Wittenhagen, Wolfgang (Seestrasse 5/2, Gundelsheim, 74831, DE)
| 1. | Temperatursensor mit einem Grundsubstrat (10a, 10b, 10c; 110a, 110b, 110c), auf das eine sensitive Schicht (12b, 12c; 112b, 112c) aus einem Material mit temperaturabhängigem Widerstand aufge¬ bracht ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Grundsubstrat (10a, 10b, 10c; 110a, 110b, 110c) mindestens eine Lage (10a, 10b, 10c; 110a, 110b, 110c) aus einem LTCC Material aufweist. |
| 2. | Temperatursensor nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Lage (10a, 10b, 10c; 110a, 110b, 110c) aus LTCC, vorzugs¬ weise das gesamte Grundsubstrat (10a, 10b, 10c; 110a, 110b, 110c), dicht gesintert ist. |
| 3. | Temperatursensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Material der sensitiven Schicht (12b, 12c; 112b, 112c) Platin aufweist. |
| 4. | Temperatursensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die sensitive Schicht (12b, 12c; 112b, 112c) im wesentlichen voll¬ ständig, vorzugsweise in einem größeren Bereich vollständig, von einem oder mehreren Lagen des Grundsubstrats (10a, 10b, 10c; 110a, 110b, 110c) umschlossen ist. |
| 5. | Temperatursensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die sensitive Schicht (12b, 12c; 112b, 112c) zumindest partiell in einem Justierungsbereich (20; 120) nicht vom Grundsubstrat (10a, 10b, 10c; 11Oa, 11Ob, 11Oc) umschlossen ist, wobei vorzugsweise der Justierungsbereich (20; 120) für eine nachträgliche Passivie rung ausgebildet ist und insbesondere die sensitive Schicht in die¬ sem Justierungsbereich (20; 120) zur Wiederstandseinstellung des Gesamtwiderstands des Temperatursensors durch Verändern der aktiven Länge der Schicht ausgebildet ist. |
| 6. | Temperatursensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die sensitive Schicht (12b, 12c; 112b, 112c) zumindest in dem nicht vom Grundsubstrat (10a, 10b, 10c; 110a, 110b, 110c) um¬ schlossenen Justierungsbereich (20; 120) passiviert ist, vorzugs¬ weise durch eine Glasschicht (30). |
| 7. | Temperatursensor nach einem der vorstehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch zwei oder mehr übereinanderliegende Lagen des Grundsubstrates (10a, 10b, 10c; 110a, 110b, 110c), die jeweils über eine sensitive Schicht (12b, 12c; 112b, 112c) verfügen, wobei die sensitiven Schichten (12b, 12c; 112b, 112c) in Reihe oder parallel geschaltet sind. |
| 8. | Temperatursensor nach einem der vorstehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch mechanische Stabilisierungsmittel (32; 132), die das Grundsub¬ strat (10a, 10b, 10c; 110a, 110b, 110c) zumindest teilweise um¬ schließen, wobei vorzugsweise die Stabilisierungsmittel (32; 132) klammerartig ausgebildet sind. |
| 9. | Temperatursensor nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die sensitive Schicht (12b, 12c; 112b, 112c) in einer länglicher Form auf dem Grundsubstrat (1Oa1 10b, 10c; 110a, 110b, 110c) vorgesehen ist, vorzugsweise in gewendelter oder mäanderartiger Form. |
| 10. | Temperatursensor nach einem der vorstehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine sensitive Schicht in Dickschichttechnik. |
| 11. | Verfahren zur Justierung eines Temperatursensors nach einem der Ansprüche 5 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass in einem ersten Schritt die sensitive Schicht (12b, 12c; 112b, 112c) in einem nicht vom Grundsubstrat (10a, 10b, 10c; 110a, 110b, 110c) umschlossenen Justierungsbereich (20; 120) mit einem Laserstrahl (27) verändert bzw. strukturiert wird, wäh¬ rend der Widerstandswert des Sensors gemessen wird, wobei die Strukturierung nach Erreichen eines SollWiderstandswerts beendet wird und in einem zweiten Schritt eine Passivierung mindestens des vom Grundsubstrat (10a, 10b, 10c; 110a, 110b, 110c) nicht umschlossenen Justierungsbereich (20; 120) des Temperatur¬ sensors durchgeführt wird. |
Anwendungsgebiet und Stand der Technik
Die Erfindung betrifft einen Temperatursensor mit einem Grundsubstrat, auf das eine sensitive Schicht aus einem Material mit temperaturabhän¬ gigem Widerstand aufgebracht ist.
