Die Erfindung betrifft eine Anlage zur Behandlung, insbesondere zum Trocknen, von Gegenständen, insbesondere von Fahrzeugkarosserien, mit

a) wenigstens einer evakuierbaren Behandlungskammer mit ei- nem durch ein Kammertor verschließbaren Zugang;

b) einem Fördersystem, mittels welchem der Gegenstand durch die Anlage förderbar ist.

In der Behandlungskammer von derartigen vom Markt her bekannten Behandlungsanlagen wird beispielsweise ein auf die Oberfläche einer Fahrzeugkarosserie aufgebrachter Lack getrocknet, worunter auch ein Härten, Vernetzen oder ähnliches zu verstehen ist.

Im Hinblick auf mittels UV-Strahlung härtbare Lacke hat sich in jüngerer Zeit etabliert, auf der Lackoberfläche ein Plasma zu erzeugen, welches UV-Strahlung emittiert. Dazu wird die Behandlungskammer mit der lackierten Fahrzeugkarosserie beschickt, ihr Zugang gasdicht mit dem Kammertor verschlossen und eine Gasatmosphäre bei stark vermindertem Druck erzeugt. Zwischen der Fahrzeugkarosserie und einer Gegenelektrode, welche mit den Polen einer Hochfrequenzquelle verbunden sind, wird ein starkes elektrisches Wechselfeld aufge- baut, wodurch das UV-Licht emittierende Plasma entsteht.

In der Regel werden Fahrzeugkarosserien auf so genannten, aus dem Stand der Technik bekannten Skids gefördert. Der Skid wird dabei auf Rollenbahnen, Ketten oder Gurten und auch mittels motorisch verfahrbarer Transportwagen geför- dert, welche Elektromotoren mit sich führen sowie bewegliche Bauteile, wie insbesondere ihre Laufrollen, aufweisen.

Elektrisch betriebene Komponenten können jedoch das zur BiI- düng und Aufrechterhaltung des Plasmas erforderliche elektrische Feld zwischen der Fahrzeugkarosserie und der Gegenelektrode beeinflussen, wodurch das Ergebnis des Härtevorgangs verschlechtert werden kann. Darüber hinaus verschleißen Transportwagen, die regelmäßig dem Plasma ausgesetzt werden, schneller, was die Betriebskosten der Anlage erhöht.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Anlage der eingangs genannten Art zu schaffen, bei welcher die während der Behandlung in der Behandlungskammer herrschenden Bedingungen weniger gestört werden und ein möglicher Verschleiß von Förderkomponenten verringert ist.

Diese Aufgabe wird bei einer Anlage der eingangs genannten Art dadurch gelöst, dass

c) der Gegenstand mittels einer Übergabeeinrichtung derart von dem Fördersystem an die Behandlungskammer übergebbar ist, dass der Gegenstand abgesondert von dem Fördersystem im Innenraum der Behandlungskammer positioniert ist.

Dadurch kann der Gegenstand als solches in der Behandlungskammer seiner Behandlung unterzogen werden, ohne dass Komponenten der Anlage, beispielsweise Komponenten der Fördertechnik, in der Behandlungskammer anwesend sein müssen, die den Behandlungsvorgang stören könnten. Darüber hinaus bleiben das Fördersystem und seine Einzelkomponenten von den im Innenraum der Behandlungskammer ablaufenden Prozessen unberührt, wodurch ihr Verschleiß auf dem normalen Betrieb beruht und nicht demgegenüber durch eine zusätzliche Beanspru- chung erhöht ist. Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.

Es ist günstig, wenn das Fördersystem eine Befestigungsstruktur, insbesondere einen Skid, für den Gegenstand um- fasst, welcher zusammen mit dem Gegenstand durch die Übergabeeinrichtung an die Behandlungskammer übergebbar ist. Dadurch können zur Förderung des Gegenstandes durch die Anlage etablierte Fördersysteme, beispielsweise auf Skidbasis arbeitende Systeme, genutzt werden.

Es ist von Vorteil, wenn die Übergabeeinrichtung einen motorisch antreibbaren Übergabewagen umfasst, welcher durch den Zugang der Behandlungskammer in dieselbe hinein und aus derselben heraus fahrbar ist. Gegebenenfalls kann der Übergabewagen beispielsweise ein bereits bestehendes Schienensystem nutzen.

