドライバ66とを接続するワイヤー� �ーネス類の配索距離も短くてなるというメ� �ットがある。

 また、上記実施形態では、ベースフレー� ��10の前記基台部12に形成される凹部内にコン トロールユニット60を配設するようにしてい� ��が、例えば基台部12に中空部を形成してそ� �内部にコントロールユニット60を配設するよ うにしてもよい。

 なお、本発明の検査装置において検査対� ��となる基板は、プリント基板に限らず、例� ��ばリードフレームに回路が形成された基板� ��であってもよい。

 以上説明した本発明をまとめると以下の� ��りである。

 すなわち、本発明の基板の検査装置は、� ��板を検査する検査ユニットと、この検査ユ� ��ットに手動で基板を供給可能な基板供給ユ� ��ットと、上記基板の検査結果を含んだ所定� ��情報を表示する表示手段とを備えた基板の� ��査装置であって、上記基板に付与される識� ��情報を認識する認識手段と、この認識手段� ��通じて上記基板の識別情報を取得するとと� ��に、その識別情報に基づいて上記基板の検� ��履歴を確認する履歴確認手段と、この履歴� ��認手段により基板が検査済みであることが� ��認された場合に、上記表示手段にその旨の� ��示を行わせるとともに、上記検査ユニット� ��よる基板の検査動作の実行を禁止するよう� ��制御する制御手段と、を備えるものである� ��

 この検査装置によれば、基板供給ユニッ� ��を介して手動で供給された基板が検査ユニ� ��トにより検査され、その検査結果が表示手� ��に表示されるように構成された検査装置に� ��いて、基板に付与される識別情報に基づき� ��の基板が検査済みであることが確認された� ��合に、上記表示手段にその旨が表示される� ��ともに、上記検査ユニットによる基板の検� ��動作が禁止されるように制御されるため、� ��一の基板に対して重複して検査が行われる� ��を確実に防止することができ、この重複検� ��によるロス時間の発生を回避しながら効率� ��く基板検査を行うことができる。

 より具体的には、上記構成において、上� ��検査ユニットによる検査が済んだときに、� ��板が検査済みであることを表す検査終了マ� ��クを上記識別情報として基板に付与するマ� ��キング手段をさらに備え、上記履歴確認手� ��が、上記検査終了マークの有無を上記認識� ��段を通じて判定することにより上記基板の� ��査履歴を確認するようにされたものである� ��

 この構成にすれば、検査終了マークの有� ��を調べるだけの簡単な構成で基板の検査履� ��を確認できる。

 また、この構成とは別の態様としては、� ��記識別情報として基板に付与されたIDコー� �とその基板の検査履歴とを対応付けて記憶� �る記憶手段をさらに備え、上記履歴確認手� �が、上記認識手段を通じて取得された上記ID コードを上記記憶手段に記憶された履歴情報 と照合することにより上記基板の検査履歴を 確認するようにされたものである。

 この構成によれば、基板に付与されたID� �ードを記憶手段内の履歴情報と照合するこ� �によって確実に基板の検査履歴を確認でき� �という利点がある。

 また、上記基板供給ユニットは、手動操� ��による基板の着脱が可能なホームポジショ� ��と、上記検査ユニットによる基板の検査が� ��われる検査ポジションとの間で基板を往復� ��動させるように構成される。

 この構成によれば、基板供給ユニットの� ��ームポジションに基板をセットするだけで� ��その後の一連の動作、すなわち、基板の検� ��ポジションへの移動や、そこで検査された� ��板のホームポジションへの復帰等の動作が� ��動的に実行されるため、検査装置の使い勝� ��を効果的に向上させることができる。

 また、上記履歴確認手段は、上記検査ポ� ��ションに基板が搬送された時点で上記認識� ��段を通じて基板の識別情報を取得し、上記� ��板供給ユニットは、上記履歴確認手段によ� ��基板が検査済みであることが確認されると� ��上記検査ポジションにある基板を上記ホー� ��ポジションに移動させるように構成される� ��

 この構成によれば、検査済みの基板を誤� ��て基板供給ユニットにセットしたことで生� ��るロス時間の長さをできるだけ短くするこ� ��ができ、基板検査の作業効率の低下を効果� ��に抑制できる。

 この場合、上記制御手段は、上記検査ポ� ��ションにある基板を基板供給ユニットがホ� ��ムポジションへ移動させる動作を、作業者� ��らの検査継続の指示がないことを確認して� ��ら実行させるように構成される。

 この構成によれば、作業者の意図に応じ� ��適正に基板の検査を中止または継続するこ� ��ができる。

 また、上記構成においては、上記基板供� ��ユニットのホームポジションに基板がセッ� ��されたか否かを検知する基板検知手段をさ� ��に備え、上記制御手段は、上記基板検知手� ��により基板が検知されなかった場合に、上� ��基板供給ユニットによる検査ポジションへ� ��搬送動作を禁止するように構成される。

 この構成にすれば、基板がセットされて� ��ない状態(基板のセットを忘れた状態)で基� �供給ユニットが作動してしまうのを防止で� �、それによるロス時間の発生を確実に回避� �ることができる。

 なお、上記のような検査装置においては� ��上記検査ユニット、基板供給ユニット、表� ��手段等の各部が一体的に組み付けられて卓� ��に載置可能に構成されている。

 この構成によれば、検査装置の省スペー� ��化等を図ることができるとともに、特に場� ��を問わずに様々な場所でこの検査装置を使� ��できる。