本发明涉及一种直线型生产设备的同步传输装 置， 更具体地涉及一种应用 于直线型有机发光显示设备和直线型薄膜太阳 能生产设备的同步传输装置及具 有该装置的直线传输系统和控制方法。 背景技术

在半导体加工行业， 集成电路等小尺寸的半导体器件的制造通常釆 用集群 型 （cluster )生产系统， 如附图一所示， 利用多个具有周向伸缩机械手的输送室 502呈多边形形状， 并在输送室 502的周围设有多个处理室， 其成膜工序单元具 有： 向各处理室输送基板的输送室 504; 将基板送入输送室的基板送入口； 清洗 基板的清洗室 505; 在基板上成膜的多个成膜室 503以及后期的封装室 506、 干 燥室 507、成品输送室 508等， 这些处理室通过多个闸门阀配置在输送室的周 围 等结构。

由于这种设备腔体结构不宜过大、 各腔室间抽放真空时间久、 频繁开启腔 体使膜材逸出， 导致其具有不适应大面积基板成膜、 镀膜材料利用率低、 生产 周期长等问题， 因此直线型 （inline )半导体制造设备就被提出了。 直线型的半 导体生产设备，将多个具有可独立控制真空度 的成膜室呈直线地设置在同一真 空容器内， 且不需要这些成膜室间的闸门阀， 在各处理室， 在不同的条件下， 可执行达到各自目的的规定的处理。 成膜时， 基板通过连续输送基板的输送 装置在多个成膜室的上方连续输送同时形成膜 ， 以此来缩短基板输送和调整真 空度的时间， 进而缩短生产时间。

一般釆用的直线传输装置为釆用多个沿基片纵 向平行布置的带有多个滚轮 的传动轴， 利用所述传动轴上的滚轮与基片的摩擦力带动 基片在整个制程中行 进， 同时也对基片具有支撑作用； 随着基片尺寸的不断变大， 如非晶硅薄膜太 阳能电池板用的玻璃基片已有 1100mm X 1400mm的尺寸，再如， LCD液晶显示 的基片尺寸 1000mm X 1200mm也已广见， 这样为了传动轴的尺寸就要设计的更 长， 因此其直径与长度比值将会更小， 同时这种传动轴的方式设计通常为两端 支撑， 基于上述原因， 容易因为基片重量及基片制程中的受力， 如基片清洗时 的流体冲击力、 基片镀膜时粒子撞击力等导致长而窄的传动轴 过载变形， 影响 制程效果， 为了避免这一问题的出现， 专利申请号为 CN200410039014.0的 "一 种用于平面显示器的基片加工系统中的基片传 输设备" 提出了一种有效的解决 办法；

另外一种常见的基片直线传输方式类似于上述 的传输方式， 在基板的纵向 方向上平行排布多条釆用硅胶等材质制成的辊 轮， 通过辊轮的支撑及基片与辊 轮间的摩擦力将基片传入、 传出直线制程装置。

上述两种方式均可应用于大气环境和真空环境 ， 当应用到真空环境时还需 要在动力源与传输装置之间添加如磁流体等真 空密封装置。 在基片传输过程中， 尤其是显示器件的基片镀膜制程中， 因为显示器件的膜层一般为通过掩膜板形 成的图案化膜层， 且膜层厚度仅为几 μ m (可参见专利申请号为 CN200810026550 . 5的 "一种直线型有机发光显示器制造系统"的本申� ��人的另 外一个专利）， 所以必须保证在制程过程中的基片不跑偏。

上述现有技术的基板传递都利用基板与传输装 置间的摩擦力进行， 除上述 一些问题外， 还存在使被传输的基板出现划痕、 破损问题， 尤其是显示装置的 基板薄而且表面光洁度要求高， 同时在基板传输过程中导向不明显， 容易出现 跑偏等现象， 如果在镀膜制程中出现基板跑偏现象那么图案 化的膜层就不能完 整的形成， 影响成品率。 同时， 如果传输装置应用真空系统内， 如果出现基片 破损或装置本身故障， 将很难维修和维护， 同时摩擦力的存在避免不了会出现 磨屑， 影响真空环境的清洁度。

因此， 有必要提供一种整体结构紧凑、 传输平稳、 准直度高、 维修方便且 具有较高清洁度的同步传输装置及具有该装置 的直线传输系统和控制方法。 发明内容

本发明的目的之一是提供一种整体结构紧凑、 维修方便、 清洁度高且传输 本发明的另一目的是提供一种传输平稳、 准直且稳定性高的直线传输系统。 本发明的又一目的是提供一种保证直线传输系 统具有较高稳定性的直线传 输控制方法。

为实现上述目的，本发明的技术方案为： 提供一种包括用于承载器件的承载 体、 定位导向轨道、 基座、 滑动机构及若干相互对应的驱动机构和传动机 构， 所述驱动机构与所述传动机构连接， 所述传动机构与所述基座枢接， 所述传动 机构分布于所述承载体的一侧且与所述承载体 啮合 , 所述定位导向轨道平行地 铺设于所述基座两侧并位于所述承载体下方， 所述滑动机构呈滚轮结构， 所述 滑动机构设置在所述承载体上并与所述定位导 向轨道滑动地卡合连接。

其中， 所述定位导向轨道具有第一轨道面与第二轨道 面， 所述第一轨道面 与所述第二轨道面连接并相互垂直， 两所述轨道的第一轨道面位于同一平面上， 两所述轨道的第二轨道面相互平行， 所述滑动机构位于两所述第二轨道面之间。 所述第一轨道面用于导向所述承载体的前进传 输， 所述第二轨道面用于定位所 述承载体， 从而使承载体在传输过程中平稳、 准直地前进。

较佳地， 呈滚轮结构的所述滑动机构包括相互间隔交错 设置并对称分布在 所述承载体两侧的第一滚轮与第二滚轮， 所述滑动机构还包括第一滚轮轴与第 二滚轮轴， 所述第一滚轮轴固定在所述承载体上并与所述 第一滚轮枢接， 所述 第二滚轮轴固定在所述承载体上并与所述第二 滚轮枢接， 所述第一滚轮轴的轴 向平行于所述第一轨道面， 所述第二滚轮轴的轴向平行于所述第二轨道面 ， 所 述第一滚轮与所述第一轨道面接触， 所述第二滚轮与所述第二轨道面接触。 所 述第一滚轮使承载体承载在所述定位导向轨道 上并沿所述第一轨道面直线前 进， 通过第二滚轮与第二轨道面的接触， 使承载体定位在两第二轨道面之间而 不会跑偏。

较佳地， 所述第一滚轮及第二滚轮均为弹性塑胶的滚轮 。 所述弹性塑胶防 滑、 耐磨性强， 使传输更平稳。

较佳地， 所述传动机构包括若干相互对应的传动齿轮、 传动轴、 同步带及 带轮， 相互对应的所述传动轴的一端与所述基座枢接 ， 所述传动轴的另一端固 定相互对应的传动齿轮及带轮， 若干所述传动轴中的一个还与所述驱动机构固 定连接， 所述传动轴相互平行且位于同一直线上， 相邻的传动轴上的带轮由所 述同步带连接， 所述承载体设有与所述传动齿轮相啮合的齿条 。 所述传动机构 将驱动机构的圓周运动转化为所述承载体的直 线运动， 通过齿轮与齿条的啮合， 齿轮与同步带的配合将驱动机构的动力传递到 承载体上， 从而使承载体向前行 进， 实现传输承载器件。 其中， 所述同步带为锲形带。 通过锲形带实现传动齿 轮之间的同步， 使传输更为平稳连贯。

同样较佳地， 所述驱动机构为带有波箱的直流伺服电机， 所述电机设置相 同的转向和转速， 直流伺服电机响应速度快、 精度高， 能将输入的控制电压信 号平稳快速转换为机械输出量， 为直线传输系统提供平稳动力， 所述电机具有 相同的转向和转速， 相互之间的电机步调一致， 使传输平稳连贯。

