JESERER, Günther (Schwalbenweg 9, Tuntenhausen, 83104, DE)
WIESBÖCK, Andreas (Heuberg Strasse 1, Stephanskirchen, 83071, DE)
BAUER, Alexander (Finkenweg 3a, Rosenheim, 83026, DE)
PICHL, Franz (Forsthausweg 7, Übersee, 83236, DE)
JESERER, Günther (Schwalbenweg 9, Tuntenhausen, 83104, DE)
WIESBÖCK, Andreas (Heuberg Strasse 1, Stephanskirchen, 83071, DE)
BAUER, Alexander (Finkenweg 3a, Rosenheim, 83026, DE)
Patentansprüche ;
1. Temperierkammer zum Temperieren von elektronischen Bauelementen, insbesondere ICs mit einem Gehäuse (14), in das die zu temperierenden Bauelemente (12) einführbar sind, und einer innerhalb des Gehäuses (14) angeordneten Halte- Vorrichtung zum Halten der Bauelemente (12), wobei die Haltevorrichtung eine Umlaufeinrichtung (15) mit einer Mehrzahl von kreisförmig umlaufenden Tragelementen (18) und zwei auf gegenüberliegenden Seiten der Tragelemente (18) angeordneten Stützeinrichtungen aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Tragelemente (18) in ihren diagonal gegenüberliegenden Eckbereichen an den Stützeinrichtungen derart gelagert sind, dass die Ausrichtung der Tragelemen- te (18) bei ihrem Umlauf gleich bleibt.
2. Temperierkammer nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Tragelemente (18) aus rechteckigen Tragplatten oder Tragrahmen bestehen, die zur Aufnahme von Trays (11) ausgebildet sind, auf denen die Bauelemente liegen.
3. Temperierkammer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Stützeinrichtungen aus einem ersten und einem zweiten Drehkreuz (16, 17) bestehen, die um paralle- Ie, jedoch seitlich versetzte Drehachsen (21, 22) drehbar sind und Dreharme (30) aufweisen, an denen die Tragelemente (18) drehbar gelagert sind.
4. Temperierkammer nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehkreuze (16, 17) 2 bis 10, vorzugsweise 3 bis I 1 gleichmäßig über den Umfang verteilte Dreharme (30) aufweisen.
5. Temperierkammer nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Tragelemente (18) jeweils im Bereich zweier diagonal gegenüberliegender Ecken an den Dreharmen (30) gelagert sind.
6. Temperierkammer nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass jedes Tragelement (18) an zwei Lagerstellen der Dreharme (30) gelagert ist, die in einer horizontalen Ebene liegen, so dass die Tragelemente (18) horizontal ausgerichtet sind.
7. Temperierkammer nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass in einem Seitenbereich des Gehäuses (14) eine Zuführ- und Entnahmeöffnung (33) zum Zuführen und Entnehmen von Trays (11) parallel zu den Dreh- achsen (21, 22) der Drehkreuze (16, 17) angeordnet ist.
8. Temperierkämmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an der Oberseite des Gehäuses (14) eine Entnahmeöffnung (5) zum vertikalen Ent- nehmen temperierter Bauelemente (11) aus dem Gehäuse (14) angeordnet ist.
9. Temperierkammer nach einem der Ansprüche 2 bis 8, da- durch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (14) eine Zuführ- und Entnahmeöffnung (33) für Trays (11) und eine Entnahme- öffnung (5) für die temperierten Bauelemente (12) aufweist, dass die Umlaufeinrichtung (15) eine Mehrzahl von Umlauf-Raststellungen anläuft, und dass die Zuführ- und Entnahmeöffnung (33) für Trays (11) und die Entnahmeöffnung (33) für die temperierten Bauelemente (12) derart benachbart zueinander angeordnet sind, dass sich das Tray (11) , aus dem die temperierten Bauelemente (12) entnommen worden sind, in der nächsten Umlauf-Raststellung der Umlaufeinrichtung (15) im Bereich der Zuführ- und Entnahmeöffnung (33) für Trays (11) befindet. |
Temperierkammer zum Temperieren von elektronischen Bauelementen, insbesondere ICs
Die Erfindung betrifft eine Temperierkämmer zum Temperieren von elektronischen Bauelementen, insbesondere ICs, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Elektronische Bauelemente, wie beispielsweise ICs (Halbleiterbauelemente mit integrierten Schaltungen) , werden üblicherweise auf Ihre Funktionsfähigkeit hin überprüft, bevor sie beispielsweise auf Leiterplatten montiert oder anderweitig verwendet werden. Die zu testenden Bauelemente werden hierbei von einem üblicherweise als "Handler" bezeichneten Handhabungsautomaten mit hoher Geschwindigkeit einer Testvorrichtung zugeführt und nach Durchführung des Testvorgangs in Abhängigkeit des Testergebnisses sortiert.
