Die Erfindung betrifft eine thermische Strahlungsquelle, die ein Gehäuse, ein elektrisch betriebenes Strahlungselement, welches in dem Gehäuse angeordnet ist, sowie ein homogenes Austrittsfenster, durch welches eine von dem Strahlungselement emittierte, elektromagnetische Strahlung aus dem Gehäuse ausgesandt wird, umfasst.

Die Erfindung umfasst ebenfalls zwei Verfahren zur Messung der Temperatur eines Austrittsfensters der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle und / oder der Strahlungsleistung einer emittierten Strahlung der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle durch ein Austrittsfenster .

Thermische Strahlungsquellen finden vor allem in der Analyse- und Messtechnik Anwendung, um z. B. die Konzentration von Stoffen (Gase, Flüssigkeiten, Feststoffe) zu detektieren. Ein weiteres großes Einsatzgebiet ist die Medizintechnik zur Behandlung und Linderung von Krankheiten und Verletzungen. In allen Anwendungsfällen ist eine genaue Kenntnis über die ausgesandte Strahlungsleistung bzw. Strahlungsdosis des Strahlungselementes der thermischen Strahlungsquelle notwendig, um exakte, reproduzierbare und langzeitstabile Messungen bzw. definierte Behandlungen durchführen zu können. Die Strahlungsleistung P _s einer thermischen Strahlungsquelle hängt im Wesentlichen von seiner Temperatur T ab und wird durch das Stefan-Boltzmann- Gesetz beschrieben:

P _s = s e A T ⁴ mit der Stefan-Boltzmann-Konstante s sowie dem Emissionsgrad e und der Fläche A der Strahlungsquelle. Die Wellenlänge A _nax , bei der das Maximum der Ausstrahlung liegt und wodurch die spektrale Verteilung bestimmt wird, hängt ebenfalls von der Temperatur T der Strahlungsquelle ab und wird durch das Wiensche Verschiebungsgesetz beschrieben:

_Ί _ 2897,8mpi·K

Aghac _j Überdies ist es vor allem bei medizinischen und therapeutischen Anwendungen von großer Bedeutung, neben der Strahlungsdosis auch die Temperatur des Austrittsfensters zu kennen, damit es bei direktem Hautkontakt nicht zu einer Verbrennung der Haut kommen kann. Eine thermische Strahlungsquelle 1 besteht im Wesentlichen aus einem elektrisch betriebenen Strahlungselement 2, z. B. einem Heizleiterelement, das in einem Gehäuse 3 angeordnet ist, wobei die Strahlung des Strahlungselements durch ein Austrittsfenster 4 aus dem Gehäuse 3 ausgesandt wird (Fig. 1). Das Strahlungs- oder Heizleiterelement 2 wird dabei typischerweise auf eine Temperatur > 500 °C erwärmt, um ein breites Emissionsspektrum im infraroten Spektralbereich zu erzeugen. Für Anwendungen im sichtbaren und nahinfraroten Bereich sind deutlich höhere Temperaturen von > 1000 °C notwendig. D. h. die Temperatur ist je nach Anwendung und Einsatzbereich regelbar, um ein gewünschtes Emissionsspektrum mit der thermischen Strahlungsquelle zu erzielen. Aus dem Stand der Technik sind Silizium-basierte MEMS- Bauelemente mit integrierten Temperatursensoren bekannt, z. B. aus der US 5,391,875 A, womit die Temperatur des Si- Chips gemessen werden kann. In der US 8,859,303 B2 ist dies beispielsweise für eine thermische Infrarot-Strahlungsquelle beschrieben. Mit Hilfe des integrierten Temperatursensors wird die Temperatur der Strahlungsquelle gemessen, wodurch eine Regelung der Temperatur der Strahlungsquelle möglich ist. Über die Zusammenhänge der Strahlungsgesetze wird damit die ausgesandte Strahlungsleistung abgeschätzt und versucht konstant zu halten. Allerdings ist damit keine exakte Bestimmung der tatsächlich aus dem Gehäuse der Strahlungsquelle ausgesandten Strahlungsleistung möglich sowie auch keine Überwachung von Alterungserscheinungen der Strahlungsquelle. Zum Beispiel hat die räumliche Abstrahlcharakteristik von thermischen Strahlungsquellen zur Folge, dass ein Teil der emittierten Strahlung im Gehäuse gefangen bleibt. Ebenso führen Änderungen des Emissionsgrads, z. B. durch Oxidation oder Alterung, zu einer Änderung der Strahlungsleistung.

Aus der US 2016/0361449 Al ist eine Elektronenstrahl- Sterilisationsvorrichtung zum Sterilisieren eines Verpackungsbehälters durch Bestrahlung mit Elektronen aus einer Elektronenstrahlquelle bekannt. Für eine zuverlässige Sterilisation muss eine Mindestelektronenenergie bzw. Strahlintensität der Elektronen der Elektronenstrahlquelle gewährleistet werden, wobei die emittierten Elektronen am Austrittsfenster der Vorrichtung Temperaturen im Bereich von 300°C bis 400°C erzeugen. Die abgegebene Energie bzw. Strahlintensität der Elektronen aus der

