本発明の一実施形態に係る表面処理装置1に ついて、図1から図5を用いて説明すれば以下� ��通りである。
 本実施形態の表面処理装置1は、幅30cm、厚� �38μmの長尺のポリイミド膜を含むシート材10� ��対して、メッキ処理等の表面処理するため� ��装置である。なお、このシート材10は、表� �処理を施される前段階では、長尺方向に沿� �てロール状に巻かれた状態で保持されてい� �ものとする。

 [表面処理装置1の構成]
 本実施形態に係る表面処理装置1は、図1に� �すように、主として、筐体部2と、ガイドロ� ��ラ対9a,9b(図3参照)と、処理液供給部Sと、処� ��部Pとを備えている。

  (筐体部2)
 筐体部2は、内側に空間を有する直方体形状 の部材である。この筐体部2は、側面部18a,18b� ��底面部19とを有している。

 側面部18aには、シート材10の入り口であ� �搬入口20が形成されている。一方、側面部18b には、シート材10の出口である搬出口21が形� �されている。これらの搬入口20および搬出口 21は、矩形状の開口部である。

 底面部19は、矩形の面である。そして、� �面部19とこの底面部19に連接する側面の一部� ��が、シート材10の被処理面16に対して表面処 理を施し終えた後の処理液X(廃液)を一時的に 溜める廃液溜め19aを形成している。

 また、筐体部2は、塩化ビニル製の筐体で あって、上部に開口部(図示しない)を有して� ��る。この開口部には、蓋部材(図示しない)� �、気密性が高く、かつ開閉可能に開口部を� �ぐように配置されている。

  (処理液供給部S)
 次に、表面処理に用いる処理液Xを処理部P� �供給するための部材群である処理液供給部S� ��ついて説明する。処理液供給部Sは、処理液 Xを筐体部2内に流入させるための供給管7と、 流入された処理液を一時的に溜めるための貯 留部(第3部材)5とを備えている。

 供給管7は、図2に示すように、処理液Xを� ��体部2内に供給するために、筐体部2の上部� �、外部から連結して設けられている。また� �供給管7は、内部が空洞になっている円筒形� ��の塩化ビニル製の部材である。そして、円� ��形状の外周面(円周面)に相当する部分には� �複数の微小穴7aが、シート材10の搬送方向に� ��って一列に形成されている。また、この微� ��穴7aは、後述する縦壁11に対向する方向に設 けられている。

 貯留部5は、筐体部2に固定されている平� �状の基板部5aを備えている。また、貯留部5� �、基板部5aの上面側に、縦壁11と堰6と供給ガ イド面(第3ガイド面)13(図5参照)とを有してい� ��。また、基板部5aの上面と縦壁11と堰6とに� �って、液溜め12が形成されている。

 また、基板部5aは、一方の端部が筐体部2� ��固定されて略水平に設けられている。そし� ��、この基板部5aのシート材10の搬入口20側か� ��搬出口21側方向への長さは、当該表面処理� �置1における処理区間Y(図3参照)の長さと同じ 程度の長さである。

 縦壁11は、基板部5a上に上方向に向けて略 垂直に形成された板状の部材である。この縦 壁11は、基板部5aと一体的に形成された部材� �あってもよい。そして、縦壁11は、供給管7� �微小穴7aから流出する処理液を受け止める役 割を果たしている。つまり、処理液Xは、こ� �縦壁11に当たった後、縦壁11に沿って流下す� ��ことになる。

 堰6は、基板部5aの上面から上方向に突出� ��るように形成された直方体形状の部材であ� ��、縦壁11よりシート材10側に設けられている 。この堰6は、長手方向において、縦壁11と略 平行である。また、堰6は、縦壁11と同様に、 基板部5aと一体的に形成された部材であって� ��よい。そして、堰6の基板部5aからの高さは� ��縦壁11より低い高さである。

 このように形成された堰6は、上述のよう に、縦壁11と基板部5aとともに、液溜め12を形 成する役割を果たす。すなわち、縦壁11に沿� ��て流下した処理液Xは、堰6の高さを超える� �では、液溜め12に溜まることになる。