Um die Tests unter bestimmten Temperaturbedingungen durchzuführen, ist es weiterhin bekannt, die Bauelemente vor dem Testvorgang in einer Temperierkammer auf bestimmte Temperaturen zu temperieren. Diese Temperaturen können beispielsweise in einem Bereich zwischen -60' und +200 "C liegen.
Die Temperierung der Bauelemente erfolgt in einem entsprechend wärmeisolierten Gehäuse auf konvektive und/oder konduktive Weise. Bei der konvektiven Temperierung werden die Bauelemente in dem Gehäuse mit einer entsprechend tem- perierten Luft oder einem anderen Gas so lange umströmt, bis sie die gewünschte Temperatur erreicht haben. Bei der konduktiven Temperierung liegen die Bauelemente auf einer Heiz- oder Kühlplatte, von der dann die Wärmeübertragung auf die Bauelemente erfolgt.
Die Temperierung der Bauelemente benötigt normalerweise relativ viel Zeit, da es eine gewisse Weile dauert, bis die Bauelemente gleichmäßig auf die gewünschte Temperatur erwärmt oder abgekühlt sind. Dies kann den Testdurchsatz bedeutend verlangsamen. Mit bekannten Temperierkämmern lassen sich die gewünschten hohen Durchsätze häufig nicht erreichen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Temperier- kammer der eingangs genannten Art zu schaffen, mit welcher elektronische Bauelemente, insbesondere ICs, auf besonders schnelle und gleichmäßige Weise temperiert werden können.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Temperierkam- rner mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den weiteren Ansprüchen beschrieben.
Bei der erfindungsgemäßen Temperierkammer weist die inner- halb des Gehäuses angeordnete Haltevorrichtung zum Halten der Bauelemente eine Umlaufeinrichtung mit einer Mehrzahl von kreisförmig umlaufenden Tragelementen und zwei auf gegenüberliegenden Seiten der Tragelemente angeordneten
Stützeinrichtungen auf, an denen die Tragelemente derart gelagert sind, dass die Ausrichtung der Tragelemente bei ihrem Umlauf gleich bleibt.
Bei der erfindungsgemäßen Temperierkammer können somit durch eine entsprechende Anzahl von Tragelementen sehr viele Bauelemente gleichzeitig innerhalb des Gehäuses aufgenommen und temperiert werden. Das Zuführen und Entnehmen der Bauelemente kann auf sehr rationelle und schnelle Weise erfolgen, da durch ein Weiterdrehen der Haltevorrichtung diejenigen Tragelemente, von denen die bereits temperierten Bauelemente abgenommen worden sind, auf kurzem Weg in eine Position gebracht werden können, in der sie mit neuen, zu temperierenden Bauelementen bestückt werden. Weiterhin kann die Temperierung innerhalb des Gehäuses auf konvektive Weise und sehr gleichmäßig durchgeführt werden, da die Tragelemente und die zu temperierenden Bauelemente durch das Gehäuse hindurchbewegt und unterschiedlichen Luftströmungen ausgesetzt werden, wodurch örtliche Wärme- oder Kältenester vermieden werden können.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform bestehen die Tragelemente aus rechteckigen Tragplatten oder Tragrahmen, die zur Aufnahme von Trays ausgebildet sind, auf denen die Bauelemente liegen. Mit Hilfe derartiger Trays (Tabletts) kann eine Vielzahl von Bauelementen gleichzeitig in die Temperaturkammer eingeführt werden, so dass der Beladevorgang sehr schnell erfolgen kann. Die innerhalb der Temperaturkammer umlaufenden Tragelemente sind dabei derart ausgebildet, dass die Trays auf einfache und schnelle Weise auf die Tragelemente aufgeschoben oder auf diese aufgelegt werden können.
