Title:
TEMPLATE MATCHING PROCESSING DEVICE AND TEMPLATE MATCHING PROCESSING PROGRAM
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2011/138882
Kind Code:
A1
Abstract:
Disclosed is a template matching processing device which is capable of calculating a corresponding coincidence degree in template matching between a design image and a captured image, even in the case where a shape change is great. In the template matching processing device, matching processing between a design image and a captured image is performed to cut out a partial design image which is cut out as a highest correlation part (Step 101), processing for changing the captured image in accordance with the cut-out design image is performed (Steps 102 to 105), and a coincidence degree is detected by determining the correlation between the changed image and the design image.
Inventors:
TAGUCHI, Jun'ichi (HITACHI LTD., 292, Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
田口 順一 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 システム開発研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
IKEDA, Mitsuji (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
池田 光二 (〒04 茨城県ひたちなか市大字市毛８８２番地 株式会社日立ハイテクノロジーズ 那珂事業所内 Ibaraki, 〒3128504, JP)
ABE, Yuichi (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
田口 順一 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 システム開発研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
IKEDA, Mitsuji (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
池田 光二 (〒04 茨城県ひたちなか市大字市毛８８２番地 株式会社日立ハイテクノロジーズ 那珂事業所内 Ibaraki, 〒3128504, JP)
ABE, Yuichi (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
Application Number:
JP2011/056444
Publication Date:
November 10, 2011
Filing Date:
March 17, 2011
Export Citation:
Assignee:
HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION (24-14, Nishi Shimbashi 1-chome Minato-k, Tokyo 17, 〒1058717, JP)
株式会社日立ハイテクノロジーズ (〒17 東京都港区西新橋一丁目２４番１４号 Tokyo, 〒1058717, JP)
TAGUCHI, Jun'ichi (HITACHI LTD., 292, Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
田口 順一 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 システム開発研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
IKEDA, Mitsuji (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
池田 光二 (〒04 茨城県ひたちなか市大字市毛８８２番地 株式会社日立ハイテクノロジーズ 那珂事業所内 Ibaraki, 〒3128504, JP)
株式会社日立ハイテクノロジーズ (〒17 東京都港区西新橋一丁目２４番１４号 Tokyo, 〒1058717, JP)
TAGUCHI, Jun'ichi (HITACHI LTD., 292, Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-sh, Kanagawa 17, 〒2440817, JP)
田口 順一 (〒17 神奈川県横浜市戸塚区吉田町２９２番地 株式会社日立製作所 システム開発研究所内 Kanagawa, 〒2440817, JP)
IKEDA, Mitsuji (HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION 882, Oaza Ichige, Hitachinaka-sh, Ibaraki 04, 〒3128504, JP)
池田 光二 (〒04 茨城県ひたちなか市大字市毛８８２番地 株式会社日立ハイテクノロジーズ 那珂事業所内 Ibaraki, 〒3128504, JP)
International Classes:
G06T7/00; G01B11/00; G01B15/00; H01L21/66
Attorney, Agent or Firm:
TSUTSUI, Yamato (Tsutsui & Associates, 3F Shinjuku Gyoen Bldg. 3-10, Shinjuku 2-chome, Shinjuku-k, Tokyo 22, 〒1600022, JP)
Claims: