<第1実施形態>
 <全体構成>
 図1は本発明の一実施形態に係る基板搬送シ ステムAのレイアウトを示す平面図、図2は基� ��搬送システムAの側面図である。なお、各図 において、矢印X、Yは相互に直交する水平方� ��、矢印Zは上下方向(鉛直方向)を示す。本実� ��形態の場合、基板搬送システムAは、方形薄 板状のガラス基板Wを収納する収納カセット10 と、ガラス基板Wを処理する処理装置20(その� �部のみが図示されている。)と、の間でガラ� ��基板Wを搬送する。なお、ガラス基板Wは図2� ��おいては破線で図示し、図1においては図示 を省略している。

 処理装置20は、例えば、ガラス基板の洗� �、乾燥、その他の処理を行う。処理装置20は 、その内部に複数枚のガラス基板、例えば、 収納カセット10に収納可能な数のガラス基板W を収納可能である。また、処理装置20におい� ��は、一枚ずつガラス基板Wの搬入、搬出がな される。なお、本実施形態ではガラス基板を 搬送対象とするが、液晶基板、PDP基板等の他 の基板にも本発明は適用可能である。

 本実施形態の基板搬送システムAは、2つ� �収納カセット10と、一つの処理装置20との間� ��、ガラス基板Wを搬送する。なお、3以上の� �納カセット10と、一つの処理装置20との間で� ��ガラス基板Wを搬送するように構成すること もできる。

 2つの収納カセット10は、Y方向に離間して 配置されており、これらの収納カセット10の� ��置方向はY方向である。各収納カセット10と� ��理装置20とは、X方向に離間して配置されて� ��る。したがって、本実施形態の場合、基板� ��送システムAの基板の搬送方向はX方向であ� �、搬送方向に直交する方向はY方向である。

 2つの収納カセット10は、それらのガラス� ��板Wの搬入出部が+X方向を向くように配置さ� ��、処理装置20は、そのガラス基板Wの搬入出� ��が-X方向を向くように配置されている。

 基板搬送システムAは、同時搬送コンベア 30と、個別搬送コンベア31と、これらのコン� �ア30及び31毎に設けられた2つのコンベア移動 ユニット1と、2つの移載コンベア32と、移載� �ンベア70と、一対の昇降装置80と、を備える� ��

 <収納カセット>
 図3は収納カセット10の斜視図である。収納� ��セット10はガラス基板WをZ方向に多段に収納 可能なカセットである。なお、図3はガラス� �板Wが未収納の状態を示している。本実施形� ��の場合、収納カセット10は複数の柱部材11と 、梁部材12と、により略直方体形状のフレー� ��体をなしている。柱部材11の配設間隔及び� �部材12の配設間隔は、移載コンベア32が収納� ��セット10の下方から収納カセット10内に進入 できるように設定される。

 柱部材11は、X方向に複数配設されると共� ��、Y方向に離間して同数並設されている。Y� �向に離間した一対の柱部材11間には、Z方向� �並べて、かつ、所定のピッチでワイヤ13が張 設されている。各ワイヤ13の上下間のスペー� ��は、ガラス基板Wを収納するスロットを形成 し、ガラス基板Wは略水平姿勢でワイヤ13上に 載置される。そして、Z方向に並んだワイヤ13 の数だけ、スロットが形成される。

 本実施形態の場合、一つのスロットに複� ��のガラス基板WがY方向に並べて収納される� �しかし、複数のガラス基板WをY方向及びX方� �に並べて収納してもよく、更に、一つのス� �ットに一つのガラス基板Wを収納するように� ��てもよい。また、本実施形態ではスロット� ��ワイヤにより形成したが、他の方式ももち� ��ん採用可能である。但し、ワイヤの使用に� ��り、収納される基板間の間隔を小さくする� ��とができ、収納カセット10の収納効率を高� �ることができる。

 <コンベア>
 次に、同時搬送コンベア30、個別搬送コン� �ア31及び移載コンベア32の構成について説明� ��る。本実施形態の場合、これらのコンベア� ��、いずれも、複数のローラコンベアをマト� ��ックス状に配置して構成されている。しか� ��、ベルトコンベア等、他の形式のコンベア� ��用いてもよい。

 図4は、各コンベア30、31及び32を構成する ローラコンベアユニット100及び110を示す斜視 図である。同図に示すように、本実施形態で は、大きさが異なる2種類のローラコンベア� �ニット100及び110を使用することで、サイズ� �異なるガラス基板Wを同じシステムで搬送で� ��るようにしている。

 ローラコンベアユニット100は、ガラス基� ��W(図4において不図示)が載置される複数のロ ーラ101と、ローラ101の駆動装置を内蔵した駆 動ボックス102と、ローラ101上のガラス基板W� �検出するセンサ103と、を備える。ローラ101� �、Y方向の回転軸回りに回転し、ガラス基板W をX方向に搬送する。

 ローラコンベアユニット110は、ガラス基� ��Wが載置される複数のローラ111と、ローラ111 の駆動装置を内蔵した駆動ボックス112と、ロ ーラ111上のガラス基板Wを検出するセンサ113� �、を備える。ローラ111は、Y方向の回転軸回� ��に回転し、ガラス基板WをX方向に搬送する� �ローラコンベアユニット110のY方向の幅は、� ��ーラコンベアユニット100のY方向の幅の約半 分である。各ローラコンベアユニット100及び 各ローラコンベアユニット110はそれぞれ独立 して駆動可能である。

 本実施形態の場合、Y方向の両端部に一つ ずつローラコンベアユニット100が配置され、 これらのローラコンベアユニット100の間に2� �のローラコンベアユニット110が配置されて� �る。Y方向に並ぶこれら4つのローラコンベア ユニット100及び110を、「ローラコンベアユニ ットの組」とも呼ぶ。図4は、「ローラコン� �アユニットの組」をX方向に3つ並べた態様を 示している。

 図1及び図2を参照して、本実施形態では� �同時搬送コンベア30、個別搬送コンベア31及� ��移載コンベア32は、いずれも「ローラコン� �アユニットの組」をX方向に3つ並べて構成さ れている。つまり、図4に示したローラコン� �アユニット100及び110の配列と同じである。

 移載コンベア32、同時搬送コンベア30、及 び、移載コンベア32は、X方向に配置されてお り、これらのコンベアによりガラス基板WをX� ��向に連続的に搬送することが可能である。

 また、同時搬送コンベア30、個別搬送コ� �ベア31及び移載コンベア32は、いずれもガラ� ��基板Wの搬送方向(X方向)に直交するY方向に� �数枚のガラス基板Wを並べて載置可能な幅(Y� �向の幅)を有している。図5は、収納カセット 10におけるガラス基板W1、W2の収納態様及び移 載コンベア32上のガラス基板W1、W2の位置の例 (2例)を示す平面図である。移載コンベア32は� ��収納カセット10毎に設けられている。

 図5の上の例は、収納カセット10の各スロ� ��トに2枚のガラス基板W1を収納した例であり� ��移載コンベア32は、Y方向に2枚のガラス基板 W1を載置可能である。図5の下の例は、収納カ セット10の各スロットに3枚のガラス基板W2を� ��納した例であり、移載コンベア32は、Y方向� ��3枚のガラス基板W2を載置可能である。ガラ� ��基板W2は、ガラス基板W1よりもY方向の幅が� �さいガラス基板である。

