本発明を実施するための最良の形態を説明� ��る。
 本発明にかかる基板検査用接触子は、被検� ��基板の配線パターン上に設定される所定の
検査点から測定される電気信号を基板検査装 置へ伝える。この接触子は、被検査基板の検
査点と基板検査装置の電極部へ夫々電気的に 接続されることにより電気信号を伝えること
になる。
 本基板検査用接触子は、二つの端子である� ��圧測定用端子と電流印用端子を有しており
、これら二つの端子を有する本基板検査用接 触子を一つの検査点に接触させ、基板検査用
接触子間の抵抗値を算出する。このように二 つの端子を有する二つの接触子間の電気的特
性(電流値や電圧値)を測定することにより、� ��触子による接触抵抗を除去して、より正
確な配線パターン間の抵抗値を算出する四端 子測定法を可能とする。

 本発明に係る基板検査用接触子の基本原理� ��、検査部に貫入する貫入部を有する第一導
電部と、この第一導電部と同軸となる第二導 電部を接触子として形成し、検査時において
、第一導電部が検査点に貫入した際に、第二 導電部も検査点に接触されている状態を提供
することである。
 このため、第一導電部及び第二導電部が夫� ��検査点に接触することになり、二つの端子
を確実に接触させようとするものである。
 尚、第一実施形態及び第二実施形態で示さ� ��る基板検査用接触子は、基板検査用接触子
自体に可撓性を持たせることによって、使用 時に於いて基板検査用接触子が撓むことによ
り接触する検査点及び電極部へ接触圧による 圧接状態を生じさせるものである。
 また、第三実施形態で示される基板検査用� ��触子は、基板検査用接触子自体は非可撓性
であり、後述する第一及び第二導電部に基板 検査用接触子の長軸方向に伸縮する伸縮機構
(弾性部材や弾性機構)を設けることによって� ��使用時に於いてこの伸縮機構が収縮する
ことにより接触する検査点及び電極部へ接触 圧による圧接状態を生じさせるものである。

 本発明に係る基板検査用接触子が有する第� ��導電部と第二導電部の基本構造は、第二導
電部を筒状形状の部材として形成し、この第 二導電部の内部に第一導電部を収容する構造
を有している。
 この第一導電部及び第二導電部は、第一導� ��部の外側表面に絶縁層を被覆したり、第二
導電部の内側表面に絶縁層を被覆したり、又 は、第一及び第二導電部両方に絶縁層を被覆
したりすることによって、各導電部を流れる 電気信号を確実に送受信している。

 尚、本明細書中では、これらの二つの端子� ��ある電圧測定用端子と電流印加用端子を、
第一導電部と第二導電部として説明しており 、電圧測定用端子を第一導電部に、電流印加
用端子を第二導電部と設定しても良いし、電 圧測定用端子を第二導電部に、電流印加用端
子を第一導電部と設定しても良い。
 また、本発明での検査点とは、導通及び/又 は短絡を検査するために必要な被検査基板
上に予め設定されるものである。特に、本基 板検査用接触子では、チップのランド上など
に盛られる金属の突起部で、インナーリード ボンディングを容易にするバンプに好適に用
いることができる。

 本発明に係る第一実施形態の基板検査用接� ��子1(以下、第一接触子1と称する)につ
いて説明する。
 図1は、本発明に係る第一接触子を示し、(a) は分解図、(b)は組立図である。図
2は、第一接触子の一端の断面図である。
 第一接触子1は、第一導電部11と第二導電部1 2を有してなる。この第二導電部12
は、図2で示す如く、後述する第一導電部11を 内部に収容する筒状に形成されている。
 この第二導電部12は、検査点と電極部に接� �する両端から押圧された場合に撓むこと
によって、検査点及び電極部へ圧接される(� �接状態となる)。この第二導電部12は、
可撓性の素材で形成されている。この第二導 電部12を形成するための素材としては、ニ
ッケル(Ni)やステンレス鋼を用いることがで� �るが、特に限定されるものではなく、上
記の如き可撓性及び導電性を有する素材であ れば特に限定されない。
 尚、図示しないがこの外側導電層12の外側� �面に絶縁層を設けることが好ましい。