Elektronenstrahlquelle wird über eine Messung der Temperatur innerhalb des Gehäuses oder am Austrittsfenster der Vorrichtung bestimmt. Nachteilig ist die aufwendige Konstruktion des Austrittsfensters aus Kupferrippen und einer die Kupferrippen überspannenden Metallfolie mit einer Durchlässigkeit für Elektronen, aber nicht für elektromagnetische Strahlung. Die für die Messung der Temperatur verwendeten Thermoelemente sind auf den Kupferrippen oder der Metallfolie angeordnet und mit einem Material bedeckt, welches geeignet ist, Wärme zu erzeugen, wenn es mit Elektronen beaufschlagt wird. Die von den Thermoelementen detektierte Temperatur wird für die Bestimmung der Strahlintensität der emittierten Elektronen der Elektronenstrahlquelle benutzt, d.h. die Thermoelemente müssen im Elektronenstrahl angeordnet sein. Aufgrund der höheren Wärmekapazität der verwendeten Thermoelemente im Vergleich zur Wärmekapazität der nur 4 bis 12 pm dicken Metallfolie erfolgt keine direkte Messung der Temperatur des Austrittsfensters. Die Strahlungsintensität einer thermischen Strahlungsquelle kann mit der Vorrichtung aus der US 2016/0361449 Al nicht gemessen werden, da die thermische Strahlung an dem (metallischen) Austrittsfenster reflektiert werden würde.

In der DE 19807 453 Al wird eine Vorrichtung zur Erzeugung von Wärmestrahlung für medizinische und therapeutische Anwendungen, wie z. B. die Heilung von Insektenstichen, beschrieben. Eine Verbrennung der Haut wird hier durch einen verschiebbaren Schutzmantel zur Aufrechterhaltung eines Sicherheitsabstands erreicht. Eine Messung der Strahlungsleistung bzw. Strahlungsdosis und / oder der Temperatur der Kontaktfläche, d. h. eines Austrittsfensters, erfolgt nicht. Eine optimale und dosierte Behandlung ist mit diesem Aufbau nicht möglich. Zudem besteht eine Verbrennungsgefahr, wenn der Sicherheitsabstand falsch eingestellt ist.

Zusammenfassend ist bis dato keine Vorrichtung für eine integrierte Lösung bekannt, die eine Messung der von einer thermischen Strahlungsquelle ausgesandten Strahlungsleistung bzw. Strahlungsdosis und / oder die eine Messung der Oberflächentemperatur des Austrittsfenster einer thermischen Strahlungsquelle ermöglicht. Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Möglichkeit zu schaffen, die von einer thermischen Strahlungsquelle die ausgesandte Strahlungsleistung bzw. Strahlungsdosis und / oder die Oberflächentemperatur des Austrittsfensters einer solchen thermischen Strahlungsquelle messen kann.

Die Aufgabe wird durch eine thermische Strahlungsquelle gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1 gelöst.

Die erfindungsgemäße thermische Strahlungsquelle umfasst ein homogenes Austrittsfenster, wobei das Austrittsfenster einen Durchlassbereich, einen Kontaktierungsbereich sowie einen Messbereich aufweist, wobei der Messbereich und der Durchlassbereich getrennt voneinander und / oder teilweise überlappend ausgebildet sind, wobei ein Temperatur- und / oder Strahlungssensor zur Messung der Temperatur des Austrittsfensters innerhalb des Messbereichs des

Austrittsfensters angeordnet ist, wobei der Temperatur- und / oder Strahlungssensor über den Kontaktierungsbereich des Austrittsfensters elektrisch kontaktiert ist.

Unter einem homogenen Austrittsfenster wird ein Austrittsfenster verstanden, welches eine homogene Dicke im Bereich von 200mpibis 2mm aufweist, besteht und gegenüber einem verwendeten Temperatur- und / oder Strahlungssensor eine wesentlich höhere Wärmekapazität aufweist.

Der Vorteil gegenüber bisher bekannten Lösungen liegt insbesondere darin, dass die tatsächlich aus dem Gehäuse der Strahlungsquelle ausgesandte Strahlungsleistung bzw. die Temperatur des Austrittsfensters gemessen wird und somit geregelt und überwacht werden kann.

Dies wird insbesondere dadurch erreicht, dass das Austrittsfenster der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle in drei verschiedene Funktionsbereiche gegliedert ist, einen Durchlassbereich, einen Kontaktierungsbereich und einen Messbereich. Der Durchlassbereich kennzeichnet den Funktionsbereich des Austrittsfensters, aus dem die von dem Strahlungselement der thermischen Strahlungsquelle emittierte Strahlung aus dem Gehäuse in die Umgebung abgestrahlt wird. Der Durchlassbereich sollte vorzugsweise der Größe des Strahlungselementes entsprechen. Der Messbereich kennzeichnet den Funktionsbereich des Austrittsfensters, innerhalb dem der Temperatursensor und / oder Strahlungssensor angeordnet ist. Der Kontaktierungsbereich kennzeichnet den Funktionsbereich des Austrittsfensters, in welchem die Kontaktierung von dem Temperatur- und / oder Strahlungssensor erfolgt, wobei der Kontaktierungsbereich im Randbereich des Austrittsfensters ausgebildet ist, wo das Austrittsfenster in Kontakt mit dem Gehäuse der thermischen Strahlungsquelle steht. Das Austrittsfenster weist bei einer Betrachtung seines Querschnitts von innen nach außen den Durchlassbereich, einen daran anschließenden Messbereich und einen wiederum daran anschließenden Kontaktierungsbereich auf, wobei allerdings der Durchlassbereich und der Messbereich getrennt voneinander und / oder teilweise überlappend ausgebildet sein können. Teilweise überlappend im Sinne der Erfindung bedeutet, dass der Messbereich auch im Durchlassbereich des Austrittsfensters ausgebildet sein kann, z. B. indem mittig im Durchlassbereich ein Temperatur- und / oder Strahlungssensor angeordnet ist, der über schmale Anschlussbahnen, die durch den Durchlassbereich zum Kontaktierungsbereich geführt sind, kontaktiert ist.