 供給ガイド面13は、基板部5aの上面の一部 であり、堰6の下端からシート材10側の端部ま での略平面状の面である。この供給ガイド面 13は、上述の液溜め12から堰6の上面の高さを� ��えて溢れ出した処理液Xを、シート材10の被� ��理面16と、後述する処理部Pの中央領域処理� ��14との間の隙間へと導く役割を果たしてい� �。

  (処理部P)
 次に、処理液供給部Sによって供給された処 理液Xによって、シート材10の被処理面16を高� ��度に処理する処理部Pについて説明する。

 処理部Pは、図5に示すように、シート材10 の被処理面16の中央領域16b(本実施形態では、 被処理面16の上部の端部領域を除いた領域)を 処理するための中央領域処理部(第2部材)4と� �端部領域16a(本実施形態では、上部の端部領� ��)を処理するための端部領域処理部(第1部材) 3とを備えている。

 中央領域処理部4は、基板部5aにおけるシ� ��ト材10側の端部から、下方に向けて略垂直� �設けられている平板状の部材である。この� �央領域処理部4は、基板部5aと一体的に形成� �れた部材であってもよい。そして、この中� �領域処理部4は、シート材10の被処理面16に対 し、微小隙間を介して対向して設けられた中 央領域処理面(第2ガイド面)14を有している。

 中央領域処理面14は、中央領域処理部4に� ��ける一方の面である。この中央領域処理面1 4は、供給ガイド面13に連接して形成されてい る。また、中央領域処理面14とシート材10の� �処理面16との間の微小隙間は、処理液Xがこ� �微小隙間を流下する際に毛細管力が働く程� �の大きさとなっている。そして、中央領域� �理面14は、供給ガイド面13との連接部から、� ��体部2の底面から所定の高さ位置まで設けら れている。

 このような構成によると、供給ガイド面13� �を流れてきた処理液Xは、中央領域処理面14� �シート材10の被処理面16との間の隙間におい� ��流下する。
 また、中央領域処理面14と供給ガイド面13と の連接部分は、滑らかな曲面形状であること が好ましい。これにより、供給ガイド面13上� ��流れてきた処理液Xがシート材10の方向に飛� ��したり、脈動したりすることを抑えること� ��できる。

 また、図4に示すように、供給ガイド面13� ��中央領域処理面14との連接部分付近には、� �理液Xが流れる方向に対して垂直方向(シート 材10の搬送方向に対し平行方向に)に沿った条 を有する微小凹凸22が形成されている。これ� ��より、処理液Xが、シート材10の搬送方向に� ��って均一に広がり易くなり、よりムラのな� ��表面処理を施すことができる。

 端部領域処理部3は、図1および図2に示す� ��うに、中央領域処理部4の上方向に、略垂直 に配設された板形状の部材である。この端部 領域処理部3は、上端部17bと下端部17aと端部� �域処理面(第1ガイド面)17cとを有している。

 上端部17bは、図2に示すように、筐体部2� �固定されている。このため、上端部17bの固� �位置が決定されれば、端部領域処理部3の配� ��位置が決定される。ただし、端部領域処理� ��3の固定方法は、これに限定されるものでは ない。例えば、端部領域処理部3は、例えば� �基板部5aの一部分や縦壁11の一部分などに固� ��される構成であってもよい。

 下端部17aは、図5に示すように、被処理面 16の端部領域16aに対向する領域(端部処理領域 面17cの下端部)は、曲面形状を成している。� �体的には、板形状の部材に半円柱形状の部� �が密着して組み合わされた形状になってい� �。そして、半円柱形状の部材の条の部分が� �処理面16の端部領域16aに近接するように設け られている。また、本実施形態においては、 この半円柱状の部材は、端部処理領域面17cに 沿って上下に2つ設けられている。なお、板� �の部材と半円球状の部材とは、個々に形成� �れた後に接着剤などで接着されたものであ� �てもよいし、あるいは、射出成型などによ� �一体形成物であってもよい。

 また、この下端部17aは、供給ガイド面13� �中央領域処理面14との連接部分付近において 、供給ガイド面13から中央領域処理面14に流� �る処理液Xに接するように設けられている。� ��の下端部17aは、処理液Xを、被処理面16と、� ��述する端部領域処理面17cと、の間の微小隙� ��へ吸い上げるために、最初に表面張力によ� ��て端部領域処理部3に吸着させる役割を果た している。