 この第一導電部11は、棒状に又は針状に形� �される長尺状の一つの部材から形成され
ている。この第一導電部11は、第二導電部12� �同軸に設けられるので、円柱状に形成
されることが好ましい。
 第一導電部11は、導電性で且つ可撓性を有� �る部材である。第一導電部11が導電性
の部材から構成されることによって電気信号 を受信し送信することができる。また、この
第一導電部11が可撓性を有することによって� ��後述する第二導電部12が両端側からの
押圧に伴い撓むことになるが、この撓みに応 じて第一導電部11も撓むことになる。

 第一導電部11は、検査点に接触する一方の� �部において、検査点に貫入する貫入部1
11を有していることが好ましい。
 この貫入部111は、尖鋭形状に形成されてい� ��。このように尖鋭形状に形成されるこ
とによって、第一導電部11の貫入部111が検査� ��へ容易に貫入することができるとと
もに、検査点に対して接触抵抗を小さくする ことができるからである。
 この貫入部111の形状は、尖鋭形状に形成さ� ��ることが好ましく、更に好ましくは、
四角錐や三角錐等の角錐状に形成される。
 この貫入部111は、図1に示される如く、第一 導電部11が尖鋭形状を有する場合に
おいて、第二導電部12よりも所定量d1分だけ� �一導電部11が突出するように配置さ
れることにより形成される(図1(b)参照)。
 この貫入部111は、図2に示す如き第一導電部 11が所定量d1だけ第二導電部12
よりも突出して配置されることによって形成 される。この場合、基板検査用接触子1を両
端から押圧して検査点に圧接させる場合、ま ず、この所定量d1分だけ、第一導電部11
が検査点へ貫入し、その際第二導電部12が検� ��点に当接する。そして、更に両端から圧
接されることによって、基板検査用接触子1� �撓み圧接されることになる。
 尚、本基板検査用接触子は、上記説明や図1 (b)で示される如く、可撓性及び導電性
を有する長尺状の形状を有する第一導電部11� ��、第一導電部を内部に収容するとともに
可撓性及び導電性を有する筒状部材により形 成される第二導電部12を有してなり、第一
導電部11と第二導電部12の内周面との間には� �さ方向の全長に亘って隙間が形成され
ている。このため、第一導電部11と第二導電� ��12は物理的に接続されておらず、使用
時(電極部と被検査基板から押圧される場合)� ��おいて、独立して撓むことになる。

 第一導電部11の外側表面には、絶縁層13が被 覆されている。この絶縁層13は、第
一導電部11と第二導電部12が電気的な接触を� �止するために形成されている。
 この絶縁層13は、図2で示される如く、貫入� ��111を形成する傾斜面112に至る
まで被覆することが好ましい。このように被 覆することにより第一及び第二導電部の接触
を確実に防止するからである。
 この絶縁層13には、例えば、テフロン(登録� ��標)やポリウレタンを用いることがで
きる。

 第二導電部12は、上記の如く、第一導電部11 を内部に収容して、貫入部111を形
成する所定量d1分だけ、第一導電部11が突出� �るように配置される。第二導電部12
の端部は、内部に収縮する如き先細りのテー パ形状に形成されている(図2参照)。
 図2で示される如き第二導電部12の先端は、� ��定の傾斜を有して内側方向へ延設され
る延設部123が形成されている。このように内 側方向へ延設される延設部123を形成
することによって、第一導電部11が第二導電� ��12の開口から外側へ抜け出ることを防
止することができるとともに、第一及び第二 導電部の検査点に接触する位置を近づけるこ
とができ、より小さな検査点であっても、第 一及び第二導電部11、12を対象となる検
査点に接触させることができる。

 この延設部123が有する内側表面の傾斜面124� ��、第一導電部11の貫入部111
が有する尖鋭形状が有する傾斜面112及び/又� �貫入部111の傾斜面112の部位を
被覆する絶縁層13の傾斜面131と略平行となる� ��うに形成されることが好ましい。
 延設部123の傾斜面124と貫入部111の傾斜面112� ��び/又は絶縁部13の傾
斜面131が略平行となるように形成されること によって、第一導電部11と第二導電部
12が接触する場合に、傾斜面同士で接触する� ��とになり、第一導電部11の導電部と第
二導電部12の導電部が開口部近傍においても� ��触することを防止することができるから
である。