Solche Temperatursensoren werden in einer Vielzahl von Anwendungs¬ bereichen genutzt. Sie beruhen auf einer Widerstandsmessung mittels eines durch die sensitive Schicht geleiteten Stroms. Die sensitive Schicht besteht aus einem Material, welches seinen spezifischen Wider¬ stand temperaturabhängig verändert. Die dabei genutzten Materialien weisen bei steigender Temperatur entweder einen ebenfalls steigenden spezifischen Widerstand oder einen sinkenden spezifischen Widerstand auf.
Das Grundsubstrat des Temperatursensors dient der Befestigung der sensitiven Schicht und ist selbst elektrisch nicht leitend. Zum Aufbringen der sensitiven Schicht auf das Grundsubstrat sind verschiedene Metho¬ den wie beispielsweise die Dünnschichttechnik sowie die Dickschicht¬ technik bekannt.
Die LTCC-Technik („low temperature cofired ceramics"-Technik), ist eine Technik zur Herstellung von Schaltungen, die mit Hilfe mehrerer Schich¬ ten von LTCC-Folien gebildet werden, auf denen jeweils Leiterbahnen aufgebracht werden. Der Verbund aus diesen verschiedenen überein- andergestapelten Lagen wird nach Fertigstellung in einem Prozessofen gesintert, wobei verhältnismäßig geringe Temperaturen im Bereich zwi¬ schen 9000C und 10000C üblich sind. Die LTCC-Materialien weisen im ungebrannten Zustand Glas, Keramik und organische Lösungsmittel auf. Die LTCC-Technologie erlaubt eine sehr kompakte Bauweise von Schal¬ tungen durch das Stapeln von annähernd beliebig vielen Lagen. Die niedrige Sintertemperatur erlaubt die Nutzung von Materialien mit gerin¬ gem Schmelzpunkt für die Leiterbahnen.
Aufgabe und Lösung
Aufgabe der Erfindung ist es, einen preiswert herstellbaren Temperatur¬ sensor zur Verfügung zu stellen, der bei hohen Temperaturen und hoher Luftfeuchtigkeit zuverlässig funktioniert.
Erfindungsgemäß ist hierzu ein Temperatursensor mit einem Grundsub¬ strat, auf das eine sensitive Schicht aus einem Material mit temperatur¬ abhängigem Widerstand aufgebracht ist, vorgesehen, wobei das Grund- substrat eine Lage aus einem LTCC-Material aufweist. Die Verwendung eines LTCC-M aterials erlaubt dabei die Verwendung von sensitiven Schichten aus Materialien mit geringem Schmelzpunkt. Da die Sinter¬ temperatur des LTCC-Materials nicht wesentlich über 9000C liegt, kann die sensitive Schicht beispielsweise aus Gold oder Silber bestehen. Das in ungesintertem Zustand üblicherweise in Folienform vorliegende LTCC-Material kann die sensitive Schicht von zwei Seiten bedecken, so dass die sensitive Schicht nach einem Press-/Laminiervorgang und Sin¬ tervorgang quasi in das LTCC-Material eingebettet ist und selbst keinen Kontakt zur Umgebung hat. Um zu vermeiden, dass sich die Anschluss- leitungen des Temperatursensors ebenfalls in einem Bereich hoher Temperatur befinden, ist es möglich, das Grundsubstrat des Tempera¬ tursensors in einer derartigen, beispielsweise länglichen, Form vorzuse¬ hen, die es gestattet, dass ein erster Abschnitt des Temperatursensors mit der sensitiven Schicht im Bereich hoher Temperatur angeordnet ist, während ein zweiter Abschnitt mit den Anschlüssen des Temperatur¬ sensors in einem Bereich niedrigerer Temperatur angeordnet ist. Da¬ durch wird einerseits vermieden, dass die Anschlüsse durch die hohe Temperatur Schaden nehmen, und andererseits gewährleistet, dass die Temperaturmessung frei von ungewünschten Nebeneinflüssen bleibt. Zur Befestigung der Anschlussdrähte können übliche Schweiss- und Lötverfahren verwendet werden, wobei insbesondere Hartlötverfahren bevorzugt sind. Darüber hinaus sind auch lösbare Steckverbindungen mit und ohne zu¬ sätzliche Plattierung oder Anschlussfahnen zweckmäßig.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist die Lage aus LTCC, vorzugs- weise das gesamte Grundsubstrat, dicht gesintert.