 ガラス基板W1を搬送対象とした場合、移� �コンベア32と同様に、同時搬送コンベア30及� ��個別搬送コンベア31上には、Y方向に2枚のガ ラス基板W1を載置できる。また、ガラス基板W 2を搬送対象とした場合、移載コンベア32と同 様に、同時搬送コンベア30及び個別搬送コン� ��ア31上には、Y方向に3枚のガラス基板W2を載� ��できる。

 図1及び図2に戻り、移載コンベア70は単一 のローラコンベアユニットから構成されたロ ーラコンベアである。移載コンベア70は、処� ��装置20と個別搬送コンベア31との間のガラス 基板Wの受け渡しを行う。なお、移載コンベ� �70を設けずに、個別搬送コンベア31と処理装� ��20との間で直接ガラス基板Wを受け渡すよう� ��してもよい。

 <昇降装置>
 図6は一対の昇降装置80の斜視図、図7は昇降 装置80の分解斜視図である。本実施形態では� ��昇降装置80により収納カセット10をZ方向に� �降することで、収納カセット10と移載コンベ ア32とをZ方向に相対的に移動する。しかし、 移載コンベア32をZ方向に昇降する構成として もよい。なお、移載コンベア32を昇降する構� ��とした場合は、同時搬送コンベア30も昇降� �る構成とすることになる。

 本実施形態の場合、昇降装置80は収納カ� �ット10を挟むように収納カセット10の互いに� ��向するY方向の両側部にそれぞれ配設され、 収納カセット10を片持ち支持する。この構成� ��よれば、昇降装置80をより薄型化できる。

 昇降装置80は、収納カセット10の底部の梁 部材12が載置されるビーム部材81を備える。� �昇降装置80の各ビーム部材81が同期的にZ方向 に移動することで収納カセット10が昇降され� ��。昇降装置80はZ方向に延びる支柱82を備え� �支柱82の内側表面にはZ方向に延びる一対の� �ール部材83及びラック84が固定されている。� ��昇降装置80間には、支柱82の上端に梁部材80a が架設されている。

 ビーム部材81は支持板85の一側面にブラケ ット85aを介して固定されて支持される。支持 板85の他側面にはレール部材83に沿って移動� �能な4つのスライド部材86が固定され、ビー� �部材81及び支持板85はレール部材83の案内に� �り上下に移動する。駆動ユニット87はモータ 87aと減速機87bとから構成されており、支持板 88の一側面に固定されて支持されている。減� ��機87bの出力軸は支持板88を貫通して支持板88 の他側面に配設されたピニオン89aに接続され ている。

 支持板85と支持板88とは所定の間隔を置い て相互に固定され、支持板85と支持板88との� �隙にはピニオン89b乃至89dが配設されている� �ピニオン89b乃至89dは支持板85と支持板88との� ��で回転可能に軸支され、ピニオン89b及びピ� ��オン89cは、ピニオン89aの回転に従動して回� ��する。ピニオン89dはピニオン89cの回転に従� ��して回転する。ピニオン89b乃至89dは相互に� ��じ仕様のピニオンであり、2つのピニオン89b 及び89dは各ラック84と噛み合っている。

 しかして、駆動ユニット87を駆動すると� �ニオン89aが回転し、その駆動力により、駆� �ユニット87、支持板85及び88、スライド部材86 、及び、ビーム部材81が一体となって上方又� ��下方へ移動することになり、ビーム部材81� �に載置された収納カセット10を昇降すること ができる。各昇降装置80には、互いのビーム� ��材81の昇降高さのずれを検出するセンサ81a� �ビーム部材81の端部に設けられている。

 センサ81aは例えば発光部と受光部とを備� ��た光センサであり、図6に示すように相互に 光をY方向に照射してこれを受光したか否か� �判定する。受光した場合は互いのビーム部� �81の昇降高さのずれがないことになり、受光 しない場合は昇降高さにずれがあることにな る。昇降高さのずれがセンサ81aで検出される と、モータ87aの制御によりずれが解消される よう制御される。センサ81aを設けてビーム部 材81の昇降高さのずれを制御することで、昇� ��時に収納カセット10が傾くことを防止し、� �納カセット10をより安定して昇降することが できる。

 なお、各ビーム部材81に設けられる2つの� ��ンサ81aは、その一方が発光部と受光部との� ��ずれか一方を、その他方が発光部と受光部� ��の他方を、有する構成としてもよい。また� ��光センサに限られず、他のセンサも採用可� ��である。

 図8はガラス基板Wを収納カセット10から搬 出する場合の、昇降装置80(図8においては不� �示)による収納カセット10の昇降動作を示す� �である。ガラス基板Wの搬出は、ガラス基板W が収納されたスロットのうち、最下方のスロ ットに収納されたガラス基板Wから順番に行� �。

 まず、図8の左上図に示すように、移載コ ンベア32の上方に収納カセット10が位置した� �態から、昇降装置80により収納カセット10を� ��下させ、図8の右上図に示すように、移載コ ンベア32上に、搬送対象のガラス基板Wを載置 する。このとき、移載コンベア32は収納カセ� ��ト10内に下方から進入し、搬送対象のガラ� �基板Wは収納カセット10のワイヤ13から浮いた 状態となり、移載コンベア32のみによって支� ��された状態となる。続いて移載コンベア32� �駆動して、図8の左下図に示すように、搬送� ��象のガラス基板Wを収納カセット10から搬出� ��る。以下、同様に、収納カセット10の降下� �移載コンベア32の駆動とを繰り返し(図8の右� ��図)、下方側から順番にガラス基板Wを搬出� �ることになる。

 ガラス基板Wを収納カセット10へ搬入する� ��合は、上述した搬出時の動作と概ね逆の動� ��となる。ガラス基板Wの搬入は、ガラス基板 Wが収納されていないスロットのうち、最下� �のスロットから順番に行う。

 <コンベア移動ユニット>
 コンベア移動ユニット1は、同時搬送コンベ ア30と、個別搬送コンベア31と、にそれぞれ� �けられ、同時搬送コンベア30と個別搬送コン ベア31とをY方向に移動する。同時搬送コンベ ア30を移動するコンベア移動ユニット1は、同 時搬送コンベア30と2つの収納カセット10との� ��の位置決めを行う。個別搬送コンベア31を� �動するコンベア移動ユニット1は、個別搬送� ��ンベア31と処理装置20との間の位置決めを行 う。更に、各コンベア移動ユニット1は、同� �搬送コンベア30と個別搬送コンベア31との間� ��位置決めを行う。

 図9は、コンベア移動ユニット1の分解斜� �図である。コンベア移動ユニット1は、同時� ��送コンベア30又は個別搬送コンベア31が搭載 される支持板2を備える。支持板2の下面には� ��一対のレール部材5上を摺動する複数のスラ イド部材2bが設けられている。一対のレール� ��材5は、X方向に離間させて平行に設けられ� �それぞれY方向に延びている。支持板2は、ス ライド部材2bがレール部材5に案内されること により、Y方向に移動可能である。

 一対のレール部材5間にはY方向に離間し� �複数の梁部材6が架設されており、これらの� ��部材6上によりラック7が下方から支持され� �いる。ラック7はY方向に延びており、その側 面に歯型7bを有しており、その上面には、支� ��板2のY方向の位置を検出するためのマーク� �7aを有している。