 本基板検査用接触子1の寸法は、例えば、第 一導電部11の外径w1が40~50μm、第
二導電部12の外径w2が80~100μm、第二導電部12の 内径w3が60~70μm、延設
部123の開口径w4が40~60μm、第一導電部11の絶縁 層13が被覆された外径w5
が50~70μm、第一導電部11と第二導電部12のクリ アランスw6が1~10μmに設定
することができる。
 尚、これらの数値は、約±5μmの範囲のズレ� ��許容範囲とすることができる。

 貫入部111の突出量d1は、2~15μm、好ましくは7 ~13μm、更に好ましくは約10
μmに設定されている。
 この程度に突出量d1を設定することによっ� �、第一導電部11と第二導電部12が一
緒に検査点に接触することになるため、第二 導電部12が検査点の中心表面に当接した場
合(後述する図3(b)参照)であっても、確実に第 一導電部11及び第二導電部12が
検査点Bに接触することになる。

 図3(a)には、上記の如き一実施形態の寸法に 於いて基板検査接触子1を用いた場合
の一実施形態を示す断面図である。
 この図3で示す被検査基板K上の検査点Bは、� ��径r約35~40μm(直径D約70~80μ
m)の半球状(下側一部が潰れた球状)に形成さ� �ている。この検査点Bは、ハンダバン
プ又はC4バンプであり、略球に近い形状を有� ��ている。
 例えば、図3(a)では、検査点Bに対して第一� �電部11が略中央に接触して、貫入
部111が検査点Bに貫入している。この場合、� �二導電部12の検査点Bに当接する部
分は第一導電部11の検査点Bに接触する(貫入� �る)部分よりも高い位置となるため、
貫入部111が検査点Bに所定量(第二導電部12が� �接するまでの量)貫入することに
より、第二導電部12が検査点Bに当接すること になる。
 図3(b)では一実施形態の寸法に於いて基板検 査接触子を用いた場合の他の実施形態
を示す断面図である。この図3(b)で示す場合� �、第二導電部12が検査点Bの略中央
に接触した場合であり、このような場合であ っても第一導電部11と第二導電部12が検
査点Bに同時に接触する必要がある。
 ここで、図4を参照して、第一導電部11と第� ��導電部12と突出量d1について検討
した際、第二導電部12が略中央A点に当接する 場合、第一導電部11の先端部(貫入部
111の先端部)は第一導電部11と第二導電部12の� ��離δd分だけずれた位置B点に
当接する必要があり、下記の(数1)式の関係を 満たすことになる。
 この突出量d1は、第一導電部11と第二導電部 12の距離δxを基に設定される。

 図3(b)で示される場合では、上記の如き突出 量以上に突出量d2が設定されるため
、第一導電部11及び第二導電部12が共に検査� �Bに接触することになる。

 上記の説明では、検査点Bがノンコイニング の場合(表面を平坦に加工されていない場
合)を説明したが、次に、検査点Bがコイニン� ��された場合の説明を行う。図5は、本発
明に係る第一実施形態の基板検査用接触子を コイニングされた検査点に用いる場合の断面
図である。この場合、検査点B’は、その上� �表面は略平坦に加工されているので、本基
板検査用接触子1が有する如く、検査点B’に� ��入する貫入部111が突出量d1を有し
ていれば、その突出量d1分だけ貫入し、同時� ��第二導電部12が検査点B’に当接する
ことになる。

 貫入部111の尖鋭形状は、図2で示される如く 、断面形状において鋭角を形成するよ
うに角度θが設定されている。この尖鋭形状� ��有する角度θは、検査点Bに貫入部111
が容易に貫入する且つ低抵抗接触を実現する ために、40~60度に形成されることが好
ましい。この範囲の角度θで尖鋭形状に形成� ��れることによって、上記の如き突出量d1
を形成することが容易となるためである。

 この第一導電部11は、棒状の一本の検査点� �りも硬度の高い素材で形成され、その一
端側を角度θの尖鋭形状とすることにより、� ��易に形成することができる。このように形
成することによって、第一導電部11が形成さ� ��るとともに貫入部111も同時に形成す
ることができる。
 この棒状の素材としては、例えば、ステン� ��ス鋼、ベリリウム銅(BeCu)やタングステ
ン(W)を挙げることができる。

