図1の符号1は本発明の真空処理装置の模式� �な平面図である。この真空処理装置1は、搬� ��室2と、搬送室2にそれぞれ接続された1又は� ��数の処理室3~8と、搬送室2内部に配置された 本発明の搬送ロボット10とを有している。
 図2は、本発明の一例の基板搬送ロボット10� ��平面図であり、図3は側面図である。

 この基板搬送ロボット10は、第一~第四の駆� ��軸11 ₁ ~11 ₄ と、A回転部材13と、B回転部材14とを有してい る。
 第一~第四の駆動軸11 ₁ ~11 ₄ と、A回転部材13と、B回転部材14は鉛直且つ同 心に配置されており、各軸の中心軸線である 同一の主回転軸線Oを中心にそれぞれ独立に� �転できるように構成されている。
 また、基板搬送ロボット10は、第一~第四の� ��部20 ₁ ~20 ₄ と、第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ を有している。

 第一~第四の腕部20 ₁ ~20 ₄ は、第一~第四の主能動アーム21 ₁ ~21 ₄ と、第一~第四の補助能動アーム22 ₁ ~22 ₄ と、第一~第四の主従動アーム23 ₁ ~23 ₄ と、第一~第四の補助従動アーム24 ₁ ~24 ₄ と、プレート状の第一~第四の規制部材25 ₁ ~25 ₄ とをそれぞれ有している。

 第一~第四の主能動アーム21 ₁ ~21 ₄ の根本部分は、第一~第四の駆動軸11 ₁ ~11 ₄ にそれぞれ固定されており、第一~第四の駆� �軸11 ₁ ~11 ₄ が回転すると、第一~第四の主能動アーム21 ₁ ~21 ₄ が第一~第四の駆動軸11 ₁ ~11 ₄ の回転角度と同一角度同方向に水平面内で回 転するように構成されている。

 A回転部材13との主回転軸線Oから離間した位 置には、第一、第三の副回転軸線s ₁ 、s ₃ が設けられており、同様に、B回転部材14の、 主回転軸線Oから離間した位置には、第二、� �四の副回転軸線s ₂ 、s ₄ が設けられている。主回転軸線Oと第一~第四� ��副回転軸線s ₁ ~s ₄ は鉛直にされている。

 A回転部材13のうちの主回転軸線Oと第一、第 三の副回転軸線s ₁ 、s ₃ との間の部分をそれぞれ第一、第三の回転ア ーム16 ₁ 、16 ₃ とし、B回転部材14の主回転軸線Oと第二、第� �の副回転軸線s ₂ 、s ₄ との間の部分をそれぞれ第二、第四の回転ア ーム16 ₂ 、16 ₄ とすると、第一~第四の回転アーム16 ₁ ~16 ₄ の先端には、第一~第四の補助能動アーム22 ₁ ~22 ₄ の根本部分が、第一~第四の副回転軸線s ₁ ~s ₄ を中心として水平面内で回動可能にそれぞれ 取り付けられている。

 但し、この実施例では、第一、第三の副回� ��軸線s ₁ 、s ₃ は一致し、同様に、第二、第四の副回転軸線 s ₂ 、s ₄ も一致しており、第一、第三の回転アーム16 ₁ 、16 ₃ と、第二、第四の回転アーム16 ₂ 、16 ₄ は、それぞれA、B回転部材13、14の同一部分で 構成されており、第一、第三の補助能動アー ム22 ₁ 、22 ₃ はそれぞれ、同一の回転軸線(第一、第三の� �回転軸線s ₁ 、s ₃ )を中心に回動し、第二、第四の補助能動ア� �ム22 ₂ 、22 ₄ もそれぞれ、同一の回転軸線(第二、第四の� �回転軸線s ₂ 、s ₄ )を中心に回動するように構成されている。
 但し、第一、第三の副回転軸線s ₁ 、s ₃ を離間して設け、第二、第四の副回転軸線s ₂ 、s ₄ を離間して設けてもよい。例えば、主回転軸 線Oを中心として、第一、第三の副回転軸線s ₁ 、s ₃ を180°離間した位置に配置し、第二、第四の� ��回転軸線s ₂ 、s ₄ を180°離間した位置に配置することができる� ��

