<全体構成>
 図1は本発明の一実施形態に係る基板搬送装 置Aのレイアウトを示す平面図、図2は図1の線 I-Iに沿う直交搬送装置1の構造説明図、図3は� ��1の線II-IIに沿う直交搬送装置1の構造説明図 である。各図において、矢印X、Yは相互に直� ��する水平方向を示す。X、Y方向の正逆方向� �特に言う場合には、矢印の方向を+X、+Yとし� ��逆の方向を-X、-Yという。矢印Zは上下方向(� ��直方向)を示す。上下を区別して言う場合に は、上方向を+Z、下方向を-Zという。

 基板搬送装置Aは、直交搬送装置1と、コ� �ベア装置2及び3、搬送装置4、複数のコンベ� �装置5及び複数の昇降装置80を備える。基板� �送装置Aは、方形薄板状のガラス基板Wを収納 する収納カセット70から不図示の処理装置へ� ��ラス基板Wを搬送し、また、該処理装置から 収納カセット70へガラス基板Wを搬送する。処 理装置はガラス基板Wの洗浄、乾燥、その他� �処理を行う。

 <直交搬送装置1>
 直交搬送装置1は、X方向にガラス基板Wを水� ��に搬送する第1搬送装置10と、第1搬送装置10� ��のガラス基板WをY方向に水平に搬送する第2� ��送装置20と、第1搬送装置10及び第2搬送装置2 0を支持する架台500とを備える。架台500は、� �台本体部501と、架台本体部501を支持する脚� �502とで構成される。

 <第1搬送装置10>
 第1搬送装置10は、互いにX方向に離間した複 数列の第1搬送ユニット11で構成される。本実 施形態の場合、第1搬送ユニット11は4列設け� �れている。

 第1搬送ユニット11は、更にY方向に配列さ れた複数のローラコンベアユニット60で構成� ��れている。図1乃至図3に示すように、各ロ� �ラコンベアユニット60は、ガラス基板Wが載� �される複数のローラ61と、ローラ61の駆動装� ��を内蔵した駆動ボックス62と、ガラス基板W� ��到来を検出する光センサ等のセンサ63(図3参 照)と、を備える。ローラ61は、Y方向の回転� �回りに回動自在に設けられた従動ローラで� �り、ガラス基板Wをその下側から支持して+X� �向及び-X方向の両方向に搬送するものである 。各ローラコンベアユニット60はそれぞれ独� ��して駆動可能であり、また、脚部601によっ� ��前述した架台500の架台本体部501上に直立支� ��される。

 本実施形態では、第1搬送ユニット11をロ� ��ラコンベアユニット60で構成したが、ガラ� �基板Wをその下側から支持して搬送する他の� ��送ユニット、例えば、ベルトコンベア等で� ��よい。

 <第2搬送装置20>
 図2に示すように第2搬送装置20は、同期的に 制御され、互いにX方向に離間した複数の第2� ��送ユニット21で構成され、架台本体部501上� �設けられる。本実施形態の場合、第2搬送ユ� ��ット21は3つ設けられている。以下、図2乃至 図4を参照して各第2搬送ユニット21の構成を� �述する。図4は第2搬送ユニット21の斜視図で� ��る。第2搬送ユニット21は、支持ユニット30� �、昇降ユニット40と、駆動ユニット50と、を� ��える。

 <支持ユニット30>
 支持ユニット30はY方向に延び、そのY方向の 長さはガラス基板WのY方向の幅よりも若干長� ��。このため、各第2搬送ユニット21の支持ユ� ��ット30によって、ガラス基板Wを安定して支� ��できる。

 支持ユニット30は、Y方向に延びる支持部� ��31を備える。本実施形態の場合、支持部材31 は中空の角型鋼管である。支持部材31上にはY 方向に離間して複数設けられ、ブラケット33� ��介して支持部材31に支持されたローラ32を備 える。ローラ32はブラケット33に回転自在に� �り付けられており、X方向の軸回りに回転可� ��である。第2搬送ユニット21によりガラス基� ��Wを搬送する場合、ガラス基板Wはローラ32上 に載置され、ローラ32はガラス基板Wの下面に 当接してガラス基板Wをその下側から支持す� �。本実施形態では、支持部材31に、ブラケッ ト33を介してローラ32を設けた場合を例に挙� �て説明を行ったが、これに限定するもので� �ない。例えば、支持部材31に、先端に転動自 在なベアリングを有するピン部材を設けても よい。