 なお、この処理液Xと下端部17aとが接する 度合いは、処理液Xの流量によって変化する� �で、必要に応じて流量を調節すれば、下端� �17aと処理液Xとの接する度合いを調節するこ� ��ができる。

 端部領域処理面17cは、端部領域処理部3に おけるシート材10の被処理面16に対向する面� �ある。そして、端部領域処理面17cと被処理� �16の端部領域16aとの間には、最も近接する部 分(半円柱形状の条の部分と被処理面16aと)で� ��、約0.3mmの微小隙間が設けられている。ま� �、最も離れている部分(平面部分と被処理面1 6aとの距離)では、約1.5mmの微小隙間が設けら� ��ている。これらの距離は、本実施形態にお� ��て使用する処理液Xが、毛細管力によって入 り込む大きさの隙間である。なお、本実施形 態におけるシート材10のように、被処理物が� ��剛体物(剛体物ではない物体)である場合は� �処理液Xを流していない状態において、端部� ��域処理面17cの半円柱形状の条の部分と被処� ��面16aとが接している状態であってもよい。� ��れは、シート材10が端部領域処理面17cに対� �て垂直方向に、非剛体物であることによる� �由度を有するため、処理液Xが入り込むこと� ��よって、自然に微小隙間が形成されるため� ��ある。

 以上の構成により、端部領域処理面17cと� ��部領域16aとの微小隙間は、毛細管力が働き� ��すくなるため、処理液Xを効果的に入り込ま せることが可能になる。また、上下に並べら れた半円柱状の部材同士の間にも毛細管力が 働き、処理液Xを保持しやすい形状となって� �る。この結果、端部領域16aと端部領域処理� �3との間の隙間に処理液Xを効果的に入り込ま せて保持することができる。

  (ガイドローラ対9a,9b)
 ガイドローラ対9a,9bは、図3に示すように、� ��体部2の内部に設けられている。ガイドロー ラ対9aは、搬入口20近傍に設けられている。� �イドローラ対9bは、搬出口21近傍に設けられ� ��いる。また、ガイドローラ対9aとガイドロ� �ラ対9bとの間には、シート材10の被処理面16� �表面処理を施す処理区間Yが位置している。� ��のガイドローラ対9a,9bは、略円柱状の部材� �あり、円周面である外周面23にシート材10を� ��着させた状態で回転する。

 ここで、本実施形態におけるシート材10� �、筐体部2の外部にロール状に巻かれた状態� ��保持されている。このシート材10は、筐体� �2の外部に設けられた図示しない搬送ローラ� ��によって、ロール状態から引き出される。� ��して、上記搬送ローラ対に対して筐体部2を 挟んで反対側に設けられている図示しない搬 送ローラ対によって、搬入口20から筐体部2の 内部へと搬送される。

 このとき、ガイドローラ対9aおよびガイ� �ローラ対9bは、処理区間Yにおいて、シート� �10の被処理面16が、中央領域処理面14および� �部領域処理面17cに対し、微小隙間を介して� �向して搬送されるように誘導する。また、� �イドローラ対9bは、処理後のシート材10を、� ��体部2の外部に設けられている図示しない搬 送ローラ対へ、搬出口21を通って搬送される� ��うに誘導する。そして、筐体部2内で表面処 理を施された後、搬出口21から搬出される。� ��だし、本実施形態では、長尺のシート材10� �搬送方向に連続的に表面処理を施す構成で� �るため、シート材10の搬入出は連続的に行わ れる。

 なお、本実施形態におけるガイドローラ� ��9a,9bは、回転自在に設けられており、シー� �材10を搬送するための動力を有していない。 しかし、このガイドローラ対9a,9bは、モータ� ��どによって動力を持たせた搬送ローラ対と� ��ての機能を併せ持つものであってもよい。� ��の場合、ガイドローラ対9a,bは、比較的、半 径が大きいものであることが好ましい。これ は、側面とシート材10との密着面積が広くな� ��、摩擦力が高くなるためである。すなわち� ��ガイドローラ対9a,9bの側面とシート材10との 摩擦力が、シート材10を搬送するために十分� ��あればよい。