Das Material des Austrittsfensters ist vorzugsweise Saphir, da Saphir über einen weiten Wellenlängenbereich transparent, zudem sehr robust, chemisch inert und damit auch biokompatibel ist. Alternativ können aber auch andere infrarotdurchlässige Materialien, wie z. B. Silizium, Germanium, Kalziumfluorid, Bariumfluorid oder Zinkselenid, verwendet werden.

Als Temperatur- und / oder Strahlungssensor im Messbereich des Austrittsfensters wird vorzugsweise ein Platin- Messwiderstand in Dünnschichttechnik eingesetzt, weil dieser einen nahezu temperaturlinearen Widerstandsverlauf und einen weiten Temperaturmessbereich aufweist sowie kostengünstig hergestellt werden kann. Grundsätzlich kann aber auch jeder andere Temperatur- oder Strahlungssensortyp eingesetzt werden, wie z. B. Halbleitersensoren oder Thermoelemente.

Für die Kontaktierung der Temperatur- und / oder Strahlungssensoren im Messbereich kann beispielsweise Indium-Zinn-Oxid (ITO) eingesetzt werden, wie es z. B. als transparente Dünnschicht-Leiterbahn bei OLEDs eingesetzt wird. Wird ITO als Material für die Leiterbahnen auf dem Austrittsfenster eingesetzt, kann der Messbereich in der Mitte (oder räumlich beliebig) auf dem Austrittsfenster angeordnet sein, d.h. teilweise überlappend mit dem Durchlassbereich. Wenn zudem der Temperatursensor und / oder Strahlungssensor transparent für die Strahlung ist, dann können der Messbereich und der Durchlassbereich in einer Variante deckungsgleich ausgebildet sein.

Durch das Aufbringen eines Temperatur- und / oder Strahlungssensors auf das Austrittsfenster der thermischen Strahlungsquelle kann u. a. die Qualität und die Zuverlässigkeit von Messungen, beispielsweise in der Stoffanalyse, verbessert werden. Unter dem Aufbringen eines Temperatur- und / oder Strahlungssensors innerhalb des Messbereichs des Austrittsfensters wird im Sinne der Erfindung verstanden, dass der Temperatur- und / oder Strahlungssensor, z. B. mittels Dünnschichttechnik oder Schablonen- / Sieb-Druck-Verfahren direkt auf die Oberfläche des Austrittsfensters aufgebracht wird oder auf dem Austrittsfenster, z. B. durch Kleben, aufgebracht wird bzw. angeordnet ist. Dadurch lassen sich auch Alterungserscheinungen der Strahlungsquelle besser überwachen. Bei medizinischen und therapeutischen Anwendungen lässt sich die Strahlungsdosis exakt messen und auf die Behandlung abstimmen. Durch die Messung der Oberflächentemperatur des Austrittsfensters lassen sich Verbrennungen bei Anwendungen mit Hautkontakt vermeiden bzw. werden dadurch Anwendungen mit Hautkontakt erst sinnvoll möglich. Das erhöht die Zuverlässigkeit der medizinischen Geräte und sorgt für eine optimale Behandlung. Bei Anwendungen in der Analytik und Messtechnik, wie z. B. in der Gasanalyse, lassen sich zudem temperaturabhängige spektrale Verschiebungen der Transmissionseigenschaften des Austrittsfensters, insbesondere an Filterkanten, bestimmen und quantifizieren und in der Messung korrigieren. Das erhöht die Messgenauigkeit und Zuverlässigkeit.

Besonders vorteilhaft ist die Kombination der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle mit einem Gehäuse für die Oberflächenmontage, einem sogenannten SMD- Gehäuse (Surface Mount Device-Gehäuse), weil dadurch ein hochintegriertes Bauteil ohne externe Kontaktierung, eine sehr flache Bauweise und die Möglichkeit einer vollautomatisierten Fertigung erreicht werden.

In einer Ausgestaltung der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle ist der Messbereich von dem Durchlassbereich und dem Kontaktierungsbereich umfasst ausgebildet. D. h. der Messbereich wird von dem Durchlassbereich und Kontaktierungsbereich eingegrenzt. Der oder die Temperatur- und / oder Strahlungssensoren sind dabei im Messbereich angeordnet. Das hat den Vorteil, dass in unmittelbarer Umgebung des Durchlassbereichs des Austrittsfensters, dort wo die Strahlung hindurchtritt, die Temperatur bzw. die Strahlungsleistung direkt gemessen werden kann.

In einer anderen Ausgestaltung der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle ist der Messbereich deckungsgleich mit dem Durchlassbereich ausgebildet. Das hat den Vorteil, dass die Temperatur bzw. die Strahlungsleistung direkt im Austrittsfenster, beispielsweise in der Mitte des Austrittsfensters, dort wo die Strahlung hindurchtritt, gemessen werden kann.

In einer weiteren Ausgestaltung der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle weist das Austrittsfenster eine rechteckige, quadratische oder eine runde Form auf. Eine rechteckige oder quadratische Form des Austrittsfensters ist insbesondere für Gehäuse der Oberflächenmontage, sogenannte SMD-Gehäuse, aber auch eckige Gehäuseformen der Durchsteckmontage geeignet. Ein rundes Austrittsfenster wird vorzugsweise für runde Gehäuseformen, wie z. B. bei TO- Gehäusen, eingesetzt.

In einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle ist der Temperatur- und / oder Strahlungssensor deckungsgleich mit dem Messbereich des Austrittsfensters ausgebildet. Deckungsgleich bedeutet im Sinne der Erfindung, dass der Temperatur- und / oder Strahlungssensor im Messbereich des Austrittsfensters vorteilhafterweise umlaufend bzw. die gleiche Fläche wie der Messbereich aufweisend ausgebildet ist, so dass Temperatur und Strahlungsleistung möglichst exakt gemessen werden können, d. h. im gesamten Messbereich des Austrittsfensters ist mittels des Temperatur- und / oder Strahlungssensors die Temperatur bzw. Strahlungsleistung detektierbar.

In einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle ist mehr als ein Temperatur- und / oder Strahlungssensor innerhalb des Messbereichs des Austrittsfensters angeordnet. Durch die Anordnung von mehr als einem Temperatur- und / oder Strahlungssensors, vorzugsweise einer Vielzahl von Temperatur- und / oder Strahlungssensoren, ist es möglich, die Temperatur und / oder Strahlungsleistung ortsaufgelöst zu messen.

In einer anderen Ausgestaltung der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle ist der im Messbereich des Austrittsfensters aufgebrachte Temperatur- und / oder Strahlungssensor innerhalb des Gehäuses angeordnet, wobei eine elektrische Drahtkontaktierung des Temperatur- und / oder Strahlungssensors ebenfalls innerhalb des Gehäuses ausgebildet ist. Eine innenliegende Anordnung des Temperatur- und / oder Strahlungssensors im Messbereich des Austrittsfensters und deren Drahtkontaktierung im Kontaktierungsbereich hat u. a. den Vorteil, dass alle Komponenten vor externen Einflüssen, z. B. Beschädigungen, gut geschützt sind. Obwohl der Temperatursensor bei dieser Anordnung nicht direkt die Oberflächentemperatur der außenliegenden, einem (Mess-) Objekt zugewandten Seite des Austrittsfensters misst und der Strahlungssensor nicht direkt die von der thermischen Strahlungsquelle ausgesandte Strahlungsleistung, die durch das Austrittsfenster tritt, erfasst, kann beides durch eine Kalibrierung des Systems und durch Kenntnis der Materialeigenschaften, wie z. B. der Transmission und Wärmeleitfähigkeit des Austrittsfensters, in der Signalverarbeitung des Systems korrigiert werden.

In einer weiteren Ausgestaltung der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle ist der im Messbereich des Austrittsfensters angeordnete Temperatur- und / oder Strahlungssensor außerhalb des Gehäuses angeordnet, wobei eine elektrische Drahtkontaktierung des Temperatur- und / oder Strahlungssensors ebenfalls außerhalb des Gehäuses ausgebildet ist. In dieser Anordnung wird vorteilhafterweise direkt die von der Strahlungsquelle ausgesandte Strahlungsleistung, die durch das Austrittsfenster tritt, erfasst und auch die Oberflächentemperatur der einem (Mess-) Objekt zugewandten Seite des Austrittsfensters gemessen. Der Temperatur- und / oder Strahlungssensor im Messbereich des Austrittsfensters und deren Kontaktdrähte können durch das Aufbringen einer zusätzlichen dünnen Passivierungs- und Schutzschicht, aus z. B. Glas, vor äußeren Einflüssen geschützt werden.

In einer anderen weiteren Ausgestaltung der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle ist der im Messbereich des Austrittsfensters aufgebrachte Temperatur- und / oder Strahlungssensor innerhalb des Gehäuses angeordnet, wobei eine elektrische Drahtkontaktierung des Temperatur- und / oder Strahlungssensors außerhalb des Gehäuses ausgebildet ist. Wenn bei einer Anordnung des Temperatur- und / oder Strahlungssensors im Messbereich des Austrittsfensters innerhalb des Gehäuses kein Platz für Kontaktdrähte vorhanden oder dies technologisch nicht kompatibel ist, kann eine außenliegende Drahtkontaktierung derart erfolgen, dass das Austrittsfenster über das Gehäuse hinausragt und der Kontaktierungsbereich ebenfalls bis nach außen reicht, so dass die Kontaktierung außerhalb des Gehäuses liegt.

In einer besonders bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle ist eine Kontaktierung des Temperatur- und / oder Strahlungssensors über außerhalb an dem Gehäuse angebrachte Kontaktflächen mittels Löten einer metallischen Lotpaste und / oder mittels leitfähigem Klebstoff ausgebildet. Mit dieser Variante ist die Realisierung eines hochintegrierten und langzeitstabilen Bauteils für die automatisierte Herstellung in hohen Stückzahlen möglich, wobei besonders die drahtlose Kontaktierung von Temperatur- und / oder Strahlungssensor, z. B. durch Kleben mit einem leitfähigen Klebstoff oder Löten mit einer metallischen Lotpaste, sowie ein Gehäuse für die Oberflächenmontage vorteilhaft sind. Die elektrische Kontaktierung des Temperatur- und / oder Strahlungssensors erfolgt dabei über passende Kontaktflächen auf dem Gehäuse für die Oberflächenmontage.

In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle ist der im Messbereich des Austrittsfensters aufgebrachte Temperatur- und / oder Strahlungssensor außerhalb des Gehäuses angeordnet, wobei eine elektrische Kontaktierung des Temperatur- und / oder Strahlungssensors über Kontaktflächen, die auf einer Halterung, die mit der thermischen Strahlungsquelle verbunden ist, ausgebildet ist. Die thermische Strahlungsquelle ist an einer Halterung oder Einbauvorrichtung mit lötbaren Kontaktflächen befestigt und mittels Lotpaste oder leitfähigem Klebstoff im Kontaktierungsbereich elektrisch kontaktiert. Die Halterung kann beispielsweise eine Leiterplatte oder ein anderes Gehäuse oder etwas ähnliches sein. Dies hat den Vorteil, dass die elektrischen Kontakte vor Beschädigung und anderen äußeren Umwelteinflüssen geschützt sind und nur der Messbereich des Austrittsfensters mit einer Passivierungs und Schutzschicht abgedeckt werden müsste.