相应地， 本发明提供了一种直线传输系统， 包括同步传输装置、 可编程逻 辑控制器及若干传感接收器， 所述同步传输装置包括用于承载器件的承载体 、 定位导向轨道、 基座、 滑动机构及若干相互对应的驱动机构和传动机 构， 所述 驱动机构安装于所述基座上， 所述驱动机构与所述传动机构连接， 所述传动机 构与所述基座枢接， 所述传动机构分布于所述承载体的一侧且与所 述承载体啮 合， 所述定位导向轨道平行地铺设于所述基座两侧 并位于所述承载体下方， 所 述滑动机构呈滚轮结构， 所述滑动机构设置在所述承载体上并与所述定 位导向 轨道滑动地卡合连接， 所述承载体沿前进方向的前端及后端分别固定 设有与所 述传感接收器配合的第一传感发射器与第二传 感发射器， 所述第一传感发射器 及第二传感发生器发射位置信号， 所述传感接收器等间距的安装于所述基座上， 所述传动机构相应设置在相邻的两传感接收器 之间， 相邻两所述传动机构的距 离小于所述承载体沿前进方向的长度， 所述可编程逻辑控制器分别与所述传感 接收器及所述驱动机构电连接， 所述传感接收器接收与其最邻近的第一传感发 射器或第二传感发射器发射的位置信号并反馈 给可编程逻辑控制器， 所述可编 程逻辑控制器控制所述驱动机构的工作状态。 较佳地， 所述传感接收器为光纤传感器， 利用光纤灵敏、 精确、 适应性强、 小巧和智能化的特点， 更有效快速的获取并反馈承载体的位置信息。

在本发明的一个实施例中， 所述直线传输系统具有至少两个承载体， 相邻 两所述承载体的距离大于两相邻的所述驱动机 构的距离， 防止相邻承载体相互 碰撞， 影响传输进程。

较佳地， 所述直线传输系统还包括自锁控制装置， 所述自锁控制装置分别 与所述驱动机构电连接， 所述自锁控制装置控制连续分布的三个所述驱 动机构 中的两个驱动机构与剩余的另一驱动机构具有 不同的工作状态， 通过对连续分 布的三个所述驱动机构的监测控制， 防止相邻承载体相互碰撞， 实现长距离的 自动化控制直线传输。 其中， 所述自锁控制装置由继电器组成， 继电器不仅使 用寿命长， 可靠性高且灵敏度高， 控制功率小， 电磁兼容性好， 能快速转换控 制驱动机构的工作状态。

相应地， 本发明还提供了一种如上所述的直线传输系统 的直线传输控制方 法， 包括以下步骤： 接收到所述第一传感发射器发射的位置信号的 所述传感接 收器将所述位置信号反馈给所述可编程逻辑控 制器， 所述可编程逻辑控制器根 据所述传感接收器反馈的位置信号控制位于反 馈所述位置信号的所述传感接收 器前方的驱动机构工作； 接收到所述第二传感发射器发射的位置信号的 所述传 感接收器将所述位置信号反馈给所述可编程逻 辑控制器， 所述可编程逻辑控制 器根据所述传感接收器反馈的位置信号控制位 于反馈所述位置信号的所述传感 接收器的前方的驱动机构工作及后方的驱动机 构停止工作。

较佳地， 所述直线传输系统具有至少两个承载体， 相邻两所述承载体的距 离大于两相邻的所述驱动机构的距离， 防止相邻承载体相互碰撞， 影响传输进 程。

较佳地， 还包括提供一个自锁控制装置的步骤， 所述自锁控制装置分别与 所述驱动机构电连接， 所述自锁控制装置控制连续分布的三个所述驱 动机构中 的两个驱动机构与剩余的另一驱动机构具有不 同的工作状态， 通过对连续分布 的三个所述驱动机构的监测控制， 防止相邻承载体相互碰撞， 实现长距离的自 动化控制直线传输。 其中， 所述自锁控制装置由继电器组成， 继电器不仅使用 寿命长， 可靠性高且灵敏度高， 控制功率小， 电磁兼容性好， 能快速转换控制 驱动机构的工作状态。