AIs Trays können beispielsweise spezielle Transport-Trays
("carrier") oder übliche Lagerungs-/Transport-Trays ("user trays"), auf denen die Bauelemente vereinzelt angeordnet sind, oder auch Auflagemittel für im Verbund angeordnete Bauelemente ("Strips") zum Einsatz kommen.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform bestehen die Stützeinrichtungen aus einem ersten und einem zweiten Drehkreuz, die um parallele, jedoch seitlich versetzte Achsen drehbar sind und Dreharme aufweisen, an denen die Tragelemente drehbar gelagert sind. Eine derartige Konstruktion ermöglicht auf relativ einfache Weise den gewünschten Umlauf der Tragelemente und damit der zu temperierenden Bauelemente innerhalb der Temperaturkammer, wo- bei die Tragelemente immer die gewünschte Ausrichtung beibehalten, insbesondere in horizontalen Ebenen verbleiben. Zum Bewegen der Tragelemente ist es lediglich erforderlich, eines der beiden Drehkreuze anzutreiben. Dies kann beispielsweise durch einen Antriebsmotor erfolgen, der außerhalb der Temperaturkämmer angeordnet ist und auf eines der beiden Drehkreuze einwirkt. Das andere Drehkreuz wird über die Tragelemente mitgedreht. Alternativ können auch auf beiden Seiten der Temperaturkammer Antriebsmotore vorgesehen sein, die auf beide Drehkreuze einwirken.
Alternativ zu den beiden Drehkreuzen mit seitlich versetzten Achsen wäre es auch denkbar, die Ausrichtung der Tragelemente bei ihrem Umlauf dadurch gleich zu halten, dass die Tragelemente in seitlichen, kreisförmig umlaufenden Kulissenführungen gelagert sind, die in den beiden seitlichen Stützeinrichtungen vorgesehen sind. In diesem Fall könnten die Tragelemente beispielsweise auch von einem seitlich angeordneten Drehkreuz oder von anderen Antriebs-
mitteln in Umlauf versetzt werden, die direkt auf die Lagerstellen der Tragelemente einwirken. In diesem Fall kann ein "kreisförmiger" Umlauf auch bedeuten, dass die Tragelemente auf einer ovalen oder annähernd mehreckigen Um- laufbahn umlaufen.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform sind die Tragelemente jeweils im Bereich zweier diagonal gegenüberliegender Ecken an den Dreharmen gelagert. Hierdurch ergibt sich eine besonders kippfreie Halterung der Tragelemente.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform weisen die Drehkreuze jeweils 2 bis 12, vorzugsweise 3 bis 7, gleichmäßig über den Umfang verteilte Dreharme auf. Zweckmäßigerweise entspricht dabei die Anzahl der Dreharme bzw. Tragelemente der Anzahl der Rastpositionen, welche ein Tragelement durchläuft, bis es wieder in seiner ursprünglichen Beladeposition angelangt ist.
Gegenüber einer vorteilhaften Ausführungsform weist das Gehäuse eine Zuführ- und Entnahmeöffnung für Trays und eine Entnahmeöffnung für die temperierten Bauelemente auf, wobei die öffnungen derart benachbart zueinander angeordnet sind, dass sich das Tray, aus dem die temperierten Bauelemente entnommen worden sind, in der nächsten Umlauf- Raststellung der Haltevorrichtung im Bereich der Zuführ- und Entnahmeöffnung für Trays befindet. In diesem Fall ist der Teilabschnitt des Umlaufwegs, den die Trays im entleerten Zustand innerhalb der Temperaturkammer zurückle- gen, sehr kurz, während die mit Bauelementen gefüllten Trays sehr lang in der Temperaturkammer verweilen können, bis sie über die Entnahmeöffung aus der Temperaturkammer entnommen werden.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Zeichnungen beispielhaft näher erläutert. Es zeigen:
Figur 1 : eine schematische Darstellung der erfin- dungsgemäßen Temperierkammer und umgebender Komponenten, die beim Testen elektronischer Bauelemente verwendet werden,
Figur 2 : die Temperierkammer von Figur 2 in Allein- Stellung,
Figur 3 : die Umlaufeinrichtung der Temperierkammer in Alleinstellung, wobei sich auf den Tragelementen Trays befinden, und
Figur 4 : eine schematische, teilweise aufgebrochene
Darstellung der erfindungsgemäßen Temperierkammer mit einer Pick and Place-Ein- heit sowie einer Flip-Einheit zum Handha- ben von Trays.