Da der Übergabewagen ähnlich wie ein Transportwagen den Härtevorgang stören würde, ist es günstig, wenn der Übergabewagen eine Hub-/Senkeinrichtung umfasst, mittels welcher der Gegenstand auf dem Übergabewagen angehoben oder abgesenkt werden kann. Damit ist es möglich, den Gegenstand innerhalb der Behandlungskammer von dem Übergabewagen zu trennen und z.B. an eine Tragstruktur zu übergeben, so dass der Übergabewagen die Behandlungskammer vor der Behandlung ohne den Gegenstand verlassen kann.

Alternativ kann die Übergabeeinrichtung einen stationären oder verfahrbaren mehrachsigen Roboter mit einem Roboterarm umfassen, an dessen Ende der Gegenstand lösbar befestigbar ist.

Vor dem Zugang der Behandlungskammer muss stets soviel Raum - A -

frei bleiben, wie erforderlich ist, um das Kammertor ohne Behinderung zu betätigen. Je geringer dieser erforderliche Raum ist, umso näher an der Behandlungskammer können Komponenten der Übergabeeinrichtung angeordnet sein und umso kleiner ist der Freiraum, der von der Übergabeeinrichtung überwunden werden muss, um die Behandlungskammer zu beladen. Daher ist es vorteilhaft, wenn die Behandlungskammer eine Toreinrichtung umfasst, mittels welcher das Kammertor in einer Richtung senkrecht zur Achse des Zugangs bewegt werden kann. Das Kammertor kann dann von dem Zugang der Behandlungskammer ohne Verschwenken radial nach außen bewegt werden.

Wenn das Kammertor außerdem in Richtung der Längsachse des Zugangs bewegbar ist, ist es möglich, das Kammertor auf einen Dichtflansch des Gehäuses der Behandlungskammer aufzuschieben, um eine hohe Dichtigkeit der verschlossenen Behandlungskammer zu erzielen.

Je größer das zu evakuierende Volumen ist, desto mehr Energie muss für die Druckverminderung aufgewendet werden. Daher ist es hilfreich, wenn die Behandlungskammer eine Einrichtung umfasst, mittels welcher das Volumen des Innenraums der Behandlungskammer veränderbar ist. Dadurch kann das Innenvo- lumen der Behandlungskammer abhängig von der Größe des zu behandelnden Gegenstands möglichst klein gehalten werden.

Die Einrichtung zur Volumenänderung kann z.B. wenigstens einen bewegbaren Stempel umfasst, welcher unterschiedlich weit in den Innenraum der Behandlungskammer ragen kann.

In diesem Fall ist es günstig, wenn eine in Richtung des zu behandelnden Gegenstands weisende Außenfläche des Stempels an die Außenkontur des zu behandelnden Gegenstandes ange- passt ist. Gegebenenfalls können verschiedenartige, aus- tauschbare Stempel für die Anlage gefertigt werden, die an die Oberflächenverläufe verschiedener zu behandelnder Gegenstände angepasst sind.

Nachstehend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert. In diesen zeigen:

Figur 1 eine teilweise weggebrochene Seitenansicht einer

Vakuumkammer einer Anlage zur Oberflächenbehandlung von Gegenständen;

Figur 2 eine Seitenansicht eines Zugangsbereichs der Vakuumkammer von Figur 1 mit einer Toreinrichtung;

Figur 3 eine Vorderansicht der Vakuumkammer von Figur 2;

Figur 4 einen Ausschnitt der Oberflächenbehandlungsanlage von Figur 1, wobei neben der Vakuumkammer außerdem ein erstes Ausführungsbeispiels einer Übergabeein- richtung gezeigt ist;

Figur 5 einen der Figur 3 entsprechenden Ausschnitt der

Oberflächenbehandlungsanlage mit einem zweiten Ausführungsbeispiel der Übergabeeinrichtung;

Figur 6 eine teilweise weggebrochene Vorderansicht eines zweiten Ausführungsbeispiels der Vakuumkammer in einer ersten Arbeitsphase;

Figur 7 eine der Figur 6 entsprechende Vorderansicht der dortigen Vakuumkammer in einer zweiten Arbeitsphase.

In Figur 1 ist mit 10 insgesamt eine Anlage zur Oberflächen- behandlung von Gegenständen 12 bezeichnet, zu deren Illus- tration in den Figuren 1 und 4 schematisch ein quaderförmiger Gegenstand und in den Figuren 6 bis 7 eine Fahrzeugkarosserie gezeigt ist.

