在 TFTiCD的生产中， 为了方便基板在加工时的取用， 通常将一定数量 的基板放到一个承载装置中， 如图 1所示， 图 1示出了现有技术中的承载装 置的结构， 该承载装置包括承载台 10， 放置在承载台 10上的支撑架 20, 该 支撑架 20具有多个支撑层 21 , 基板 50放置在该支撑层 21 内。 在使用时， 通过机械手 60将基板 50从支撑层 21内取出或将基板 50放入到支撑层 21内， 具体的， 机械手 60可以在水平和垂直两个方向运动， 水平方向上通过机械手 60的伸展可以放到支撑层 21内的基板 50的下方， 然后通过升降台的垂直升 起把基板 50放到机械手 60上， 在机械手 60缩回时将基板 50取出， 将基板 50放入到支撑层 21内的操作与上述操作相反， 在此不再详细说明。

现有技术的缺陷在于， 基板通常需要经过很多道工序， 如： 薄膜沉积、 光刻、 刻蚀、 剥离、 二次退火等， 在加工过程中， 需要通过机械手多次将基 板从支撑架中取出或将基板放入到支撑架内。 都会影响基板在支撑架内放置 的整齐度， 从而造成下次取用基板时造成基板碰损。

本发明实施例提供了

本发明提供了一种基板承载装置， 能够检测放入的基板的整齐度， 提高 了基板的安全性。

本发明提供的一种基板承载装置， 包括： 支撑架， 其设置于所述承载台且能够相对于所述承载台 水平移动， 并且 具有多个沿高度方向排列并用于存储基板的支 撑层； 信号检测装置， 其设置于所述承载台或所述支撑架上并能够相 对所述支 撑架水平移动， 并且包括信号发射器和信号接收器， 其中， 所述信号发射器 和信号接收器中的任一个位于存储于所述支撑 架内的多个被检测的基板的上 方， 另一个位于多个被检测的基板的下方， 所述信号发射器发射沿高度方向 检測多个基板侧边的检测信号， 所述信号接收器接收所述检测信号；

控制装置， 其与所述信号接收器连接， 用于根据信号接收器接收的检測 信号获取基板与支撑架之间的相对位移信息， 通过设定的对应关系来确定基 板的整齐度。

在上述技术方案中， 通过采用信号检测装置和控制装置来检测放置 在基 板承载装置内的基板的整齐度， 实现了对基板放置的检测， 在出现问题后， 操作者能够及 H寸得知， 避免了后续工序中基板在取出时被碰损的情况 ， 提高 了基板的安全性。

优选的， 所述信号发射器和信号接收器中的任一个位于 所述支撑架的顶 端， 另一个位于所述支撑架的底端或者所述承载台 上， 在对所述基板的侧边 进行检测时， 所述支撑台相对于所述承载台固定， 所述信号检测装置相对于 所述承载台水平移动。

优选的， 所述信号发射器和信号接收器均位于所述承载 台上， 在对所述 基板的侧边进行检测时， 所述支撑台相对于所述承载台水平移动， 所述信号 检测装置相对于所述承载台固定。

优选的， 所述位移信息通过所述位移信息中的最大值和 最小值之间的差 值与检测的基板的数量以及相邻基板的距离之 间设定的对应关系来确定整齐 度。 通过对应关系获得整齐度， 使得基板承载装置可以在盛放不同尺寸的基 板时也能检测基板是否放置整齐。

优选的， 所述设定的对应关系为： ^ = l (Afa^0 M«O^/D */ _; 其中，

AH为基板的整齐度， I为支撑架内基板的数量， U为基板与支撑架之间的相 对位移信息， ί为大于等于 1且小于等于 I的整数， D为相邻两个基板之间的

可选择的， 所述信号发射器和信号接收器中的任一个滑动 装配于所述支 撑架的顶端， 且另外一个固定于所述支撑架的底端。 通过信号发射器和信号 接收器中的一个滑动装配， 另一个固定装配的方式来检测玻璃的整齐度。 可选择的， 所述信号发射器和信号接收器中任一个固定设 置于所述支撑 架的顶端， 且另外一个滑动装配于所述支撑架底端。 通过信号发射器和信号 接收器中的一个滑动装配， 另一个固定装配的方式来检测玻璃的整齐度。

可选择的， 所述支撑架设置于所述承载台上并可相对所述 承载台滑动， 所述信号发射器和所述信号接收器固定设置于 所述承载台上， 且所述信号发 射器和信号接收器分别位于所述支撑架的上方 和下方。 通过信号发射器和信 号接收器固定装配， 支撑架移动的方式来检测玻璃的整齐度。