 次に、この第一実施形態の基板検査用接触� ��1を実施した場合の説明を行う。図6は、
本発明に係る第一実施形態の基板検査用接触 子を用いた場合の様子を示している。この図
6では、検査装置(図示せず)と電気的に接続さ れる電極部EPに基板検査用接触子1に
上端部が圧接されており、他端部である下端 部が検査点Bに圧接されている様子を示して
いる。
 この基板検査用接触子1は、一端が所定の電 極部EPに、他端が所定の検査点Bに接触
するように複数配置する。次に、これらの所 定位置に基板検査用接触子1の各端部が接触
するように押圧される。
 このとき、まず、第一導電部11の貫入部111� �検査点Bに貫入される。この際、第
一導電部11の貫入部111の突出量d1が検査点Bに� ��入されるとともに、第二導電部
12が検査点Bに当接する。
 次に、更に基板検査用接触子1は押圧される ことになるので、図6で示す如く、検査点
B及び電極部EPに接触しつつ撓むことになる。 このように基板検査用接触子1が撓むと
、確実に検査点B及び電極部EPに接触している ことになる。

 次に、本発明に係る第二実施形態の基板検� ��用接触子2(以下、第二接触子2と称する
)について説明する。
 図7は、本発明に係る第二接触子を示してお り、(a)は分解図、(b)は組立図を示
している。
 この第二接触子2は、被検査基板の配線パタ ーン上に設定される所定の検査点に夫々圧
接される、一方が電圧測定に他方が電流印加 用に用いられる第一導電部及び第二導電部を
有してなる。第二接触子2もまた、第一接触� �1と同様に、第一導電部を電圧測定用に用
い、第二導電部を電流印加用に用いても良い し、第一導電部を電流印加用に用い、第二導
電部を電圧測定用に用いても良い。

 この第二接触子2は、一対の棒状部材23と弾� ��部材24からなる第一導電部21と、
この第一導電部21を内部に収容する筒状の第� ��導電部22からなる。
 第一導電部21は、図7で示される如く、一対� ��棒状部材23とこの一対の棒状部材2
3を連結する弾性部材24を有してなる。
 一対の棒状部材23の一方(図7では紙面手前に 示される棒状部材)には、一端部23
aに貫入部231が形成されていることが好まし� �。この貫入部231は、第一接触子1
の貫入部111と同じ機能を有しており、この貫 入部231が検査点Bに貫入した際に、
第二導電部22が検査点Bに当接することになる 。
 この貫入部231の突出量d21は、第一接触子1の 貫入部111の突出量d1以上と
なるように設定される。詳細は後述するが、 第二接触子2を用いる場合、この接触子2が
押圧されて検査点Bに第一導電部21の貫入部231 が貫入すると、弾性部材24が収縮
することになり、第二導電部22が検査点Bに当 接する。
 棒状部材23の他端部23bは、後述する弾性部� �24が接続される。この弾性部材2
4を介することによって、2つの棒状部材23を� �結して第一導電部21を形成している
。
 この棒状部材23は、導電性且つ可撓性の素� �で形成されており、例えば、ステンレス
鋼、ベリリウム銅(BeCu)やタングステン(W)を挙 げることができる。

 第二導電部22は、第一導電部21を収容するこ とのできる筒状の部材であり、詳細は
後述するが、少なくとも電気信号を伝達する ための導電層を有している。
 この第二導電部22の構成は、第一接触子1の� ��二導電部12と略同一であり、後述す
る絶縁層を設ける点で相違する。

 第二接触子2の第一導電部21が有する突出量d 21は、少なくとも、第一接触子1の
突出量d1と同じように、貫入部231が検査点Bに 貫入した際に第二導電部22が検査
点Bに当接する量が突出されている。
 この第二接触子2の第一導電部21の突出量d21� ��、少なくとも上記の如き量(長さ
)に設けられることによって、まず、後述す� �第一導電部21の弾性部材24が長軸方向
に収縮する。このとき、第一導電部21の貫入� ��231が検査点Bへ貫入するとともに圧
接状態で検査点Bに貫入されることになる(図8 (b)参照)。
 また、この場合、第一導電部21が圧接状態� �あるとともに第二導電部22が検査点B
に当接することになる。
 尚、更に、第二接触子2を押圧することによ って、第二接触子2の全体が撓み、検査点
Bと電極部EPと圧接することになる(図8(c)参照) 。