 支持ユニット30は、Y方向に離間して配置� ��れた一対の基板保持ユニット34を備える。� �実施形態の場合、基板保持ユニット34は、各 ローラ32を挟むように、支持部材31のY方向の� ��端部にそれぞれ配置されている。基板保持� ��ニット34は、ガラス基板Wの端縁に当接する� ��接部材35と、当接部材35をY方向に往復移動� �る移動ユニット36と、移動ユニット36を覆う� ��バー部材37と、を備える。

 移動ユニット36は、本実施形態の場合、� �アシリンダであり、本体部36aと、可動部36b� �を備える。本体部36aに対するエアの供給及� �切り換えにより、可動部36bはY方向に往復移� ��する。

 当接部材35は、本実施形態の場合、Z方向� ��軸回りに回転可能に可動部36bに支持された� ��ーラであり、その周面にガラス基板Wの端縁 が当接するようにしている。カバー部材37は� ��動ユニット36の作動による発塵を防止する� �のであり、当接部材35の連結軸及び可動部36b との干渉を避けるため、その上面にはスリッ ト371が設けられている。

 図5は基板保持ユニット34の動作説明図で� ��る。図5の上側の態様は、ローラ32上にガラ� ��基板Wが載置され、基板保持ユニット34の当� ��部材35が退避位置にある場合を示している� �この態様から各移動ユニット36の作動により 各当接部材35を互いに近接する方向に移動さ� ��て当接位置に位置させることで、図5の下側 の態様に示すように各当接部材35がガラス基� ��WのY方向の各端縁に当接し、ガラス基板Wが� ��持される。また、基板保持ユニット34によ� �ガラス基板Wの保持により、ガラス基板WのY� �向の位置決めもなし得る。第2搬送装置20に� �るガラス基板Wの搬送の間、基板保持ユニッ� ��34により、ガラス基板Wが位置決め、保持さ� ��る。更に、複数列に設けられた第2搬送ユニ ット21における一対の基板保持ユニット34を� �全列同時に駆動(近接する方向に移動)させて もよいが、ガラス基板Wの大きさに応じて、� �動させる列を適宜選択するようにしてもよ� �。

 基板保持ユニット34によるガラス基板Wの� ��持の際、ガラス基板WがY方向に微かに移動� �る場合があるが、ローラ32はX方向の軸回り� �回転可能であるので、ガラス基板Wの移動に� ��り、ガラス基板Wとローラ32とが擦れること� ��防止され、ガラス基板Wを傷付けることを防 止できる。

 次に、図2に示すように支持ユニット30は� ��第1搬送ユニット11間の空隙に配置されてい� ��。本実施形態の場合、第1搬送ユニット11は� ��述したとおり4列設けられており、第1搬送� �ニット11間の空隙は3箇所ある。本実施形態� �は、全ての空隙に支持ユニット30を配置して おり、このため、第2搬送ユニット21は3つ設� �られている。しかし、全ての空隙に対応し� �数の第2搬送ユニット21を設ける必要はなく� �例えば、本実施形態の場合、X方向の両側の2 箇所の空隙に対応して第2搬送ユニット21を2� �設けてもよい。

 <昇降ユニット40>
 昇降ユニット40は、本実施形態の場合、エ� �シリンダであり、図4に示す通り本体部42と� �可動部41とを備える。本体部42に対するエア� ��供給及び切り換えにより、可動部41はZ方向� ��往復移動する。昇降ユニット40は、支持ユ� �ット30の下方に配置され、可動部41が支持ユ� ��ット30の支持部材31の下面に連結されている 。

 図2は昇降ユニット40による支持ユニット3 0の昇降動作を示す。図2の上側の態様は、第1 搬送ユニット11のローラ61上に載置されたガ� �ス基板Wと、支持ユニット30とが干渉しない� �うに支持ユニット30が降下位置にある場合を 示す。この態様から、昇降ユニット40の作動� ��より支持ユニット30を上昇させると、第1搬� ��ユニット11のローラ61上に載置されたガラス 基板Wが支持ユニット30のローラ32に載置され� ��ガラス基板Wが第1搬送ユニット11から持ち上 げられた上昇位置に支持ユニット30が位置す� ��ことになる(図2の下側の態様)。