优选的， 所述基板承载装置还包括报警器， 所述报警器与所述控制装置 连接， 并在控制装置确定的基板整齐度超过设定条件 时发出警报。 使得操作 者能够清晰的得到信息。

优选的， 所述信号发射器为红外信号发射器， 所述信号接收器为红外信 号接收器。 具有较佳的穿透功率。

本发明还提供了一种基板整齐度检测方法， 应用上述任一种基板承载装 置， 包括以下步骤：

通过信号检测装置检测支撑架内多个基板的侧 边并发送检测信号； 根据接收到的检测信号获取基板与支撑架之间 的相对位移信息， 根据设 定的对应关系来确定基板的整齐度。

优选的， 还包括以下步骤： 在确定的基板的整齐度超过设定条件时发出 报警。

优选的， 所述设定的对应关系为： AU ^ l - (Max{Li) - Mm{Li)) i D * I . 其中， Aii为基板的整齐度， I为支撑架内基板的数量， Li为基板与支撑架之间的相 对位移信息， 为大于等于 1且小于等于 I的整数， D为相邻两个基板之间的 垂直距离。

通过上述方法， 可以检测放置到支撑架内的基板的整齐度， 避免基板在 后续取出时被碰损， 提高了基板的安全性。

图 1为现有技术中的基板承载装置的使用参考图� � 图 2为本发明实施例提供的基板承载装置的结构� �意图；

图 3为本发明实施例提供的信号接收器接收到的� �测信号的示意图 图 4为本发明另一实施例提供的基板承载装置的� �构示意图；

图 5为本发明又一实施例提供的基板承载装置的� �构示意图。

附图标记：

10-承载台 20-支撑架 21-支撑层

30信号发射器 31信号接收器 40控制装置

50-基板

为了检测基板放置到基板承载装置后的整齐 度， 本发明提供了一种基板 承载装置， 在本发明的技术方案中， 通过信号检测装置检测基板的侧边， 在 信号接收器接收的检测信号衰减时， 控制装置根据获取的位移信息以及设定 的对应关系确定基板的整齐度， 从而检测放置到基板承载装置内的基板的整 齐度， 避免了后续工序中在拿取基板时被碰损。 需要说明的是， 本发明实施 例中的基板承载装置， 承载的基板可以为玻璃基板、 塑料基板、 金属基板或 石英基板等任何材质的基板， 当然也可以为其他任何平板结构， 或者任何需 要边缘整齐的其他结构。 为了使本发明的目的、 技术方案和优点更加清楚， 以下举实施例对本发明作进一步详细说明。

如图 2所示， 图 2为本发明实施例提供的基板承载装置的结构� �意图。 本发明实施例提供的基板承载装置包括：

承载台 10;

设置于所述承载台 10的支撑架 20， 所述支撑架 20具有多个沿高度方向 排列并用于存储基板 50的支撑层 21 ;

设置于所述承载台 10或支撑架 20上并可相对所述支撑架 20水平移动的 信号检测装置， 所述信号检测装置包括信号发射器 30和信号接收器 31， 其 中， 所述信号发射器 30和信号接收器 31中的任一个位于存储于所述支撑架 20内的多个被检测的基板 50的上方， 另一个位于多个被检测的基板 50的下 方， 所述信号发射器 30发射沿高度方向检测多个基板 50侧边的检测信号， 所述信号接收器 31接收检测信号；

控制装置 40， 与所述信号接收器 31检测信号连接， 用于根据信号接收 器 31接收的检测信号获取基板与支撑架 20之间的相对位移信息， 通过设定 的对应关系来确定基板的整齐度。

在上述实施例中， 基板 50水平放置于支撑架 20的支撑层 21内， 通过信 号发射器 30发出检测基板 50侧边的检测信号， 该检测信号在检測到基板 50 侧边后， 在基板 50侧边上发生散射， 导致被信号接收器 31接收到的检测信 号强度衰减， 如图 3所示， 接收到检测信号图像具有波谷， 该波谷处即为检 测信号检测到基板 50侧边时的检测信号。 在检测时， 使信号发射器 30或信 号接收器 31 中的任一个在水平方向上与支撑架 20发生相对移动， 即信号发 射器 30或信号接收器 31中的任一个相对基板 50移动，从而依次扫描到玻璃 的侧边， 在基板 50摆放整齐时， 信号接收器 31接收到一个衰减检测信号， 当基板 50摆放不整齐^, 信号接收器 31接收到多个衰减检测信号， 并通过 信号发射器 30和信号接收器 31中的任一个与支撑架 20之间的相对移动来获 取衰减检测信号， 得到对应的基板 50与支撑架 20的相对位移信息， 并通过 设定的对应关系获取到基板的整齐度， 在整齐度超过设定条件时， 可以通过 人工或机械操作的方式将基板 50摆放整齐度，避免了后续工序中在拿取基板 时被碰损， 提高了基板的安全性。