Die Oberflächenbehandlungsanlage 10 umfasst eine evakuierbare Vakuumkammer 14 mit einem zylindrischen Gehäuse 16, welches an einer ersten Stirnseite einen ersten Zugang 18 und an der gegenüberliegenden Stirnseite einen zweiten Zugang 20 hat, über die ein Innenraum 22 von außen zugänglich ist.

Im Innenraum 22 des Gehäuses 16 ist eine stationäre Tragstruktur 24 angeordnet. Diese ist beim hier erläuterten Ausführungsbeispiel aus vier vertikalen Tragstreben 26 mit oberen Aufnahmeenden 26a gebildet, auf welche ein die Fahrzeug- karosserie 12 tragender Skid 28, der an und für sich bekannt ist, abgestellt werden kann.

Außerdem ist im Innenraum 22 des Gehäuses 16 eine stationäre Kontakteinrichtung 30 angeordnet, über welche die Fahrzeug- karosserie 12 mit einem Pol einer Hochfrequenzquelle 32 verbunden werden kann. Die Kontakteinrichtung 30 umfasst eine Kontaktplatte 34, die über Federelemente 36 mit einem Anschlusssockel 38 verbunden sind, so dass die Kontaktplatte 34 vertikal bewegt werden kann. Der andere Pol der Hochfre- quenzquelle 32 ist mit einer Gegenelektrode 40 verbunden, welche beispielsweise durch die Innenmantelfläche 42 des Gehäuses 16 gebildet ist.

Der Innenraum 22 der Vakuumkammer 14 kommuniziert mit einer Pumpeneinheit 44, über welche die Vakuumkammer 14 in an und für sich bekannter Weise evakuiert und ein Prozessgas in die Vakuumkammer 14 eingeleitet werden kann. Die Hochfrequenzquelle 32 und die Pumpeneinheit 44 sind der Übersichtlichkeit halber lediglich in Figur 1 gezeigt. Die Zugänge 18, 20 des Gehäuses 16 sind jeweils mit einem napfförmigen Kammertor 46 gasdicht verschließbar. Jedes Kammertor 46 zählt zu jeweils einer Toreinrichtung 48, von denen lediglich in den Figuren 2 und 3 die dem Zugang 18 zuge- ordnete Toreinrichtung 48 im Detail gezeigt ist.

Die Toreinrichtung 48 umfasst einen Führungsrahmen 50, innerhalb welchem ein Schlitten 52 vertikal verfahren werden kann. Dazu ist der Schlitten 52 mit einem Seil 54 verbunden, welches auf einer mittels eines Elektromotors 56 angetriebenen Wickelrolle 58 aufgerollt ist, die oben an dem Führungsrahmen 50 gelagert ist, und bei deren Verdrehung der Schlitten 52 entsprechend nach oben gezogen oder nach unten abgelassen wird.

Der Schlitten 52 trägt an seinen beiden Außenseiten jeweils eine Koppelplatte 60, welche beide mittels jeweils eines Elektromotors 62 synchron in den horizontalen Richtungen parallel zur Längsachse 18a des Kammerzugangs 18, die mit der Längsachse der Vakuumkammer 14 zusammenfällt, hin- und herbewegt werden können. An ihrem von dem Schlitten 52 abliegenden Ende sind die Koppelplatten 60 jeweils über Streben 64 mit dem Kammertor 46 verbunden, so dass dieses der synchronen Bewegung der Koppelplatten 60 folgt. Bei verschlos- sener Vakuumkammer 14 sitzen die Kammertore 46 jeweils dicht auf einem Flansch 66 des Gehäuses 16.

Um den Zugang 18 freizugeben, wird das Kammertor 46 entlang der Längsachse 18a des Kammerzugangs 18 in Richtung auf den Schlitten 52 von dem Flansch 66 heruntergezogen, indem die Koppelplatten 60 mittels der Elektromotoren 62 in Richtung von der Vakuumkammer 14 weg bewegt werden. Wenn das Kammertor 46 vollständig von dem Flansch 66 des Gehäuses 16 gelöst ist, wird der Schlitten 52 nach oben verfahren, wobei er das Kammertor 46 mit sich führt. Allgemein ausgedrückt wird das Kammertor 46 in einer Richtung senkrecht zur Längsachse 18a des Zugangs 18 bewegt. Wenn der Zugang 18 wieder verschlossen werden soll, wird der Schlitten 52 zunächst nach unten bewegt, bis das Kammertor 46 koaxial zu dem Zugang 18 der Vakuumkammer 14 angeordnet ist. Dann wird das Kammertor 46 auf den Flansch 66 der Vakuumkammer 14 aufgeschoben, indem die Koppelplatten 60 mittels der Elektromotoren 62 in Richtung auf die Vakuumkammer 14 zu bewegt werden.