In einer anderen Ausgestaltung der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle ist sowohl ein Temperatur- und / oder Strahlungssensor innerhalb des Gehäuses im Messbereich des Austrittsfensters aufgebracht angeordnet als auch ein weiterer Temperatur- und / oder Strahlungssensor außerhalb des Gehäuses im Messbereich des Austrittsfensters aufgebracht angeordnet, wobei eine elektrische Kontaktierung der Temperatur- und / oder Strahlungssensoren mittels einer Drahtkontaktierung und /oder über außerhalb an dem Gehäuse angebrachte Kontaktflächen mittels Löten einer metallischen Lotpaste und / oder mittels leitfähigem Klebstoff ausgebildet ist. Die beidseitige Anordnung bzw. Integration von Temperatur- und / oder Strahlungssensoren in dem Austrittsfenster, also zum einen auf der nach innen in das Gehäuse weisenden Fläche des Austrittsfensters als auch zum anderen auf der nach außen aus dem Gehäuse weisenden Fläche des Austrittsfensters, hat den Vorteil, dass sich Temperaturunterschiede zwischen Innen- und Außenseite des Austrittsfensters messen lassen, wodurch z. B. die Messgenauigkeit erhöht wird. Außerdem ist es damit möglich eine Vielzahl von Sensorelementen auf dem Austrittsfenster unterzubringen, um beispielsweise die Temperatur und / oder die Strahlungsleistung ortsaufgelöst messen zu können.

In einer Variante der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle ist das Austrittsfenster aus Silizium oder Germanium ausgebildet, wobei der Temperatur- und / oder Strahlungssensor in diesem Fall im Messbereich des Austrittsfensters integriert angeordnet ist. Integriert bedeutet in diesem Sinne, dass der Temperatur- und / oder Strahlungssensor mittels Verfahren der Halbleitertechnologie in der Ebene des Austrittsfensters ausgebildet, also integriert, wird.

In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle ist das elektrische Strahlungselement freitragend ausgebildet, wobei vorzugsweise unterhalb des Strahlungselementes eine Reflexionsschicht ausgebildet ist. Durch einen freitragenden Aufbau weist das Strahlungselement eine sehr gute thermische Isolation auf. In Kombination mit einer sehr geringen thermischen Masse des Strahlungselementes, wodurch es gut elektrisch modulierbar ist, kann ein maximaler Wirkungsgrad erreicht werden. Die Reflexionsschicht dient dazu die rückseitig emittierte Strahlung zu reflektieren und durch das Austrittsfenster zu leiten.

Die Aufgabe wird ebenfalls durch ein Verfahren gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 17 gelöst.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Messung der Temperatur eines Austrittsfensters einer thermischen Strahlungsquelle und / oder der Strahlungsleistung einer emittierten Strahlung der thermischen Strahlungsquelle durch ein homogenes Austrittsfenster gemäß einem der Ansprüche 1 bis 16 umfasst in einer ersten Variante folgende Verfahrensschritte :

- Messen der Temperatur des Austrittsfensters mittels eines Temperatur- und / oder Strahlungssensors, welcher in dem Messbereich des Austrittsfensters aufgebracht und / oder integriert angeordnet ist, wobei ein erstes Sensorsignal erzeugt wird;

- Detektieren einer emittierten Strahlung eines thermischen Strahlungselementes, die durch den Strahlungssensor absorbiert wird, der in dem Messbereich des Austrittsfensters aufgebracht und / oder integriert angeordnet ist, wobei ein zweites Sensorsignal erzeugt wird;

- Auswerten der Sensorsignale durch Bilden einer mathematischen Verknüpfung aus dem ersten Sensorsignal des Temperatursensors und / oder Strahlungssensors und dem zweiten Sensorsignal des Strahlungssensors, wobei die mathematische Verknüpfung die Strahlungsleistung angibt.

Im ersten Schritt kann durch den Temperatursensor, der keine Strahlung detektiert, d. h. sieht, die Temperatur gemessen werden. Der Strahlungssensor detektiert die emittierte Strahlung kann aber auch gleichzeitig die Temperatur des Austrittsfensters messen. Um aus den beiden Sensorsignalen, die entweder durch den Temperatursensor und den Strahlungssensor oder nur durch den Strahlungssensor erfasst werden, die Strahlungsleistung zu ermitteln, ist eine Kalibrierung der thermischen Strahlungsquelle, wie nachfolgend beschrieben wird, zwingend erforderlich. Die Kalibrierung erfolgt einmalig nach der Herstellung des Bauelements, sie ist also nicht vor jeder Messung notwendig. Die Bestimmung bzw. Auswertung der Strahlungsleistung erfolgt durch eine mathematische Verknüpfung der aufgenommenen Sensorsignale. Die mathematische Verknüpfung kann beispielsweise eine Differenzbildung sein.

Die Aufgabe wird ebenso durch ein Verfahren gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 18 gelöst.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Messung der Temperatur eines Austrittsfensters einer thermischen Strahlungsquelle und / oder der Strahlungsleistung einer emittierten Strahlung der thermischen Strahlungsquelle durch ein homogenes Austrittsfenster gemäß einem der Ansprüche 1 bis 16, wird in einer zweiten Variante mittels einer elektrischen Modulation eines Strahlungselementes der thermischen Strahlungsquelle eine zeitliche Strahlungsänderung erzeugt, die eine zeitliche Temperaturänderung im Strahlungssensor und / oder im Temperatursensor bewirkt, wobei daraus die Strahlungsleistung mittels einer Kalibrierung ermittelt wird. Die Kalibrierung umfasst zum einen das Aufnehmen der Sensorsignale bei definierten Temperaturwerten und ausgeschaltetem Strahlungselement und zum anderen eine externe berührungslose Temperaturmessung des Austrittsfensters bei eingeschaltetem Strahlungselement und definierten Leistungskennwerten. Zusätzlich kann noch eine externe Messung der ausgesandten Strahlungsleistung bei definierten Leistungskennwerten des Strahlungselements erfolgen. Die erfindungsgemäße thermische Strahlungsquelle ist insbesondere für den Einsatz in Messgeräten für die Stoff und Spektralanalyse sowie medizinische und therapeutische Geräte zur Behandlung von Krankheiten und Verletzungen vorgesehen und dafür geeignet und ausgebildet. Im Folgenden soll die Erfindung anhand von

Ausführungsbeispielen näher erläutert werden.