In einer Weiterbildung der Erfindung weist das Material der sensitiven Schicht Platin auf.
Platin ist für die Temperaturmessung, insbesondere aufgrund seines in einem großen Temperaturbereich linearen Verhaltens zwischen Tempe¬ ratur und Widerstand, besonders geeignet. Es liefert sehr präzise Er¬ gebnisse und weist darüber hinaus eine sehr schnelle Reaktion auf Temperaturveränderungen auf.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist die sensitive Schicht im wesent¬ lichen vollständig, vorzugsweise in einem größeren Bereich vollständig, von einer oder mehreren Lagen des Grundsubstrats umschlossen. Auf diese Art und Weise wird die Lebensdauer des Temperatursensors er- höht, denn die empfindliche sensitive Schicht steht nicht in direktem Kontakt mit der Umgebung. Darüber hinaus wird die Genauigkeit der Temperaturmessung dadurch erhöht, dass Störfaktoren wie beispiels¬ weise eine hohe Luftfeuchtigkeit an der sensitiven Schicht verhindert werden.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist die sensitive Schicht zumindest partiell in einem Zugangsbereich nicht von einer Lage des Grundsub- - A -
strats umschlossen, wobei vorzugsweise der Zugangsbereich für eine nachträglich Passivierung ausgebildet ist und insbesondere die sensitive Schicht in diesem Zugangsbereich zur Wiederstandseinstellung des Ge¬ samtwiderstands des Temperatursensors durch Verändern der aktiven Länge der Schicht ausgebildet ist
Ein solcher Zugangsbereich ermöglicht es, nach Sintern des Tempera¬ tursensors bzw. der LTCC-Keramikschichten eine Eichung vorzuneh¬ men. Zu diesem Zweck kann durch den Zugangsbereich hindurch auf die sensitive Schicht Einfluss genommen werden, während entweder kontinuierlich oder in kurzen Abständen der Widerstand des Tempera¬ tursensors gemessen wird. Die Anpassung der sensitiven Schicht kann beispielsweise mittels eines Lasers erfolgen, mit dem Material aus der sensitiven Schicht entfernt wird, so dass sich der spezifische Widerstand bezogen auf eine bekannte Temperatur verändert. Der Zugangsbereich führt zwar zu einem direktem Kontakt der sensitiven Schicht mit der Umgebung, da der Zugangsbereich jedoch nicht groß zu sein braucht, beeinflusst das die Temperaturmessung nur unwesentlich. Um einen Einfluss vollständig auszuschließen, kann der Zugangsbereich für eine nachträgliche Passivierung ausgebildet sein. Dies erlaubt, dass nach erfolgter Eichung des Temperatursensors der Zugangsbereich ver¬ schlossen wird, beispielsweise mittels einer Glasschicht.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist die sensitive Schicht zumindest in dem nicht vom Grundsubstrat umschlossenen Zugangsbereich passi- viert, vorzugsweise durch eine Glasschicht.
In einer Weiterbildung der Erfindung sind zwei oder mehr Schichten des Grundsubstrats vorgesehen, die jeweils über eine sensitive Schicht ver- fügen, wobei die sensitiven Schichten in Reihe oder parallel geschaltet sind. Auf diese Art und Weise ist es möglich, eine große sensitive Schicht bei kompakter Bauweise des Temperatursensors zu erreichen. Wenn die sensitiven Schichten der verschiedenen Lagen in Reihe geschaltet sind, wird erreicht, dass der Widerstand vergrößert wird. Dies gestattet eine genauere Messung der Temperatur. Darüber hinaus wird der relative Einfluss von Störungen im Widerstands-Messsignal verringert, wenn das Messsignal einen absolut hohen Wert aufweist.