 第一の主能動アーム21 ₁ の先端と第一の補助能動アーム22 ₁ の先端には、第一の主能動アーム21 ₁ と第一の補助能動アーム22 ₁ が回動可能に第一の規制部材25 ₁ が設けられている。
 この第一の規制部材25 ₁ には、第一の主従動アーム23 ₁ の根本部分と第一の補助従動アーム24 ₁ の根本部分が水平面内で回動可能に取り付け られており、更に、第一の主従動アーム23 ₁ の先端部分と第一の補助従動アーム24 ₁ の先端部分には、第一の主従動アーム23 ₁ と第一の補助従動アーム24 ₁ が水平面内で回動可能に第一の載置部15 ₁ が取り付けられている。

 同様に、第二、第四の主能動アーム21 ₂ 、21 ₄ の先端と第二、第四の補助能動アーム22 ₂ 、22 ₄ の先端には、第二、第四の主能動アーム21 ₂ 、21 ₄ と第二、第四の補助能動アーム22 ₂ 、22 ₄ が水平面内で回動可能に、第二、第四の規制 部材25 ₂ 、25 ₄ がそれぞれ取り付けられている。

 また、第二、第四の規制部材25 ₂ 、25 ₄ には、第二、第四の主従動アーム23 ₂ 、23 ₄ の根本部分と第二、第四の補助従動アーム24 ₂ 、24 ₄ の根本部分とが、水平面内で回動可能にそれ ぞれ取り付けられており、更に、第二、第四 の主従動アーム23 ₂ 、23 ₄ の先端部分と第二、第四の補助従動アーム24 ₂ 、24 ₄ の先端部分には、水平面内で回動可能に第二 、第四の載置部15 ₂ 、15 ₄ がそれぞれ取り付けられている。

 本実施例では、第一~第四の規制部材25 ₁ ~25 ₄ 上で、第一~第四の主従動アーム23 ₁ ~23 ₄ の根本部分は第一~第四の主能動アーム21 ₁ ~21 ₄ の先端部分と同じ場所に接続され、第一~第� �の補助従動アーム24 ₁ ~24 ₄ の根本部分は第一~第四の補助能動アーム22 ₁ ~22 ₄ の先端部分と同じ場所に接続されており、第 一~第四の主能動アーム21 ₁ ~21 ₄ と第一~第四の主従動アーム23 ₁ ~23 ₄ は、それら中心軸線を通る同一の回動軸線廻 りにそれぞれ回動するように構成され、第一 ~第四の補助能動アーム22 ₁ ~22 ₄ と第一~第四の補助従動アーム24 ₁ ~24 ₄ も、それら中心軸線を通る同一の回動軸線廻 りにそれぞれ回動するように構成されている 。

 各能動及び従動アーム21 ₁ ~21 ₄ 、22 ₁ ~22 ₄ 、23 ₁ ~23 ₄ 、24 ₁ ~24 ₄ の回動中心は鉛直であり、主回転軸線Oと第� �~第四の副回転軸線s ₁ ~s ₄ に対し、平行にされており、各アーム16 ₁ ~16 ₄ 、21 ₁ ~21 ₄ 、22 ₁ ~22 ₄ 、23 ₁ ~23 ₄ 、24 ₁ ~24 ₄ と第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ は、各アーム16 ₁ ~16 ₄ 、21 ₁ ~21 ₄ 、22 ₁ ~22 ₄ 、23 ₁ ~23 ₄ 、24 ₁ ~24 ₄ が回動すると、水平面内で移動できるように 構成されており、第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ にそれぞれ設けられた、後述する第一~第四� �支持アーム18 ₁ ~18 ₄ の先端上に基板30を配置すると、基板30を運� �することができる。

 特に、第一の駆動軸11 ₁ とA回転部材13とが同一角度同方向に回転する と、第一の副回転軸線s ₁ と、第一の腕部20 ₁ 内の各アーム21 ₁ 、22 ₁ 、23 ₁ 、24 ₁ と、第一の規制部材25 ₁ と、第一の載置部15 ₁ とが、互いに相対的に静止した状態で一緒に 回転し、基板30は主回転軸線Oを中心に回転移 動する。