与现有技术相比， 由于本发明的同步传输装置的驱动机构与传动 机构连接， 传动机构枢接在基座上， 该传动机构分布于承载体的一侧且与所述承载 体啮合， 定位导向轨道平行地铺设于基座两侧并位于所 述承载体下方， 滑动机构设置在 所述承载体上并与所述定位导向轨道滑动地卡 合连接， 其结构简单紧凑， 维修 与维护方便， 通过承载体承载需要传输的器件， 驱动机构为同步传输装置提供 动力， 通过传动机构与承载体的啮合传递动力使承载 体向前行进， 承载体上设 置的滑动机构使所述承载体沿所述定位导向轨 道滑动传输， 而定位导向轨道同 时约束定位承载体的行进路径， 从而使器件实现平稳的直线传输， 且整个过程 准直度高， 同时应用于真空系统时不会因装置本身而带来 污染源， 具有较高清 洁度。 相应地， 本发明的直线传输系统也能保持器件直线传输 平稳、 准直度高， 相应的直线传输控制方法控制器件在直线传输 系统中平稳且具有高准直度地传 输。 附图说明

图 1为现有的集束型生产系统的结构示意图。

图 2为本发明的同步传输装置的平面示意图。

图 3为图 2所示同步传输装置的部分放大示意图。

图 4为沿图 3 中 A-A线的剖视图。

图 5为本发明的同步传输装置的传动机构的结构� �意图。

图 6为本发明直线传输系统的原理示意图。

图 7为本发明直线传输系统的原理方框图。 具体实施方式

为了详细说明本发明的技术内容、 构造特征， 以下结合实施方式并配合附 图作进一步说明， 其中不同图中相同的标号代表相同的部件。 参考图 2-4, 本发 明公开了一种同步传输装置 10, 包括用于承载器件的承载体 110、 定位导向轨 道 120、 基座 130、 滑动机构 140及若干相互对应的驱动机构和传动机构 160, 所述驱动机构与所述传动机构 160连接， 所述传动机构 160与所述基座 130枢 接， 所述传动机构 160分布于所述承载体 110的一侧且与所述承载体 110啮合， 所述定位导向轨道 120平行地铺设于所述基座 130两侧并位于所述承载体 110 下方， 所述滑动机构 140呈滚轮结构， 所述滑动机构 140设置在所述承载体 110 上并与所述定位导向轨道 120滑动地卡合连接。 其结构简单紧凑， 维修与维护 方便， 具有较高清洁度。 通过承载体 110承载整个传输过程中需要传输的器件 (图未示）， 驱动机构为同步传输装置 10提供动力， 通过传动机构 160与承载 体 110的啮合传递动力使承载体 110向前行进， 承载体 110上设置的滑动机构 140使所述承载体 110沿所述定位导向轨道 120滑动传输，定位导向轨道 120置 于所述承载体 110上， 方便所述承载体 110沿所述定位导向轨道 120行进。 所 述定位导向轨道 120同时对承载体 110的行进路径进行定位约束， 从而使器件 实现平稳的直线传输， 控制其具有高准直度。 所述同步传输装置 10应用于真空 系统时不会因装置本身而带来污染源， 适用于各种直线型生产设备的基片传输， 尤其适用于有机发光显示设备和直线型薄膜太 阳能生产设备的基片传输。

配合参考图 4, 所述定位导向轨道 120具有第一轨道面 121与第二轨道面 122, 所述第一轨道面 121与所述第二轨道面 122连接并相互垂直， 两所述定位 导向轨道 120的第一轨道面 121位于同一平面上， 两所述第二轨道面 122相互 平行， 所述滑动机构 140位于两所述第二轨道面 122之间。 所述第一轨道面 121 用于导向所述承载体 110的前进传输， 所述第二轨道面 122用于定位所述承载 体 110, 从而使承载体 110在传输过程中平稳、 准直地前进。