 この後、上述した基板保持ユニット34に� �りガラス基板Wを保持することで、第1搬送ユ ニット11に代わって、第2搬送ユニット21によ� ��ガラス基板Wを搬送可能な状態となる。

 <駆動ユニット50>
 図2及び図3に示すように、駆動ユニット50は 第1搬送ユニット11よりも下方に配置され、支 持ユニット30及び昇降ユニット40をY方向に移� ��させる。第1搬送ユニット11の下方のスペー� ��に駆動ユニット50を配置することで、直交� �送装置1全体の小型化が図れる。

 駆動ユニット50は、支持板51と、スライド 部材52と、レール部材53と、を備える。支持� �51には昇降ユニット40が搭載され、これによ� ��昇降ユニット40と支持ユニット30とが駆動ユ ニット50に搭載される。なお、支持板51上に� �昇降ユニット40へのエアの供給を切り換える 制御弁を搭載することもできる。この構成に よれば、制御弁を昇降ユニット40に近接して� ��置できるので、昇降ユニット40の昇降動作� �より確実なものとすることができる。

 スライド部材52は支持板51の下面に固定し て取り付けられており、Y方向に所定間隔で� �数個設けられている。各スライド部材52はレ ール部材53上をスライド移動自在に設けられ� ��支持板51及びスライド部材52はレール部材53� ��をスライド移動するスライダを構成してい� ��。レール部材53はY方向に延設され、図3に示 すように第1搬送ユニット11のY方向の一方端� �から他方端部までの略全域に渡って延設さ� �ている。スライド部材(リニアガイドブロッ� ��)52のレール部材53と対向する面には、ベア� �ング(又はころ)が内蔵される。これらのベア リングは、リニアガイドブロックの内部を循 環しながら、レール部材53の溝内(接触面)を� �動する(又はこれらのころは、リニアガイド� ��ロックの内部で、レール部材53の接触面と� �触しつつ転動する)。よって、スライド部材5 2は、殆ど摩擦抵抗を受けることなくレール� �材53上をスライド移動することができる。

 レール部材53のY方向の両端部にはそれぞ� ��端部部材53aが設けられており、各端部部材5 3aには軸受け54aが固定されている。軸受け54a� ��よりX方向に延びる軸54が軸支されており、� ��ール部材53のY方向の両端部にそれぞれ1つず つ設けられている。本実施形態の場合、軸54� ��全ての第2搬送ユニット21に共通であり、そ� ��ぞれの端部に設けられる軸54は1本に連結さ� ��ている。

 各軸54の周りにおけるレール部材53の近傍 にはプーリ55が設けられており、レール部材5 3毎に一対のプーリ55が配置される。Y方向に� �間したこの一対のプーリ55にはベルト56が巻� ��回されており、ベルト56の両端部はそれぞ� �支持板51の前後に固定されている(図4参照)。

 2つの軸54の一方には、駆動源58が設けら� �ている。駆動源58は、モータ58aと、減速機58b とを備え、軸54を回転駆動する。しかして、� ��動源58の駆動による一方の軸54の回転により 、当該一方の軸54に固定されたプーリ54が回� �し、ベルト56が走行する。この結果、支持板 51及びスライド部材52がレール部材53上をスラ イド移動し、支持ユニット30及び昇降ユニッ� ��40をY方向に移動させ、かつ、任意の位置に� ��止させることができる。

 支持ユニット30及び昇降ユニット40の重量 は、レール部材53により負担される。したが� ��て、プーリ55を回転させ、ベルト56を走行さ せる駆動源58は、Y方向への移動力を発生でき れば足り、より少ない出力のもので足りる。

 駆動源58の駆動による支持ユニット30及び 昇降ユニット40のY方向の移動位置については 、例えば、フィードバック制御により制御す ることができる。この場合、モータ58aの回転 数を検出するセンサや、レール部材53上のス� ��イド部材52の位置を検出するセンサ等の検� �結果に応じてモータ58aを制御する。

