Temperaturmeßfühler werden seit vielen Jahren in der Dünn- schichttechnik in unterschiedlichen Ausführungsformen her- gestellt und für präzise Temperaturmeßaufgaben verwendet.

Ein bekannter Temperaturmeßfühler umfaßt ein A1203-Keramik- substrat, auf dem ein Platinfilm mit einer Dicke von ca. lpm aufgebracht ist. Dieser Platinfilm ist so strukturiert, um eine Widerstandsbahn mit einem Widerstandswert von etwa 1009 zu haben. Zum Schutz der Platinwiderstandsbahn ist diese mit einer geeigneten Schutzschicht überzogen. An zwei Kontakt- flächen sind Anschlußdrähte angeschweißt. Um eine mecha- nische Belastung der Anschlußdrähte zu gewährleisten, wird eine Fixierungsglasur aufgebracht, um die Anschlußdrähte zu- sätzlich mechanisch zu fixieren. Die Fixierungsglasur wird bei Temperaturen von ca. 800°C eingebrannt (die Glasur muß schmelzen), um eine Einsatztemperatur von bis zu 600°C zu gewähren (die Glasur darf sich bei diesem Temperaturbereich nicht erweichen).

Im Stand der Technik sind Widerstands-Temperaturfühler mit normierter Kennlinie bekannt, und die oben beschriebenen Platintemperaturfühler nach DIN EN 60751 sind am weitesten verbreitet. Insbesondere die oben beschriebene kostengüns- tige Dünnschichtausführung hat die anderen Metall-Fühlerar- ten, z. B. Temperaturfühler mit Widerstandsschichten aus Nickel, Nickellegierungen, Kupfer, Molybdän, Iridium, usw. weit in den Hintergrund gedrängt. Neben den technischen Vor- teilen der Platin-Fühler, wie z. B. die hervorragende Lang- zeitstabilität, die sehr gute chemische Beständigkeit, die engen Toleranzen, der weite Temperaturbereich von bis zu 600°C bzw. sogar schon bis zu 1000°C, sind diese Dünn- schichttypen inzwischen auch preislich günstiger als die Temperaturmeßfühler, die unedle Metalle verwenden.

Dennoch besteht weiterhin eine Nachfrage z. B. nach Nickel- Fühlern, da in einigen Anwendungen die früher ebenfalls nor- mierte Nickelkennlinie (DIN 43760)"eingeburgert"ist, und trotz der heutigen elektronischen Möglichkeiten weiterhin Fühler mit der Nickelkennlinie erforderlich sind.

Die auf dem Markt erhältlichen Nickelfühler sind praktisch alle, ob drahtgewickelt oder in Dünnschicht ausgeführt, auf Temperaturen unter 250°C, meist sogar deutlich unter 200°C eingeschränkt.

Ein Nickel-Dünnschichttemperaturfühler ist üblicherweise ähnlich aufgebaut wie der oben beschriebene Platinfühler.

Auf einem keramischen Trägersubstrat wird ein Metallfilm aus Nickel in Dünnschicht entweder durch Sputtern, Aufdampfen oder ähnliches aufgebracht. Dieser Metallfilm wird dann durch ein geeignetes Verfahren fotochemisch strukturiert, Widerstandsbahnen werden freigeätzt, und diese werden dann mittels Laserablation oder ähnlichen Verfahren auf den ge- wünschen Sollwiderstand abgeglichen.

Im Gegensatz zu Platinfühlern besteht die auf die Wider- standsschicht aufgebrachte Schutzschicht für den Metall- film-Widerstand nicht aus Glas, sondern aus einer Schutz- lackschicht, die beispielsweise aus Silicon oder ähnlichem besteht. Eine im Siebdruckverfahren aufgebrachte Glasab- deckung, wie sie bei Platintemperaturmeßfühlern üblich ist, bereitet im Fall von Nickel Probleme, da beim Einbrennvor- gang das Nickel mit dem Glas chemisch reagieren würde, was sich durch eine Bläschenbildung im Glas (Porosität) und durch eine Veränderung der eingestellten Widerstandswerte äußern würde.

Ferner sind die Anschlußdrähte meist entweder gelötet oder geschweißt und mittels Epoxymasse an den Kontaktflächen fi- xiert. Eine Fixierung mittels Glasur, wie es bei Platinfüh- lern üblich ist, ist hier nicht möglich, da der herkömmli- cherweise verwendete Abdeckschutzlack die hohe Einbrenntem- peratur, welche sehr weit über 400°C liegt, nicht aushält.