 弾性部材24は、上記の一対の棒状部材23を連 結する部材であり、棒状部材23の長
軸方向の摺動を可能とする弾性変形部材でも ある。この弾性部材24は、長軸方向に収縮
することにより付勢状態となる部材を用いる ことができ、スプリング、ゴムや合成樹脂な
どを例示することができる。

 この弾性部材24は、導電性の部材を用いる� �合と非導電性の部材を用いる場合がある
。
 図9は、第二実施形態の基板検査用接触子の 断面図を示し、(a)は弾性部材が導電性
である場合を示しており、(b)は弾性部材が非 導電性である場合を示している。
 まず、弾性部材24が、導電性部材で形成さ� �る場合を説明する(図9(a)参照)。
 弾性部材24が導電性である場合には、この� �性部材24は導電性且つ長軸方向に伸縮
自在な弾性を有していることになる。
 このため、検査点Bに接触する棒状部材23に� ��いて受信された電気信号は、弾性部材
を介して他方の棒状部材23へ伝達されること� ��なる。
 弾性部材24が導電性部材である場合には、� �二導電部22は、外側部221に導電層
を有し、内側部222に絶縁層が設けられる。こ のように形成されることによって、第一
導電部21の電気信号と第二導電部の電気信号� ��確実に別々に受信することができる。
 上記絶縁層は、棒状部材23の摺動を阻害し� �い限り、棒状部材23と弾性部材24を
一体的に被覆するように設けることもできる し、弾性部材24の幅を第二導電部22の幅
よりも十分短く形成した場合には、棒状部材 23の外側表面を被覆する絶縁層として設け
ることもできる。
 尚、図9(a)で示される場合では、第二導電部 22の内側部222に絶縁層を設けて
おり、第一接触子1と同様に、第一導電部21の 幅よりも第二導電部22の開口部の幅が
狭くなるように、第二導電部22が、貫入部25� �尖鋭形状と平行な傾斜を有する先細り
となるテーパ形状とされている。

 この場合の第二接触子2の寸法は、第二導電 部22の外側直径w11を80~100μm、
内側直径w12を60~80μm、第一導電部21の外径w13� �50~70μm、絶縁層222
の厚みを5~7.5μmと設定し、これらの数値は約� �5μmの範囲のズレは許容範囲とする
ことができる。
 また、この場合の突出量d21は、第一接触子1 の突出量d1(2~15μm、好ましく
は7~13μm、更に好ましくは約10μm)よりも長く� �定されている。
 尚、外側部221の外側表面に更なる絶縁層を� ��けても良い。

 次に、弾性部材24が非導電性の部材である� �合を説明する(図9(b)参照)。
 弾性部材24が非導電部材である場合には、� �の弾性部材24は非導電性且つ長軸方向
に伸縮自在な弾性を有していることになる。
 このため、検査点Bに接触する棒状部材23に� ��いて受信される電気信号は、弾性部材
24を介して他方の棒状部材23に伝達されない� �
 この場合、第二導電部22の最内側部223に導� �層を設ける。第二接触子2は、基板
検査に用いられる際には、全体的に撓むこと になり、必ず第一導電部21の棒状部材23
とこの最内側部の導電層223に接触することに なる。このため、検査点Bの棒状部材2
3が受信した電気信号をこの最内側部の導電� �223を介して、他方の棒状部材23へと
伝達することになる。
 この導電層は、導電性の素材で形成され、� ��えば、下地としてニッケル(Ni)を用いた
金(Au)めっきを用いることができる。

 この最内側部の導電層223と第一導電部21の� �状部材23の隙間は、小さければ小
さいほど好ましいが、第一導電部21の棒状部� ��23が弾性部材24により摺動すること
を阻害しないことが重要である。このような 隙間として、1~10μmを好適な場合として
例示することができる。
 尚、他の構成(形状や寸法)は、上記の如く� �二導電部22の構成と同一である。また
、弾性部材24が導電性の部材である場合でも� ��最内側に導電層223を設けても良い。

 第二導電部22は、長軸方向に摺動する弾性� �構(図示せず)を設けることもできる。
この弾性機構を有することによって、第二接 触子2が押圧された場合に弾性機構が長軸方
向外側へ付勢状態になり、第二導電部22が検� ��点Bと電極部EPに対して圧接状態とな
る。

 第二接触子2を用いた場合の動作を説明する 。
 図8(a)で示される如く、所定の電極部EPと所� ��の検査点Bを電気的に接続するた
めの第二接触子2を用意する。
 次に、第二接触子2の一方の棒状部材23を検� ��点Bに接触させる。また、他方の棒状
部材23を電極部EPへ接触させる。
 次に、第二接触子2を押圧すると、棒状部材 23の貫入部231が検査点Bに当接し、
弾性部材24が長軸方向に収縮する。更に第二� ��触子2が押圧されると、貫入部231が
検査点Bに貫入される(図8(b)参照)。この場合� �弾性部材24が長軸方向外向きの
付勢状態となるので、第一導電部21の両棒状� ��材23は、検査点B及び電極部EPに対
して圧接された状態となる。
 貫入部231が検査点Bに貫入されると、第二導 電部22が検査点Bに当接する。
 次いで、第二接触子2が押圧されると、第二 接触子2が全体的に撓む。このとき、第二
導電部22が撓んだ状態となり、検査点B及び電 極部EPに対して付勢状態となる。この
ため、第二導電部22は、検査点B及び電極部EP� ��対して圧接された状態となる(図1
0参照)。
 したがって、第一導電部21及び第二導電部22 ともに、夫々が検査点B及び電極部E
Pに対して圧接された状態となり、確実に電� �信号を受信することができる。

 次いで、本発明に係る第三実施形態の基板� ��査用接触子3(以下、第三接触子3と称す
る)について説明する。
 図11は、本発明に係る第三接触子を示して� �り、(a)は分解図、(b)は組立図を
示している。
 この第三接触子3は、被検査基板の配線パタ ーン上に設定される所定の検査点に夫々圧
接される、一方が電圧測定に他方が電流印加 用に用いられる第一導電部及び第二導電部を
有してなる。第三接触子3もまた、第一接触� �1と同様に、第一導電部を電圧測定用に用
い、第二導電部を電流印加用に用いても良い し、第一導電部を電流印加用に用い、第二導
電部を電圧測定用に用いても良い。

 この第三接触子3は、一対の棒状部材33と弾� ��部材34からなる第一導電部31と、
この第一導電部31を内部に収容する筒状の第� ��導電部32からなる。
 第一導電部31は、図11で示される如く、一対 の棒状部材33とこの一対の棒状部材
33を連結する弾性部材34を有してなる。
 一対の棒状部材33の一方(図11では紙面手前� �示される棒状部材)には、一端部3
3aに貫入部331が形成されていることが好まし� ��。この貫入部331は、第一接触子
1の貫入部111と同じ機能を有しており、この� �入部331が検査点Bに貫入した際に
、第二導電部32が検査点Bに当接することにな る。
 この貫入部331の突出量d31は、第一接触子1の 貫入部111の突出量d1以上と
なるように設定される。詳細は後述するが、 第三接触子3を用いる場合、この接触子3が
押圧されて検査点Bに第一導電部21の貫入部331 が貫入すると、弾性部材34が収縮
することになり、第二導電部32が検査点Bに当 接する。
 棒状部材33の他端部33bは、後述する弾性部� �34が接続される。この弾性部材3
4を介することによって、2つの棒状部材33を� �結して第一導電部31を形成している
。
 この棒状部材33は、導電性の素材で形成さ� �ており、例えば、ステンレス鋼、ベリリ
ウム銅(BeCu)やタングステン(W)を挙げることが できる。
 尚、棒状部材33は、非可撓性部材で形成さ� �ることが好ましい。

 第二導電部32は、第一導電部31を収容するこ とのできる筒状の部材であり、詳細は
後述するが、電気信号を伝達するための導電 層を有している。この第三接触子3の第二導
電部32は、図8(a)で説明された第二接触子2の� �二導電部22と同じように、外側
に導電層が形成され、内側に絶縁層が形成さ れている。
 この第二導電部32は、少なくとも一つ以上� �第二弾性部321を有している(図11
では、二つ示されている)。
 この第二導電部32は、第三接触子3が撓むこ� ��がないように、非可撓性部材で形成さ
れる。