较佳的， 基板承载装置还包括报警器（图中未示出）， 报警器与所述控制 装置连接， 并在控制装置确定的基板整齐度超过设定条件 时发出警报。 在检 测到的整齐度超出设定的条件时发出警报。

在相对位移信息对应的整齐度可以为位移信息 中的最大值和最小值， 设 定条件为基板 50在摆放时基板 50侧边距离临近的支撑架 20的侧壁的安全距 离。 当相对位移信息中的最大值和最小值均位于设 定条件内时， 整个基板在 取出和放入时均比较安全。

或者， 设定的条件为玻璃的整齐度， 其中设定的对应关系为相对位移信 息中的最大值和最小值之间的差值与基板的数 量以及相邻基板的距离之间的 对应关系， 较佳的， 设定的对应关系为：

Aii = 1― (Ma Li)― Min(Li)) ! D * I . 其中， AU为基板 50的整齐度， I为支撑架 20内基板 50的数量， Li为 基板与支撑架 20之间的相对位移信息，即基板 50距离临近的支撑架 20侧壁 的距离， 3为大于等于 1 i小于等于 I的整数； 即第一块基板 50距离支撑架 20侧壁的距离为 L1 , 第二块基板 50距离支撑架 20侧壁的距离为 12， 依此 类推； D为相邻两个基板 50的垂直距离。 在控制装置 40中输入整齐度的范 围， 例如整齐度介于0〜0.7时满足要求。 此时检测的整齐度可以为 0.1、 0.2、 0,3、 0.5、 0,6等任一介于 0〜0,7之间的数值。 当检測的支撑架 20内放置的基 板 50的尺寸不同时， 无需针对每一个尺寸的基板 50设定一次数值， 只需设 定整齐度的范围， 在检测时， 采集到的信息直接使用上述公式进行判断， 从 而扩大了基板承载装置检测的范围， 方便了基板 50承载装置的使用。

通过信号检测装置和控制装置 40实现了检测放置在基板 50承载装置中 的基板 50的整齐度。 避免了后续工序中， 基板 50在取出去时发生碰损的情 况。

在检测基板 50整齐度时，保证信号发射器 30和信号接收器 31中的至少 一个可以与基板 50相对运动即可， 当然也可以使信号发射器 30和信号接收 器 31同步地相对基板 50运动。 在实际生产中， 可以采用不同的结构来达到 上述要求。下面以信号发射器 30和信号接收器 31中的一个可以与基板 50相 对运动为例来对信号检测装置的安装结构迸行 说明。

实施例 1

继续参考图 2， 信号发射器 30和信号接收器 31 中的任一个滑动装配于 支撑架 20的顶端， 且另外一个固定于支撑架 20的底端。

具体的， 信号发射器 30滑动装配于支撑架 20的顶端， 且在移动过程中， 其发射的检测信号能够扫描到放置的所有的基 板 50的侧边， 信号接收器 31 固定安装于支撑架 20的底端，并能够接收信号发射器 30发射出的检测信号。 或者采用信号接收器 31滑动装配于支撑架 20的顶端，信号发射器 30固定于 支撑架 20的底端， 其工作原理相同， 下面以信号发射器 30滑动装配的结构 来进行说明。

信号发射器 30发射在移动时发出检测信号，该检测信号随� ��信号发射器 30的移动而扫描基板 50的侧边， 同时， 信号接收器 31接收扫描后的检测信 号， 在检测信号扫描到基板 50侧边时， 检测信号在基板 50侧边上发生散射， 导致信号接收器 3 !接收到的检测信号衰减。 同时， 与信号接收器 31连接的 控制装置 40记录衰减的检测信号， 并获取基板与支撑架的相对位移信息， 根 据设定的对应关系确定的整齐度与设定条件对 比， 当整齐度超过设定条件时 发出警报。

实施例 2

如图 4所示， 图 4示出了本发明实施例提供的基板承载装置的� �构示意 图。 信号发射器 30和信号接收器 31中任一个固定设置于支撑架 20的顶端， 且另外一个滑动装配于支撑架 20底端。

