以下本発明の実施の形態について、図面� ��参照しながら説明する。

 (実施の形態1)
 図1Aは実施の形態1における弾性表面波共振� ��の構成を示す上面図である。図1Bは、図1Aの 1B-1Bの断面図である。圧電基板101上に櫛型電� ��102と反射器電極103が形成され、その上に、S iO ₂ 薄膜104が形成される構成である。櫛型電極102 は、バスバー電極領域105とダミー電極領域106 、交差領域107とを含む構成である。櫛型電極 102は、横モードのスプリアス抑圧のために、 アポタイズ重み付けが施されている。ここで 、ダミー電極領域106とは、櫛型電極102におけ るダミー電極の最小長さの領域を示し、交差 領域107とは、櫛型電極102の交差する最大長さ の領域を示す。さらに、櫛型電極102のバスバ ー電極領域105の上部はSiO ₂ 薄膜104が取り除かれ電極が露出した構成とな っている。即ち、SiO ₂ 薄膜104の厚みがゼロである。

 このような弾性表面波共振器の周波数対通� ��特性を図2に示す。また、比較のために、図 15A、図15Bで示した従来の弾性表面波共振器の 通過特性を図16に示す。ここで、圧電基板101� ��しては、カット角が5度の回転Y板のLiNbO ₃ 基板を用いており、電極はAlを主成分とした� ��料を用いている。また、電極とSiO ₂ 薄膜104の膜厚は、波長で規格化した値で、そ れぞれ8%、20%としている。図2と図16とに示す� ��うに、本発明の弾性表面波共振器における� ��大減衰量は-21dBであり、従来の弾性表面波� �振器における最大減衰量は-19dBである。即ち 、本発明の弾性表面波共振器の特性は改善さ れている。また、反共振点でのQ値に関して� �、本発明の弾性表面波共振器ではQ値が230で� ��り、従来の弾性表面波共振器ではQ値が194で あった。共振器特性として改善が実現してい る。これは、バスバー電極領域105の上部のSiO ₂ 薄膜104を取り除き電極を露出させることによ り、弾性表面波共振器における弾性表面波の バスバー電極領域105の音速が交差領域107の音 速よりも速くすることができるため、弾性表 面波の横方向すなわちバスバー電極方向への 漏れを抑え、閉じ込めが良くなったためと考 えられる。

 以上説明したように、本発明の弾性表面波� ��振器は、櫛型電極102におけるバスバー電極� ��域105の上部のSiO ₂ 薄膜104を取り除くことにより、弾性表面波共 振器の特性を改善でき、優れた弾性表面波共 振器を実現することができる。

 SiO ₂ 薄膜を取り除く方法としては、SiO ₂ 薄膜の成膜後にエッチングして形成してもよ く、また、SiO ₂ 薄膜の成膜前にあらかじめ櫛型電極102におけ るバスバー電極領域105の上部にマスキングし てSiO ₂ 薄膜が非形成状態となるようにしてもかまわ ない。

 なお、本実施の形態においては、櫛型電極1 02におけるバスバー電極領域105の上部のSiO ₂ 薄膜104を取り除く構成について説明したが、 これは図3A、図3Bに示すような構成であって� �よい。図3Aは実施の形態1における弾性表面� �共振器の他の構成を示す上面図である。図3B は図3Aの3B-Bの断面図である。図1の構成と異� �るのは、弾性表面波共振器の櫛型電極102の� �ミー電極領域106の上部のSiO ₂ 薄膜104が取り除かれている点である。このよ うな弾性表面波共振器の通過特性を図4に示� �。図4において、最大減衰量は-23dBとさらに� �善している。また、反共振点のQ値は245であ� ��、向上している。このように、ダミー電極� ��域106のSiO ₂ 薄膜104を取り除くことにより弾性表面波共振 器の特性をさらに改善することができる。

 なお、本実施の形態においては、櫛型電極1 02におけるバスバー電極領域105とダミー電極� ��域106の上部のSiO ₂ 薄膜104が全て取り除かれた構成として説明し ているが、この構成に関してはこれに限るも のではない。どちらか一方でもよい。また、 図5Aに示すような弾性表面波共振器の構成で� ��ってもかまわない。図5Aは実施の形態1にお� ��る弾性表面波共振器の他の構成を示す上面� ��である。図5Bは図5Aにおける5B-5Bの断面図で� ��る。このように、SiO ₂ 薄膜104を取り除く領域を櫛型電極102のダミー 電極領域106と交差領域107の間のギャップ領域 にまで適用してもかまわない。この場合には 、弾性表面波の主な伝搬路である交差領域107 の上部においては、SiO ₂ 薄膜104は残したままとするのが好ましく、交 差領域107の上部のSiO ₂ 薄膜104を取り除くと共振器特性を劣化させて しまう可能性がある。よって、SiO ₂ 薄膜104は最大交差幅よりもダミー電極領域106 側において取り除くことが好ましい。