 なお、本実施形態では、駆動源58として� �ベルト伝動機構を採用したが他の機構を採� �してもよい。例えば、ボールネジ機構や、� �ニアモータを用いた機構を採用できる。

 また、本実施形態では、各第2搬送ユニッ ト21について、駆動源58を共通としている。� �かし、第2搬送ユニット21毎に駆動源58を設け 、同期的に制御するようにしてもよい。尤も 、駆動源58を共通とすることで、コストの低� ��、制御の簡便化、構成の簡素化を図れる。

 駆動ユニット50は、一対のカバー部材57を 備える。図2に示すように、一対のカバー部� �57は、レール部材53の+X側、-X側にそれぞれ配 置されたC字型をなし、中空の空間S1、S2を形� ��している。空間S1内にはプーリ55、ベルト56� ��収納され、空間S2には不図示の配線、配管� �配置される。そして、これらカバー部材57に より、レール部材53、支持板51、スライド部� �52、プーリ55、ベルト56が囲包され、駆動ユ� �ット50の駆動による発塵を防止する。カバー 部材57には、その内部の空間S1、S2内の空気を 吸引して外部へ排気する吸引排気手段57a(図3) が複数設けられている。これにより、発塵を より確実に防止できる。

 <コンベア装置2及び3>
 図1を参照して、コンベア装置2及び3は、本� ��施形態の場合、いずれも複数のローラコン� ��アユニット60から構成されている。コンベ� �装置2は、第1搬送装置10の+X方向の側方に配� �され、搬送装置4から直交搬送装置1へガラス 基板Wを搬送する。コンベア装置3は第1搬送装 置10の+X側に配置され、直交搬送装置1から搬� ��装置4へガラス基板Wを搬送する。

 <搬送装置4>
 搬送装置4は、コンベア装置3から搬送され� �くるガラス基板Wを不図示の処理装置へ搬送� ��、処理装置から搬送されてくるガラス基板W をコンベア装置2へ搬送する。搬送装置4の構� ��は、例えば、直交搬送装置1と同様の構成で もよいし、Y方向に移動可能な多関節型のロ� �ット等でもよい。

 <収納カセット70>
 図6は収納カセット70の斜視図である。収納� ��セット70はコンベア装置5の上方に設けられ� ��ガラス基板Wを水平姿勢で、Z方向に多段に� �納可能なカセットである。なお、図6はガラ� ��基板Wが未収納の状態を示している。本実施 形態の場合、収納カセット70は複数の柱部材7 1と、梁部材72と、により略直方体形状のフレ ーム体をなしている。梁部材72の配設間隔は� ��コンベア装置5が収納カセット70の下方から� ��納カセット70内に進入できるように設定さ� �、梁部材72は、コンベア装置5が下方から進� �可能な開口部を形成している。

 柱部材71は、X方向に複数配設されると共� ��、Y方向に離間して同数並設されている。Y� �向に離間した一対の柱部材71間には、Z方向� �並べて、かつ、所定のピッチでワイヤ73が張 設されている。各ワイヤ73の上下間のスペー� ��は、ガラス基板Wを収納するスロットを形成 し、ガラス基板Wは水平姿勢でワイヤ73上に一 枚ずつ載置される。そして、Z方向に並んだ� �イヤ73の数だけ、スロットが形成される。

 本実施形態ではスロットをワイヤにより� ��成したが、他の方式ももちろん採用可能で� ��る。但し、ワイヤの使用により、収納され� ��基板間の間隔を小さくすることができ、収� ��カセット70の収納効率を高めることができ� �。

 <コンベア装置5>
 コンベア装置5は、本実施形態の場合、複数 のローラコンベアユニット60から構成されて� ��る。コンベア装置5は収納カセット70毎に設� ��られ、収納カセット70の下方に位置してい� �。また、コンベア装置5は、図1に示すように 、第1搬送装置10の-X方向の側方に配置され、� ��交搬送装置1との間でガラス基板Wの搬送、� �こでは、収納カセット70へのガラス基板Wの� �入及び収納カセット70からのガラス基板Wの� �出を行う。

 <昇降装置>
 一対の昇降装置80により収納カセット70をZ� �向に昇降することで、収納カセット70とコン ベア装置5とをZ方向に相対的に移動させる。� ��れに代えて、コンベア装置5をZ方向に昇降� �る構成としてもよい。なお、コンベア装置5� ��昇降する構成とした場合は、第1搬送装置10� ��昇降する構成になる。