Durch diese Gegebenheiten ist die obere Einsatztemperatur auf die oben genannten Werte von 200°C begrenzt.

Die DE 198 30 821 A1 beschreibt ein Temperatursensorelement mit einem isolierenden Substrat, einem Widerstandsmetall- film, Anschlußelektroden und Anschlußzuleitungen. Die An- schlußzuleitungen sind mit den Anschlußelektroden verbunden und sind mittels einer Fixierung an dem Substrat mechanisch befestigt.

Die DE 25 389 66 A1 beschreibt ein Verfahren zur Herstellung elektrischer Temperaturfühler, bei dem auf ein dielektri- sches Substrat eine elektrisch leitende Metalloxidschicht und auf diese eine weitere Metallschicht aufgebracht wird.

Das Substrat umfaßt Anschlüsse und eine dielektrische Schutzschicht, über die die Anschlüsse hinausreichen.

In der Zeitschrift Measurement Techniques, Vol. 39, Nr. 7, 1996, Seiten 738 bis 742 wird die Auswirkung einer Oxidation von Platin auf die Charakteristika eines Standardplatin- widerstandsthermometers beschrieben.

Die DE 19932411 A1 beschreibt einen Temperatursensor, der einen Keramikträger aufweist, auf dem eine Widerstands- schicht aufgebracht ist. Die äußere Oberfläche der Wider- standsschicht ist durch eine Diffusionsbarriere abgedeckt, die durch eine Oxidschicht gebildet ist.

Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der vorliegen- den Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Her- stellung eines Temperaturmeßfühlers und einen Temperaturmeß- fühler zu bilden, dessen Widerstandsschicht durch unedle Me- talle gebildet ist, und der einen Einsatzbereich über einen weiten Bereich von Temperaturen aufweist.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 so- wie durch einen Temperaturmeßfühler gemäß Anspruch 6 gelöst.

Die vorliegende Erfindung schafft ein Verfahren zur Herstel- lung eines Temperaturmeßfühlers, bei dem zunächst eine strukturierte Widerstandsschicht, vorzugsweise aus einem unedlen Metall, auf einer Oberfläche eines Substrats gebil- det wird, die so gebildete Widerstandsschicht oxidiert wird und abschließend eine Schutzschicht aufgebracht wird, die die Widerstandsschicht zumindest teilweise bedeckt.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Temperaturmeßfüh- ler geschaffen, der ein Substrat, eine Widerstandsschicht, vorzugsweise aus einem unedlen Metall, die auf dem Substrat gebildet ist, wobei die Widerstandsschicht an der dem Sub- strat abgewandten Oberfläche oxidiert ist, und eine Schutz- schicht aufweist, die die oxidierte Oberfläche der Wider- standsschicht bedeckt.

Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung besteht die Widerstandsschicht aus Nickel oder einer Nickellegierung.

Bevorzugterweise handelt es sich bei der auf die Wider- standsschicht aufgebrachte Schutzschicht um eine Glasab- deckung.

Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß die erfindungsgemäß Anordnung und die Verwendung der Glasab- deckung des unedlen Films, wie z. B. des Nickelfilms sowie die Glasfixierung der Anschlußdrähte auch im herkömmlichen Einsatzbereich von 200°C wesentliche qualitative Vorteile bieten, z. B. einen besseren Schutz gegen Feuchte durch die Glasabdeckung bzw. eine bessere Temperaturwechselbeständig- keit der Glasfixierung aufgrund des angepaßten thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Glases mit der Keramik.

Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß durch die erfin- dungsgemäße Anordnung der Einsatzbereich der Temperaturmeß- fühleranordnung, z. B. für Nickelfühler, nach oben bis über 300°C ausgedehnt werden kann.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß die zum Schutz der Widerstandsschicht aufgebrachte Gla- surschicht mit der Oxidschicht beim Schmelzen nicht rea- giert, so daß die im Stand der Technik auftretenden Probleme sicher vermieden werden. Hierdurch wird vermieden, daß sich an der Schnittstelle zwischen der Widerstandsschicht und der Glasur Inhomogenitäten, z. B. in Form von Bläschen, bilden, wodurch sich trotz der kostengünstigen Materialien eine si- chere Aufbringung der Schutzschicht einstellt.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Anmeldung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen : Fig. 1 eine Draufsichtdarstellung einer erfindungsgemäßen Temperaturmeßfühleranordnung ; und Fig. 2 eine Querschnittdarstellung der in Fig. 1 gezeigten Anordnung.