 また、ガイドローラ対9a,9bは、図12(a)に示 すようにシート材10の上端または(及び)下端� �ガイドする(例えば、段付き円柱)構造であっ てもよいし、シート材10を圧着する構造であ� ��てもよい。あるいはまた、図12(b)に示すよ� �に、3つのガイドローラによって、シート材1 0を交互に挟む構成であってもよい。

 <表面処理装置1における表面処理液Xの流� ��>
 次に、本実施形態に係る表面処理装置1にお ける表面処理液Xの流路を、図5を用いて、以� ��で説明する。

 先ず、供給管7の内部を流れてきた処理液 Xは、供給管7の微小穴7aから流出する。流出� �た処理液Xは、縦壁11に当たり、この縦壁11に 沿って流下する。このようにすると、供給さ れる処理液Xが飛散することを抑えることが� �きる。そして、縦壁11に沿って流下した処理 液Xは、堰6によって堰き止められ、堰6の高さ に至るまで、液溜め12に溜まる。このように� ��処理液Xが、一旦、液溜め12に溜まることに� ��って、処理液Xの勢いが抑制される。

 次に、供給管7から供給され続け、堰6の� �さを超えた処理液Xは、堰6側から溢れ出し、 供給ガイド面13上を流れ出す。供給ガイド面1 3上を流れる処理液Xは、この供給ガイド面13� �中央領域処理面14との接続部およびその近傍 に設けられた微小凹凸22(図4参照)によって、� ��ート材10の搬送方向に広がりつつ、下流方� �に流れていく。

 このとき、供給ガイド面13上を流れる処� �液Xの一部は、端部領域処理部3の下端部17aに 接触する。この下端部17aに接触した処理液X� �一部は、表面張力によって端部領域処理部3� ��表面に吸着する。そしてさらに、この吸着� ��た処理液Xは、毛細管力によって、端部領域 処理面17cとシート材10の被処理面16における� �部領域16aとの微小隙間に入り込む。すなわ� �、端部領域処理面17cと被処理面16の端部領域 16aとの隙間で毛細管現象が発生し、その隙間 に処理液Xが広がって保持される。

 ここで、処理液Xの上昇は、シート材10の� ��端付近で止まる。これは、毛細管現象の原� ��に基づく結果である。つまり、毛細管力は� ��液体の表面張力によって、物体間の微小隙� ��を液面が上昇する現象であるため、端部領� ��処理面17cに対し微小隙間を介して対向する� ��体(シート材10の被処理面16)が存在しない領� ��(シート材10の上端部より上の領域)では、毛 細管力が働かないからである。

 一方、毛細管力によって端部領域処理面1 7c方向に入り込まなかった処理液Xは、中央領 域処理面14と、シート材10の被処理面16との間 の微小隙間に沿って流下する。このとき、シ ート材10に、中央領域処理面14に近づく方向� �若干の自由度を持たせておけば、処理液Xと� ��処理面16との表面張力によって、シート材10 の被処理面16が中央領域処理面14方向に吸い� �せられる。

 このように、中央領域処理面14と被処理� �16との微小隙間を、中央領域処理面14と被処� ��面16との両方に接触しながら流下した処理� �Xは、中央領域処理面14の下端26に到達して筐 体部2の底部に滴下する。

 なお、筐体部2の底部に滴下した処理液X� �、図示しない循環ポンプによって、再び、� �給管7に循環される。ただし、この循環の間� ��は、処理液Xの濾過や濃度、温度などの条件 を調整するための図示しない調整槽を介して いてもよい。

 [表面処理装置1の特徴]
 (1)
 本実施形態に係る表面処理装置1は、図1お� �び図5に示すように、処理液Xをシート材10の� ��処理面16に沿って流下させて表面処理を施� �表面処理装置1であって、処理液供給部Sと、 端部領域処理面17cを有する端部領域処理部3� �、を備えている。処理液供給部Sは、処理液X を端部領域処理部3に供給する。端部領域処� �面17cは、シート材10の被処理面16に対して、� ��小隙間を介して対向して設けられている。� ��して、端部領域処理部3の下端部17aは、供給 ガイド面13上を流れる処理液Xの一部に対して 接するように配置されている。