Anhand von Figur 1 wird zunächst schematisch und beispielhaft eine mögliche Anlage zum Testen elektronischer Bauelemente in Form von ICs beschrieben. Die Pfeile geben da- bei den Weg der Bauelemente an.
Die Bauelemente werden zunächst einer Ladeeinheit 1 zugeführt. Die Ladeeinheit 1 transportiert die Bauelemente zu einer Zuführöffnung 2 einer Temperierkammer 3 (Temperatur- kammer) , um sie innerhalb der Temperierkammer 3 auf die vorbestimmte Temperatur zu temperieren. Nachdem die zu testenden Bauelemente in der Temperierkammer 3 auf die gewünschte Temperatur gebracht worden sind, werden sie von
einer Transporteinheit 4, die beispielsweise eine Pick and Place-Einheit sein kann, über eine Entnahmeöffnung 5 aus der Temperierkammer 3 entnommen und einer HandlerZentraleinheit 6 zugeführt. Die Handlerzentraleinheit 6 enthält die notwendigen Einrichtungen zum Aufnehmen und Halten der Bauelemente, gegebenenfalls eine zusätzliche Temperierung der Bauelemente, und eine Bauelementbewegungseinrichtung, um die Bauelemente einem Testkopf 7 zuzuführen und nach Beendigung des Testvorgangs wieder vom Testkopf 7 zu ent- fernen. Weiterhin kann die Handlerzentraleinheit 6 bestimmte Einrichtungen enthalten, um auf die zu testenden Bauelemente in bestimmter Art und Weise einzuwirken, beispielsweise mit Beschleunigungen, Druck oder Neigung der Bauelemente. Der Testkopf 7 wird in bekannter Weise an die Handlerzentraleinheit 6 angedockt. Der Testkopf 7 ist Teil einer elektronischen Testvorrichtung, mit der die Bauelemente getestet und die Testergebnisse ausgewertet werden.
Nach Beendigung des Tests werden die Bauelemente von der Handlerzentraleinheit 6 wieder vom Testkopf 7 entfernt und mittels einer Entnahmeeinheit 8 (Unloader oder Pick and
Place-Einheit) einer Sortiereinheit 9 zugeführt. In der
Sortiereinheit 9 werden die Bauelemente in Abhängigkeit des Testergebnisses sortiert. Anschließend gelangen die Bauelemente zu einer Entladestation 10.
Alternativ zu dem dargestellten Ausführungsbeispiel kann die Temperierung auch in einer Temperierkammer 3 erfolgen, die ausschließlich in der Handlerzentraleinheit 6 angeord- net ist. Weiterhin muss die Zuführung der Bauelemente zur Handlerzentraleinheit 6 nicht über die Transporteinheit 4 in Form einer Pick and Place-Einheit erfolgen, sondern kann auch, wie dem Fachmann bekannt ist, über Schwerkraft
erfolgen. In diesem Fall handelt es sich um einen sogenannten Gravityhandler.
Anhand der Figuren 2 bis 4 werden im Folgenden Aufbau und Funktionsweise der erfindungsgemäßen Temperierkammer 3 beschrieben. In diesem Ausführungsbeispiel ist die Temperierkammer 3 derart aufgebaut, dass sie zur Aufnahme von Trays 11 geeignet ist, auf denen eine Vielzahl von Bauelementen 12 liegen. Bei diesen Trays 11 handelt es sich um spezielle Transport-Trays, die einerseits an die Temperierkammer angepasst sind und andererseits das übernehmen von Bauelementen aus üblichen Trays 13 (Figur 4) , in denen die Bauelemente 12 der Ladeeinheit 1 zugeführt werden, ermöglichen.
Die in den Figuren 2 bis 4 dargestellte Temperierkammer weist ein wärmeisoliertes Gehäuse 14 auf, in dem eine drehbare Umlaufeinrichtung 15 für einen kreisförmig umlaufenden Transport der Trays 11 und damit der auf den Trays 11 abgelegten Bauelemente 12 angeordnet ist. Die Umlaufeinrichtung 15 weist zwei Drehkreuze 16, 17 sowie Tragelemente 18 auf, auf welche die Trays 11 mit den Bauelementen 12 aufgelegt werden können.
