Die Erfindung betrifft ein Testgas-Lecksuchgerät mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentanspruchs 1.

Ein Testgas-Lecksuchgerät mit diesen Merkmalen ist aus der DE-A-31 24 205 bekannt. Bei einem Lecksuchgerät dieser Art kann die Lecksuche zweistufig durchgeführt werden. Solange der Druck im Einlaßbereich noch relativ hoch ist, bleibt das in der zum Zwischenanschluß führenden Leitung befindliche Ventil geschlossen. Das von der Vorvakuumpumpe angesaugte Gasgemisch gelangt auf die Vorvakuumseite der zweiten Reibungspumpenstufe. Ist in diesem Gas infolge eines relativ groben Lecks im Prüfling bereits Testgas (z.B. Helium) vorhanden, dann gelangt dieses im Gegenstrom durch beide Reibungspumpenstufen zum Detektor und wird registriert. Ist der Prüfling nicht grob undicht, kann bei ausreichend niedrigem Druck im Einlaßbereich des Lecksuchers das Ventil in der zum Zwischenanschluß führenden Leitung geöffnet werden, so daß die Lecksuche mit einer höheren Empfindlich¬ keit durchgeführt werden kann.

Beim beschriebenen Lecksuchgerät nach dem Stand der Technik ist die Vorvakuumpumpe eine ölgedichtete Pumpe, so daß die Gefahr besteht, daß öldämpfe in den am Einlaß des

Lecksuchgerätes angeschlossenen Prüfling oder Test-Rezipi- enten gelangen.

Der Erfindung liegt zunächst die Aufgabe zugrunde, ein Testgas-Lecksuchgerät der hier betroffenen Gattung derart z gestalten, daß eine ölfreie Lecksuche möglich ist.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die Vorvakuumpumpe als Membranvakuumpumpe ausgebildet ist. Membranvakuumpumpen sind in der Lage, ein vollständig ölfreies Vakuum zu erzeugen. Die Gefahr, daß öldämpfe aus der Vorpumpe in den Einlaßbereich des Lecksuchgerätes gelangen, besteht nicht mehr.

ReibungsVakuumpumpen können nur mit einem Vorvakuumdruck betrieben werden, dessen obere Grenze bei wenigen (z.B. 5) bar liegt. Membranvakuumpumpen haben einen Enddruck, der ebenfalls in dieser Größenordnung liegt. Der Betrieb einer Reibungsvakuumpumpe mit einer Membranvakuumpumpe als Vor¬ pumpe setzt deshalb voraus, daß die Membranvakuumpumpe in der Nähe ihres Enddruckes betrieben wird. Mit zunehmender Annäherung des Druckes an den Enddruck geht jedoch das Saugvermögen einer Membranvakuumpumpe gegen Null. Da die Ansprechzeit eines Lecksuchers der hier betroffenen Art maßgeblich vom Saugvermögen der Vorpumpe abhängt, wird dies beim Einsatz von Membranvakuumpumpen als Vorpumpen sehr lang.

Der Erfindung liegt weiterhin die Aufgabe zugrunde, die Ansprechzeit eines mit einer Membranpu pe als Vorpumpe ausgestatteten Lecksuchgerätes der vorliegenden Art zu verkürzen.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die Verbindungsleitung zwischen dem Einlaß des Lecksuchgerätes und den Zwischenanschluß in Bezug auf ihren Leitwert regel¬ bar ist. Der Leitwert der Verbindungsleitung muß derart

geregelt sein, daß er möglichst hoch ist; es darf jedoch derjenige Druck zwischen den beiden Reibungspumpen nicht überschritten werden, der notwendig ist, um den Betriebs¬ druck im Massenspektrometer-Detektor aufrechtzuerhalten. Dadurch besteht die Möglichkeit, den Einlaß des Lecksuchge¬ rätes sehr früh über die gedrosselte Verbindungsleitung mit dem Zwischenanschluß zu verbinden, auch wenn zu diesem Zeitpunkt der Druck im Bereich des Einlasses des Lecksuch¬ gerätes noch größer ist als der maximal zulässige Druck zwischen den beiden Reibungspumpenstufen. Der wesentliche Vorteil dieser Maßnahme liegt darin, daß bereits sehr früh das gegenüber der Membranpumpe wesentlich höhere Saugvermö¬ gen der zweiten Reibungspumpenstufe zur Verfügung steht, was eine wesentliche Verkürzung der Ansprechzeit zur Folge hat.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand der Figuren 1 und 2 erläutert werden. Es zeigen

Figur 1 ein Ausführungsbeispiel für ein Testgas-Leck¬ suchgerät nach der Erfindung und

Figur 2 ein Ausführungsbeispiel für ein bzgl. seines Leitwertes einstellbares Ventil.