 なお、本実施の形態においては、櫛型電極1 02におけるバスバー電極領域105、またはダミ� ��電極領域106の上部のSiO ₂ 薄膜104が全て取り除かれた構成、即ちSiO ₂ 薄膜104の厚みがゼロとして説明しているが、 この構成に限るものではない。交差領域107の 上部のSiO ₂ 薄膜104よりもバスバー電極領域105の上部のSiO ₂ 薄膜104が薄い構成であってもよい。弾性表面 波共振器の交差領域107の上部とバスバー電極 領域105、またはダミー電極領域106の上部との 構成を変えて、弾性表面波共振器における弾 性表面波のバスバー電極領域105の音速が交差 領域107の音速よりも速くすることができる構 成であればよい。

 また、櫛型電極102におけるバスバー電極領� ��105、またはダミー電極領域106におけるすべ� ��の領域の上部のSiO ₂ 薄膜104が取り除かれたとしているが、これは 少なくとも一部の領域だけであってもかまわ ない。すなわち、櫛型電極102におけるバスバ ー電極領域105、またはダミー電極領域106にお ける一部の領域におけるSiO ₂ 薄膜104が取り除かれたか、あるいはSiO ₂ 薄膜104が薄い構成かであれば本発明と同様の 効果は得られる。

 また、本実施の形態においては、圧電基板1 01として、カット角が5度の回転Y板のLiNbO ₃ 基板とし、電極とSiO ₂ 薄膜104の膜厚は、波長で規格化した値で、そ れぞれ8%、20%であるとして説明したが、これ� ��に限るものではなく、また、LiNbO ₃ 基板のカット角については、-10から+30度程度 の範囲であれば、本発明の構成を適用するこ とにより、広帯域でかつ温度特性に優れ、特 性の優れた弾性表面波共振器を実現すること ができる。

 また、電極の材料に関しては、Alを主成� �とする材料としているが、これに限るもの� �はなく、CuやAu、その他の材料を用いてもか� ��わない。

 また、誘電体薄膜としてSiO ₂ 薄膜104を用いた構成として説明したが、これ は他の誘電体材料、またはその多層構成にも 適用可能である。

 また、反射器電極103の構成に関しても、本� ��施の形態に限るものではない。また、反射� ��電極103において、櫛型電極102のバスバー電� ��領域105、ダミー電極領域106に対応する領域� ��上部におけるSiO ₂ 薄膜104を取り除く、あるいは薄くする構成で あってもかまわない。この場合には、反射器 における弾性表面波の横方向への漏れの軽減 が期待できる。

 また、櫛型電極102に関しても、実施の形� ��においてはアポタイズ重み付けを施してい� ��が、この構成に限るものではない。

 また、本実施の形態においては、反射器� ��極を備えた弾性表面波共振器として説明を� ��ているが、本発明は櫛型電極に適用するも� ��であり、反射器電極がない場合であっても� ��果は得られる。

 (実施の形態2)
 図6Aは実施の形態2における弾性表面波共振� ��の構成を示す上面図である。図6Bは図6Aの6B- 6Bの断面図である。圧電基板701上に櫛型電極7 02と反射器電極703が形成され、その上に、SiO ₂ 薄膜704が形成されている。櫛型電極702は、バ スバー電極領域705とダミー電極領域706、交差 領域707とを含む構成であり、アポタイズ重み 付けを施さない正規型の櫛型電極構成である 。ここで、ダミー電極領域706とは、櫛型電極 702におけるダミー電極の最小長さの領域を示 し、交差領域707とは、櫛型電極の交差する最 大長さの領域を示す。また、ダミー電極領域 706はメタライズされたダミー電極重み付け708 が施されている構成であって、中心部から外 側に向かってメタライズ領域が大きくなり、 ダミー電極の長さが徐々に短くなっている構 成である。さらに、櫛型電極702のバスバー電 極領域705、ダミー電極領域706及びその上部に おいて、SiO ₂ 薄膜704が取り除かれた構成となっている。