 これにより、端部領域処理部3の下端部17a に接触した処理液Xの一部が、毛細管力(表面� ��力)によって、シート材10の被処理面16と端� �領域処理面17cとの間の隙間に入り込ませる� �とができる。そして、被処理面16が存在しな くなる領域では、端部領域処理面17cと対向す る面が存在しなくなる。このため、被処理面 16の上端部25より上側の領域では毛細管現象� �発生せず、必然的に、処理液Xが被処理面16� �上端部25でとどめることができる。

 この結果、被処理面16の端部領域16aにも� �理液Xを行き届かせること、およびシート材1 0の裏面27等の意図しない部分への処理液Xの� �りこみを防ぐことが可能になり、被処理面16 のみへの表面処理を高精度で実施することが 可能になる。

 (2)
 本実施形態に係る表面処理装置1では、図2� �示すように、中央領域処理面14を有する中央 領域処理部4を備えている。中央領域処理面14 は、被処理面16における端部領域処理部3が対 向して配置された端部領域16a以外の中央領域 16bに対し、微小隙間を介して対向して設けら れている。

 これにより、処理液Xを、中央領域処理面 14とシート材10の被処理面16との間の隙間に沿 って流下させることができる。また、このと き、中央領域処理面14と被処理面16との間が� �小隙間であるため、処理液Xが毛細管力(表面 張力)によって中央領域処理面14と被処理面16� ��の両面に吸着させることができる。

 この結果、毛細管力の働きによって、中� ��領域処理面14と被処理面16との隙間に処理液 Xが行きわたり、被処理面16における端部領域 16aだけでなく中央領域に対してもムラの少な い表面処理を行うことが可能になる。

 (3)
 本実施形態に係る表面処理装置1では、図2� �示すように、供給ガイド面13を有する貯留部 5と堰6とを備えている。供給ガイド面13は、� �央領域処理面14の上端部から略水平に設けら れている。堰6は、供給ガイド面13の中央領域 処理面14とは反対側の端部に供給ガイド面13� �ら上方向に突出して設けられている。そし� �、処理液Xは、供給管7から、堰6の供給ガイ� �面13側とは反対側の液溜め12に供給される。

 これにより、供給管7から供給された処理 液Xを、堰6の高さを超えるまで一時的に堰き� ��めた後、堰6から溢れた処理液Xを供給ガイ� �面13へ流出させることができる。すなわち、 堰6から溢れる処理液Xのみが、表面処理が行� ��れる端部領域処理面17cおよび中央領域処理� ��14側に供給される。

 この結果、処理液Xが、供給管7から直接� �に供給ガイド面13に供給される場合に比べ、 処理液Xの流れの勢いを抑え、供給ガイド面13 上から安定して処理液Xを下流側へと供給す� �ことができる。よって、端部領域処理面17c� �よび中央領域処理面14に供給される流量を安 定化させ、表面処理のムラを軽減することが 可能になる。

 (4)
 本実施形態に係る表面処理装置1は、図1に� �すように、端部領域処理部3として、板状の� ��材を用いている。

 これにより、端部領域処理部3の下端部17a は、板形状における側面を含み、端部領域処 理面17cは、板形状における一方の面とするこ とができる。つまり、板形状部材の側面が、 処理液Xの液面に接する。そして、この下端� �17aから端部領域処理面17cとシート材10の被処 理面16との間の微小隙間へ、毛細管力によっ� ��処理液Xが入り込む。この結果、簡易な部材 を用いることで、処理液Xを被処理面16の端部 領域16aに行き届かせることができる。また、 装置にかかる費用を抑えつつ、シート材10の� ��処理領域を減少させ、資材の利用効率を上� ��させることが可能になる。

 (5)
 本実施形態に係る表面処理装置1は、図2に� �すように、シート材10の被処理面16における� ��部領域16aに対向する側(端部処理面17c側)に� �円柱形状部分を、端部領域処理面17cに沿っ� �上下に二つ備えている。

 これにより、端部領域処理部3の下端部17a におけるシート材10の端部領域16に対向する� �分(端部領域処理面17cの端部を含む部分)が、 曲面形状になるため、処理液Xが流れていな� �初期状態においてシート材10自身の自由度に よって端部領域処理面17cと端部領域16aとが接 触した状態になっていても、端部領域処理部 17cと端部領域16aとの接触面積が微小面積に抑 えられる。したがって、処理液Xは、毛細管� �によって端部領域処理面17cと端部領域16aと� �間の微小隙間に入り込みやすくなる。また� �上下に並べられた半円柱状の部材同士の間� �も毛細管力が働き、端部領域処理部17cと端� �領域16aとの微小隙間に処理液Xを保持しやす� ��形状となっている。

 <実施例>
 本実施形態に係る表面処理装置1を備えた表 面処理システムによる表面処理の実施例につ いて以下で述べる。

 本実施例は、ポリイミド膜の表面にニッケ� ��メッキ処理を行ったものである。以下に、� ��施条件を示す。
 本実施例において用いた表面処理システム� ��、複数の処理槽を備えている。詳細には、� ��1槽から第4槽までを備え、このうち第1槽と� ��2槽とにおいては、本実施形態に係る表面処 理装置1が採用され、第3槽と第4槽とにおいて は、従来の全浸漬法にて用いられる表面処理 装置が採用されている。

 被処理物として用いた長尺のシート材10� �、幅30cm、厚さ38μmの、ポリイミド膜を表面� �有するシート材10である。このシート材10の� ��送速度は、0.3m/分とした。また、中央領域� �理面14におけるシート材10の搬送方向の長さ� ��30cmである。また、端部領域処理面17cと対向 しているシート材10の端部領域16aの高さ方向� ��長さは、5.0mmである。また、端部領域処理� �17cの半円柱形状の条部分とシート材10の端部 領域16aとの距離は、0.3mmである。また、中央� ��域処理面14とシート材10との距離は0.5mmであ� ��。ただし、この端部領域処理面17cとシート� ��10との距離は、シート材10に若干の自由度を 持たせているため、処理液Xの表面張力によ� �て変化する。

 ここで、上記の条件の下で、ニッケルメッ� ��処理を施すための前処理として、以下の処� ��を実施した。
 先ず、第1槽において、シート材10の被処理� ��16に、脱脂処理を行なった。ここで用いた� �理液Xは、モノエタトルアミン44%、ポリオキ� ��エチレンアルキルエーテル1.7%と若干のキレ ート剤を含む水溶液である。

 次に、第2槽において、シート材10の被処理� ��16に、アルカリ加水分解を行った。ここで� �いた処理液Xは、KOH3mol/lの水溶液である。
 そして、第3槽において、シート材10の被処� ��面16およびその裏面27の両面に、パラジウム 付与処理を行った。

 最後に、第4槽において、シート材10の被� ��理面16およびその裏面27の両面に、ニッケル 処理を行った。ここで用いた処理液Xは、35℃ 、pH8.8に調整された、無電解ニッケルメッキ� ��ENILEX NI-5(荏原ユージライト株式会社製)で� �る。

 なお、これらの各処理の前後には、それぞ� ��、超純水による水洗処理や乾燥処理を行っ� ��。
 以上の処理の後に、被処理面16およびその� �面27の確認を行った。被処理面16の上端部25� �ら500μmまでの領域を除く領域に、ニッケル� �ッキが施されていることが確認された。ま� �、裏面27には、ニッケルの付着は確認されな かった。

 この結果は、第1槽および第2槽において� �被処理面16の上端部25付近まで、高精度に表� ��処理されており、かつ、処理液Xが裏面27側� ��乗り越えていないことを、十分に示してい� ��。

 [他の実施形態]
 以上、本発明の一実施形態について説明し� ��が、本発明は上記実施形態に限定されるも� ��ではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲で� ��々の変更が可能である。

 (A)
 上記実施形態では、図1に示すように、表面 処理装置1におけるシート材31の搬送方向とし て、シート材31の長手方向を水平方向に沿っ� ��搬送させる例を挙げて説明した。しかし本� ��明はこれに限定されるものではない。

 例えば、シート材31の長手方向を、水平方� �に対し垂直に沿って搬送させる構成を用い� �もよい。この構成について、図6および図7を 用いて以下で説明する。
 表面処理装置100は、図6に示すように、シー ト材31が、ガイドローラ対38によって誘導さ� �、上から下へと搬送される構成を有してい� �。そして、処理液Xは、上記の実施形態と同� ��に、供給管7から液溜め12へ供給され、堰6か ら溢れ出す。続けて、処理液Xは、供給ガイ� �面13上を流れた後に、被処理面32に沿って流� ��する。

 そして、シート材31の両端部領域33,33に対 しそれぞれ対向して設けられている端部領域 処理面34,34を有する端部領域処理部35,35が備� �られている。すなわち、端部領域処理面34,34 が、被処理面32の端部領域33,33に対し、それ� �れ微小隙間を介して設けられている。そし� �、端部領域処理部35,35の端部36,36は、被処理� ��32に沿って流下する処理液Xに接するように� ��成されている。

 これにより、端部領域処理面34,34とシー� �材31の端部領域33,33との隙間に、毛細管力に� ��って処理液Xが入り込ませることができる。 したがって、端部領域33,33に対して、高精度� ��表面処理を施すことが可能になる。また、� ��の構成は、被処理面32と処理液Xとが親和性� ��有しない場合には、その処理液Xが表面張力 により被処理面32の中央領域37に集中して流� �てしまう恐れがあるため、特に有効である� �

 (B)
 上記実施形態では、図2に示すように、シー ト材10の一方の面のみを表面処理するための� ��成を例に挙げて説明した。しかし、本発明� ��これに限定されるものではない。

 例えば、シート材40の両面が被処理面41,42 である場合は、図8に示すように、端部領域� �理部43,43、中央領域処理部44,44、貯留部45,45� �堰46,46および供給管47,47を、シート材40を中� �として、それぞれ、鏡面対称になるように� �設する。

 これにより、シート材40の両面を、端部� �域48,49まで高精度に表面処理することが可能 になる。また、この構成は、それぞれの被処 理面41,42において、異なる処理液Xを用いるこ とも可能である。したがって、それぞれの処 理面に対し、異なる表面処理を施す場合にお いて、特に有効である。

 (C)
 上記実施形態では、図2に示すように、一枚 のシート材10の一方の面のみを処理するため� ��構成を例に挙げて説明した。しかし、本発� ��はこれに限定されるものではない。

 例えば、図9に示すように、2枚のシート材50 ,50におけるそれぞれの被処理面56,56を同時に� ��理する構成であってもよい。
 詳細には、図9に示すように、中央に設けら れた縦壁51を中心とし、線対称にそれぞれ供� ��管54,54、堰53,53、端部領域処理部57,57、およ� ��中央領域処理部62,62が配設されている。そ� �て、シート材50は、中央領域処理部62,62およ� ��端部領域処理部57,57と微小隙間を介して被� �理面56,56が位置するように搬送されている。 換言すると、図2で示した、上記実施形態に� �ける筐体部2内部の構成が、縦壁11を中心に� �対称に設けられた構成である。

 このような構成によると、供給された処理� ��Xは、堰53,53から溢れ出て、供給ガイド面60,6 0上を流れる。そして、処理液Xは、中央領域� ��理部62の上端部64に到達する。次に、処理液 Xは、この上端部64から中央領域処理面65,65と� ��処理面56,56との両方に沿って流下するとと� �に、端部領域処理部57,57の下端部63,63に接す� ��処理液Xは、この下端部63,63に対する表面張� ��と端部領域処理面61,61および被処理面56,56の 端部領域55,55の微小隙間への毛細管力とによ� ��て、この微小隙間に入り込む。
 この結果、2枚のシート材50,50のそれぞれの� ��方の面に対し、同時に表面処理を施すこと� ��できる。したがって、単位時間当たりの作� ��効率が向上する。

 (D)
 上記実施形態では、図2に示すように、端部 領域処理部3の下端部17aは、端部領域処理部17 c側に円周面形状を有する例を挙げて説明し� �。しかし、本発明はこれに限定されるもの� �はない。

 例えば、下端部17aは、図13に示すように� �先端部分において下方向に凸の曲面形状で� �ってもよい。また、この下端部17aは、供給� �イド面13と中央領域処理面14との連接部分付� ��において、供給ガイド面13から中央領域処� �面14に流れる処理液Xに接するように設けら� �ている。この下端部17aは、処理液Xを、被処� ��面16と、後述する端部領域処理面17cと、の� �の微小隙間へ吸い上げるために、最初に表� �張力によって端部領域処理部3に吸着させる� ��割を果たしている。