 しかし、このとき、A回転部材13に設けられ� ��第三の副回転軸線s ₃ も同一方向に同一角度回転してしまうため、 第三の腕部20 ₃ 上の基板30も移動してしまい、第一の載置部1 5 ₁ を第三の載置部15 ₃ 上の基板30と独立して移動させることができ� ��い。第二の載置部15 ₂ と第四の載置部15 ₄ との間も同様であり、独立して移動させるこ とができない。

 他方、A回転部材13とB回転部材14はそれぞれ� ��立に回転することができるから、第一の載� ��部15 ₁ と第二の載置部15 ₂ と独立して移動させることができる。第三の 載置部15 ₃ と第四の載置部15 ₄ の間も同じである。

 本発明では、第一、第二の腕部20 ₁ 、20 ₂ を一組とし、第三、第四の腕部20 ₃ 、20 ₄ を他の一組とすると、A回転部材13とB回転部� �14との間の角度を変えることで、第一の載置 部15 ₁ と第二の載置部15 ₂ の間、又は第三の載置部15 ₃ と第四の載置部15 ₄ の間の距離や相対的な位置を変更することが できる。

 図4は、第一、第二の腕部20 ₁ 、20 ₂ を示した平面図であり、図5は、第三、第四� �腕部20 ₃ 、20 ₄ を示した平面図である。図6は各部材の結合� �態を示す模式図である。
 この図4~図6には、回動軸線間の距離や主回� ��軸線Oと回動軸線間の距離を示す符号が記載 されている。

 符号a ₁ ~a ₄ は、第一~第四の主能動アーム21 ₁ ~21 ₄ の第一~第四の規制部材25 ₁ ~25 ₄ に対する回動軸線であり、符号r ₁ ~r ₄ は第一~第四の補助能動アーム22 ₁ ~22 ₄ の第一~第四の規制部材25 ₁ ~25 ₄ に対する回動軸線である。
 各回転軸線O、s ₁ ~s ₄ と、各回動軸線a ₁ ~a ₄ 、r ₁ ~r ₄ は、垂直に配置されている。

 第一~第四の腕部20 ₁ ~20 ₄ に関し、主回転軸線Oと、第一~第四の副回転� ��線s ₁ ~s ₄ と、回動軸線a ₁ ~a ₄ 、r ₁ ~r ₄ を水平に結んで形成される四角形Os ₁ r ₁ a ₁ 、Os ₂ r ₂ a ₂ 、Os ₃ r ₃ a ₃ 、Os ₄ r ₄ a ₄ は、平行四辺形(正方形、長方形、菱形を含� �)になるように、軸線間の距離が設定されて� ��る。

 更に、この実施例では、主回転軸線Oと第一 ~第四の主能動アーム21 ₁ ~21 ₄ の回動軸線a ₁ ~a ₄ 間の距離Oa ₁ ~Oa ₄ は同一の距離Oaにされており、従って、それ� ��平行な、第一~第四の副回転軸線s ₁ ~s ₄ と、第一~第四の補助能動アーム22 ₁ ~22 ₄ の回動軸線r ₁ ~r ₄ 間の距離s ₁ r ₁ ~s ₄ r ₄ も、主回転軸線Oと第一~第四の主能動アーム2 1 ₁ ~21 ₄ の回動軸線a ₁ ~a ₄ 間の距離Oaと同一の距離srになっている(Oa=sr)� ��

 同様に、第一~第四の主能動アーム21 ₁ ~21 ₄ と第一~第四の補助能動アーム22 ₁ ~22 ₄ 間の距離に関し、主回転軸線Oと第一~第四の� ��回転軸線s ₁ ~s ₄ の距離Os ₁ ~Os ₄ は同一の距離Osにされており(上述したように 、この実施例では、第一、第三の副回転軸線 s ₁ 、s ₃ は一致しており、第二、第四の副回転軸線s ₂ 、s ₄ も一致している)、従って、第一~第四の主能� ��アーム21 ₁ ~21 ₄ の回動軸線a ₁ ~a ₄ と第一~第四の補助能動アーム22 ₁ ~22 ₄ の回動軸線r ₁ ~r ₄ 間の距離a ₁ r ₁ ~a ₄ r ₄ は、その距離Osと同一の距離arになっている(O s=ar)。