Die beiden Drehkreuze 16, 17 sind in der Nähe der beiden Seitenwände 19, 20 angeordnet und in zueinander parallelen Vertikalebenen drehbar. Das erste Drehkreuz 16 ist um eine erste Drehachse 21 drehbar, während das zweite Drehkreuz 17 um eine zweite Drehachse 22 drehbar ist. Beide Dreh- achsen 21, 22 verlaufen horizontal und parallel zueinander, sind jedoch seitlich um ein Maß a versetzt. Die Lagerung der Drehkreuze 16, 17 erfolgt über Achsstummel 23, 24, welche in Lagerkonsolen 25, 26 drehbar gelagert sind.
Die Lagerkonsolen 25, 26 können in die Seitenwände 19, 20 integriert oder separat zu diesen in unmittelbarer Nähe der Seitenwände 19, 20 angeordnet sein. Es ist zu beachten, dass sich die Achsstummel 23, 24 nach innen nur bis zum jeweiligen Drehkreuz 16, 17 erstrecken, die somit jeweils nur einseitig gelagert sind.
Das Drehkreuz 17 wird, wie insbesondere aus den Figuren 2 und 3 ersichtlich, über einen Antriebsmotor 27, einen An- triebsriemen 28 und eine Riemenscheibe 29 in Umdrehung versetzt, die mit dem Achsstummel 24, der die Seitenwand 20 durchdringt, drehgekoppelt ist. Das andere Drehkreuz 16 wird über die Tragelemente 18 mitgedreht. Hierdurch werden die beiden Drehkreuze auf sehr einfache Weise synchron miteinander und in die gleiche Umdrehungsrichtung gedreht. Es ist alternativ jedoch auch möglich, beide Drehkreuze 16, 17 mit Antriebsmotoren synchron anzutreiben.
Die Drehkreuze 16, 17 weisen im vorliegenden Ausführungs- beispiel fünf gleich lange Dreharme 30 auf, die sich vom Mittelpunkt der Drehkreuze 16, 17 radial nach außen erstrecken und über den Umfang der Drehkreuze 16, 17 regelmäßig verteilt sind.
Die Tragelemente 18 sind horizontal zwischen den beiden Drehkreuzen 16, 17 angeordnet. Die Tragelemente 18 bestehen aus rechteckigen Tragplatten oder Tragrahmen, deren Größe im gezeigten Ausführungsbeispiel nur geringfügig größer ist als diejenige der darauf liegenden Trays 11. Wie ersichtlich, sind die Tragelemente 18 in diagonal gegenüberliegenden Eckenbereichen einerseits im freien Endbereich der Dreharme 30 des ersten Drehkreuzes 16 und andererseits im freien Endbereich der Dreharme 30 des zwei-
ten Drehkreuzes 17 drehbar gelagert. Da die Drehposition der beiden Drehkreuze 16, 17 derart aufeinander abgestimmt ist, dass die Dreharme 30 der beiden Drehkreuze 16, 17 die gleiche Winkelposition einnehmen, und darüber hinaus die beiden Drehachsen 21, 22 der Drehkreuze 16, 17 in einer Horizontalebene versetzt nebeneinander liegen, werden die Trays 11 in jeder Drehposition der Drehkreuze 16, 17 immer in horizontalen Ebenen gehalten. Die Anzahl der Tragelemente 18 und damit diejenige der darauf anordenbaren Trays 11 entspricht damit der Anzahl der Dreharme 30 eines jeden Drehkreuzes 16, 17. Wird das Drehkreuz 16 in Richtung des Pfeils 31 um die Achse 21 und das Drehkreuz 17 in Richtung des Pfeils 32 um die Achse 22 gedreht, werden die Tragelemente 18 und damit die darauf angeordneten Trays 11 durch die Temperierkammer bewegt, ohne dass sich die horizontale Ausrichtung der Trays 11 ändert.
Wie ersichtlich, sind der Antriebsmotor 27 und die Riemenscheibe 29 außerhalb des Gehäuses 14 angeordnet. Es ist somit lediglich erforderlich, den Achsstummel 24 durch die Seitenwand 20 des Gehäuses 14 hindurch zu führen und so lang auszubilden, dass die Riemenscheibe 29 auf dem Achs- stummel 24 befestigt werden kann.
Wie weiterhin aus Figur 2 ersichtlich, weist die Seitenwand 20 des Gehäuses eine seitliche Zuführ- und Entnahmeöffnung 33 auf, um die Trays parallel zu den Drehachsen 21, 22 der Drehkreuze 16, 17 zuführen und entnehmen zu können. Die Zuführ- und Entnahmeöffnung 33 (die der Zu- führöffnung 2 von Figur 1 entspricht) befindet sich in einem oberen Bereich, d.h. relativ nahe zur oberen Abschlusswand des Gehäuses 14, in der sich die Entnahmeöffnung 5 (Figur 1) befindet, durch welche die temperierten
Bauelemente 12 entnommen und der Handlerzentraleinheit 6 zugeführt werden können.