 本実施形態の場合、各昇降装置80は収納� �セット70を挟むように収納カセット70の互い� ��対向するY方向の両側部にそれぞれ配設され 、収納カセット70をそれぞれ片持ち支持する� ��この構成によれば、昇降装置80をより薄型� �できる。

 昇降装置80は、収納カセット70の底部の梁 部材72が載置されるビーム部材81を備える。� �昇降装置80の各ビーム部材81が同期的にZ方向 に移動することで収納カセット70が昇降され� ��。昇降装置80は駆動装置(不図示)を備えてお り、該駆動装置によりビーム部材81を昇降す� ��ことで収納カセット70を昇降する。各昇降� �置80間には、その支柱の上端に梁部材80aが架 設されている。

 図7はガラス基板Wを収納カセット70から搬 出する場合の、昇降装置80による収納カセッ� ��70の昇降動作を示す図である。なお、同図� �おいて昇降装置80は図示が省略されている。 収納カセット70から搬出する場合は、ガラス� ��板Wが収納されたスロットのうち、最下方の スロットに収納されたガラス基板Wから順番� �行う。

 まず、図7の左上図に示すように、コンベ ア装置5の上方に収納カセット70が位置した状 態から、昇降装置80(図7において不図示)によ� ��収納カセット70を降下させ、図7の右上図に� ��すように、コンベア装置5上に、搬送対象の ガラス基板Wを載置する。このとき、コンベ� �装置5は収納カセット70内に下方から進入し� �搬送対象のガラス基板Wは収納カセット70の� �イヤ73から浮いた状態となり、コンベア装置 5のみによって支持された状態となる。続い� �コンベア装置5を駆動して、図7の左下図に示 すように、搬送対象のガラス基板Wを収納カ� �ット70から搬出する。以下、同様に、収納カ セット70の降下とコンベア装置5の駆動とを繰 り返し(図7の右下図)、下方側から順番にガラ ス基板Wを搬出することになる。

 ガラス基板Wを収納カセット70へ搬入する� ��合、上述した搬出時の動作と概ね逆の動作� ��なる。ガラス基板Wの搬入は、ガラス基板W� �収納されていないスロットのうち、最上方� �スロットから順番に行う。

 <制御装置>
 図8は基板搬送装置Aの制御装置200の構成を� �すブロック図である。制御装置(制御手段)200 は基板搬送装置Aの全体の制御を司るCPU201と� �CPU201のワークエリアを提供すると共に、可� �データ等が記憶されるRAM202と、制御プログ� �ム、制御データ等の固定的なデータが記憶� �れるROM203と、を備える。RAM202、ROM203は他の� �憶手段を採用可能である。

 入力インターフェース(I/F)204は、CPU201と� �種のセンサ(例えば、センサ63等)とのインタ� ��フェースであり、入力I/F204を介してCPU201は� ��種のセンサの検出結果を取得する。出力イ� ��ターフェース(I/F)205は、CPU201と各種のモー� �(例えば、モータ58a、駆動ボックス62内のモ� �タ等)、及び、制御弁(基板保持ユニット34及� ��昇降ユニット40用のもの等)とのインターフ� ��ースであり、出力I/F205を介してCPU201は各種� ��モータ、制御弁を制御する。

 通信インターフェース(I/F)206は、基板搬� �装置Aを含む基板処理設備全体を制御するホ� ��トコンピュータ300とCPU201とのインターフェ� ��スであり、CPU201はホストコンピュータ300か� ��の指令に応じて基板搬送装置Aを制御するこ とになる。

 <基板搬送装置Aによるガラス基板の搬送� �>
 図9乃至図16を参照して、基板搬送装置Aによ るガラス基板Wの搬送例について説明する。� �実施形態では、図9に示すように+Y側にガラ� �基板Wを収納した収納カセット70を配置し、-Y 側に空の収納カセット70を配置して、+Y側に� �置する収納カセット70から未処理のガラス基 板Wを処理装置へ搬送し、-Y側に位置する収納 カセット70へ処理装置から処理済のガラス基� ��Wを搬送する場合について説明する。まず、 図10乃至図12を参照して、+Y側に位置する収納 カセット70から未処理のガラス基板Wを処理装 置へ搬送する場合を説明する。