 次に、図4~6中の符号c ₁ ~c ₄ は、第一~第四の主従動アーム23 ₁ ~23 ₄ の第一~第四の規制部材25 ₁ ~25 ₄ に対する回動軸線を示しており、符号d ₁ ~d ₄ は第一~第四の補助従動アーム24 ₁ ~24 ₄ の第一~第四の規制部材25 ₁ ~25 ₄ に対する回動軸線を示している(上述したよ� �に、この実施例では、第一~第四の主従動ア� ��ム23 ₁ ~23 ₄ の回動軸線c ₁ ~c ₄ は第一~第四の主能動アーム21 ₁ ~21 ₄ の回動軸線a ₁ ~a ₄ と一致しており、第一~第四の補助従動アー� �24 ₁ ~24 ₄ の回動軸線d ₁ ~d ₄ は第一~第四の補助能動アーム22 ₁ ~22 ₄ の回動軸線r ₁ ~r ₄ と一致している。)。

 また、符号h ₁ ~h ₄ は第一~第四の主従動アーム23 ₁ ~23 ₄ の第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ に対する回動軸線を示しており、符号i ₁ ~i ₄ は第一~第四の補助従動アーム24 ₁ ~24 ₄ の第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ に対する回動軸線を示している。

 各回動軸線c ₁ ~c ₄ 、d ₁ ~d ₄ 、h ₁ ~h ₄ 、i ₁ ~i ₄ は、垂直に配置されており、第一~第四の主� �動アーム23 ₁ ~23 ₄ の両端の回動軸線c ₁ ~c ₄ 、h ₁ ~h ₄ と第一~第四の補助従動アーム24 ₁ ~24 ₄ の両端の回動軸線d ₁ ~d ₄ 、i ₁ ~i ₄ を水平に結んで形成される四角形c ₁ h ₁ i ₁ d ₁ 、c ₂ h ₂ i ₂ d ₂ 、c ₃ h ₃ i ₃ d ₃ 、c ₄ h ₄ i ₄ d ₄ が平行四辺形(正方形、長方形、菱形を含む)� ��なるように、回動軸線間の距離が設定され� ��いる。

 また、この実施例では、第一~第四の主従動 アーム23 ₁ ~23 ₄ に関し、その両端の回動軸線c ₁ ~c ₄ 、h ₁ ~h ₄ 間の距離c ₁ h ₁ ~c ₄ h ₄ は同一の距離chにされており、従って、第一~ 第四の補助従動アーム24 ₁ ~24 ₄ に関し、その両端の回動軸線d ₁ ~d ₄ 、i ₁ ~i ₄ 間の距離d ₁ i ₁ ~d ₄ i ₄ は、その距離chと同一の距離diになっている(c h=di)。

 同様に、第一~第四の規制部材25 ₁ ~25 ₄ と第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ に関し、第一~第四の規制部材25 ₁ ~25 ₄ 上の回動軸線c ₁ ~c ₄ 、d ₁ ~d ₄ 間の距離c ₁ d ₁ ~c ₄ d ₄ は同一の距離cdにされており、従って、第一~ 第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ 上の回動軸線h ₁ ~h ₄ 、i ₁ ~i ₄ 間の距離h ₁ i ₁ ~h ₄ i ₄ は、その距離cdと同一の距離hiになっている(c d=hi)。

 第一~第四の主能動アーム21 ₁ ~21 ₄ を含む平行四辺形Os ₁ r ₁ a ₁ 、Os ₂ r ₂ a ₂ 、Os ₃ r ₃ a ₃ 、Os ₄ r ₄ a ₄ 中の第一~第四の回転アーム16 ₁ ~16 ₄ の両端の辺Os ₁ ~Os ₄ と、第一~第四の規制部材25 ₁ ~25 ₄ 上の一辺a ₁ r ₁ ~a ₄ r ₄ とは平行であり、第一~第四の主従動アーム23 ₁ ~23 ₄ を含む平行四辺形c ₁ h ₁ i ₁ d ₁ 、c ₂ h ₂ i ₂ d ₂ 、c ₃ h ₃ i ₃ d ₃ 、c ₄ h ₄ i ₄ d ₄ 中の第一~第四の規制部材25 ₁ ~25 ₄ 上の一辺c ₁ d ₁ ~c ₄ d ₄ は、一辺a ₁ r ₁ ~a ₄ r ₄ と平行にされている(ここでは、辺c ₁ d ₁ ~c ₄ d ₄ とa ₁ r ₁ ~a ₄ r ₄ とは一致しており、距離cd=距離arである)。