 このような弾性表面波共振器の通過特性を� ��7A、図7Bに示す。図7A,図7Bは同じ弾性表面波� ��振器の通過特性であり、図7Bは図7Aの縦軸を 拡大した図である。また、比較のため、図8A� ��図8Bで示すような弾性表面波共振器の通過� �性を図9A、図9Bに示す。図8Aは実施の形態2に� ��ける比較のための弾性表面波共振器の構成� ��示す上面図である。図8Bは図8Aの8B-8Bの断面� ��示す。図9Bは、図9Aの縦軸を拡大した図であ る。ここで、圧電基板としては、カット角が 5度の回転Y板のLiNbO ₃ 基板を用いており、電極はAlを主成分とした� ��料を用いている。また、電極とSiO ₂ 薄膜の膜厚は、波長で規格化した値で、それ ぞれ8%、20%としている。本実施の形態である� ��6A、図6Bの弾性表面波共振器の構成はメタラ イズされたダミー電極重み付け708を含むダミ ー電極領域706上のSiO ₂ 薄膜704が取り除かれている。一方、図8A、図8 Bの比較のための弾性表面波共振器は、ダミ� �電極重み付け708を含むダミー電極領域706上� �SiO ₂ 薄膜704が存在する。図9A,図9Bにおいては、横� ��ードによるスプリアス1001が現れている。一 方、図7A、図7Bにおいては、このスプリアス� �抑圧されて優れた共振器特性が得られてい� �。また、図7Aに示すように、本発明の弾性表 面波共振器における最大減衰量は-20dBである� ��また、図9Aに示すように、比較のための弾� �表面波共振器における最大減衰量は-18dBであ る。このように、本発明の構成により、弾性 表面波共振器の特性の改善も同時に実現して いる。これは、ダミー電極領域706の上部のSiO ₂ 薄膜704を取り除くことにより、弾性表面波共 振器における弾性表面波のダミー電極領域706 の音速が交差領域707の音速よりも速くするこ とができ、弾性表面波の横方向すなわち、ダ ミー電極領域706方向への漏れを抑え、閉じ込 めが良くなったためである。

 よって、本発明の構成においては、メタラ� ��ズされたダミー電極重み付け708が施された� ��ミー電極領域の上部におけるSiO ₂ 薄膜を非形成状態とすることにより、横モー ドによるスプリアス1001を抑圧できるという� �果に加えて、共振器特性を改善するという� �果が得られるものである。

 また、本実施の形態で示したように、ア� ��タイズ重み付けを施すことなく、正規型の� ��型電極構成で横モードによるスプリアスを� ��圧できるということは、アポタイズ重み付� ��によるQ値などの共振器特性の低下を防ぐこ とができ、弾性表面波共振器を実現する上で 特性的に有利な構成となる。さらに、弾性表 面波共振器として、同一の静電容量を実現す る場合、本発明の弾性表面波共振器のほうが 、アポタイズ重み付けを施さなくても横モー ドのスプリアスを抑圧できるため、従来のア ポタイズ重み付けされた弾性表面波共振器よ りも共振器サイズを小さくすることができ、 弾性表面波共振器を小型化できるという効果 もある。

 以上説明したように、本発明の弾性表面波� ��振器は、櫛型電極702におけるダミー電極領� ��706に重み付けを施し、さらにその上部のSiO ₂ 薄膜704を取り除くことにより、弾性表面波共 振器の特性を改善でき、優れた弾性表面波共 振器を実現することができる。

 なお、本実施の形態においては、櫛型電極7 02におけるダミー電極領域706の上部のSiO ₂ 薄膜704を取り除く構成について説明したが、 これは、ダミー電極領域706とバスバー電極領 域705の両方の上部のSiO ₂ 薄膜704を取り除く構成であってもかまわない 。

 また、SiO ₂ 薄膜704が全て取り除かれたとして説明してい るが、この構成に関してはこれに限るもので はなく、交差領域707の上部のSiO ₂ 薄膜よりもダミー電極領域706の上部のSiO ₂ 薄膜が薄い構成であってもよい。弾性表面波 共振器の交差領域707の上部とダミー電極領域 706の上部との構成を変えて、弾性表面波共振 器における弾性表面波のダミー電極領域706の 音速が交差領域707の音速よりも速くすること ができる構成であればよい。

 また、ダミー電極領域706におけるすべての� ��域の上部のSiO ₂ 薄膜704が取り除かれた構成としているが、こ れは少なくとも一部の領域のであってもかま わない。すなわち、ダミー電極領域706におけ る一部の領域におけるSiO ₂ 薄膜704が取り除かれた、あるいはSiO ₂ 薄膜704が薄い構成であれば本発明と同様の効 果は得られる。

 また、ダミー電極領域706と合わせて、櫛型� ��極702におけるバスバー電極領域705における� ��部の領域におけるSiO ₂ 薄膜704が取り除かれた、あるいはSiO ₂ 薄膜が薄い構成であってもかまわない。

 また、ダミー重み付けの形状を中心部から� ��側に向かってメタライズされてダミー電極� ��長さが徐々に短くなっている構成としてい� ��がこれに限るものではなく、ダミー電極領� ��に何らかの重み付けがされ、かつ、SiO ₂ 薄膜704が取り除かれた、あるいはSiO ₂ 薄膜704が薄い構成であれば本発明と同様の効 果が得られる。

 また、本実施の形態においては、圧電基板� ��カット角が5度の回転Y板のLiNbO ₃ 基板とし、櫛型電極702における電極とSiO ₂ 薄膜704の膜厚は、波長で規格化した値で、そ れぞれ8%、20%であるとして説明したが、これ� ��に限るものではなく、また、LiNbO ₃ 基板のカット角については、-10から+30度程度 の範囲であれば、本発明の構成を適用するこ とにより、広帯域でかつ温度特性に優れ、特 性の優れた弾性表面波共振器を実現すること ができる。

 また、電極の材料に関しては、Alを主成� �とする材料としているが、これに限るもの� �はなく、CuやAu、その他の材料を用いてもか� ��わない。

 また、誘電体薄膜としてSiO ₂ 薄膜704を用いた構成として説明したが、これ は他の材料、または多層構成であってもかま わない。

 また、反射器電極703の構成に関しても、こ� ��に限るものではなく、また、反射器電極703� ��おけるバスバー電極領域705、ダミー電極領� ��706に対応する領域の上部におけるSiO ₂ 薄膜704を取り除く、あるいは薄くする構成で あってもかまわない。この場合には、反射器 における弾性表面波の横方向への漏れの軽減 が期待できる。

 また、櫛型電極702に関しても、本実施の� ��態においては正規型の電極構成としている� ��、アポタイズ重み付けと組み合わせて用い� ��もよい。その場合には、さらにスプリアス� ��抑圧の効果が実現できるものである。

 また、本実施の形態においては、反射器� ��極を備えた弾性表面波共振器として説明を� ��ているが、本発明は櫛型電極に適用するも� ��であり、反射器電極がない場合であっても� ��果は得られる。

 次に、誘電体薄膜の非形成状態の領域に� ��して説明する。図11Aは弾性表面波共振器の� ��成を示す上面図である。図11Bは図11Aの11B-11B の断面図である。図12Aは図11Aとの比較のため の弾性表面波共振器の構成を示す上面図であ る。図12Bは図12Aの12B-12Bの断面図である。図11 A、図11Bに示すように、誘電体薄膜の非形成� �態の領域がダミー領域の上とバスバー領域� �上のみとした場合と、図12A、図12Bに示すよ� �に誘電体薄膜の非形成状態の領域が交差領� �の一部を含むとした場合とについて比較を� �った。ここでは、交差幅は25μmであり、図12A 、図12Bでは、交差領域において、1μm内側に� �電体薄膜の非形成状態の領域を形成してい� �。また、弾性表面波共振器の構成としては� �正規型の電極構成とし、ダミー電極重み付� �の施されていない状態で比較を行った。図11 A,図11Bにおける弾性表面波共振器の特性を図1 3に示す。図12A、図12Bにおける弾性表面波共� �器の特性を図14に示す。図11A、図11Bの弾性表 面波共振器の共振器特性に比べ、図12A、図12B の弾性表面波共振器の共振器特性はスプリア スが大きく、弾性表面波共振器として特性が 劣化している。よって、交差領域に関しては 、誘電体薄膜が形成状態とする方が好ましい 。

 (実施の形態3)
 図10は、本発明の実施の形態3における弾性� ��面波フィルタの構成を示す図である。図10� �おいて、1101、1102、1103、1104は直列腕の弾性� ��面波共振器であり、1105、1106は並列腕の弾� �表面波共振器である。ここで、弾性表面波� �振器1101、1102、1103、1104、1105、1106は、実施� �形態1、あるいは実施の形態2で示した弾性表 面波共振器を用いて構成される。以上の構成 により、優れた特性を有するラダー型の弾性 表面波フィルタを実現することができる。

 本実施の形態においては、6個の弾性表面 波共振器1101、1102、1103、1104、1105、1106を用い たラダー型の弾性表面波フィルタについて説 明したが、弾性表面波共振器の個数や構成に 関してはこれに限るものではなく、弾性表面 波フィルタを構成する弾性表面波共振器の少 なくとも一つに、実施の形態1、あるいは実� �の形態2の構成の弾性表面波共振器を適用す� ��ば、改善の効果は得られるものである。

 また、本発明においては、櫛型電極102、7 02の両側に反射器電極103、703を配置した弾性� ��面波共振器によるラダー型の弾性表面波フ� ��ルタだけでなく、櫛型電極102、702を複数個� ��接配置して構成される縦モード型フィルタ� ��おいても、実施の形態1、あるいは実施の形 態2における櫛型電極102、702の構成を適用す� �ば、縦モード型の弾性表面波フィルタとし� �の特性改善の効果は得られるものである。

 また、本発明は弾性表面波フィルタだけ� ��なく、送信フィルタと受信フィルタとによ� ��構成されるアンテナ共用器にも適用可能で� ��り、送信フィルタ、または受信フィルタの� ��ずれかに本発明の弾性表面波共振器または� ��性表面波フィルタを使用することにより、� ��れた特性を有するアンテナ共用器を実現す� ��ことができる。