Fig. 1 zeigt einen Temperaturmeßfühler 100, der ein Sub- strat 102 umfaßt, auf dem eine strukturierte Widerstands- schicht 104 angeordnet ist. Die Widerstandsschicht 104 um- faßt ferner einen ersten Anschlußbereich 106a und einen zweiten Anschlußbereich 106b. Die Anschlußdrähte 108a und 108b sind mit den Anschlußbereichen bzw. Kontaktstellen 106a, 106b verbunden.

Fig. 2 zeigt eine Querschnittdarstellung des Temperaturmeß- fühlers 100 aus Fig. 1. Gleiche Elemente sind mit den glei- chen Bezugszeichen versehen. Wie zu erkennen ist, ist auf der Widerstandsschicht 104 eine Oxidschicht 110 angeordnet, die sich teilweise über die Widerstandsschicht erstreckt.

Der Bereich, in dem eine Befestigung des Anschlußdrahtes 108a erfolgt, ist nicht mit der Oxidschicht bedeckt. Die Widerstandsschicht 104 wird durch eine Glasurschicht 112 bedeckt. Der Anschlußdraht 108a wird zusätzlich zu seiner Befestigung an der Kontaktstelle 106a mit einer Fixierungs- glasur 114 mechanisch an dem Element befestigt.

Gemäß der vorliegenden Erfindung muß die blankliegende Widerstandsschicht 104, die beispielsweise ein Nickelfilm ist, geschützt werden, so daß der Nickelfilm mit der auf- zubringenden Glasurschicht 112 während des Einbrennvorganges chemisch nicht reagiert. Vor dem Einbrennvorgang wird die Glasurschicht 112 z. B. mittels Siebdruck aufgebracht. Der gerade erwähnte Schutz wird dadurch erreicht, daß die Ober- fläche des Nickelfilms oxidiert wird, d. h. der Nickelfilm erhält an der Oberfläche eine dichte Nickeloxidschicht (NiO). Dies kann z. B. dadurch erreicht werden, daß die auf dem Substrat 102 aufgebrachte Widerstandsschicht 104 in sauerstoffhaltiger Atmosphäre für eine bestimmte Zeitdauer bei einer höheren Temperatur, z. B. 800°C ausgelagert wird.

Durch die Oxidation wird die ursprüngliche Dicke des elek- trisch leitfähigen Nickelfilms verringert, da die aufbauende NiO-Schicht, die eine Dicke von ca. O, lpm aufweist, elek- trisch ein Isolator ist.

Der Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht u. a. darin, daß sich durch diese Voroxidation die eingestellten Wider- standswerte in den nachfolgenden Einbrennprozessen der Gla- surschicht 112 für den Nickelfilm 104 bzw. der Fixierungs- glasur 114 der Anschlußdrähte 108a, 108b, die bei ca. 800°C ablaufen, nur noch unwesentlich verändern. Insbesondere sind die so geschützten Temperaturmeßfühler 100 bis zu relativ hohen Einsatztemperaturen von etwa um 300°C sehr stabil.

Anstelle der oben beschriebenen Oxidation in sauerstoffhal- tiger Atmosphäre und bei höheren Temperaturen kann diese auch auf anderem Wege erfolgen, z. B. auf elektrochemischem Wege. In jedem Fall kann die Dicke der Oxidschicht 110 durch die physikalischen Parameter Temperatur, Zeit, etc. beliebig gesteuert werden.

Neben den oben beschriebenen reinen Nickelfilmen kann das erfindungsgemäße Verfahren auch auf Nickellegierungen ange- wendet werden, z. B. auf Nickeleisen (Ni99, 4Fe oder NiFe30).

Die gerade genannten Legierungsverhältnisse sind nicht auf feste Zusammensetzungen beschränkt. Bezüglich der Anschluß- drähte können verschiedene Drahtmaterialien, z. B. Nickel, Silber, etc. verwendet werden. Es können auch unbedrahtete Fühlerelemente, z. B. SMD-Typen auf diese Weise, d. h. mit Glasabdeckung des Films, hergestellt werden.

Die Fixierungsglasur 114 kann in einem Temperaturbereich zwischen 500°C und 1000°C eingebrannt werden. Der Nickelfilm kann in einem Temperaturbereich zwischen 500°C und 900°C während einer Zeitdauer von wenigen Minuten bis ca. 1 Stunde oxidiert werden.

Zum Befestigen der Anschlußdrähte an den Kontaktstellen 106a und 106b wird nach dem Oxidieren der Widerstandsschicht die Oxidschicht an diesen Bereichen entfernt und die Anschluß- drähte 108a und 108b werden befestigt und ggf. mit einer Fi- xierungsglasur 114 fixiert.