 A回転部材13やB回転部材14が静止し、従って� ��第一~第四の回転アーム16 ₁ ~16 ₄ が静止した状態で、第一~第四の駆動軸11 ₁ ~11 ₄ が回転すると、第一~第四の腕部20 ₁ ~20 ₄ の平行四辺形は変形する。

 各腕部20 ₁ ~20 ₄ の二個の平行四辺形Os ₁ r ₁ a ₁ 、Os ₂ r ₂ a ₂ 、Os ₃ r ₃ a ₃ 、Os ₄ r ₄ a ₄ 、c ₁ h ₁ i ₁ d ₁ 、c ₂ h ₂ i ₂ d ₂ 、c ₃ h ₃ i ₃ d ₃ 、c ₄ h ₄ i ₄ d ₄ 中の、互いに平行な四辺Os ₁ ~Os ₄ 、a ₁ r ₁ ~a ₄ r ₄ 、c ₁ d ₁ ~c ₄ d ₄ 、h ₁ i ₁ ~h ₄ i ₄ の長さは等しいから、他の四辺Oa ₁ ~Oa ₄ 、s ₁ r ₁ ~s ₄ r ₄ 、c ₁ h ₁ ~c ₄ h ₄ 、d ₁ i ₁ ~d ₄ i ₄ の長さが等しければ、第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ 上の回動軸線を水平に結ぶ一辺は、その辺の 延長線上を直線移動する。

 第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ は直線移動する辺に対して固定されているか ら、A回転部材13やB回転部材14が静止した状態 で、第一~第四の駆動軸11 ₁ ~11 ₄ が回転すると、第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ は、その一辺の延長線上を直線移動する。

 他方、第一の駆動軸11 ₁ とA回転部材13が同一角度同一方向に回転する 場合には、第一の腕部20 ₁ と第一の載置部15 ₁ が、主回転軸線Oの廻りに同一方向に同一角� �回転し、同様に、第二の駆動軸11 ₂ とB回転部材14、第三の駆動軸11 ₃ とA回転部材13、第四の駆動軸11 ₄ とB回転部材14が同一角度同一方向に回転する と、第二~第四の腕部20 ₂ ~20 ₄ と第二~第四の載置部15 ₂ ~15 ₄ は、主回転軸線O廻りに同一方向に同一角度� �転するから、第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ は回転移動される。

 従って、直線移動と回転移動を組み合わせ� ��と、第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ を所望の場所に移動させることができる。
 特に、第一、第二の腕部20 ₁ 、20 ₂ を一組とし、第三、第四の腕部20 ₃ 、20 ₄ を他の一組とすると、A回転部材13とB回転部� �14との間の角度を変えることで、同じ組の載 置部15 ₁ ~15 ₄ 間(第一の載置部15 ₁ と第二の載置部15 ₂ の間、又は第三の載置部15 ₃ と第四の載置部15 ₄ の間)の間隔や相対的な位置を変化させるこ� �ができるので、同じ処理室3~8内には同じ組� �載置部15 ₁ ~15 ₄ を挿入するようにすると、二枚の基板30を一� ��に搬出入することができる。

 処理室3~8内に上下動可能な移載機構を設け� ��おくと、搬入の際には、第一~第四の載置部 15 ₁ ~15 ₄ の先端に乗せた基板30を移載機構の上方に位� ��させ、移載機構を上昇させて第一~第四の載 置部15 ₁ ~15 ₄ 上の基板を移載機構に移載し、搬出の際には 、移載機構上に乗せた基板30の下方に第一~第 四の載置部15 ₁ ~15 ₄ の先端を挿入し、移載機構を降下させて基板 30を第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ 上に移載することができる。