参考图 3及图 4,呈滚轮结构的所述滑动机构 140包括相互间隔交错设置并 对称分布在所述承载体 110两侧的第一滚轮 141与第二滚轮 142,所述滑动机构 122还包括第一滚轮轴 143与第二滚轮轴 144, 所述第一滚轮轴 143通过锁紧螺 钉 145固定在所述承载体 110上并与所述第一滚轮 141枢接， 所述第二滚轮轴 144固定在所述承载体 110上并与所述第二滚轮 142枢接， 所述第一滚轮轴 143 的轴向平行于所述第一轨道面 121 ,所述第二滚轮轴 144的轴向平行于所述第二 轨道面 122, 所述第一滚轮 141与所述第一轨道面 121接触， 所述第二滚轮 142 与所述第二轨道面 122接触。 所述第一滚轮 141使承载体 110承载在所述定位 导向轨道 120上并沿所述第一轨道面 121直线前进， 通过第二滚轮 141与第二 轨道面 122的接触， 使承载体 110定位在两第二轨道面 122之间而不会跑偏。 较佳地， 所述第一滚轮 141及第二滚轮 142均为弹性塑胶的滚轮。 所述弹性塑 胶的第一滚轮 141及第二滚轮 142具有防滑、 耐磨性强的性能， 使传输更平稳， 所述滚轮具有轴承， 通过轴承与滚轮轴的配合， 使滚轮绕所述滚轮轴自由旋转。 可以理解地， 所述滑动机构 140与定位导向轨道 120可以釆用滑槽滑块配合的 形式卡合滑动连接， 实现对承载体 110的导向定位。

较佳地， 所述驱动机构为带有波箱的直流伺服电机 150, 所述同步传输装置 10的多个所述电机 150具有相同的转向和转速， 直流伺服电机响应速度快、 精 度高， 能将输入的控制电压信号平稳快速转换为机械 输出量， 为直线传输系统 所述电机需设置相同的转向和转速， 相互之间的电机保持步调一致， 使传输平 稳连续。

参考图 5 , 在本发明的实施例中， 所述传动机构 160包括四个相互对应的传 动齿轮 161、 传动轴 162、 同步带 163及带轮 164, 相互对应的所述传动轴 162 的一端与所述基座 130枢接， 所述传动轴 162的另一端固定相互对应的传动齿 轮 161及带轮 164,若干所述传动轴 162中的一个还与所述直流伺服电机 150固 定连接， 所述传动轴 162相互平行且位于同一直线上， 相邻的传动轴 162上的 带轮 164由所述同步带 163连接， 所述承载体 110设有与所述传动齿轮 161相 啮合的齿条 116。 较佳地， 所述同步带 163为锲形带。 通过锲形带实现传动齿轮 161之间的同步， 使传输更为平稳连续。 所述传动机构 160将直流伺服电机 150 的圓周运动转化为所述承载体 110的直线运动， 所述直流伺服电机 150带动其 一传动轴 162旋转，通过相应的带轮 164跟同步带 163的配合使其他传动轴 162 同步转动， 通过传动齿轮 161与齿条 116的啮合使承载体 110向前行进， 实现 传输承载器件。 可以理解地， 齿轮传动为优选的链接方式， 本发明的传动机构 还可釆用涡轮蜗杆传动、 带轮皮带传动， 所述传动机构用于链接所述直流伺服 电机 150与所述承载体 110, 将所述驱动机构 150的动力传递到所述承载体 110 且能够将所述驱动机构 150的圓周运动转化为所述承载体 110的直线运动。 所 述传动机构 160亦可以分步在承载体 110的两侧，通过在两侧同时与承载体 110 啮合推动所述承载体 110前进。

以下对本发明的同步传输装置的工作原理作进 一步阐述：直流伺服电机 150 工作时， 通过传动轴 162驱动固定在所述传动轴 162上的传动齿轮 161 , 所述传 动齿轮 161通过与所述承载体 110上的齿条 116的啮合推动所述承载体 110前进， 其他传动齿轮 161在带轮 164和同步带 163的配合作用下同步运转， 分别与齿 条 116啮合， 推动承载体 110向前行进。 所述滑动机构 140的第一滚轮 141 紧 贴所述第一轨道面 121使所述承载体 110沿所述第一轨道面 121行进， 同时第 二滚轮 142紧贴所述第二轨道面 122使所述承载体 110限位在两所述第二轨道 面 122之间滑行。 所述同步传输装置 10结构简单紧凑， 维修与维护方便， 能有 效实现器件的平稳地直线传输， 且整个过程准直度高， 应用于真空系统时不会 因装置本身而带来污染源， 具有较高清洁度。