 支持板2には、開口部2aが設けられている� ��開口部2aにはモータ3が挿入される。モータ3 には取付板3aが設けられており、取付板3aを� �してモータ3が支持板2に固定される。モータ 3の出力軸には、ラック7の歯型7bと噛合する� �ニオン3bが取り付けられている。また、取付 板3aの下面にはマーク帯7a上の個々のマーク� �検出するセンサ4が設けられている。センサ4 は例えば光センサである。

 このようなラック-ピニオン機構を有する コンベア移動ユニット1は、モータ3を駆動す� ��ことにより、支持板2がレール部材5上を移� �し、同時搬送コンベア30、個別搬送コンベア 31をY方向に移動することができる。また、セ ンサ4がマーク帯7a上のマークを検出すること で、同時搬送コンベア30、個別搬送コンベア3 1のY方向の位置を特定することができる。

 なお、本実施形態では、同時搬送コンベ� ��30及び個別搬送コンベア31を移動する機構と して、ラック-ピニオン機構を用いたが、ベ� �ト伝動機構、リニアモータ等、他の機構も� �用可能である。また、個別搬送コンベア31の Y方向の位置の特定も、センサ4とマーク帯7a� �組み合わせ以外に、他の位置検出手段(例え� ��モータ3の回転量を検出するエンコーダ)を� �いることもできる。

 <制御装置>
 図10は基板搬送システムAの制御装置200の構� ��を示すブロック図である。制御装置200は基� ��搬送システムAの全体の制御を司るCPU201と、 CPU201のワークエリアを提供すると共に、可変 データ等が記憶されるRAM202と、制御プログラ ム、制御データ等の固定的なデータが記憶さ れるROM203と、を備える。RAM202、ROM203は他の記 憶手段を採用可能である。

 入力インターフェース(I/F)204は、CPU201と� �種のセンサ(例えば、センサ4、81a等)とのイ� �ターフェースであり、入力I/F204を介してCPU20 1は各種のセンサの検出結果を取得する。出� �インターフェース(I/F)205は、CPU201と各種のモ ータ(例えば、モータ3、87a、駆動ボックス102� ��112内のモータ等)とのインターフェースであ り、出力I/F205を介してCPU201は各種のモータを 制御する。

 通信インターフェース(I/F)206は、基板搬� �システムAを含む基板処理設備全体を制御す� ��ホストコンピュータ300とCPU201とのインター� ��ェースであり、CPU201はホストコンピュータ3 00からの指令に応じて基板搬送システムAを制 御することになる。

 <基板搬送システムAによる基板の搬送例&g t;
 <同時搬送コンベアの搬送例>
 図11及び図12は移載コンベア32と同時搬送コ� ��ベア30との間でガラス基板W1を搬送する例を 示した図である。各「ローラコンベアユニッ トの組」を同期的に駆動することで、Y方向� �複数枚のガラス基板W1を並べて同時にX方向� �搬送することができる。なお、ここではガ� �ス基板W1を例に挙げるが、ガラス基板W2につ� ��ても同様である。

 図11は、2つの収納カセット10のうち、一� �の収納カセット10と同時搬送コンベア30との� ��で複数のガラス基板W1を同時に移載する例� �示している。この場合、まず、コンベア移� �ユニット1により、同時搬送コンベア30を、� �方の収納カセット10とガラス基板W1の移載を� ��う位置に移動する。具体的には、同時搬送� ��ンベア30及び移載コンベア32の各ローラコン ベアユニット100及び110がX方向に連続するよ� �に、同時搬送コンベア30を所定の位置に移動 する。その後、同時搬送コンベア30及び移載� ��ンベア32の各ローラコンベアユニット100及� �110を駆動することで、複数枚のガラス基板W� ��同時に移載できる。

 図12は、2つの収納カセット10のうち、他� �の収納カセット10と同時搬送コンベア30との� ��で複数のガラス基板W1を同時に移載する例� �示している。この場合も、まず、コンベア� �動ユニット1により、同時搬送コンベア30を� �他方の収納カセット10とガラス基板W1の移載� ��行う位置に移動し、その後、同時搬送コン� ��ア30及び移載コンベア32の各ローラコンベア ユニット100及び110を駆動することで、複数枚 のガラス基板W1を同時に移載できる。

 本実施形態では、このように、同時搬送� ��ンベア30と移載コンベア32との間で、Y方向� �複数枚のガラス基板を並べて同時に搬送す� �ことができ、収納カセット10に対するガラス 基板の搬出、搬入の効率を向上できる。

 本実施形態では、同時搬送コンベア30と� �載コンベア32とを、独立して駆動される複数 のローラコンベアユニット100及び110から構成 したが、Y方向に複数枚のガラス基板を並べ� �同時に搬送するだけであれば、移載コンベ� �70のように単一のローラコンベアユニットに より同時搬送コンベア30、移載コンベア32を� �れぞれ構成することもできる。

 但し、本実施形態のように、同時搬送コ� ��ベア30と移載コンベア32とを、独立して駆動 される複数のローラコンベアユニット100及び 110から構成することで、搬送態様のバリエー ションが増えるという利点がある。例えば、 ガラス基板を一枚ずつ搬送する搬送態様も選 択的に採用できる。また、例えば、+Y側にお� ��てはガラス基板を+X方向に、-Y側においては ガラス基板を-X方向に、というように、複数� ��ガラス基板を互いに逆向きに搬送する搬送� ��様も選択的に採用できる。

 図13及び図14は、移載コンベア32と同時搬� ��コンベア30との間でガラス基板W1を1枚ずつ� �送する例を示した図である。図13は、移載コ ンベア32から1枚目のガラス基板W1が同時搬送� ��ンベア30に搬送される状態を示す。この状� �から、図14に示すようにコンベア移動ユニッ ト1により、同時搬送コンベア30を+Y方向に所� ��量移動して停止し、2枚目のガラス基板W1を� ��時搬送コンベア30に搬送する。

 この場合、ローラコンベアユニット100及� ��110は、ガラス基板のサイズ、搬送位置に応� ��て選択的に駆動される。例えば、図13の状� �では、移載コンベア32及び同時搬送コンベア 30のローラコンベアユニット100及び110のうち� ��+Y方向側の半分のローラコンベアユニット10 0及び110が駆動される。図14の状態では、移載 コンベア32のローラコンベアユニット100及び1 10のうち、+Y方向側の半分のローラコンベア� �ニット100及び110が駆動され、同時搬送コン� �ア30のローラコンベアユニット100及び110のう ち、-Y方向側の半分のローラコンベアユニッ� ��100及び110が駆動される。また、図13の状態� �ら図14の状態へ至る、同時搬送コンベア30の� ��動量もガラス基板の大きさ、搬送位置に応� ��て設定される。

 このようにすることで、移載コンベア32� �同時搬送コンベア30との間ではガラス基板W1� ��1枚ずつ搬送することができる。このため、 例えば、移載コンベア32がガラス基板を1枚ず つしか搬送できず、収納カセット10の各スロ� ��トに1枚ずつしかガラス基板を収納できない 場合であっても、本実施形態の基板搬送シス テムAを適用できる。