 また、第一~第四の駆動軸11 ₁ ~11 ₄ と、A回転部材13と、B回転部材14とを上下移動 可能に構成しておき、搬入の際には、第一~� �四の載置部15 ₁ ~15 ₄ の先端に乗せた基板30を移載機構の上方に位� ��させ、第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ を降下させて第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ 上の基板30を移載機構に移載し、搬出の際に� ��、移載機構上に乗せた基板30の下方に第一~� ��四の載置部15 ₁ ~15 ₄ の先端を挿入し、第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ を上昇させて載置部15 ₁ ~15 ₄ 上に基板30を移載することができる。

 なお、各アーム16 ₁ ~16 ₄ 、21 ₁ ~21 ₄ 、22 ₁ ~22 ₄ 、23 ₁ ~23 ₄ 、24 ₁ ~24 ₄ は異なる高さに配置されており、第一~第四� �規制部材25 ₁ ~25 ₄ や第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ と異なる高さのアーム16 ₁ ~16 ₄ 、21 ₁ ~21 ₄ 、22 ₁ ~22 ₄ 、23 ₁ ~23 ₄ 、24 ₁ ~24 ₄ は、鉛直に配置された連結管27 ₁ ~27 ₄ によって、第一~第四の規制部材25 ₁ ~25 ₄ や第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ に接続されている。

 各アーム16 ₁ ~16 ₄ 、21 ₁ ~21 ₄ 、22 ₁ ~22 ₄ 、23 ₁ ~23 ₄ 、24 ₁ ~24 ₄ と各載置部15 ₁ ~15 ₄ は、高さが異なるため、第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ が水平面内で移動する際に、各アーム16 ₁ ~16 ₄ 、21 ₁ ~21 ₄ 、22 ₁ ~22 ₄ 、23 ₁ ~23 ₄ 、24 ₁ ~24 ₄ と各載置部15 ₁ ~15 ₄ が衝突しないようになっている。

 各腕部20 ₁ ~20 ₄ の二個の平行四辺形Os ₁ r ₁ a ₁ 、Os ₂ r ₂ a ₂ 、Os ₃ r ₃ a ₃ 、Os ₄ r ₄ a ₄ 、c ₁ h ₁ i ₁ d ₁ 、c ₂ h ₂ i ₂ d ₂ 、c ₃ h ₃ i ₃ d ₃ 、c ₄ h ₄ i ₄ d ₄ の辺のうち、四辺Os ₁ ~Os ₄ 、a ₁ r ₁ ~a ₄ r ₄ 、c ₁ d ₁ ~c ₄ d ₄ 、h ₁ i ₁ ~h ₄ i ₄ の長さが等しく、(Os=ar=cd=hi)、一辺(a ₁ r ₁ ~a ₄ r ₄ 、c ₁ d ₁ ~c ₄ d ₄ )を共通にしている(他の四辺Oa ₁ ~Oa ₄ 、s ₁ r ₁ ~s ₄ r ₄ 、c ₁ h ₁ ~c ₄ h ₄ 、d ₁ i ₁ ~d ₄ i ₄ の長さも等しい(Oa=sr=ch=di))。

 この場合、主回転軸線Oを中心に、第一、第 三の副回転軸線s ₁ 、s ₃ を主回転軸線Oの片側に配置し、第二、第四� �副回転軸線s ₂ 、s ₄ を反対側に配置し、主回転軸線Oと、第一~第� ��の副回転軸線s ₁ ~s ₄ とを同一の鉛直面内に位置させると、第一~� �四の載置部15 ₁ ~15 ₄ 上の回動軸線h ₁ ~h ₄ 、i ₁ ~i ₄ もその鉛直面内に位置する。

 第一、第三の規制部材25 ₁ 、25 ₃ は、その鉛直面の片側に位置し、第二、第四 の規制部材25 ₂ 、25 ₄ は反対側に位置しており、第一~第四の載置� �15 ₁ ~15 ₄ には、鉛直面の、第一~第四の規制部材25 ₁ ~25 ₄ が配置された側に伸びた第一~第四の支持ア� �ム18 ₁ ~18 ₄ が設けられており、第一~第四の支持アーム18 ₁ ~18 ₄ の先端には基板30を配置できるように構成さ� ��ている。