Die Vakuumkammer 14 kann im Durchlauf betrieben werden, indem beispielsweise der erste Zugang 18 als Eingang und der zweite Zugang 20 als Ausgang dient. In diesem Fall wird eine Fahrzeugkarosserie 12 durch den ersten Zugang 18 in die Vakuumkammer 14 hinein gefördert, um nach der vollendeten Oberflächenbehandlung innerhalb der Vakuumkammer 14 durch deren zweiten Zugang 20 entnommen zu werden.

In Figur 4 ist neben der Vakuumkammer 14 mit 68 insgesamt ein Fördersystem der Oberflächenbehandlungsanlage 10 be- zeichnet, mit welchem eine Fahrzeugkarosserie 12 durch die Anlage 10 gefördert werden kann. In Figur 4 ist zudem ein motorisch angetriebener Übergabewagen 70 gezeigt, welcher über Rollenpaare 72a, 72b, 72c und 72d auf Schienen eines Schienensystems 76 des Fördersystems 68 abrollt. Es ist ein Schienenabschnitt 74 des Fördersystems 68 zu erkennen, welcher benachbart zu dem Zugang 18 der Vakuumkammer 14 angeordnet ist.

Der Übergabewagen 70 weist eine Hub- und Senkeinrichtung 78 auf, mittels welcher die darauf ruhende Fahrzeugkarosserie 12 mit dem sie tragenden Skid 28 angehoben und abgesenkt werden kann. Das Fördersystem 68 umfasst eine Vielzahl von hier nicht eigens gezeigten Transportwagen. Diese können wie der Übergabewagen 70 ausgebildet sein und im Hinblick auf die Vakuumkammer 14 als solcher genutzt werden, wie es wei- ter unten näher erläutert wird. Wenn die Transportwagen der Fördereinrichtung 68 anders als der Übergabewagen 70 ausgebildet sind, muss eine zu behandelnde Fahrzeugkarosserie 12 zuvor von einem solchen Transportwagen auf einen Übergabewa- gen 70 bewegt werden.

In der Vakuumkammer 14 verläuft ein Schienenabschnitt mit Schienen 80, welche baulich den Schienen 74 des Schienensystems 76 entsprechen und mit diesen fluchten. Zwischen den Schienen 80 in der Vakuumkammer 14 und dem Schienenabschnitt 74 des Schienensystems 76 verbleibt in Längsrichtung der Vakuumkammer 14 gesehen ein Abstand bzw. Zwischenraum Al, welcher groß genug ist, so dass das entsprechende Kammertor 46 mittels der Koppelplatten 60 vollständig von dem Flansch 66 des Gehäuses 16 gezogen werden kann.

Damit der Übergabewagen 70 ohne Weiteres von dem Schienenabschnitt 74 des Schienensystems 76 auf die Schienen 80 und in die Vakuumkammer 14 hinein fahren kann, ist der Abstand A2 zwischen jeweils zweien seiner Rollenpaare 72a, 72b, 72c und 72d in einer Fahrrichtung größer als der Abstand Al zwischen den Schienen 80 in der Vakuumkammer 14 und dem Schienenabschnitt 74 des Schienensystems 76.

Wenn der Übergabewagen 70 mit der Fahrzeugkarosserie 12 in Richtung auf die Vakuumkammer 14 zu bewegt wird, verliert zunächst das in Fahrrichtung vorauseilende Rollenpaar 72d den Kontakt zu dem Schienenabschnitt 74 des Schienensystems 76 und bewegt sich frei im Bereich des Zwischenraums Al. Da- bei ruht der Übergabewagen 70 mit den nacheilenden Rollenpaaren 72a, 72b und 72c noch auf dem Schienenabschnitt 74a. Wenn der Übergabewagen 70 sich weiter in Richtung auf die Vakuumkammer 14 zu bewegt, fährt das vorauseilende Rollenpaar 72d schließlich in oder auf die Schiene 80 in der Vaku- umkammer 14 ein. Bei der weiteren Bewegung des Übergabewa- gens 70 in dieselbe Richtung kann so jedes seiner Rollenpaare 72 den Zwischenraum Al zwischen den Schienen 80 in der Vakuumkammer 14 und dem Schienenabschnitt 74a des Schienensystems 76 überwinden, ohne das der Übergabewagen 70 seine Schienenführung verliert.