本发明的直线传输系统， 包括所述同步传输装置 10、 可编程逻辑控制器 30 及若干传感接收器 20, 所述承载体 110沿前进方向的前端及后端分别固定设有 与所述传感接收器 20配合的第一传感发射器 111与第二传感发射器 112(如图 6 所示）， 所述第一传感发射器 111及第二传感发生器 112发射位置信号。 如图 2 所示， 所述传感接收器 20等间距的安装于所述基座 130上且排列成一条直线， 所述传动机构 160相应设置在相邻的两传感接收器 20之间， 相邻两所述传动机 构 160的距离小于所述承载体 110沿前进方向的长度， 从而使传动机构 160得 以与所述承载体 110连贯啮合。 所述可编程逻辑控制器 30分别与所述传感接收 器 20及所述直流伺服电机 150电连接， 所述传感接收器 20接收与其最邻近的 第一传感发射器 111或第二传感发射器 112发射的位置信号并反馈给可编程逻辑 控制器 30, 所述可编程逻辑控制器 30控制所述直流伺服电机 150的工作状态。 所述可编程逻辑控制器 30、 多个直流伺服电机 150、 传感接收器 20、 传感发射 器 111、 112构成闭合自反馈控制回路， 通过可编程逻辑控制器 30接收信号、 分 析、 发送相应信号， 控制器件的平稳传输， 实现自动化控制。 所述直线传输系 统机构简单、 传输平稳、 准直度高、 安装和维修都比较方便， 可应用于大气环 境中的器件传输， 也可应用于真空系统中进行器件传输， 且应用真空环境中能 够尽量减少来自系统本身带给真空环境的污染 源， 具有较高清洁度。

较佳地， 所述传感接收器 20为光纤传感器， 利用光纤灵敏、 精确、 适应性 强、 小巧和智能化的特点， 更有效快速的获取并反馈承载体的位置信息， 所述 传感接收器 20亦可以釆用限位开关或釆用两者的结合。

在本发明的一个实施例中， 所述直线传输系统具有至少两个承载体 110, 相 邻两所述承载体 110的距离大于两相邻的所述传动机构 160的距离， 以防止相 邻承载体 110相互碰撞， 影响传输进程。 较佳地， 所述直线传输系统还包括自 锁控制装置 40, 所述自锁控制装置 40分别与所述直流伺服电机 150电连接， 所 述自锁控制装置 40控制连续分布的任意三个所述直流伺服电机� ��的两个电机与 剩余的另一电机具有不同的工作状态， 通过对连续分布的三个所述直流伺服电 机的监测控制， 防止相邻承载体相互碰撞， 实现长距离的自动化控制直线传输。 其中， 所述自锁控制装置由继电器组成， 继电器不仅使用寿命长， 可靠性高且 灵敏度高， 控制功率小， 电磁兼容性好， 能快速转换控制直流伺服电机的工作 状态。