Im Diagramm nach Figur 1 sind das Lecksuchgerät allgemein mit 1, sein Einlaß mit 2, der als Massenspektrometer ausge¬ bildete Testgasdetektor mit 3, die zweistufige Reibungsva¬ kuumpumpe mit 4, die erste als Turbomolekularpumpe ausge¬ bildete Reibungspumpenstufe mit 5, der Zwischenanschluß mit 6, die zweite als Gewindestufe ausgebildete Reibungβvakuum- pumpenstufe mit 7 und die als Vorpumpe verwendete Membran- pu pe mit 6. Die Auslaßseite der zweiten Reibungspumpenstufe 7 steht mit der Einlaßseite 9 der Membranpu pe 8 in Verbin¬ dung, und zwar über die Leitung 11 mit dem Ventil 12. Der Einlaß 2 des Lecksuchgerätes 1 steht über die Verbindungs¬ leitung 13 mit dem Ventil 14 mit der Einlaßseite 9 der Membranpumpe 8 in Verbindung. Außerdem kann die Verbindung

zwischen dem Einlaß 2 des Lecksuchgerätes 1 und dem Zwi¬ schenanschluß über die Leitung 15 mit dem Ventil 16 herge¬ stellt werden.

Zur Überwachung des Druckes im Bereich des der Eintritts- seite 9 der Membranpumpe 8 ist das Druckmeßgerät 17 vorge¬ sehen. Es liefert seine Signale an einen Regler (Block 18). Dieser steht mit dem Ventil 16 in Verbindung.

Zur Durchführung einer Lecksuche wird beispielsweise ein Prüfling an den Einlaß 2 des Testgaslecksuchgerätes 1 angeschlossen. Bei geschlossenen Ventilen 12 und 16 wird er über die Leitung 13 vorevakuiert. Bei ausreichend niedrigem Druck (ca. 5 mbar) beginnt die Lecksuche mit dem öffnen des Ventils 12. Ist ein relativ grobes Leck im Prüfling vorhan¬ den, gelangt Testgas auf die Vorvakuumβeite der Reibungs- pumpe 4 und von dort aus im Gegenstrom zum Detektor 3. In diesem Fall wird die Lecksuche beendet.

Wird noch kein Testgas registriert, wird die Evakuierung des Prüflings über die Leitung 13 fortgesetzt. Beim Lecksuchge- rät nach dem Stand der Technik muß so lange evakuiert werden, bis der Druck im Einlaßbereich dem Druck am Zwischen¬ anschluß 6 entspricht. Erst dann kann das Ventil 16 zur Einleitung einer hochempfindlichen Lecksuchphase geöffnet werden. Da beim dargestellten Ausführungsbeispiel die Vorpumpe eine Membranpumpe ist, würde es wegen des abneh¬ menden Saugvermögens sehr lange dauern, bis mit der emp¬ findlicheren Lecksuche begonnen werden kann. Auch die Ansprechzeit des Lecksuchers - Zeit zwischen dem Eintritt von Testgas in den Einlaß 2 und der Registrierung im Detek¬ tor 3 - ist bei geschlossenem Ventil 16 noch sehr lang.

Da der Leitwert des Ventils 16 einstellbar ist, besteht die Möglichkeit, die Verbindung des Einlasses 2 zum Zwischenan- schluß 6 bereits zu einem Zeitpunkt zu öffnen, zu dem der Einlaßdruck noch höher ist als der notwendige Druck am

Zwischenanschluß 6. Der Leitwert in der Verbindungsleitung muß derart geregelt werden, daß das Ventil 16 die jeweils erforderliche Druckdifferenz aufrechterhält. Mit abnehmendem Druck am Einlaß 2 nimmt der Leitwert des Ventils 16 zu. Es ist vollständig geöffnet, wenn der Einlaßdruck dem Druck am Zwischenanschluß 6 entspricht.

Zweckmäßig erfolgt die beschriebene Regelung automatisch in Abhängigkeit vom Druck am Zwischeneinlaß 6 oder auch - wie beim Ausführungsbeispiel realisiert - in Abhängigkeit vom Vorvakuumdruck, gemessen mit dem Druckmeßgerät 17. Dieses liefert seine Signale an den Regler 18, der den Leitwert des Ventils 16 entsprechend den gewünschten Druckverhältnissen regelt.

Figur 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel für das regelbare Ventil 16. Der einstellbare Ventilstempel 21 umfaßt einen Ventilteller 22 mit einem O-Ring 23. Liegt der O-Ring 23 dem Sitz 24 auf, ist das Ventil 16 geschlossen. Der Ventilteller 22 ist mit einem Kegel 25 ausgerüstet, der je nach Stellung des Ventilstempels 21 mehr oder weniger in die korrespon¬ dierend zum Kegel 25 konisch gestaltete Ventilöffnung 26 eintaucht. Die Größe des freien Ringspaltes zwischen Kegel 25 und Öffnung 26 ist dadurch variierbar.

Statt des beschriebenen regelbaren Ventils 16 ist auch der Einsatz von zwei oder noch mehr Ventilen mit Blenden oder anderen Leitwertbegrenzungen möglich. Damit wird abhängig vom Einlaßdruck sukzessive von einem zum anderen Ventil mit dem jeweils größeren Leitwert geschaltet.