 図10に示すように、+Y側の収納カセット70� ��らコンベア装置5及び昇降装置80の作動によ� ��、ガラス基板Wを一枚+X方向に搬送する。同� ��に、直交搬送装置1では、第1搬送装置10の第 1搬送ユニット10の作動により、収納カセット 70から搬送されてくるガラス基板Wを+X側に搬� ��して、直交搬送装置1のX方向の略中央にガ� �ス基板Wを位置させる。このとき、支持ユニ� ��ト30は降下位置に位置させ、かつ、搬送さ� �てくるガラス基板Wの真下に位置させる。基� ��保持ユニット34の当接部材35は退避位置に位 置させる。

 支持ユニット30がガラス基板Wの真下に位� ��しているか否かは、基本的には、予め定め� ��位置に支持ユニット30が位置したことをも� �て、ガラス基板Wの真下に位置したとみなす� ��しかし、支持ユニット30にガラス基板Wを検� ��するセンサを設けてガラス基板Wを検出し、 支持ユニット30の位置を制御するようにして� ��よい。

 次に、昇降ユニット40により支持ユニッ� �30を上昇位置に移動し、これによりガラス基 板Wを第1搬送装置10に代わって支持ユニット30 で支持する。続いて、基板保持ユニット34の� ��動により当接部材35を当接位置に移動して� �ラス基板Wを保持する。

 次に、図11に示すように、駆動ユニット50 の作動により支持ユニット30を-Y方向に移動� �、コンベア装置3の-X側の位置までガラス基� �Wを移動する。ガラス基板Wの移動により、直 交搬送装置1の、+Y側の収納カセット70の側方� ��領域が空く。したがって、+Y側の収納カセ� �ト70から2枚目のガラス基板Wの搬出を開始す� ��。

 次に、基板保持ユニット34の当接部材35を 退避位置に位置させ、支持ユニット30を降下� ��置に移動する。これにより、1枚目のガラス 基板Wは再び第1搬送装置10上に載置される。� �いて、図12に示すように、1枚目のガラス基� �Wを第1搬送装置10及びコンベア装置3により+X� ��向に搬送し、1枚目のガラス基板Wを搬送装� �4へ渡す。搬送装置4は、1枚目のガラス基板W� ��処理装置へ搬送することになる。

 同時に、駆動ユニット50の作動により支� �ユニット30を+Y方向に移動し、2枚目のガラス 基板Wの真下に位置させる。この時、2枚目の� ��ラス基板Wを第1搬送装置10が収納カセット70� ��ら搬出途中であっても、支持ユニット30を� �送されてくるガラス基板Wの真下となる位置( 図9の位置)に位置させ、待機させることがで� ��るので搬送効率を向上できる。以降、同様� ��手順を繰り返すことにより、+Y側に位置す� �収納カセット70から未処理のガラス基板Wを� �理装置へ順次連続的に搬送することができ� �。直交搬送装置1におけるガラス基板WのX方� �及びY方向の搬送を並行して行うことができ� ��ので、ガラス基板Wの搬送効率を向上できる 。

 次に、図13乃至図16を参照して、-Y側に位� ��する収納カセット70へ処理装置から処理済� �ガラス基板Wを搬送する場合を説明する。

 図13に示すように、処理済のガラス基板W� ��搬送装置4により処理装置からコンベア装置 2へ搬送され、コンベア装置2はガラス基板Wを 直交搬送コンベア1上に搬送する。同時に、� �交搬送装置1では、第1搬送装置10の第1搬送ユ ニット10の作動により、コンベア装置2から搬 送されてくるガラス基板Wを-X側に搬送して、 直交搬送装置1のX方向の略中央にガラス基板W を位置させる(図14)。このとき、支持ユニッ� �30は降下位置に位置させ、かつ、搬送されて くるガラス基板Wの真下に位置させる。基板� �持ユニット34の当接部材35は退避位置に位置� ��せる。