Von der seitlichen Zuführ- und Entnahmeöffnung 33 er- streckt sich eine horizontal ausgerichtete übernahmeplatte
34 horizontal nach außen, auf der die Trays 11 abgelegt werden können^ wie später noch anhand von Figur 4 näher beschrieben wird. Die übernahmeplatte 34 stellt somit eine seitlich vorstehende Beladerampe dar, über welche die Trays 11 in die Temperierkammer eingeführt werden können. Die Trays 11 werden dabei in Führungsnuten 35 geführt, die auf der Oberseite der übernahmeplatte 34 und der Tragelemente 18 in der Nähe und längs ihrer seitlichen Ränder vorgesehen sind. In diese Führungsnuten 35 greifen Füh- rungsstege 36 der Trays 11 ein, die sich an der Unterseite der Trays 11 längs ihrer Seitenränder befinden.
In der Stellung, die in Figur 2 dargestellt ist, befindet sich ein hinteres Tragelement 18a auf genau der gleichen Höhe wie die übernahmeplatte 34 und fluchtend zu dieser, so dass ein Tray 11, das auf die übernahmeplatte 34 aufgelegt worden ist, von dieser übernahmeplatte 34 in das Innere des Gehäuses 14 und auf das Tragelement 18a geschoben werden kann. In gleicher Weise kann ein leeres Tray 11, nachdem es die Temperierkammer 3 durchlaufen hat und die temperierten Bauelemente 12 nach oben über die Entnahme- öffnung 5 entfernt worden ist, wieder seitlich aus der Temperierkämmer 3 entnommen werden, wenn das Tragelement 18a mit dem leeren Tray 11 sich fluchtend zur übernahme- platte 34 befindet.
Wie aus Figur 2 weiterhin ersichtlich, sind im Bodenbereich der Temperierkammer 3 unterhalb der Umlaufeinrich-
tung 15 zwei Heizstrahler 37 und eine weitere elektrische Heizeinrichtung 37a zur Erzeugung der notwendigen Temperatur innerhalb des Gehäuses 14 angeordnet. Eine ebenfalls im Bodenbereich der Temperierkämmer 3 angeordnete Lüfter- trommel 38, die sich über den größten Teil der Breite des Gehäuses 14 erstreckt, sorgt für eine gleichmäßige Verteilung der von den Heizstrahlern 37 erwärmten Luft innerhalb der Temperierkammer 3.
Nachfolgend wird anhand von Figur 4 die Funktionsweise beim Beladen und Entladen der Temperierkämmer 3 näher beschrieben.
Die zu temperierenden und nachfolgend zu testenden Bau- elemente 11 liegen zunächst in üblichen Trays 13, die in Form eines Stapels aufeinander angeordnet sind. Ein leeres Tray 11 (Transport-Tray) wird mittels einer Flip-Einheit 40 auf den Stapel 39 aufgesetzt, um das oberste Tray 13 zusammen mit den darin befindlichen Bauelementen 11 abzu- heben. Die Flip-Einheit 40 dreht das Tray 11 zusammen mit dem daran gehalterten Tray 13 um eine horizontale Achse um 180' nach oben, wie durch den Pfeil 41 dargestellt ist. Das Tray 13 liegt nun über Kopf oberhalb des Transport- Trays 11, so dass die Bauelemente 11 auf das Transport- Tray 11 fallen. Das nunmehr leere Tray 13 wird mittels einer darüber angeordneten Pick and Place-Vorrichtung 42 erfasst, in Richtung des Pfeils 43 seitlich verschoben und anschließend in Richtung des Pfeils 44 seitlich neben dem Stapel 39 abgelegt, wodurch sich ein Stapel 45 leerer Trays 13 bildet. Hierzu weist die Pick and Place-Vorrichtung 42 in grundsätzlich bereits bekannter Weise einen Haltekopf 46 auf, der in zwei orthogonalen horizontalen Richtungen verfahrbar und in vertikaler Richtung bewegbar
ist sowie gegebenenfalls zusätzlich auch um mindestens eine Achse drehbar sein kann.