 <同時搬送コンベアと個別搬送コンベアと の間のガラス基板の搬送例>
 図15は、同時搬送コンベア30と個別搬送コン ベア31との間でガラス基板W1を搬送する例を� �した図である。なお、ここではガラス基板W1 を例に挙げるが、ガラス基板W2についても同� ��である。

 同時搬送コンベア30と個別搬送コンベア31 との間でガラス基板W1を搬送する場合、少な� ��ともいずれか一方のコンベア移動ユニット1 を移動させて、同時搬送コンベア30と個別搬� ��コンベア31との位置決めを行う。具体的に� �、同時搬送コンベア30及び個別搬送コンベア 31の各ローラコンベアユニット100及び110がX方 向に連続するように、同時搬送コンベア30又� ��個別搬送コンベア31のいずれか一方を所定� �位置に移動する。その後、図15に示すように 、同時搬送コンベア30及び個別搬送コンベア3 1の各ローラコンベアユニット100及び110を駆� �することで、複数枚のガラス基板W1を同時に 搬送できる。

 このように、本実施形態では、複数枚の� ��ラス基板を、同時搬送コンベア30によって� �並列搬送することが可能である。つまり、Y� ��向に複数枚のガラス基板を並べて、これら� ��ガラス基板を同時搬送することが可能であ� ��。これにより、収納カセット10と処理装置20 との間でのガラス基板の搬送における搬送能 力を向上することができる。また、コンベア 移動ユニット1を設け、2つの収納カセット10� �同時搬送コンベア30を共用したことにより、 コンベアの数をより少なくすることができる 。

 なお、本実施形態では、同時搬送コンベ� ��30とコンベア移動ユニット1とにより、個別� ��送コンベア31を介さずに、2つの収納カセッ� ��10間でガラス基板を移し変えることもでき� �。その際、複数枚のガラス基板を同時に搬� �できるので、ガラス基板の移し変えを迅速� �できる。

 <個別搬送コンベアの搬送例>
 本実施形態の場合、処理装置20はガラス基� �を1枚ずつ搬入、搬出する。したがって、同� ��搬送コンベア30から個別搬送コンベア31へ同 時に搬送された複数枚のガラス基板を、個別 搬送コンベア31から処理装置20に搬送する際� �、搬送枚数を複数枚から一枚に変換する必� �がある。個別搬送コンベア31とコンベア移動 ユニット1とは、この搬送枚数の変換を行う� �これにより、処理装置20に対しては、1枚ず� �ガラス基板の受け渡しができる。

 図16乃至図18は、個別搬送コンベア31から� ��理装置20へガラス基板W1を一枚ずつ搬送する 例を示した図である。図16は、個別搬送コン� ��ア31上に2枚のガラス基板W1が載置されてい� �状態を示す。この状態で、いずれか一方の� �ラス基板W1と処理装置20との位置決め、つま� ��、ガラス基板W1と処理装置20の搬入出位置と の位置合わせを行う。本実施形態の場合、処 理装置20のY方向中央部分が、ガラス基板W1の� ��入出位置である場合を想定する。

 本実施形態の場合、この位置決めはコン� ��ア移動ユニット1が行う。図16に示すように� ��ガラス基板W1と処理装置20との位置決めが終 了すると個別搬送コンベア31と移載コンベア7 0とを駆動して、図17に示すように1枚目のガ� �ス基板W1を処理装置20へ搬送する。その際、� ��別搬送コンベア31の各ローラコンベアユニ� �ト100及び110は、ガラス基板W1のサイズ及び個 別搬送コンベア31上の位置に応じて選択的に� ��動される。図17の例の場合、-Y側の半分のロ ーラコンベアユニット100及び110が駆動される 。

 続いて、2枚目のガラス基板W1を1枚目のガ ラス基板W1と同様の手順で搬送する。図18に� �すように、コンベア移動ユニット1により個� ��搬送コンベア31を-Y方向に移動して、2枚目� �ガラス基板と処理装置20との位置決めを行い 、位置決め終了後に個別搬送コンベア31と移� ��コンベア70とを駆動して、図18に示すように 2枚目のガラス基板W1を処理装置20へ搬送する� ��

 図19乃至図21は、個別搬送コンベア31から� ��理装置20へガラス基板W2を一枚ずつ搬送する 例を示した図である。個別搬送コンベア31は� ��ラス基板W2を3枚載置できる幅を有しており� ��処理装置20へ3回に分けてガラス基板W2を搬� �することになる。

 図19は、コンベア移動ユニット1により1枚 目のガラス基板W2と処理装置20との位置決め� �行った後、1枚目のガラス基板W2が処理装置20 へ搬入される状態を示す。この場合、個別搬 送コンベア31の各ローラコンベアユニット100� ��び110のうち、+Y側の3つのローラコンベアユ� ��ット100のみが駆動される。

 図20は、コンベア移動ユニット1により2枚 目のガラス基板W2と処理装置20との位置決め� �行った後、2枚目のガラス基板W2が処理装置20 へ搬入される状態を示す。この場合、個別搬 送コンベア31の各ローラコンベアユニット100� ��び110のうち、Y方向中央の6つのローラコン� �アユニット110のみが駆動される。

 図19は、コンベア移動ユニット1により3枚 目のガラス基板W2と処理装置20との位置決め� �行った後、3枚目のガラス基板W2が処理装置20 へ搬入される状態を示す。この場合、個別搬 送コンベア31の各ローラコンベアユニット100� ��び110のうち、-Y側の3つのローラコンベアユ� ��ット100のみが駆動される。

 このようにして本実施形態では、1枚ずつ ガラス基板を処理装置20へ搬入できる。処理� ��置20から個別搬送コンベア31へガラス基板を 搬出する場合は、搬入時と略逆の手順となる 。

 <ガラス基板のサイズの特定>
 本実施形態では、上記の通り、サイズが異� ��るガラス基板W1及びW2の搬送を行うことがで きる。これは、ガラス基板のサイズ、及び、 搬送する位置に応じて、個別搬送コンベア31� ��構成するローラコンベアユニット100及び110� ��選択的に駆動すること、及び、コンベア移� ��ユニット1を駆動すること、により実現して いる。サイズが異なるガラス基板の搬送を行 う場合、そのガラス基板のサイズを特定し、 制御装置200の制御上、サイズを設定する必要 がある。

 ガラス基板のサイズを設定する第1の方法 は、各収納カセット10には、同じサイズのガ� ��ス基板のみ収納するようにし、制御装置200� ��制御上、ガラス基板のサイズを設定する。� ��の場合、基板搬送システムA上を搬送される ガラス基板は全て同じサイズのガラス基板で あることが前提となる。

 ガラス基板のサイズを設定する第2の方法 は、ガラス基板のサイズを逐一検出し、制御 装置200の制御上、ガラス基板のサイズを個別 に設定する。この場合、基板搬送システムA� �を搬送されるガラス基板を全て同じサイズ� �ガラス基板としなくてもよく、例えば、収� �カセット10の各スロット毎に異なるサイズの ガラス基板を収納しておくことも可能となる 。また、異なるサイズのガラス基板を一つの スロット内に収納しておくことも可能となる 。ガラス基板のサイズを検出するセンサは、 例えば、同時搬送コンベア30、個別搬送コン� ��ア31及び移載コンベア32、70に配設すること� ��できる。