Die zugehörigen Zeichnungen zeigen

Fig. 1 Prinzipieller Aufbau einer thermischen

Strahlungsquelle nach dem Stand der Technik; Fig. 2 Bevorzugte Ausgestaltungen des Austrittsfensters der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle: (a) rechteckige/quadratische Form und (b) runde Form;

Fig. 3 Beispielhafte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle mit im Messbereich des Austrittsfensters aufgebrachtem Temperatur- und / oder Strahlungssensor:

(a) innenliegende Anordnung des Temperatur- und / oder Strahlungssensors sowie deren Drahtkontaktierung,

(b) außenliegende Anordnung des Temperatur- und / oder Strahlungssensors sowie deren Drahtkontaktierung sowie

(c) innenliegende Anordnung des Temperatur- und / oder Strahlungssensors mit außenliegender Drahtkontaktierung des Temperatur- und / oder Strahlungssensors;

Fig. 4 Bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle mit drahtloser Kontaktierung des Temperatur- und / oder Strahlungssensors über Kontaktflächen in einem Gehäuse für die Oberflächenmontage;

Fig. 5 Ausführungsform der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle mit außenliegender Anordnung des Temperatur- und / oder Strahlungssensors sowie einer Kontaktierung über Kontaktflächen, die auf einer Halterung ausgebildet sind;

Fig. 6 Bevorzugte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle mit beidseitiger Anordnung eines Temperatur- und / oder Strahlungssensors innerhalb und außerhalb des Gehäuses im Messbereich des Austrittsfensters:

(a) Mit außenliegender Drahtkontaktierung sowie einer Kontaktierung über Kontaktflächen am Gehäuse;

(b) Mit einer Kontaktierung über Kontaktflächen am Gehäuse sowie Kontaktflächen, die auf einer Halterung ausgebildet sind, die mit der thermischen Strahlungsquelle verbunden ist;

Fig. 7 Bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle mit einem dünnen, freitragenden Strahlungselement der thermischen Strahlungsquelle .

Figur 2 zeigt bevorzugte Ausgestaltungen des Austrittsfensters 4 der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle 1. Das Austrittsfenster 4 der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle 1 ist in drei verschiedene Funktionsbereiche gegliedert. Das homogene Austrittsfenster 4 weist in einer Ausführungsform bei einer Betrachtung des Querschnitts von innen nach außen einen Durchlassbereich 5, einen daran anschließenden Messbereich 6 und einen wiederum daran anschließenden Kontaktierungsbereich 7 auf. Der Durchlassbereich 5 kennzeichnet den Funktionsbereich des Austrittsfensters 4, aus dem die von dem Strahlungselement 2 der thermischen Strahlungsquelle 1 emittierte Strahlung aus dem Gehäuse 3 in die Umgebung abgestrahlt wird. Der Durchlassbereich 5 sollte vorzugsweise der Größe der strahlenden Fläche des Strahlungselementes entsprechen. Der Messbereich 6 kennzeichnet den Funktionsbereich des Austrittsfensters 4, innerhalb dem der Temperatursensor und / oder Strahlungssensor aufgebracht und / oder integriert angeordnet ist, wobei der Messbereich 6 in einer Ausgestaltung zwischen dem Durchlassbereich 5 und dem Kontaktierungsbereich 7 ausgebildet ist. Der Kontaktierungsbereich 7 kennzeichnet den Funktionsbereich des Austrittsfensters 4, in welchem die Kontaktierung von dem Temperatur- und / oder Strahlungssensor erfolgt, wobei der Kontaktierungsbereich 7 im Randbereich des Austrittsfensters 4 ausgebildet ist, wo das Austrittsfenster 4 in Kontakt mit dem Gehäuse 3 der thermischen Strahlungsquelle 1 steht. Eine rechteckige oder quadratische Form des Austrittsfensters 4, wie in Fig. 2(a) gezeigt, ist insbesondere für Gehäuse der Oberflächenmontage (sog. SMD- Gehäuse), aber auch eckige Gehäuseformen der Durchsteckmontage geeignet. Ein rundes Austrittsfenster 4, wie in Fig. 2(b) gezeigt, wird vorzugsweise in runden Gehäuseformen, wie z.B. TO-Gehäusen, eingesetzt. Der Temperatursensor und / oder Strahlungssensor ist dabei in dem Messbereich 6 auf dem Austrittsfenster 4 derart untergebracht, dass vorzugsweise ein runder oder rechteckiger Durchlassbereich 5 für das Hindurchtreten der Strahlung in der Mitte des Austrittsfensters 4 entsteht. Die Kontaktierung von Temperatur- und/oder Strahlungssensor erfolgt in dem Kontaktierungsbereich 7, der im Randbereich des Austrittsfensters 4 liegt, wo dieses in Kontakt mit dem Gehäuse 3 steht. Der Temperatur- und/oder Strahlungssensor ist im Messbereich 6 des Austrittsfensters 4 vorzugsweise umlaufend ausgebildet, so dass Temperatur und

Strahlungsleistung exakt gemessen werden können. Es ist aber auch möglich eine Vielzahl an Temperatur- und / oder Strahlungssensoren in dem Messbereich 6 des Austrittsfensters 4 anzuordnen, um eine ortsaufgelöste Temperatur- bzw. Strahlungsleistungsmessung zu realisieren.