Bevor der Übergabewagen 70 in die Vakuumkammer 14 gefahren wird, wird der Skid 28 zusammen mit der Fahrzeugkarosserie 12 zunächst mittels der Hub-/Senkeinrichtung 78 angehoben, Im Innenraum 22 der Vakuumkammer 14 wird die Fahrzeugkarosserie 12 dann mit dem Skid 28 an die dortige Haltestruktur 24 übergeben, indem sie mittels der Hub-/Senkeinrichtung 78 abgesenkt wird, wobei sie von der Haltestruktur 24 aufgenommen wird.

Ohne auf der Haltestruktur 24 ruhende Fahrzeugkarosserie 12 steht die Kontaktplatte 34 der Kontakteinrichtung 30 in vertikaler Richtung auf Grund der Federelemente 36 nach oben über die Halteeinrichtung 24 über. Wenn die Fahrzeugkarosse- rie 12 nun mit dem Skid 28 in der Vakuumkammer 14 abgesenkt wird, drückt sie von oben gegen die Kontaktplatte 34, wodurch die Verbindung zu der Hochfrequenzquelle 32 hergestellt wird. Durch die Federelemente 36 kann die Kontaktplatte 34 bei der Abwärtsbewegung der Fahrzeugkarosserie 12 nach unten ausweichen, wobei ein Kontakt stets aufrechterhalten bleibt.

Nachdem der Skid 28 mit der Fahrzeugkarosserie 12 auf die Haltestruktur 24 abgesetzt wurde, ist die Verbindung zwi- sehen dem Übergabewagen 70 und dem Skid 28 oder der Fahrzeugkarosserie 12 über die Hub-/Senkeinrichtung 78 gelöst. Der Übergabewagen 70 wird aus der Vakuumkammer 14 heraus gefahren und deren Zugänge 18, 20 mit den Kammertoren 46 werden verschlossen, wie es oben erläutert ist. Der Übergabewagen 70 mit der Hub-/Senkeinrichtung 78 und die Schienen 80 in der Vakuumkammer 14 bilden somit gemeinsam eine Übergabeeinrichtung, welche die Fahrzeugkarosserie 12 derart von dem Fördersystem 68 an die Behandlungskammer 14 übergibt, dass die Fahrzeugkarosserie 12 abgesondert von dem Fördersystem 68 im Innenraum 22 der Behandlungskammer 14 positioniert ist. Die Absonderung der Fahrzeugkarosserie 12 von dem Fördersystem 68 besteht darin, dass die Fahrzeugkarosserie 12 nicht mehr mit dem Fördersystem 68 und den von diesem umfassten Komponenten, d.h. bei dem hier erläuterten Ausführungsbeispiel dem Übergabewagen 70 und dem Schienensystem 76, unmittelbar oder mittelbar verbunden ist, wenn sie zur Oberflächenbehandlung in der Vakuumkammer 14 platziert ist.

In der Vakuumkammer 14 verbleibt während der Oberflächenbehandlung keine Komponente des Fördersystems 68. Dadurch ist sichergestellt, dass sich einerseits keine den Behandlungsvorgang möglicherweise störende Förderkomponenten, insbeson- dere elektrisch betriebene Komponenten wie Elektromotoren oder dergleichen, im Innenraum 22 der Vakuumkammer 14 befinden, wenn die Oberflächenbehandlung der Fahrzeugkarosserie 12 durchgeführt wird. Andererseits wird auch die Gefahr beseitigt, dass Komponenten des Fördersystems 68 Schaden neh- men, wenn sie der Behandlung ausgesetzt werden.

Nachdem die Oberflächenbehandlung in der Vakuumkammer 14 durchgeführt worden ist, werden beide oder einer der Zugänge 18, 20 der Vakuumkammer 14 geöffnet. Der Übergabewagen 70 wird wieder in die Vakuumkammer 14 hinein gefahren, nimmt dort den Skid 28 mit Fahrzeugkarosserie 12 auf und wird wieder auf das Schienensystem 76 bewegt und auf diesem an seinen nächsten Bestimmungsort gefahren.