 <第2実施形態>
 上記第1実施形態では、同時搬送コンベア30� ��個別搬送コンベア31との間で、直接ガラス� �板を搬送するようにしたが、これらの間に� �のコンベアを介在させてもよい。図22は本発 明の他の実施形態に係る基板搬送システムB� �レイアウトを示す平面図である。同図にお� �て、基板搬送システムAと同じ構成について� ��、同じ参照番号を付して説明を省略し、異� ��る構成についてのみ説明する。

 基板搬送システムBでは、同時搬送コンベ ア30と個別搬送コンベア31との間に、中間コ� �ベア300が配設されている。同図の例では、2� ��の中間コンベア300がY方向に離間して配置さ れている。中間コンベア300は、複数のローラ コンベアユニット100及び110から構成され、そ れらの配列は、同時搬送コンベア30、個別搬� ��コンベア31並びに移載コンベア32と同じであ る。本実施形態の場合、同時搬送コンベア30� ��個別搬送コンベア31との間でのガラス基板� �搬送は、中間コンベア300を経由して行うこ� �になる。

 本実施形態の場合、コンベアの数は上記� ��1実施形態よりも増加する。しかし、中間コ ンベア300を設けることで、処理装置20に対す� ��ガラス基板の搬送待ちが生じないようにす� ��ことができる。

 <第3実施形態>
 上記第1実施形態では、同時搬送コンベア30� ��幅を、Y方向に複数枚のガラス基板が載置可 能な幅に構成したが、Y方向のみならず、X方� ��にも複数枚のガラス基板が載置可能な長さ� ��有するように構成することもできる。本実� ��形態は、Y方向のみならずX方向にも複数枚� �ガラス基板を載置可能とすべく、同時搬送� �ンベア31の幅及び長さを構成したものである 。図23は、上述した同時搬送コンベア30に代� �る同時搬送コンベア30'の平面図である。

 同時搬送コンベア30'は、「ローラコンベ� ��ユニットの組」をX方向に6つ並べて構成さ� �ており、ガラス基板W(図23において不図示)の 搬送方向(X方向)に複数枚のガラス基板Wを並� �て載置可能な長さ(X方向の長さ)を有してい� �。本実施形態の場合、ローラコンベアユニ� �トの数は増加するが、同時搬送コンベア30'� �に、より多数のガラス基板を載置できるよ� �にすることで、処理装置20に対するガラス基 板の搬送待ちが生じないようにすることがで きる。また、1回の搬送枚数を増加でき、搬� �能力を向上できる。

 <第4実施形態>
 上記第1実施形態では、個別搬送コンベア31� ��のガラス基板と処理装置20との位置決めを� �個別搬送コンベア31をY方向に移動すること� �より行ったが、個別搬送コンベア31は固定と して、個別搬送コンベア31上でガラス基板をY 方向に移動することで、その位置決めを行う ようにしてもよい。

 図24は本発明の他の実施形態に係る基板� �送システムCのレイアウトを示す平面図、図2 5は基板搬送システムCの側面図である。これ� ��の図において、基板搬送システムAと同じ構 成については、同じ参照番号を付して説明を 省略し、異なる構成についてのみ説明する。

 本実施形態の場合、上述した個別搬送コ� ��ベア31に代えて個別搬送コンベア31'が採用� �れる。個別搬送コンベア31'は「ローラコン� �アユニットの組」をX方向に6つ並べて構成し たものであり、それ以外は個別搬送コンベア 31と同じである。

 本実施形態の場合、個別搬送コンベア31'� ��処理装置20の前面に固定して設けており、� �れを移動させるコンベア移動ユニット1は存� ��しない。コンベア移動ユニット1に代えて、 個別搬送コンベア31'上でガラス基板をY方向� �移動させる基板移動ユニット50及び昇降ユニ ット60を備える。

 図24及び図25を参照して、基板移動ユニッ ト50は、個別搬送コンベア31'のY方向両側にそ れぞれ設けられたベース部材51を備える。各� ��ース部材51上には、モータ52と、モータ52に� ��り回転駆動される一対の駆動プーリ53と、� �対の従動プーリ54と、が搭載されている。駆 動プーリ53と従動プーリ54との組は合計4組あ� ��、各組の駆動プーリ53と従動プーリ54との間 にはベルト55が巻き回されている。モータ52� �駆動することで駆動プーリ53が回転し、ベル ト55が走行する。

 ベルト55は、個別搬送コンベア31をY方向� �跨って延びており、2本ずつ、互いに隣接す� ��「ローラコンベアユニットの組」の間の空� ��を通過している。各ベルト55上には、載置� �材56又は57が固定されている。図26は載置部� �56及び57の斜視図である。載置部材56及び57は 、ベルト55と略同幅の板状の部材上に半球状� ��突起56a、57aが形成されたものである。載置� ��材56の+Y側の端部には突起56aよりも突出した 、直方体形状の位置決め部材56bが形成され、 載置部材57の-Y側の端部には突起57aよりも突� �した、直方体形状の位置決め部材57bが形成� �れている。

 載置部材56及び57は、個別搬送コンベア31' 上のガラス基板Wを載置する載置部として機� �し、ガラス基板Wを下側から支持する。載置� ��材56及び57はベルト55の走行によって、Y方向 に移動する。ガラス基板Wは突起56a、57a上に� �置される。突起56a、57aを半球状とすること� �、ガラス基板Wと突起56a、57aとの接触面積を� ��さくし、ガラス基板Wに傷が付くことを低減 する。

 位置決め部材56b及び57bは、その側面がガ� ��ス基板Wの端縁に当接することで、ガラス基 板Wの位置決め(ガラス基板Wの向き及び位置の 調整)を行う。本実施形態の場合、4本のベル� ��55上に、載置部材56又は57のいずれかがそれ� ��れ1つずつ設けられているため、位置決め部 材56b及び57bは合計4つあり、X方向及びY方向に 離間した4箇所でガラス基板Wの位置決めを行� ��。

 次に、図25を参照して昇降ユニット60につ いて説明する。昇降ユニット60は、各ベース� ��材51毎に、各ベース部材51の下方に配設され ている。したがって、本実施形態の場合、昇 降ユニット60は個別搬送コンベア31'のY方向両 側にそれぞれ設けられ、合計2つ設けられて� �る。

 各昇降ユニット60はベース部材61を備える 。ベース部材61上には、複数の支柱62が立設� �れており、支柱62はベース部材51を支持する� ��支柱62は、例えば、シリンダと、ロッドと� �ら構成され、Z方向に伸縮可能である。ベー� ��部材61上には、モータ63と、モータ63の駆動� ��より回動する一対のカム板64が搭載されて� �る。カム板64のカム面は、ベース部材51の下� ��に当接しており、その回動によりベース部� ��51が昇降される。ベース部材51の昇降に伴い 、支柱62が伸縮される。

 本実施形態では、2つの昇降ユニット60に� ��る昇降動作を同期的に行うことで、基板移� ��ユニット50が昇降される。これにより、載� �部材56及び57と、個別搬送コンベア31'とを相� ��的にZ方向に移動する。しかし、個別搬送コ ンベア31'をZ方向に昇降させることにより、� �置部材56及び57と個別搬送コンベア31とを相� �的にZ方向に移動するようにしてもよい。