具体的， 信号接收器 31固定设置于支撑架 20的顶端， 信号发射器 30滑 动装配于支撑架 20的底端。 此时， 信号发射器 30发射出的检测信号能够覆 盖一定的面域， 被检测的基板 50侧边位于该面域内。 当信号发射器 30滑动 寸， 其能够接收到扫描基板 50侧边后的检测信号， 同^, 控制装置 40在检 测信号衰减时， 获取基板 50和支撑架 20之间的相对位移， 并根据设定的对 应关系确定基板的整齐度， 在整齐度超过设定条件时发出警报。 此外， 还可 以采用信号发射器 30固定于支撑架 20的顶端，信号接收器 31滑动装配于支 撑架 20的底端， 其原理与上述描述中的工作原理相同， 在此不再一一赘述。 如图 5所示， 图 5示出了本发明实施例提供的基板承载装置的� �构。 信 号发射器 30和信号接收器 31固定设置于承载座，—且.信号发射器 30和信号接 收器 31分别位于支撑架 20的上方和下方， 并在支撑架 20推放到承载台 10 时检测基板 50侧边。

具体的， 信号发射器 30和信号接收器 31固定设置在承载台 10上， 且信 号发射器 30和信号接收器 31 —个位于支撑架 20的顶端，另一个位于支撑架 20的底端。 下面以信号发射器 30位于顶端的结构迸行说明。 信号发射器 30 发射用于检测基板 50侧边的检测信号， 信号接收器 31接收该检测信号。 支 撑架 20放置于所述承载台 10并可相对滑动。在检测时，水平推动支撑架 20， 从而使得基板 50的侧边依次被信号发射器 30和信号接收器 31组成的信号检 测装置检测， 并遥过控制装置 40记录信号接收器 31接收到的检测信号的强 度以及位移信息， 并将位移信息以及设定的对应关系确定的整齐 度与设定条 件对比， 当整齐度超过设定条件时发出警报。

由上述几个具体实施例中可以看出， 在检测基板 50时， 只需检测装置和 支撑架 20之间能够相对移动， 使得信号发射器 30发射出的检测信号能够扫 描基板 50侧边即可， 不应当仅局限于上述具体描述中的具体结构， 其他任一 种可实现上述相对运动的结构均可应用于本发 明中， 如： 支撑架 20固定于承 载台！ 0上， 信号检测装置滑动装配于承载台 10上， 即信号发射器 30和信号 接收器 31可以相对支撑架 20滑动， 从而实现检测信号对基板 50的检测。其 应用原理与上述具体实施例的原理相同， 在此不再一一赘述。

在上述几个具体实施例中， 信号发射器 30、 信号接收器 31 以及支撑架 20之间存在相对运动， 在发生相对运动时， 可以通过人工操作， 也可以通过 驱动装置迸行驱动， 在选用驱动装置驱动的情况下， 在实施例 1 中， 所述驱 动装置 （图中未示出） 驱动滑动装配在支撑架顶端的信号发射器或信 号接收 器滑动， 在实施例 2中， 所述驱动装置驱动滑动装配在支撑架底端的信 号发 射器或信号接收器滑动。 在实施例 3中， 驱动装置驱动支撑架滑动。

在上述几个具体实施例中， 报警器 （图中未示出） 发出的警报可以为灯 光警报或声音警报中的任一种， 也可以采用灯光警报和声音警报。

其中的信号发射器 30为红外信号发射器， 信号接收器 31为红外信号接 收器。 能够提供良好的检测信号强度。

本发明实施例还提供了一种基板整齐度检测方 法， 包括以下步骤： 通过信号检测装置检测支撑架内多个基板的侧 边并发送检测信号； 根据接收到的检测信号获取基板与支撑架之间 的相对位移信息， 并根据 设定的对应关系来确定基板的整齐度。

较佳的， 在确定的基板的整齐度超过设定条件时发出报 警。

其中， 所述位移信息通过所述位移信息中的最大值和 最小值之间的差值 与检测的基板的数量以及相邻基板的距离之间 设定的对应关系来确定整齐 度。

优选的， 所述设定的对应关系为： ^ = l (Afa^0 M«O^/D */ _; 其中， AH为基板的整齐度， I为支撑架内基板的数量， U为基板与支撑架之间的相 对位移信息， ί为大于等于 1且小于等于 I的整数， D为相邻两个基板之间的 垂直距离。

从上述方法中可以看出， 通过检测信号检测信号检测基板的侧边， 并通 过控制装置中的设定条件与获取的位移信息来 确定玻璃的整齐度， 在整齐度 超出设定条件日寸发出警报。 提醒操作人员调整基板的放置位置。 避免了基板 50在后续取出的过程中被碰损， 提高了基板的安全性。

显然， 本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动 和变型而不脱离本 发明的精神和范围。 这样， 倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利 要 求及其等同技术的范围之内， 则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

以上所述仅是本发明的优选实施方式， 应当指出， 对于本技术领域的普 遥技术人员来说， 在不脱离本发明原理的前提下， 还可以做出若干改进和润 饰， 这些改进和润饰也应视本发明的保护范围。