Stützelement eines automatischen Ladetisches einer Belichtungseinheit für Siliziumwafer

Die Erfindung betrifft ein Stützelement eines automa¬ tischen Ladetisches einer Belichtungseinheit für Silizium¬ wafer, das einen kreisförmigen Abschnitt hat, mit einem der Führung einer Ladestation angepaßten ersten Außen- durchmesser, der kleiner als der eines Siliziumwafers ist,

Bekannte automatische Ladetische von Belichtungseinheiten, wie der UT-Stepper von der Firma Ultratech, USA, weisen einen kreisrunden Abschnitt als Stützelement (Chuck) am Ladetisch auf, dessen größter Durchmesser kleiner ist als der der zu belichtenden Siliziumwafer. Die größte Breite des Stü zelementes ist dabei begrenzt, bedingt durch die Breite eines in eine Ladestation hineinführenden Einführ¬ schlitzes, also einer Station, in der der Ladetisch bzw. das Stützelement mit einem Siliziumwafer beladen wird, was in der Regel automatisch durchgeführt wird. Nachdem der Siliziumwafer auf dem Ladetisch positioniert ist, verfährt der Ladetisch unter eine Belichtungsstation, bestehend in der Regel aus einer Lichtquelle und einer Maske, die eine scharfe Abbildung auf dem zu belichtenden Siliziumwafer erzeugt. Infolge des Überstehens des Siliziumwafers über den Rand des Stützelementes hinaus, wird der Siliziumwafer im Randbereich nur mangelhaft abgestützt, so daß er insgesamt eine Krümmung aufweist, die am Rand des Siliziumwafers zu einer Defokussierung von ca. 5 bis 20 μm führt. Die Ausfälle beim Belichten derartiger Silizium¬ wafer liegen somit bei 30 bis 40 %, was den Hers ellungs- prozeß stark beeinträchtigt.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Stützelement für einen automatischen Ladetisch einer Be-

lichtungseinheit für Siliziumwafer anzugeben, welches es ermöglicht, auf einfache Weise und unter Verwendung üblicher Belichtungseinheiten und Ladestationen eine Defokussierung weitgehend zu vermeiden.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß der kreisförmige Abschnitt des Stützelementes am Umfang parallel zur Einführrichtung der Ladestation mindestens teilweise vergrößernde Abschnitte und mit diesen einen zweiten Außendurchmesser aufweist, der etwa dem des

Siliziumwafers entspricht, und daß die größte Breite des Stützelements orthogonal zur Einführungsrichtung der des kreisrunden Abschnittes entspricht.

Überraschenderweise hat sich gezeigt, daß der in seinen Abmaßen durch die Ladestation und/oder Belichtungseinheit seitlich beschränkte Ladetisch bzw. dessen Auflagefläche, also dessen Stützelement, für Siliziumwafer erfindungs¬ gemäß derart weitergebildet werden kann, daß die Ausfälle durch Verkrümmung der Siliziumwafer von bisher ca. 30 bis 40 % auf weniger als 5 % verringert werden können.

Erfindungsgemäß wird hierzu das Stützelement des Lade¬ tisches nicht in seiner Breite verändert, sondern im wesentlichen nur in seiner Länge, so daß eine z.B. vor¬ handene Ladesta ion mit schmalem Einführschlitz auch von dem erfindungsgemäßen Stützelement benutzt werden kann, ohne daß das Stützelement im Einführschlitz der Lade¬ station anstößt oder verkantet.

Das parallel zur Einführrichtung vergrößerte Stützelement des Ladetisches kann überraschenderweise mit äußerst ein¬ fachen Mitteln vergrößert werden. Es hat sich nämlich gezeigt, daß das Stützelement bzw. die Auflagefläche teil- weise kreisrund mit einem kleineren Durchmesser als der

des Siliziumwafers selbst gewählt werden kann,- sofern kreisringförmige Sektoren in Einführrichtung die Auflage¬ fläche des Stützelements vergrößern. Die ringförmigen Sektoren können dabei in Umfangsrichtung auch noch unter- brochen sein, was einer besonderen Ausgestaltung der Erfindung entspricht.

Wie Untersuchungen gezeigt haben, beeinflussen diese ring¬ förmigen Sektoren auch den weiterhin nicht abgestützten Rand seitlich der Auflagefläche des Stützelements positiv, so daß Fokussierungsausfälle von weniger aus als 5 % ent¬ stehen.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf eine Zeichnung näher erläutert. Darin zeigt:

Fig. eine Seitenansicht eines Ladetisches mit erfindungsgemäßem Stützelement, und

Fig. eine Draufsicht auf das erfindungsgemäße Stützelement des Ladetisches nach Fig. 1.