In Figur 5 ist eine Abwandlung gezeigt, bei welcher als Übergabeeinrichtung anstelle des Übergabewagens 70 mit der Hub-/Senkeinrichtung 78 und der Schienen 80 ein mehrachsiger Roboter 82 vorhanden ist, wie er an und für sich bekannt ist. Der in Figur 5 zu erkennende Roboter 82 hat vier Ach- sen, eine vertikale Drehachse und drei horizontale, einem Roboterarm 84 zugeordnete Schwenkachsen, und ist stationär angeordnet. Gegebenenfalls kann der Roboter 82 außerdem eine Bewegungsachse haben, entlang welcher er verfahren werden kann. Diese Bewegungsachse verläuft dann vorzugsweise paral- IeI zur Längsachse der Vakuumkammer 14.

Am Ende seines Roboterarms 84 weist der Roboter 82 eine Greifeinrichtung 86 auf, mit deren Hilfe er den Skid 28 halten kann, auf welchem die Fahrzeugkarosserie 12 lösbar be- festigt ist.

In Figur 5 ist bereits ein Skid 28 mit Fahrzeugkarosserie 12 im Innenraum 22 der Vakuumkammer 14 gezeigt, welcher auf die Tragstruktur 24 aufgesetzt ist.

Der Skid 28 mit der Fahrzeugkarosserie 12 wird von dem Roboter 82 von einem hier nicht gezeigten Transportwagen des Fördersystems 68 abgenommen, in die Vakuumkammer 14 geführt und von oben auf die Tragstruktur 24 in der Vakuumkammer 14 aufgesetzt. Der Kontakt der Fahrzeugkarosserie 12 mit der Hochfrequenzquelle 32 wird dabei sinngemäß auf dieselbe Weise über die Kontakteinrichtung 30 hergestellt und aufrechterhalten, wie es oben zum Übergabewagen 70 erläutert ist.

Dann wird die Greifeinrichtung 86 von dem Skid 28 gelöst und der Roboterarm 84 wieder aus der Vakuumkammer 14 herausbewegt. Die Zugänge 18, 20 der Vakuumkammer 14 werden mittels der Toreinrichtungen 48 verschlossen und die Oberflächenbehandlung wird durchgeführt. Nachdem die Behandlung beendet ist, werden die Zugänge 18, 20 der Vakuumkammer 14 wieder geöffnet und der Skid 28 mit der nun behandelten Fahrzeugkarosserie 12 mittels des Roboters 82 aus der Vakuumkammer 14 entnommen und an einen hier nicht gezeigten Transportwagen des Fördersystems 68 übergeben, bei dem es sich um denselben Wagen handeln kann, von welchem der Skid 28 zuvor abgenommen wurde .

Die Figuren 6 und 7 zeigen als zweites Ausführungsbeispiel einer Vakuumkammer eine Vakuumkammer 114. Bei dieser sind Komponenten, welche der Vakuumkammer 14 nach den Figuren 1 bis 5 entsprechen, mit denselben Bezugszeichen zuzüglich 100 gekennzeichnet .

Als Ergänzung zu der Pumpeneinheit 144 ist bei der Vakuum- kammer 114 eine Volumeneinrichtung 188 vorgesehen, mittels welcher das wirksame Innenvolumen der Vakuumkammer 114 eingestellt werden kann. Die Volumeneinrichtung 188 umfasst drei Stempel 190, welche sich radial durch das Gehäuse 116 der Vakuumkammer 114 hindurch erstrecken: einen oberen, ver- tikal verfahrbaren Stempel 190a und zwei seitliche, horizontal verfahrbare Stempel 190b und 190c. Die Stempel 190 können zwischen einer ausgefahrenen Stellung (Figur 6) und einer in den Innenraum 122 der Vakuumkammer 114 eingefahrenen Stellung (Figur 7) bewegt werden. Dazu sind an und für sich bekannte Antriebe vorhanden, welche hier nicht eigens gezeigt sind. Die jeweilige der zu behandelnden Fahrzeugkarosserie 12 zugewandte Stirnfläche 192a, 192b bzw. 192c kann an die Außenkontur des in ihre Richtung weisenden Teils der Fahrzeugkarosserie 12 - oder eines anderen zu behandelnden Gegenstandes - angepasst sein, wie es in den Figuren 6 und 7 zu erkennen ist.