本发明还提供了一种如上所述的直线传输系统 的直线传输控制方法， 配合 参考图 6及图 7, 本发明的直线传输系统的原理及控制方法如下 所述： 所述基座 130 的一侧由前端沿承载体 110前进方向等间距地依次设置有第一传感接收 器 201、 第二传感接收器 202、 第三传感接收器 203...及第 n个传感接收器， 相应 地，每两相邻传感接收器之间按顺序依次设置 有第一电机 1501、第二电机 1502、 第三电机 1503...及第 （n-1 )个电机， 其中， n为大于等于 2的任意自然数。 承 载体 110刚进入定位导向轨道 120上时， 第一传感接收器 201接收到来自第一 传感发射器 111的位置信号并反馈给可编程逻辑控制器 30, 可编程逻辑控制器 30相应发送指令给位于所述第一传感接收器 201的前端的第一电机 1501 , 使第 一电机 1501处于工作状态， 通过传动轴 162带动传动齿轮 161转动， 所述承载 体 110由于侧边设有齿条 116,通过齿条 116与齿轮 161的啮合使所述承载体 110 沿所述定位导向轨道 120前进， 并在所述定位导向轨道 120的定位与导向作用 下直线平稳地行进。 当所述承载体 110行进至两传动机构之间的区域时即到达 与第一传感接收器 201相邻的第二传感接收器 202可接收传感信号的区域内时， 第二传感接收器 202接收到第一传感器发射器 111发送的位置信号并将该位置 信号反馈给可编程逻辑控制器 30,可编程逻辑控制器 30相应发送指令给位于传 感接收器 202的前端的第二电机 1502, 开启第二电机 1502使其处于工作状态， 从而使所述承载体 110连续地向前行进。 同理， 当传感接收器 203接收到位置 信号时， 反馈位置信号给可编程逻辑控制器 30使其前方的第三电机 1503工作。 随着所述承载体 110的不断向前行进， 不同位置上的传感接收器 20陆续接收到 来自设置在所述承载体 110上的传感发射器 111、 112发射的位置信号， 然后反 馈位置信号给可编程逻辑控制器 30,可编程逻辑控制器 30根据接收到的位置信 号控制位于反馈所述位置信号的相应传感接收 器的前方的电机工作。 而同时随 着承载体 110的向前行进， 传感接收器 20相应接收到第二传感发射器 112发送 的位置信号， 并将接收到的位置信号反馈给可编程逻辑控制 器 30, 可编程逻辑 控制器 30根据接收到的位置信号控制位于反馈所述位� ��信号的相应传感接收器 20的后方的电机暂停工作。 例如， 第二传感接收器 202接收到第二传感发射器 112发射的位置信号， 再次反馈给可编程逻辑控制器 30, 可编程逻辑控制器 30 相应发送指令给位于第二传感接收器 202的后方的第一电机 1501 , 使第一电机 1501停止工作， 当第三传感接收器 203接收到第二传感发射器 112发射的位置 信号， 再次反馈给可编程逻辑控制器 30, 可编程逻辑控制器 30相应发送指令给 位于传感接收器 203的后方的第二电机 1502,使第二电机 1502停止工作。 通过 传感接收发射器的相互配合， 实现系统的自动化控制， 节省时间同时减少成本。

当所述直线传输系统上具有至少两个承载体 110 时即同时传输多个器件 时， 相邻两所述 载体 110的距离应大于相邻两所述传动机构 160的距离， 以 防止相邻承载体 110相互碰撞， 影响传输进程。 具体控制方法为： 当所述可编 程逻辑控制器 30检测到来自同一传感接收器 20的状态信号次数为奇数时， 发 送信号至位于该传感接收器 20前方的电机 150使所述电机 150处于工作状态； 当所述可编程逻辑控制器 30检测到同一传感接收器 20的状态信号次数为偶数 时， 发送信号至位于该传感接收器 20后方的电机 150, 使所述电机 150处于停 止状态。 为了防止相邻承载体 110相互碰撞， 所述直线传输控制方法还包括提 供一个自锁控制装置 40的步骤， 所述自锁控制装置 40 由继电器组成并与所述 直流伺服电机 150电连接， 所述自锁控制装置 40通过继电器控制连续分布的三 个电机中的两个电机与剩余的另一电机具有不 同的工作状态， 即通过继电器限 制任意相邻的三个电机不能同时运转， 同时， 所述三个电机中首尾两个电机也 不能同时运转， 保证两相邻承载体 110 间至少有两电机间隔的距离。 通过对连 续分布的三个所述电机的监测控制， 防止相邻承载体 110相互碰撞， 从而实现 长距离的自动化控制直线传输。 设置在同步传输装置 10最前端的第一个传感接 收器 201及最尾端的第 n个传感接收器， 由于其相应的后方及相应的前方无相 对设置有电机， 当可编程逻辑控制器 30收到第一个传感接收器 201的位置信号 时只需对位于传感接收器 201的后方的电机 1501发送信号控制其工作状态， 当 可编程逻辑控制器 30收到最尾端的第 n个传感接收器的位置信号时只需对位于 该传感接收器前方的最后一个电机即第（n-1 )个电机发送信号控制其工作状态。 所述电机 150、 相应的传动机构 160、 传感接收器 20等的数量根据实际需要设 置。

以上所揭露的仅为本发明的较佳实例而已， 当然不能以此来限定本发明之 权利范围， 因此依本发明权利要求所作的等同变化， 仍属于本发明所涵盖的范 围。