 図27は、昇降ユニット60(図27において要部 のみ示す)の昇降動作と、これに伴う載置部� �56の昇降を示す図である。なお、載置部材57� ��昇降も同様である。昇降ユニット60は、載� �部材56を下降位置と上昇位置との2つの位置� �間で、昇降させる。

 図27の左側は、載置部材56が下降位置にあ る場合を示している。この場合、昇降ユニッ ト60は、カム板64の頂部がY方向を向いた状態� ��ある。載置部材56は、個別搬送コンベア31'� �構成するローラコンベアユニット100のロー� �101が、ガラス基板Wを搬送する搬送高さLより も低い位置にある。

 図27の右側は、載置部材56が上昇位置にあ る場合を示している。この場合、昇降ユニッ ト60は、カム板64の頂部が+Z方向を向いた状態 にある。すなわち、図27の左側に示した状態� ��らモータ63の駆動によりカム板64が90度回動� ��れ、ベース部材51が押し上げられている。� �れにより基板移動ユニット50が上昇する。載 置部材56の突出部56aは搬送高さLよりも高い位 置にある。ガラス基板Wはローラ101から離れ� �突出部56a上に載置されている。なお、ベル� �55は、搬送高さLよりも低い位置にある。

 個別搬送コンベア31'上のガラス基板Wを、 基板移動ユニット50によりY方向に移動する際 、ガラス基板Wは載置部材56と載置部材57の双� ��に載置される。そして、載置部材56と載置� �材57とを互いに逆方向(互いに近づく方向)に� ��動させることで位置決め部材56b及び57bによ� ��、ガラス基板Wを狭持する。例えば、図27の� ��側の状態において、位置決め部材56bを-Y方� �に移動し、位置決め部材56bをガラス基板Wの� ��縁に当接させる。その際、ガラス基板Wは突 起56a上を滑動することになる。

 位置決め部材56b及び57bにより、ガラス基� ��Wを狭持することで、ガラス基板Wの向きが� �整(規定)される。これにより、搬送の過程で ガラス基板Wの向きが傾いた場合に、向きの� �正を行うことができる。続いて、載置部材56 と載置部材57とを互いに同方向に移動させる� ��とで、ガラス基板Wは位置決め部材56b及び57b により狭持されたまま、Y方向に移動するこ� �になる。

 <個別搬送コンベアの搬送例>
 本実施形態では、個別搬送コンベア31'、基� ��移動ユニット50及び昇降ユニット60が、基板 の搬送枚数の変換を行う。これにより、処理 装置20に対しては、1枚ずつガラス基板の受け 渡しができる。

 <処理装置へのガラス基板の搬入>
 図29乃至図31は、個別搬送コンベア31'から処 理装置20へガラス基板W1を一枚ずつ搬送する� �を示した図である。図29の上側は、ガラス基 板W1が2枚同時に個別搬送コンベア31'上に搬送 された態様を示す。2枚のガラス基板W1は、-X� ��の3つの「ローラコンベアユニットの組」上 に載置されている。

 この状態から、2枚のガラス基板W1のうち� ��一方のガラス基板W1を、図29の下側に示すよ うに+X方向に搬送する。その際、各ローラコ� ��ベアユニット100及び110はガラス基板W1のサ� �ズに応じて選択的に駆動される。例えば、� �29の上側の態様から下側の態様へガラス基板 W1を搬送する場合、+Y側に位置する6つのロー� ��コンベアユニット100及び6つのローラコンベ アユニット110が駆動される。

 続いて、ガラス基板W1を処理装置20の搬入 出位置に対応した位置に、Y方向に移動する� �このため、まず、図30の上側に示すように、 下降位置にある載置部材56及び57を、ガラス� �板W1の端縁近傍に位置させる。載置部材56は� ��ガラス基板W1の+Y方向側の端縁近傍に、載置 部材57はガラス基板W1の-Y方向側の端縁近傍に 位置させる。このとき、複数の突起56a及び57a の一部は、ガラス基板W1の下方に位置させ、� ��置決め部材56b及び57bはガラス基板W1の下方� �位置させないようにする。

 続いて、昇降ユニット60(不図示)の駆動に より、載置部材56及び57を上昇位置へ上昇さ� �る。これにより、ガラス基板W1はローラ101及 び111から離れて載置部材56及び57上に位置し� �状態となる(図27の右側の態様)。載置部材56� �び57を上昇位置へ上昇させた後、載置部材56� ��-Y方向に、載置部材57を+Y方向に移動するこ� ��で、位置決め部材56bと位置決め部材57bとで� ��ラス基板W1を狭持する(図30の下側の態様)。� ��れにより、ガラス基板W1の向きが調整され� �。なお、このとき、位置決め部材56b及び位� �決め部材57bの側面(ガラス基板W1の端縁に当� �する面)の間隔は、ガラス基板W1の幅と略同� �か若干広めとすることが望ましい。

 続いて、載置部材56及び57をY方向に互いに� �方向に移動して、処理装置20の搬入出位置に 対応した位置までガラス基板W1を搬送する(図 31の上側の図)。これにより、処理装置20に対� ��るガラス基板W1の位置決めがなされる。本� �施形態の場合、処理装置20の搬入出位置に対 応した位置を、個別搬送コンベア31'のY方向� �略中央としている。しかし、個別搬送コン� �ア31'の端部としてもよい。   
 続いて、昇降ユニット60(不図示)の駆動によ り、載置部材56及び57を下降位置に下降させ� �。そして、図31の下側に示すように、ガラス 基板W1の下方に位置する6つのローラコンベア ユニット110と、移載コンベア70とを駆動して� ��ガラス基板W1を処理装置20へ搬送する。

 個別搬送コンベア31'上に残っている他方� ��ガラス基板W1も同様にして処理装置20へ搬送 する。このようにして、ガラス基板W1は一枚� ��つ、処理装置20へ搬送することができる。

 図5の下図に示したガラス基板W2を処理装� ��20へ搬入する場合も、同様の手順を採用す� �ことができるが、図32乃至図35に示す手順も� ��用できる。図32乃至図35は個別搬送コンベア 31'から処理装置20へガラス基板W2を一枚ずつ� �送する例を示した図である。

 図32の上側は、ガラス基板W2が3枚同時に� �別搬送コンベア31'上に搬送された態様を示� �。3枚のガラス基板W2は、-X側の3つの「ロー� �コンベアユニットの組」上に載置されてい� �。この状態から、3枚のガラス基板W2を、図32 の下側に示すように+X方向に同時に搬送する� ��

 続いて、中央のガラス基板W2を処理装置20 の搬入出位置に対応した位置に位置決めする 。このため、下降位置にある載置部材56及び5 7を、中央のガラス基板W2の端縁近傍に位置さ せた後、上昇位置に上昇させて中央のガラス 基板W2を載置部材56及び57により載置する。そ して、図33の上側に示すように、載置部材56� �-Y方向に、載置部材57を+Y方向に移動するこ� �で、位置決め部材56bと位置決め部材57bとで� �ラス基板W2を狭持し、ガラス基板W2の位置決� ��を行う。

 次に、昇降ユニット60(不図示)の駆動によ り、載置部材56及び57を下降位置に下降させ� �。そして、図33の下側に示すように、ガラス 基板W2の下方に位置する6つのローラコンベア ユニット110と、移載コンベア70とを駆動して� ��ガラス基板W2を処理装置20へ搬送する。