In einem anderen Ausführungsbeispiel ist der Temperatur- und / oder Strahlungssensor z. B. in Form eines Platin (Pt)- Widerstandes in der Mitte des Austrittsfensters angeordnet. Die elektrische Kontaktierung erfolgt z. B. über ITO- Leiterbahnen, die vom Pt-Widerstand zum

Kontaktierungsbereich am Rand des Austrittsfensters geführt werden. Ein Pt-Widerstand ist im Vergleich zum Durchlassbereich des Austrittsfensters sehr klein ausführbar, so dass er die emittierte Strahlung des Strahlungselements nicht beeinflusst. Damit kann direkt die Temperatur bzw. Strahlungsleistung in der Mitte des Austrittsfensters gemessen werden.

Figur 3 zeigt mögliche Ausführungsformen der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle 1 mit im Austrittsfenster 4 aufgebrachtem Temperatur- und / oder Strahlungssensor im Messbereich 6 des Austrittsfensters 4 und einer Drahtkontaktierung 8 im Kontaktierungsbereich 7 des Austrittsfensters 4. Eine innenliegende Anordnung von Temperatur- und / oder Strahlungssensor im Messbereich 6 des Austrittsfensters 4 und deren Drahtkontaktierung 8 im Kontaktierungsbereich 7 des Austrittsfensters 4, wie in Fig. 3(a) gezeigt ist, hat u. a. den Vorteil, dass alle Komponenten vor externen Einflüssen, z. B. Beschädigungen, gut geschützt sind. Durch die innenliegende Anordnung des Temperatursensors kann dieser nicht direkt die Oberflächentemperatur der außenliegenden, einem (Mess-) Objekt zugewandten Seite des Austrittsfensters 4 messen und der Strahlungssensor kann nicht direkt die von der thermischen Strahlungsquelle 1 ausgesandte Strahlungsleistung erfassen. Beides kann aber durch eine Kalibrierung des Systems und durch Kenntnis der Materialeigenschaften, wie z. B. der Transmission und Wärmeleitfähigkeit des Austrittsfensters 4, in der Signalverarbeitung des Systems korrigiert werden.

Alternativ können der Temperatur- und / oder Strahlungssensor im Messbereich 6 des Austrittsfensters 4 und deren Kontaktierungsdrähte 8 im Kontaktierungsbereich 7 außerhalb des Gehäuses 3 angeordnet sein, wie in Fig. 3(b) gezeigt. In dieser Anordnung wird vorteilhafterweise direkt die von der thermischen Strahlungsquelle 1 ausgesandte Strahlungsleistung erfasst und auch die

Oberflächentemperatur der einem (Mess-)Objekt zugewandten Seite des Austrittsfensters 4 gemessen. Der Temperatur- und / oder Strahlungssensor im Messbereich 6 des Austrittsfensters 4 und deren Kontaktdrähte 8 können durch das Aufbringen einer zusätzlichen dünnen Passivierungs- und Schutzschicht, aus z. B. Glas, vor äußeren Einflüssen geschützt werden.

Wenn bei einer innenliegenden Anordnung des Temperatur- und / oder Strahlungssensors im Messbereich 6 des Austrittsfensters 4 innerhalb des Gehäuses 3 kein Platz für Kontaktdrähte 8 vorhanden oder dies technologisch nicht kompatibel ist, dann kann eine außenliegende Drahtkontaktierung 8 derart erfolgen, dass das Austrittsfenster 4 über das Gehäuse 3 hinausragt und der Kontaktierungsbereich 7 ebenfalls bis nach außen reicht, wie in Fig. 3(c) gezeigt ist.

Eine besonders bevorzugte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle 1 ist in Figur 4 gezeigt. Um ein hochintegriertes und langzeitstabiles Bauteil für die automatisierte Herstellung in hohen Stückzahlen realisieren zu können, sind eine drahtlose Kontaktierung des Temperatur- und / oder Strahlungssensors, z. B. durch Kleben mit einem leitfähigen Klebstoff oder mittels Löten mit einer metallischen Lotpaste, sowie ein Gehäuse 3 für die Oberflächenmontage vorteilhaft. Die elektrische Kontaktierung des Temperatur- und / oder Strahlungssensors erfolgt dabei über passende Kontaktflächen 9 auf dem Gehäuse 3 für die Oberflächenmontage .

Figur 5 zeigt eine weitere bevorzugte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle 1 mit einer drahtlosen Kontaktierung bei einem außenliegenden, d. h. außerhalb des Gehäuses 3 angeordneten Temperatur- und / oder Strahlungssensors im Messbereich 6 des Austrittsfensters 4. Hierbei ist die thermische Strahlungsquelle 1 an einer Halterung 10 mit lötbaren Kontaktflächen 9 befestigt und mittels Lot oder leitfähigem Klebstoff im

Kontaktierungsbereich 7 des Austrittsfensters 4 elektrisch kontaktiert. Die Halterung kann beispielsweise eine Leiterplatte oder ein anderes Gehäuse oder etwas ähnliches sein. Diese Ausgestaltung hat den Vorteil, dass die elektrischen Kontakte vor Beschädigung und anderen äußeren Umwelteinflüssen geschützt sind und nur der Messbereich 6 des Austrittsfensters 4 mit einer Passivierungs- und Schutzschicht abgedeckt werden muss.