 次に、昇降ユニット40により支持ユニッ� �30を上昇位置に移動し、これによりガラス基 板Wを第1搬送装置10に代わって支持ユニット30 で支持する。続いて、基板保持ユニット34の� ��動により当接部材35を当接位置に移動して� �ラス基板Wを保持する。

 次に、図15に示すように、駆動ユニット50 の作動により支持ユニット30を-Y方向に移動� �、-Y側の収納カセット70の+X側の位置までガ� �ス基板Wを移動する。ガラス基板Wの移動によ り、直交搬送装置1の、コンベア装置2の側方� ��領域が空く。したがって、搬送装置4及びコ ンベア装置2による2枚目のガラス基板Wの搬送 を開始する。

 次に、基板保持ユニット34の当接部材35を 退避位置に位置させ、支持ユニット30を降下� ��置に移動する。これにより、1枚目のガラス 基板Wは再び第1搬送装置10上に載置される。� �いて、図16に示すように、1枚目のガラス基� �Wを第1搬送装置10、コンベア装置5及び昇降装 置80の作動により、-Y側の収納カセット70へ搬 入する。

 同時に、駆動ユニット50の作動により支� �ユニット30を+Y方向に移動し、2枚目のガラス 基板Wの真下に位置させる。この時、2枚目の� ��ラス基板Wをコンベア装置2が第1搬送装置10� �へ搬出途中であっても、支持ユニット30を搬 送されてくるガラス基板Wの真下となる位置(� ��13の位置)に位置させ、待機させることがで� ��るので搬送効率を向上できる。以降、同様� ��手順を繰り返すことにより、処理装置から- Y側に位置する収納カセット70へ処理済のガラ ス基板Wを順次連続的に搬送することができ� �。直交搬送装置1におけるガラス基板WのX方� �及びY方向の搬送を並行して行うことができ� ��ので、ガラス基板Wの搬送効率を向上できる 。

 このように本実施形態では、直交搬送装� ��1におけるガラス基板WのX方向及びY方向の搬 送を並行して行うことができるので、ガラス 基板Wの搬送効率を向上できる。特に、ガラ� �基板Wがより大型であればあるほど、収納カ� ��ット70への搬入及び収納カセット70からの搬 出に際し、時間を要することから、本実施形 態のように、ガラス基板WのX方向及びY方向の 搬送を並行して行うことにより、タクトタイ ムの短縮を図れる。

 そして、第2搬送装置20が第1搬送装置10の� ��方に配置されることから、装置全体の小型� ��を図れる。また、昇降ユニット40による支� �ユニット30の昇降によりガラス基板Wを昇降� �る。支持ユニット30は、それ自体がガラス基 板Wを搬送する駆動機構を有さず、ガラス基� �Wを下側から支持する機能を有すれば足りる� ��で、その軽量化が図れる。このため、ガラ� ��基板Wの昇降の高速化が図れ、ガラス基板W� �搬送効率を向上できる。

 加えて、支持ユニット30の軽量化が図れ� �ことから、これをY方向により高速で移動す� ��ことができ、ガラス基板Wの搬送効率を更に 向上できる。また、支持ユニット30を移動す� ��構成としたことにより、Y方向におけるガラ ス基板Wの搬送距離は、駆動ユニット50のY方� �の全長により規定され、より長距離とした� �、短距離としたりすることができ、装置の� �イアウト自由度を高められる。

 また、直交搬送装置1の+X側、-X側にそれ� �れコンベア装置2、3及び5を配置でき、これ� �と直交搬送装置1との間でガラス基板Wの受け 渡しが行えるので、装置のレイアウト自由度 を高められる。また、第2搬送ユニット21は、 第1搬送ユニット11のY方向における任意の位� �で停止させることができる。更に、第1搬送� ��ニット11を独立して駆動可能な複数のロー� �コンベアユニット60で構成している。これら により、直交搬送装置1のX方向側方にコンベ� ��装置5等を配置、接続する際、Y方向におけ� �接続位置の選択肢が増える。よって、装置� �レイアウト自由度を更に高められる。

 なお、本実施形態では、第1搬送ユニット 11の各ローラコンベアユニット60をY方向に略� ��ピッチで配設したが、これに限られない。� ��ーラコンベアユニット60は、直交搬送装置1� ��側方に配置されるコンベア装置2、3及び5の� ��方に少なくとも位置すれば足りる。