In einer Weiterbildung der Erfindung weist der Temperatursensor me- chanische Stabilisierungsmittel auf, die das Grundsubstrat zumindest teilweise umschließen, wobei vorzugsweise die Stabilisierungsmittel klammerartig ausgebildet sind.
Diese Stabilisierungsmittel verringern die Anfälligkeit des Temperatur- sensors gegen mechanische Schäden. Dies gilt sowohl für den Betrieb des Temperatursensors als auch für die Handhabung der Temperatur¬ sensoren vor und bei der Montage. Die Stabilisierungsmittel können da¬ bei so ausgebildet sein, dass sie Anschlussmittel für den konkreten An¬ wendungszweck aufweisen, beispielsweise Haltearme, mittels derer der Temperatursensor an der dafür vorgesehenen Position angebracht wird. Als Blechhalterung ausgebildete Stabilisierungsmittel können schmale Blechstäbe umfassen, die den Temperatursensor von allen Seiten hal¬ ten und dabei dennoch keine störende Isolationswirkung zwischen der Umgebung und dem eigentlichen Temperatursensor verursachen. Da- durch wird vermieden, dass die Ansprechzeiten des Temperatursensors stark erhöht werden.
In einer Weiterbildung der Erfindung ist die sensitive Schicht in einer länglichen Form auf dem Grundsubstrat vorgesehen, vorzugsweise in gewendelter oder mäanderartiger Form. Dadurch wird erreicht, dass bezogen auf die Fläche der sensitiven Schicht ein hoher Widerstand erzielt wird. Ein hoher Widerstand wieder¬ um erlaubt eine genauere Temperaturmessung und führt dazu, dass die Messergebnisse von anderen Einflussfaktoren wie beispielsweise dem Widerstand der Anschlussleitungen kaum beeinflusst werden.
In einer Weiterbildung der Erfindung wird ist die sensitive Schicht mittels Dickschichttechnik auf dem Grundsubstrat aufgebracht.
Die Dickschichttechnik stellt eine preiswerte Möglichkeit zum Aufbringen der sensitiven Schicht dar. Darüber hinaus sind die derart auf dem Sub¬ strat aufgebrachten Schichten mechanisch robust und unanfällig gegen hohe Temperaturen.
Die Justierung eines erfindungsgemäßen Temperatursensors kann mit¬ tels eines Verfahrens durchgeführt werden, bei dem in einem erstem Schritt die sensitive Schicht in einem nicht vom Grundsubstrat um¬ schlossenen Bereich mit einem Laserstrahl verändert bzw. strukturiert wird, während der Widerstandswert des Sensors gemessen wird, wobei die Strukturierung nach Erreichen eines Sollwiderstandswerts beendet wird und in einem zweitem Schritte eine Passivierung mindestens des vom Grundsubstrat nicht umschlossenen Bereichs des Temperatursen¬ sors durchgeführt wird.
Dieses Verfahren gestattet die Justierung der Temperatursensoren und führt damit zu einer sehr hohen Genauigkeit der Temperaturmessungen. Durch die Passivierung des Zugangsbereichs ist gewährleistet, dass der wesentliche Vorteil des mit einem Grundsubstrat aus LTCC- Keramikschichten aufgebauten Temperatursensors erhalten bleibt, näm- lieh die Robustheit und die geringe Anfälligkeit gegen störende Umge¬ bungseinflüsse. Diese und weitere Merkmale von bevorzugten Weiterbildungen der Er¬ findung gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehreren in Form von Unterkombinationen bei Aus- führungsformen der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausführen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird. Die Unterteilung der An¬ meldung in einzelne Abschnitte sowie Zwischen-Überschriften be¬ schränken die unter diesen gemachten Aussagen nicht in ihrer Allge- meingültigkeit.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen schema- tisch dargestellt und werden im folgenden näher erläutert. In den Zeich¬ nungen zeigen:
Fig. 1 eine Explosionsdarstellung eines erfindungsgemäßen Temperatursensors in einer ersten Ausführungsform während des Justiervorgangs,
Fig. 2 den Temperatursensor in der ersten Ausführungsform im gesinterten und justierten Zustand,
Fig. 3 eine Explosionsdarstellung eines erfindungsgemäßen Temperatursensors in einer zweiten Ausführungsform nach dem Justierungsvorgang und
Fig. 4 den Temperatursensor in der zweiten Ausführungs- form im gesinterten und justierten Zustand.