Das Transport-Tray 11, das von der Flip-Einheit 40 zusam- men mit den Bauelementen 11 in der angehobenen Stellung gehalten wird, die zur Ebene der übernahmeplatte 34 fluchtet, wird von einer nicht näher dargestellten Vorrichtung auf die übernahmeplatte 34 geschoben, wie durch den Pfeil 47 angedeutet. Von dort wird das Transport-Tray 11 mittels einer nicht im Detail dargestellten Transportvorrichtung in das Innere des Gehäuses 14 und auf das Tragelement 18a geschoben, das sich auf gleicher Höhe wie die übernahmeplatte 34 befindet.
Die Umlaufeinrichtung 14 wird nun mittels des Antriebsmotors 27 derart in Umdrehung versetzt, dass sich das Tragelement 18a zusammen mit dem darauf befindlichen Tray 11 nach unten um einen Drehwinkel von 72' (1/5 von 360') dreht. In dieser ersten Halteposition befindet sich das benachbarte Tragelement 18b, das sich vorher in der obersten Position im Bereich der Entnahmeöffnung 5 befand, wieder in gleicher Höhe wie die übernahmeplatte 34. Ein gegebenenfalls vorhandenes leeres Transport-Tray 11, das sich auf diesem Tragelement befindet, kann nunmehr seitlich aus dem Gehäuse 14 hinaus und auf die übernahmeplatte 34 geschoben werden. Von dort kann es in den Eingriffsbereich der Flip-Einheit 40 gebracht und von dieser auf ein gefülltes Tray 13 des Stapels 39 abgesenkt werden, um dieses mit Bauelementen 12 gefüllte Tray 13 in der bereits be- schriebenen Weise anzuheben und das Transport-Tray 11 zusammen mit noch nicht temperierten Bauelementen 11 auf die übernahmeplatte 34 und von dort auf das wartende, leere Tragelement 18 zu befördern. Anschließend wird die Umlauf-
einrichtung 15 wieder um einen Schritt von 12' weiter gedreht, wo sich die beschriebenen Vorgänge des Entfernens und Zuführens eines Transport-Trays 11 durch die seitliche Zuführ- und Entnahmeöffnung 33 wiederholt.
Durch schrittweises Drehen der Umlaufeinrichtung 15 in Richtung ^es Pfeils 31 gelangt jedes Tragelement 18 in den Bereich seitlich neben der übernahmeplatte 34, so dass es mit einem mit Bauelementen 11 gefüllten Transport-Tray 11 beladen werden kann. Nachdem ein beladenes Tragelement 18 4/5 seiner gesamten Umlaufstrecke zurückgelegt hat, befindet es sich in seiner obersten Stellung direkt unterhalb der Entnahmeöffnung 5, die sich im Deckelteil des Gehäuses 14 befindet. Dieses oberste Tragelement ist in den Figuren 2 und 4 mit dem Bezugszeichen 18b versehen. Die auf dem zugeordneten Tray 11 liegenden Bauelemente 12 können nunmehr mittels der Transporteinheit 4 (Pick and Place-Ein- heit) in Richtung des Trays 48 abgehoben und der Handlerzentraleinheit 6 zugeführt werden (Figuren 1 und 4) .
Da die Entnahmeposition der Bauelemente 11 in Umlaufrichtung der Umlaufeinrichtung 15 unmittelbar vor der Beladeposition der Temperierkammer 3 liegt, muss das entleerte Tray 11 nur um ein sehr kleines Stück, nämlich 72', wei- tergedreht werden, um wieder in die Beladeposition zu kommen. Der weitaus größte Teil der Umlaufstrecke steht somit zum Temperieren der Bauelemente 11 zur Verfügung. Ein weiterer Vorteil ist, dass das oberste Tragelement 18b zusammen mit dem darauf liegenden Tray 11 die obere Entnahme- öffnung 5 fast vollständig verschließen kann, so dass eine Wärmeströmung durch die Entnahmeöffnung 5 während des Ent- nehmens der Bauelemente 12 minimiert werden kann. Weiterhin kann auch die seitliche Zuführ- und Entnahmeöffnung 33
sehr klein gehalten und vorzugsweise mit einem Schiebeoder Klappenmechanismus verschlossen werden, so dass die Temperaturverluste auch durch diese Zuführ- und Entnahme- öffnung 33 hindurch minimiert werden können.