Fig. l zeigt einen Ladetisch 10 mit einem Stützelement 11 in einer Seitenansicht, auf dem ein ideal unverkrümmter Siliziumwafer 12 angeordnet ist. Gestrichelt ist ein zu vermeidender gekrümmter Siliziumwafer 15 angedeutet, um die Wirkung des erfindungsgemäßen Stützelementes 11 gegen¬ über dem Stand der Technik zu veranschaulichen.

Oberhalb des Siliziumwafers 12 ist in einiger Entfernung eine Maske 13 und darüber eine ichtquelle 14 angeordnet,

um den mit einer nicht weiter dargestellten Isolations¬ und Fotolackschicht versehenen Siliziumwafer 12 zu belichten. Der Ladetisch 10 führt mit einer Bewegung, die in die Zeichnungsebene hineinweist den Siliziumwafer 12 in die richtige Position unter die Maske 13, nachdem der Ladetisch 10 in der Zeichnungsebene seitlich verschwenkt und mit einer Bewegung ebenfalls in die Zeichnungsebene hinein in einer nicht näher dargestellten Ladestation mit dem Siliziumwafer 12 beladen wurde. Nach der Belichtung des Siliziumwafers 12 wird der Ladetisch 10 in ent¬ sprechender Weise entladen und neu beladen.

Wie in der Fig. 1 gestrichelt dargestellt ist, weist ein Siliziumwafer 15 bei einem nur kreisrunden Stützelement, entsprechend dem Abschnitt 16 in Fig. 2, wie es im Stand der Technik auch bekannt ist, eine Krümmung mit Radius R auf, da er über den Rand des Abschnittes 16 des Stütz- elements hinausragt, was zu Defokussierungen insbesondere im Randbereich des Siliziumwafers 15 führt. Das erfindungsgemäße Stützelement 11 weist am kreisrunden Abschnitt 16 Abschnitte 17 auf, die das Stützelement 11 parallel zur Einführrichtung zwar verlängern aber orthogonal dazu nicht verbreitern. Der Siliziumwafer 12 zeigt dann keine Krümmung R.

Fig. 2 zeigt nun die Draufsicht auf ein erfindungsgemäßes Stützelement 11, das in Pfeilrichtung B beispielsweise unter die Maske 13 einer Belichtungseinheit geführt werden kann, aber auch in einen üblicherweise in seiner Breite begrenzten Einführschlitz einer nicht dargestellten Lade¬ station. Das erfindungsgemäße Stützelement 11 weist dazu einen mittleren kreisrunden Abschnitt 16 auf, dessen Durchmesser, wie im Stand der Technik, kleiner als der des Siliziumwafers 12 ist. In Pfeilrichtung B, also parallel zur Einführrichtung der Ladestation oder Belichtungs-

einheit, weist die Auflagefläche des erfindungsgemäßen des Stützelements 11 kreisringsektorförmige Abschnitte 17 auf, die in Pfeilrichtung B die Auflagefläche auf den Durch¬ messer des Siliziumwafers 12 vergrößern. Hierdurch ist gewährleistet, daß das erfindungsgemäße Stützelement 11 mit vergrößerter Auflagefläche in einer üblichen Lade¬ station wie auch Belichtungsstation verwandt werden kann und gleichzeitig einen großen Teil des Randes des Siliziumwafers 12 abstützt.

Eine Verkrümmung des Siliziumwafers 12 tritt dadurch im Bereich der Abschnitte 17 überhaupt nicht auf, und über¬ raschenderweise auch nicht mehr in den weiterhin nicht abgestützten Randbereichen, in der Fig. 2 links und rechts seitlich des Abschnittes 16. Es kann auch vorgesehen sein, daß der Abschnitt 17, wie in der unteren Hälfte der Fig. 2 dargestellt ist, unterteilt werden kann. Eine derart gestaltete Auflagefläche eines erfindungsgemäßen Stütz- elementes 11 weist Ausfälle von weniger als 5 % auf. Die in Fig. 2 gestrichelte Linie 18 deutet den äußeren Rand einer Siliziumscheibe 12 an.

Die in der vorstehenden Beschreibung, in den Fig. l und 2 sowie in den Ansprüchen offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination für die Verwirklichung der Erfindung in ihren ver¬ schiedenen Ausführungsformen wesentlich sein.