 主回転軸線Oと、第一~第四の副回転軸線s ₁ ~s ₄ とが同一の鉛直面内に位置する状態では、第 一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ 上に配置された基板30は、その鉛直面と交差� ��ず、互いに離間して位置するようにされて� ��る。

 また、第一の載置部15 ₁ と第二の載置部15 ₂ は、主回転軸線Oを通り、前記鉛直面に対し� �垂直な平面に対して同じ側に位置しており� �第一、第二の載置部15 ₁ 、15 ₂ が同一方向に同距離直線移動すると、第一、 第二の載置部15 ₁ 、15 ₂ が同一の処理室3~8内に挿入又は抜去されるよ うに構成されている。

 同様に、第三の副回転軸線s ₃ と、第四の副回転軸線s ₄ が、主回転軸線Oを中心にして反対側にあり� �第三の副回転軸線s ₃ と、第四の副回転軸線s ₄ と、主回転軸線Oとが同一平面上にある場合� �第三の載置部15 ₃ と第四の載置部15 ₄ は、その平面に対して互いに反対側に位置し ており、且つ、主回転軸線Oを通り、その平� �とは垂直な平面に対して同じ側に位置して� �る。

 この例では、第一、第三の副回転軸線s ₁ 、s ₃ は一致しており、第二、第四の副回転軸線s ₂ 、s ₄ も一致しているが、第一、第二の載置部15 ₁ 、15 ₂ は、主回転軸線Oを通り、第一、第三の副回� �軸線s ₁ 、s ₃ と主回転軸線Oと第二、第四の副回転軸線s ₂ 、s ₄ を通る平面に対して垂直な平面を中央にして 、第三、第四の載置部15 ₃ 、15 ₄ とは、反対側に位置している。

 従って、一台の処理室3~8内に第一の載置部1 5 ₁ と第二の載置部15 ₂ 、又は、第三の載置部15 ₃ と第四の載置部15 ₄ を搬入すると、一回の搬入動作で二枚の基板 30を処理室3~8内に搬入又は搬出することがで� ��る。

 なお、第一の補助能動アーム22 ₁ と第三の補助能動アーム22 ₃ が成す角度と、第二の補助能動アーム22 ₂ と第四の補助能動アーム22 ₄ が成す角度は等しくされており、従って、第 一、第二の補助能動アーム22 ₁ 、22 ₂ が成す角度と、第三、第四の補助能動アーム 22 ₃ 、22 ₄ が成す角度は等しい。

 また、上記実施例では、各回転軸線O、s ₁ ~s ₄ 間をアーム16 ₁ ~16 ₄ 、21 ₁ ~21 ₄ 、22 ₁ ~22 ₄ 、23 ₁ ~23 ₄ 、24 ₁ ~24 ₄ によって、距離が変化しないように連結した が、アームではなく、ギヤで連結することが できる。また、ベルトによって回転力を伝達 させてもよい。

 上記実施例では、第一~第四の腕部20 ₁ ~20 ₄ 及び第一~第四の載置部15 ₁ ~15 ₄ を有する基板搬送ロボット10について説明し� ��が、本発明の基板搬送ロボットは、第三、� ��四の載置部15 ₃ 、15 ₄ を設けず、副回転軸線が別の回転部材(A回転� ��材とB回転部材)に設けられた第一、第二の� �部20 ₁ 、20 ₂ 、及び第一、第二の載置部15 ₁ 、15 ₂ によって基板搬送ロボットを構成してもよい 。
 また、第二、第四の載置部15 ₂ 、15 ₄ を設けず、副回転軸線が同じ回転部材(A回転� ��材又はB回転部材)に設けられている第一、� �三の腕部20 ₁ 、20 ₃ 、及び第一、第三の載置部15 ₁ 、15 ₃ によって基板搬送ロボットを構成してもよい 。この場合、第一、第三の副回転軸線s ₁ 、s ₃ は離間した位置に配置してもよいし、一致し た位置に配置してもよい。