Wenn die zu behandelnde Fahrzeugkarosserie 12 in die Vakuumkammer 114 eingebracht werden soll, werden die Stempel 190 zunächst in ihre ausgefahrene Stellung gefahren, in welcher sie den Innenraum 122 der Vakuumkammer 114 weitgehend freigeben (Figur 6) . Wenn die zu behandelnde Fahrzeugkaro _. sserie 12 mit ihrem Skid 28 in der Vakuumkammer 114 platziert ist, werden die Stempel 190 bei noch offenem Zugang 118 in ihre eingefahrene Stellung bewegt. Nun wird der Zugang 118 mit dem nur in Figur 6 angedeuteten Kammertor 146 verschlossen und mittels der Pumpeneinheit 144 im Innenraum 122 der Vakuumkammer 114 der gewünschte Unterdruck erzeugt. Durch die Volumeneinrichtung 188 wird das zu evakuierende wirksame Vo- lumen des Innenraums 122 der Vakuumkammer 114 gegenüber dem Innenvolumen verkleinert, welches beim Beladen der Vakuumkammer 114 vorliegt. Dadurch kann die Dauer und die Energie, die zu Vakuumerzeugung benötigt werden, verringert werden.

In einer Abwandlung der Vakuumkammer 14 gemäß den Figuren 1 bis 5 können dazu auch an die Außenkontur der zu behandelnden Fahrzeugkarosserie 12 angepasste Füllelemente vorgesehen sein, welche manuell um die Fahrzeugkarosserie 12 herum positioniert werden, bevor das erforderliche Vakuum erzeugt wird. Durch entsprechende Füllelemente kann das zu evakuierende Innenvolumen der Vakuumkammer 14 verkleinert werden, Die Füllelemente können beispielsweise an die Außenkontur der zu behandelnden Fahrzeugkarosserie angepasste Körbe sein, die mit im Vakuum stabilen Hohl- oder Vollmaterialku- geln aus z.B. Kunststoff gefüllt sind.

Anstelle des Kunststoffmaterials kann auch ein elektrisch leitfähiges Material verwendet werden. Diese beeinflussen das elektrische Feld, welches sich zwischen der Fahrzeugka- rosserie 12 und der als Gegenelektrode dienenden Innenmantelfläche 42 des Kammergehäuses 16 bei aktiver Hochfrequenzquelle 32 ausbildet. Über die elektrisch leitfähigen Füllelemente können die Feldbedingungen und dadurch das auszubildende Plasma im Innenraum 22 der Vakuumkammer 14 gesteu- ert werden. Bei einer hier nicht eigens gezeigten Abwandlung der Vakuumkammern 14 bzw. 114 sind die Federelemente 36, 136 der Kontakteinrichtung 30, 130 derart ausgebildet, dass sich die Kontaktplatte 34, 134 bei Normaldruck unterhalb der geplanten Kontaktstelle der Fahrzeugkarosserie 12 befindet. Wird nun die Vakuumkammer 14, 114 evakuiert, so längen sie Federelemente 36, 136 und dem Einfluss des verminderten Drucks, wodurch sich die Kontaktplatte 34, 134 nach oben bewegt, bis sie die Fahrzeugkarosserie 12 berührt und der Kontakt zu Hochfrequenzquelle 32, 132 hergestellt ist.

Bei einer weiteren hier nicht gezeigten Abwandlung umfasst die Anlage weitere wie die Vakuumkammer 14 bzw. 114 ausge- bildete Vakuumkammern, deren Innenräume über Fluidleitungen miteinander verbunden sind, in denen Sperrventile angeordnet sind. Auf diese Weise ist es möglich, eine erste Vakuumkammer, in der eine Oberflächenbehandlung abgeschlossen ist, mit der Normalatmosphäre einer damit verbundenen zweiten Va- kuumkammer, welche noch nicht evakuiert ist, zu belüften. Dadurch entsteht in der zweiten Kammer eine Atmosphäre bei vermindertem Druck, so dass zur der Erzeugung des dort für die Oberflächenbehandlung benötigten Vakuums weniger Energie aufgewendet werden muss. Nachdem die Oberflächenbehandlung in der zweiten Vakuumkammer abgeschlossen ist, kann diese mit der Normalatmosphäre aus der ersten oder einer dritten Vakuumkammer belüftet werden, wodurch dort ein verminderter Druck entsteht, usw.