 ここで、下端部17aが処理液Xに接する度合 いは、下端部17aの曲面の全てが接する程度で あってもよいし、曲面の一部分(例えば、先� �部分)が接する程度であってもよい。なお、� ��の処理液Xと下端部17aとが接する程度は、処 理液Xの流量によって変化するので、必要に� �じて流量を調節すれば、下端部17aと処理液X� ��の接する度合いを調節することができる。

 このような構成によると、下端部17a先端� ��曲面形状によって、端部領域処理部3と被処 理面16の端部領域16aとの間の隙間は、処理液X と接触する下方から上方に向かって徐々に狭 まる。これにより、処理液Xに対して毛細管� �が働き易くなるため、被処理面16の端部領域 16aと端部領域処理部3との間の隙間に処理液X� ��効果的に入り込ませて保持することができ� ��。

 また、端部領域処理部3の下端部17aにおい て、処理液Xと接する面積を大きく設けるこ� �ができる。このため、表面張力による、処� �液Xの下端部17aへの吸着が容易かつ確実にな� ��。

 (E)
 上記実施形態では、図2に示すように、端部 領域処理部3の下端部17aは、端部領域処理面17 c側に円周面形状を有する例を挙げて説明し� �。しかし、本発明はこれに限定されるもの� �はない。

 例えば、下端部17aは、図10に示すように、� �理液Xに接触する部分(下先端部分17d)から端� �領域処理面17c方向にかけて、被処理面16との 隙間が狭くなるように形成されたテーパ形状 であってもよい。
 これにより、毛細管現象が発生しやすい形� ��となり、端部領域処理面17cと被処理面16の� �部領域16aとの隙間へ、処理液Xが入り込みや� ��くなる。

 (F)
 上記実施形態では、図2に示すように、端部 領域処理部3は、筐体部2に固定されている例� ��挙げて説明した。しかし、本発明はこれに� ��定されるものではない。

 例えば、図11に示すように、シート材10の 被処理面16に対して平行な方向において上下� ��向に移動させることが可能な構成であって� ��よい。具体的には、端部領域処理部3は、筐 体部2の上面部71に係り合う鋸歯部72を有して� ��る。そして、当該表面処理装置200は、取り� ��し自在のL字型の固定部材73をさらに備えて� ��る。

 これにより、固定部材73を取り外し、端� �領域処理部3が所望の高さになるように、上� ��部71に係り合う鋸歯部72の位置を調整し、固 定部材73をはめ込んで固定することができる� ��したがって、下端部17aを処理液Xの液面に確 実に接触させることが可能になる。

 (G)
 上記実施形態では、図3に示すように、ガイ ドローラ対9a,9bが固定されており、被処理面1 6と端部領域処理面17cの距離は、シート材10が 有する若干の自由度のみに依存している例を 挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限 定されるものではない。

 例えば、外径が異なるガイドローラ対9a,9b� �取替え自在にすることによって、端部領域� �理面17cおよび中央領域処理面14と被処理面16� ��の距離を調整することができる。
 これにより、処理液Xの流量に応じた距離を 保つことが可能になり、高精度な表面処理を 実施することが可能になる。

 (H)
 上記実施形態では、処理液Xが循環ポンプに よって循環する例を挙げて説明した。しかし 、本発明はこれに限定されるものではない。
 例えば、一度使用した処理液Xは廃棄し、常 に新しく調整された処理液Xを用いる構成で� �ってもよい。

 (I)
 上記実施形態では、端部領域処理面17cと被� ��理面16との微小隙間は、0.5mmである例を挙げ て説明した。しかし、本発明はこれに限定さ れるものではない。

 この微小隙間、すなわち端部領域処理面1 7cと被処理面16との距離は、上述の毛細管現� �の観点から0.1mmから10mm程度が好適である。� �たがって、処理液Xの種類や条件、または、� ��理液Xと端部領域処理面17cおよび被処理面16� ��の親和性によって、適宜調整することが好� ��である。

 (J)
 上記実施形態では、表面処理装置1を形成す る材料として、塩化ビニル製の部材を用いる 例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれ に限定されるものではない。

 表面処理装置1に用いられる処理液Xは、� �的に応じて、種々の酸、アルカリ、有機溶� �溶液が用いられるため、それぞれの溶液に� �し、反応性の低い材料を用いることが好ま� �い。