Figur 6 zeigt eine weitere Ausgestaltung der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle 1 mit beidseitiger Anordnung der Temperatur- und / oder Strahlungssensoren auf bzw. in dem Messbereich 6 des Austrittsfensters 4. Die Kontaktierung der Sensoren kann entweder drahtlos über Kontaktflächen 9 (Fig. 6(b)), mittels Kontaktdrähten 8 oder kombiniert (Fig. 6(a)) erfolgen. Das hat den Vorteil, dass sich Temperaturunterschiede zwischen Innen- und Außenseite des Austrittsfensters 4 messen lassen, wodurch z. B. die Messgenauigkeit erhöht wird. Außerdem ist es damit möglich eine Vielzahl von Sensorelementen in dem Messbereich 6 des Austrittsfensters 4 unterzubringen, um beispielsweise die Temperatur und / oder die Strahlungsleistung ortsaufgelöst messen zu können.

Figur 7 zeigt eine weitere bevorzugte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen thermischen Strahlungsquelle 1, wobei das Strahlungselement bzw. Heizelement 2 eine sehr geringe thermische Masse besitzt, damit es gut elektrisch modulierbar ist, und durch einen freitragenden Aufbau eine sehr gute thermische Isolation aufweist, damit ein maximaler Wirkungsgrad erreicht wird.

Für die Messung der tatsächlichen Temperatur des Austrittsfensters kann der Temperatur- und / oder Strahlungssensor verwendet werden. Als Temperatursensor und Strahlungssensor wird dabei vorzugsweise ein Platin- Messwiderstand in Dünnschichttechnik verwendet. Da beide Sensoren, Temperatursensor und Strahlungssensor, in dem Messbereich des Austrittsfensters aufgebracht und / oder integriert ausgebildet sind, kann mit beiden Sensoren die Temperatur des Austrittsfenster gemessen werden.

Für die Bestimmung der abgestrahlten Strahlungsleistung stehen erfindungsgemäß zwei Verfahrensvarianten zur Verfügung.

Bei einer ersten Verfahrensvariante wird für die Bestimmung der Strahlungsleistung ein Temperatursensor und ein Strahlungssensor verwendet. Der Temperatursensor ist dafür verspiegelt ausgebildet, z. B. durch das Aufbringen einer dünnen Metallschicht. Das hat den Vorteil, dass die auf den Temperatursensor auftreffende Strahlung reflektiert und durch den Temperatursensor nicht detektiert wird, so dass der Temperatursensor nur die Temperatur des Austrittsfensters misst. Ist der Temperatursensor als ein Platin-Messwiderstand ausgebildet, dient das Platin als Spiegelschicht und erfüllt diesen Zweck. Manchmal ist es zweckdienlich, den Temperatursensor durch eine Passivierungs- und Schutzschicht zu schützen, so dass auf die Passivierungs- und Schutzschicht nochmals eine Reflexionsschicht aufgebracht werden muss, da die Passivierungs- und Schutzschicht die Strahlung unter Umständen absorbieren würde. Der Temperatursensor liefert ein erstes Sensorsignal. Der Strahlungssensor, welcher beispielsweise auch aus Platin besteht, wird hingegen hoch absorbierend für die Strahlung ausgebildet, z. B. durch das Aufbringen einer Absorptionsschicht. Der Strahlungssensor detektiert die emittierte Strahlung des thermischen Strahlungselementes, wobei ein zweites Sensorsignal erzeugt wird. Von den beiden detektierten Sensorsignalen wird eine mathematische Verknüpfung, z. B. eine Differenz, gebildet, die schließlich ein Maß für die abgestrahlte Strahlungsleistung der thermischen Strahlungsquelle ist. Mittels der weiter oben beschriebenen initialen Kalibrierung wird ein Zusammenhang zwischen der (unkalibriert) gemessenen und der tatsächlichen (wahren) Temperatur des Austrittsfenster bzw. der ausgesandten Strahlungsleistung hergestellt und in der Signalverarbeitung abgelegt und derart korrigiert, dass eine exakte Regelung ermöglicht wird.

Bei einer zweiten Verfahrensvariante wird für die Bestimmung der Strahlungsleistung ein Temperatursensor oder ein Strahlungssensor verwendet. Eine elektrische Modulation des Strahlungselementes, die eine zeitliche Strahlungsänderung bewirkt, führt zu einer zeitlichen Temperaturänderung im absorbierenden Strahlungssensor bzw. im Temperatursensor. Beide können mit einer Passivierungs- und Schutzschicht versehen sein. Diese Temperaturänderung ist detektierbar und damit die Strahlungsleistung nach einer Kalibrierung bestimmbar. Bei dieser Verfahrensvariante ist nur ein Sensorelement, entweder ein Temperatursensor oder ein

Strahlungssensor, notwendig, wobei damit gleichzeitig die Messung der Temperatur des Austrittsfensters und der Strahlungsleistung möglich ist. Diese zweite Verfahrensvariante ist hinsichtlich eines einfachen und kostengünstigen Aufbaus vorteilhaft. Allerdings erfordert diese zweite Verfahrensvariante eine Kalibrierung des Systems.

Bezugszeichenliste

1 Thermische Strahlungsquelle

2 Strahlungselement bzw. Heizleiterelement / Heizleiterchip

3 Gehäuse der Strahlungsquelle 4 Austrittsfenster

5 Durchlassbereich des Austrittsfensters

6 Messbereich des Austrittsfensters, in dem der Temperatur- und / oder Strahlungssensor angeordnet ist

7 Kontaktierungsbereich des Austrittsfensters 8 Drahtkontaktierung / Kontaktdrähte

9 Kontaktfläche für Löten und/oder Kleben, drahtlose

Kontaktierung

10 Halterung für thermische Strahlungsquelle