 次に、個別搬送コンベア31上に残ってい� �2枚のガラス基板W2を順次処理装置20へ搬送す る。まず、一方のガラス基板W2を、載置部材5 6及び57上に載置し、位置決め部材56b及び57bで 狭持して図34の上側に示すように、処理装置2 0の搬入出位置に対応した位置に移動する。� �の後、図34の下側に示すように、ガラス基板 W2の下方に位置する6つのローラコンベアユニ ット110と、移載コンベア70とを駆動して、ガ� ��ス基板W2を処理装置20へ搬送する。

 続いて、個別搬送コンベア31上に残って� �る1枚のガラス基板W2を処理装置20へ搬送する 。まず、ガラス基板W2を、載置部材56及び57上 に載置し、位置決め部材56b及び57bで狭持して 図35の上側に示すように、処理装置20の搬入� �位置に対応した位置に移動する。その後、� �35の下側に示すように、ガラス基板W2の下方� ��位置する6つのローラコンベアユニット110と 、移載コンベア70とを駆動して、ガラス基板W 2を処理装置20へ搬送する。

 <処理装置からのガラス基板の搬出>
 図36乃至図39は、処理装置20から個別搬送コ� ��ベア31'へガラス基板W1を一枚ずつ搬送し、� �別搬送コンベア31'上で、Y方向に複数のガラ� ��基板W1を並べる例を示した図である。

 図36の上側は、1枚目のガラス基板W1が処� �装置20から搬出された態様を示す。この場合 、移載コンベア70と、個別搬送コンベア31'の+ X側の6つのローラコンベアユニット110と、を� ��動して、ガラス基板W1を個別搬送コンベア31 'の+X側の6つのローラコンベアユニット110上� �位置させる。

 続いて、ガラス基板W1をY方向に移動する� ��このため、まず、図36の下側に示すように� �下降位置にある載置部材56及び57を、ガラス� ��板W1の端縁近傍に位置させる。そして、昇� �ユニット60(不図示)の駆動により、載置部材5 6及び57を上昇位置へ上昇させる。これにより 、ガラス基板W1はローラ101及び111から離れて� ��置部材56及び57上に位置した状態となる。載 置部材56及び57を上昇位置へ上昇させた後、� �置部材56を-Y方向に、載置部材57を+Y方向に移 動することで、位置決め部材56bと位置決め部 材57bとでガラス基板W1を狭持する(図37の上側� ��態様)。これにより、ガラス基板W1の向きが� ��整される。

 続いて、載置部材56及び57をY方向に互い� �同方向に移動して、ガラス基板W1をY方向に� �動する。ガラス基板W1は、そのサイズに応じ て、複数のガラス基板W1を並列搬送可能な位� ��に移動する。図37の下側に示す例では、ガ� �ス基板W1を+Y方向に移動し、個別搬送コンベ� ��31'の+Y方向の端部に移動している。

 続いて、昇降ユニット60(不図示)の駆動に より、載置部材56及び57を下降位置に下降さ� �る。そして、図38の上側に示すようにガラス 基板W1を-X方向に移動し、ガラス基板W1を個別 搬送コンベア31'の-X側でかつ+Y側に位置する3� ��のローラコンベアユニット100及び3つのロー ラコンベアユニット110上に位置させる。この 移動の際には、+Y側に位置する6のローラコン ベアユニット100及び6つのローラコンベアユ� �ット110を駆動する。

 次に、図38の下側に示すように、2枚目の� ��ラス基板W1が処理装置20から搬出される。1� �目のガラス基板W1の搬送と同様に、移載コン ベア70と、個別搬送コンベア31'の+X側の6つの� ��ーラコンベアユニット110と、を駆動して、2 枚目のガラス基板W1を個別搬送コンベア31'の+ X側の6つのローラコンベアユニット110上に位� ��させる。

 続いて、昇降ユニット60(不図示)及び基板 移動ユニット50の駆動により、2枚目のガラス 基板W1をY方向に移動する。2枚目のガラス基� �W1は、図39の上側に示すように、1枚目のガラ ス基板W1と反対方向(-Y方向)に移動する。続い て、2枚目のガラス基板W1を-X方向に移動し、� ��ラス基板W1を個別搬送コンベア31'の-X側でか つ-Y側に位置する3つのローラコンベアユニッ ト100及び3つのローラコンベアユニット110上� �位置させる。これにより、2枚のガラス基板W 1が、個別搬送コンベア31'上で、Y方向に並べ� ��載置された状態となる。その後、同時搬送� ��ンベア30に2枚のガラス基板W1が同時に搬送� �れることになる。

 図5の下図に示したガラス基板W2を処理装� ��20から搬出する場合も、同様の手順を採用� �ることができるが、図40乃至図43に示す手順� ��採用できる。図40乃至図43は、処理装置20か� ��個別搬送コンベア31'へガラス基板W2を一枚� �つ搬送し、個別搬送コンベア31'上で、Y方向� ��複数のガラス基板W2を並べる例を示した図� �ある。

 まず、図40の上側に示すように、1枚目の� ��ラス基板W2が処理装置20から搬出される。こ の場合、移載コンベア70と、個別搬送コンベ� ��31'の+X側の6つのローラコンベアユニット110� ��、を駆動して、1枚目のガラス基板W2を個別� ��送コンベア31'の+X側の6つのローラコンベア� ��ニット110上に位置させる。

 続いて、昇降ユニット60(不図示)及び基板 移動ユニット50の駆動により、図40の下側に� �すように、1枚目のガラス基板W2の向きを調� �する。そして、図41の上側に示すように、基 板移動ユニット50の駆動により、ガラス基板W 2をY方向に移動する。図41の上側の例ではガ� �ス基板W2を+Y方向に移動して、3つのローラコ ンベアユニット100上に1枚目のガラス基板W2を 位置させている。

 次に、図41の下側に示すように、2枚目の� ��ラス基板W2が処理装置20から搬出される。1� �目のガラス基板W2の搬送と同様に、移載コン ベア70と、個別搬送コンベア31'の+X側の6つの� ��ーラコンベアユニット110と、を駆動して、2 枚目のガラス基板W2を個別搬送コンベア31'の+ X側の6つのローラコンベアユニット110上に位� ��させる。

 続いて、昇降ユニット60(不図示)及び基板 移動ユニット50の駆動により、図42の上側に� �すように、2枚目のガラス基板W2の向きを調� �する。そして、図42の下側に示すように、基 板移動ユニット50の駆動により、2枚目のガラ ス基板W2をY方向に移動する。図42の下側の例� ��はガラス基板W2を-Y方向に移動して、3つの� �ーラコンベアユニット100上に2枚目のガラス� ��板W2を位置させている。

 次に、図43の上側に示すように、3枚目の� ��ラス基板W2が処理装置20から搬出される。1� �目及び2枚目のガラス基板W2の搬送と同様に� �移載コンベア70と、個別搬送コンベア31'の+X� ��の6つのローラコンベアユニット110と、を駆 動して、3枚目のガラス基板W2を個別搬送コン ベア31'の+X側の6つのローラコンベアユニット 110上に位置させる。

 続いて、昇降ユニット60(不図示)及び基板 移動ユニット50の駆動により、図43の下側に� �すように、3枚目のガラス基板W2の向きを調� �する。これにより、3枚のガラス基板W2が、� �別搬送コンベア31'上で、Y方向に並べて載置� ��れた状態となる。3枚のガラス基板W2は、+X� �の3つの「ローラコンベアユニットの組」上� ��載置されている。その後、3枚のガラス基板 W2は、-X側の3つの「ローラコンベアユニット� ��組」を経由して、同時搬送コンベア30に同� �に搬送されることになる。

 <ガラス基板のサイズの特定>
 本実施形態では、上記の通り、サイズが異� ��るガラス基板W1及びW2の搬送を行うことがで きる。これは、ガラス基板のサイズ、及び、 搬送する位置に応じて、個別搬送コンベア31' を構成するローラコンベアユニット100及び110 を選択的に駆動すること、及び、基板移動ユ ニット50を駆動すること、により実現してい� ��。サイズが異なるガラス基板の搬送を行う� ��合、そのガラス基板のサイズを特定し、制� ��装置200の制御上、サイズを設定する必要が� ��る。

 ガラス基板のサイズを設定する第1の方法 は、一つの収納カセット10には、同じサイズ� ��ガラス基板のみ収納するようにし、収納カ� ��ット10単位で、制御装置200の制御上、ガラ� �基板のサイズを設定する。この場合、基板� �送システムA上を搬送されるガラス基板は全� ��同じサイズのガラス基板であることが前提� ��なる。

 ガラス基板のサイズを設定する第2の方法 は、個別搬送コンベア31'において、ガラス基 板のサイズを逐一検出し、制御装置200の制御 上、ガラス基板のサイズを個別に設定する。 この場合、基板搬送システムA上を搬送され� �ガラス基板を全て同じサイズのガラス基板� �しなくてもよく、例えば、収納カセット10の 各スロット毎に異なるサイズのガラス基板を 収納しておくことも可能となる。また、異な るサイズのガラス基板を一つのスロット内に 収納しておくことも可能となる。

 ガラス基板のサイズを検出するセンサは� ��個別搬送コンベア31'のX方向の両端部に設け ることができる。例えば、図24に示すように� ��ンサ90、91を設けることができる。センサ90� ��、処理装置20から搬出されるガラス基板の� �イズを検出する。図24において、センサ90はY 方向に離間して一対設けられており、ガラス 基板W1が搬出された場合は、双方がONとなり� �ガラス基板W2が搬出された場合は、一方のみ がON又は双方がOFFとなる。センサ91は、同時� �送コンベア30から個別搬送コンベア31'へ搬送 されるガラス基板のサイズを検出する。セン サ91もY方向に離間して一対設けられており、 ガラス基板W1が搬送された場合は、双方がON� �なり、ガラス基板W2が搬送された場合は、一 方のみがON又は双方がOFFとなる。

 <第5実施形態>
 上記第4実施形態では、個別搬送コンベア31' を一つとしたが、各収納カセット10毎に個別� ��送コンベア31'を設けてもよい。図44は本発� �の他の実施形態に係る基板搬送システムDの� ��イアウトを示す平面図である。同図におい� ��、基板搬送システムCと同じ構成については 、同じ参照番号を付して説明を省略し、異な る構成についてのみ説明する。

 基板搬送システムDでは、個別搬送コンベ ア31'がY方向に離間して2つ設けられている。� ��個別搬送コンベア31'は、各収納カセット10� �に設けられており、各移載コンベア32からX� �向に離間した位置に配置されている。

 基板移動ユニット50は、2つの個別搬送コ� ��ベア31'に跨って配置されている。すなわち� ��一対のベース部材51の間に2つの個別搬送コ� ��ベア31'が配置され、各ベルト55は、2つの個� ��搬送コンベア31'を横断している。これによ� ��、各ベルト55上に固定された合計4つの載置� ��材56及び57は、2つの個別搬送コンベア31'上� �移動できる。なお、各ベース部材51の下方に は、不図示の昇降ユニット60が配設される。

 基板搬送システムDにおいて、基板移動ユ ニット50は、1つの個別搬送コンベア31'上でY� �向にガラス基板を移動するだけでなく、2つ� ��個別搬送コンベア31'、31'間でガラス基板をY 方向に移動する。図45は、2つの個別搬送コン ベア31'上でのガラス基板Wの搬送態様の説明� �である。

 同図に示すように、個別搬送コンベア31'� ��、ガラス基板WをX方向に搬送し、基板移動� �ニット50は、ガラス基板WをY方向に移動する� ��基板移動ユニット50は、個別搬送コンベア31 '、31'間でもガラス基板Wを移動する。個別搬� ��コンベア31'上での搬送枚数の変換は、上記� ��4実施形態と同様である。

 本実施形態では、基板移動ユニット50が2� ��の個別搬送コンベア31'に跨って設けられ、� ��別搬送コンベア31'、31'間でガラス基板Wを移 動させることで、処理装置20と、2つの収納カ セット10との間でそれぞれガラス基板Wを搬送 することができ、ガラス基板Wの搬送能力を� �に向上できる。

 なお、本実施形態では、収納カセット10� �2つとし、これに伴って個別搬送コンベア31'� ��2つとしたが、収納カセット10及び個別搬送� ��ンベア31’を3つ以上設けてもよい。この場� ��、基板移動ユニット50は、各個別搬送コン� �ア31’に跨ってガラス基板Wを移動するよう� �することができる。

 なお、以上説明した第5実施形態に記載の 基板搬送システムDについては、2つの個別搬� ��コンベア31’のうち、処理装置20に隣接しな い、+Y側の個別搬送コンベア31は必ずしもガ� �ス基板を個別搬送することは要求されない� �したがって、+Y側の個別搬送コンベア31’に� ��えて、複数枚のガラス基板Wを並列搬送可能 な幅を有するが、ガラス基板Wを個別搬送す� �機能を有しないコンベア(同時搬送コンベア� ��してのみ機能するコンベア)とすることがで きる。この場合、そのコンベアは、単一のロ ーラコンベアユニットから構成しても、X方� �に並べた複数のローラコンベアユニットか� �構成してもよい。

 <第6実施形態>
 上記第4及び第5実施形態では、基板移動ユ� �ット50の載置部材56及び57をベルト伝動機構� �より移動する構成としたが、他の機構も採� �できる。図46は、載置部材56及び57の移動機� �の他の例を示す図である。図46の移動機構は 、ボールねじ機構を用いたものである。Y方� �には、レール部材501、ボールねじ502が配設� �れ、これらが載置部材56及び57の移動軌道を� ��定する。ボールねじ502には、ボールナット5 03が螺合すると共に、ボールナット503はレー� ��部材501上を摺動可能になっている。載置部� ��56及び57はボールナット503上に固定されてい る。

 しかして、ボールねじ502を不図示のモー� ��により回転することにより、載置部材56及� �57がY方向に移動する。この他にも、リニア� �ータを用いた移動機構も採用可能である。

 また、上記第4及び第5実施形態では、昇� �ユニット60が基板移動ユニット50全体を昇降� ��る構成としたが、載置部材56及び57が昇降で きればよい。例えば、図46に示す移動機構の� ��において、載置部材56及び57とボールナット 503との間にZ方向に伸縮するアクチュエータ� �設けて、載置部材56及び57を昇降するように� ��成してもよい。