 この第二弾性部321は、第二導電部32の長軸� �向に伸縮する。この第二弾性部32
1は、第二導電部32の一部を形成しており、導 電性の素材で形成されている。このため
、第二導電部32が受信する電気信号をこの第� ��弾性部321を介して伝達することにな
る。
 この第二弾性部321は、第二導電部32が筒状� �形成されていることから、所定の部
位を切り取り、スプリングや摺動部となる切 欠部を有するように形成することもできるが
、上記の如き電気信号を伝達することができ 且つ第二導電部32の長軸方向に伸縮するこ
とができる機構であれば、特に限定されない 。
 尚、図11(a)では、2つの第二弾性部321が、第� ��導電部32の両端部に設けら
れている。この第二弾性部321が設けられる数 や部位は特に限定されない。
 この第三接触子3は、このように第二弾性部 321が長軸方向に収縮した場合に、第二
弾性部321が長軸方向外側に向かう付勢状態と なり、第二導電部32が電極部EPと検
査点Bに対して圧接状態となる。
 また、この第三接触子3は、非可撓性素材で 形成されるので、確実に第二弾性部321
が伸縮することになる。

 第三接触子3の第一導電部31が有する突出量d 31は、少なくとも第一接触子1の突
出量d1と同じように、貫入部331が検査点Bに貫 入した際に第二導電部32が検査点
Bに当接する量が突出されている。
 この第三接触子3の第一導電部31の突出量d31� ��、少なくとも上記の如き量(長さ
)に設けられることによって、まず、後述す� �第一導電部31の弾性部材34が長軸方向
に収縮する。このとき、第一導電部31の貫入� ��331が検査点Bへ貫入するとともに、
圧接状態で検査点Bに貫入される。
 また、この場合、第一導電部31が圧接状態� �あるとともに第二導電部32が検査点B
に当接することになる。
 更に、第三接触子3を押圧することによって 、第三接触子3の第二導電部32の第二弾
性部321が収縮する。この第二弾性部321が収縮 することによって、第二弾性部32
1が付勢状態となり第二導電部32も電極部EPと� ��査点Bと圧接することになる。

 弾性部材34は、上記の一対の棒状部材33を連 結する部材であり、棒状部材33の長
軸方向の摺動を可能とする弾性変形部材であ る。この弾性部材34は、長軸方向に収縮す
ることにより付勢状態となる部材を用いるこ とができ、スプリング、ゴムや合成樹脂など
を例示することができる。この弾性部材34は� ��導電性の部材を用いる。
 尚、この第三接触子3は、第二接触子2の第� �導電部21の弾性部材24が導電性の部
材で形成される場合と略同じ構成を有してい る。

 第三接触子3を用いた場合の動作を説明する 。
 図12は、本発明に係る第三接触子3を用いた� ��合を示している。
 まず、第三接触子3の一方の棒状部材33を検� ��点Bに接触させる。また、他方の棒状
部材33を電極部EPへ接触させる。このとき、� �ず棒状部材33の貫入部331が検査
点Bに当接すると、弾性部材34が長軸方向に収 縮して、更に第三接触子3が押圧される
ことによって貫入部331が検査点Bに貫入され� �。この場合、弾性部材34が付勢状態
となるので、第一導電部31の両棒状部材33は� �検査点B及び電極部EPに対して圧接
された状態となる。
 ここで、更に第三接触子3が押圧されると、 貫入部331が検査点Bに貫入される。こ
のとき、第二導電部32は検査点Bに当接された 状態となる。
 更に、第三接触子3が押圧されると第二導電 部32の第二弾性部321と第一導電部3
1の弾性部材34が長軸方向に夫々収縮する。こ の場合、弾性部材34及び第二弾性部3
21が長軸方向外向きの付勢状態となり、第一� ��電部31及び第二導電部32は、検査点
B及び電極部EPに対して圧接された状態となる (図12参照)。
 したがって、第一導電部31及び第二導電部32 ともに、夫々が検査点B及び電極部E
Pに対して圧接された状態となり、確実に電� �信号を受信することができる。