Detaillierte Beschreibung des Ausführungsbeispiels Fig. 1 zeigt einen erfindungsgemäßen Temperatursensor in Explosions¬ darstellung. Der Temperatursensor ist aus insgesamt drei LTCC- Keramikschichten 10a, 10b, 10c aufgebaut. Auf zwei der LTCC- Keramikschichten 10a, 10b, 10c sind mäanderförmige Platinschichten 12b, 12c aufgebracht. Die Platinschichten 12b, 12c sind miteinander und mit Anschlüssen 14a, 14b verbunden. Zu diesem Zweck sind Durchkon- taktierungen 16a, 16b durch die LTCC-Keramikschicht 10a und Durch- kontaktierungen 18a, 18b durch die LTCC-Keramikschicht 10b vorgese- hen. In der Konsequenz sind die Platinschichten 12b, 12c der LTCC- Keramikschichten 10b, 10c in Reihe geschaltet. In einem Justierungsbe¬ reich 20 der mäanderförmigen Platinschicht 12b sind zwei nebeneinan¬ derliegende Leiterabschnitte 22, 24 durch insgesamt 17 Leiterbrücken 26 miteinander verbunden. Diese Leiterbrücken gestatten die Justierung des Temperatursensors, indem der Gesamtwiderstand des Temperatur¬ sensors durch Durchtrennen einzelner Leiterbrücken erhöht wird. Die oberste LTCC-Keramikschicht 10a weist eine Zugangsöffnung 28 auf, der über dem Justierungsbereich 20 angeordnet ist.
Nachdem die einzelnen Lagen des LTCC-Temperatursensors in der in Fig. 1 dargestellten Art und Weise vorbereitet sind, werden sie zunächst genau übereinander positioniert und mittels einer uniaxialen Presse ver- presst. Dieses Pressen kann beispielsweise zwischen zwei parallel zu¬ einander ausgerichteten aufgeheizten Platten durchgeführt werden. Daneben bietet sich auch das isostatische Laminieren an. Dieses Ver¬ fahren wird mittels einer wassergefüllten Druckkammer durchgeführt und gewährleistet eine gleichmäßige Druckverteilung am Temperatursensor. Nachdem die Lagen des Temperatursensors dadurch miteinander ver¬ bunden sind, wird der Temperatursensor mit einem dafür geeigneten Temperatur-Zeit-Profil gesintert, wobei die maximale Temperatur 9000C bis 10000C vorzugsweise nicht übersteigt. Nach dem Sintervorgang wird als nächster Herstellungsschritt die Justie¬ rung des Temperatursensors vorgenommen. Zu diesem Zweck wird der Widerstand des Temperatursensors bei einer bekannten Temperatur gemessen. Die Platinschichten 12b, 12c sind so dimensioniert, dass der Temperatursensor vor der Justierung einen geringfügig geringeren Widerstand als den Sollwiderstand aufweist. Dieser Sollwiderstand wird erreicht, indem nacheinander einzelne Leiterbrücken 26 der Platin¬ schicht 12b mittels eines Laserstrahls 27 durch die dafür vorgesehene Zugangsöffnung 28 durchtrennt werden. Die in der Fertigung des Tem- peratursensors begründeten Schwankungen des Widerstandes werden dadurch ausgeglichen, und es wird erreicht, dass alle Temperatursenso¬ ren bezüglich ihres Widerstandes bei einer bestimmten Temperatur ei¬ nen Widerstand aufweisen, der in einem engen Toleranzfeld liegt.
Fig. 2 zeigt den fertigen Temperatursensor. Er weist einen gesamten Widerstand von etwa 1000Ω bei 00C auf. Verwendbar sind auch andere Werte für den Widerstand von beispielsweise 100Ω, 200Ω oder 500Ω. Es ist zu erkennen, dass die drei Schichten 10a, 10b, 10c bündig auf¬ einander liegen. Die Zugangsöffnung 28 ist durch eine Passivierung 30 abgeschlossen worden, so dass die Platinschicht 12b von der Umge¬ bung abgeschlossen ist. Außer an den beiden Anschlüssen 14a, 14b kann es also nirgends zu einem direkten Kontakt zwischen dem Wider¬ standsleiter bzw. dessen Zuleitungen und der Umgebung kommen. Zu erkennen ist darüber hinaus, dass mechanische Stabilisierungsmittel 32 vorgesehen sind, die einen Schutz vor mechanischen Einflüssen darstel¬ len. Die mechanischen Stabilisierungsmittel 32 weisen einen sich in Längsrichtung des Temperatursensors an dessen Unterseite erstre¬ ckenden Blechsteg 34 auf, der an zwei Stellen jeweils über zwei abste¬ hende Blechzungen 36, 38 verfügt, die seitlich um den Temperatursen- sor herumgreifen und diesen kraftschlüssig mit den Stabilisierungsmit¬ teln verbinden. Der Blechsteg 34 ragt dabei auf einer Seite über das En¬ de des Temperatursensors hinaus und gestattet so die Befestigung des gesamten Temperatursensors an einer dafür vorgesehenen Stelle. Der Einbau des Temperatursensors kann dabei so erfolgen, dass der Tem¬ peratursensor nur mit einem erstem Abschnitt 40 in einem Bereich an¬ geordnet ist, in dem er hohen Temperaturen ausgesetzt ist, während ein zweiter Abschnitt 42 sich in einem Bereich befindet, in dem geringere Temperaturen herrschen. Durch eine derartige Anordnung wird vermie¬ den, dass die Anschlüsse 14a, 14b bzw. die Zuleitungen zu den An¬ schlüssen 14a, 14b den hohen Temperaturen ausgesetzt sind bzw. eine erhebliche Veränderung des Messergebnisses verursachen.
Fig. 3 und 4 zeigen eine andere Ausführungsform eines erfindungsge¬ mäßen Temperatursensors.
Die Ausführungsform gemäß der Figuren 3 und 4 unterscheidet sich von der in Fig. 1 und 2 dargestellten dahingehend, dass die Anschlüsse 114a, 114b auf der mittleren Keramikschicht 110b statt auf der obersten angeordnet sind, wie dies beim Ausführungsbeispiel der Fig. 1 und 2 der Fall ist. In Folge dessen sind die Durchkontaktierungen 16a und 16b nicht erforderlich.
Der wesentliche Unterschied zur ersten Ausführungsform besteht aller¬ dings darin, dass nur die beiden LTCC-Schichten 110b, 110c in dem ersten Laminier- und Sinter-Vorgang laminiert und gesintert werden. An¬ schließend erfolgt gegebenenfalls eine Justierung der auf der LTCC- Schicht 110b angeordneten sensitiven Schicht 110b. Dies kann wie beim ersten Ausführungsbeispiel auch zum Beispiel mittels eines Laser¬ strahls erfolgen. Daneben ist auch eine Justierung durch mechanisches Trennen der Leiterbrücken 126 möglich.
Der fertig justierte Temperatursensor wird dann mit einer weiteren Ke¬ ramikschicht 110a versehen, wobei es sich dabei vorzugsweise eben¬ falls um eine LTCC-Keramikschicht handelt. Mit dieser weiteren Kera- mikschicht 11Oa erfolgt dann eine nochmalige Laminierung und/oder ei¬ ne nochmalige Sinterung. Die weitere Keramikschicht 110a kann mittels eine Glaslots aufgebracht und gesintert werden.
Die Keramikschicht 110a ist kürzer als die beiden anderen Keramik¬ schichten 110b, 110c ausgebildet, so dass die auf der Keramikschicht 110b angeordneten Anschlüsse 114a, 114b nicht von ihr überdeckt wer¬ den.
Bei dieser zweiten Ausführungsform entfällt also gegenüber der ersten Ausführungsform das Erfordernis einer obersten Keramikschicht 10a mit einer Zugangsöffnung 28, was eine Erleichterung bzgl. der Fertigung darstellt. Allerdings tritt gegenüber der ersten Ausführungsform die Not¬ wendigkeit auf, einen weiteren Laminierungs- und/oder Sintervorgang durchzuführen.
Next Patent: DEVICE FOR DETECTING COLLISION WITH A VEHICLE