[熱剥離型両面粘着シート]
 本発明の熱剥離型両面粘着シートの構成を� ��図面を参照して説明する。図1は本発明の熱 剥離型両面粘着シートの一例を示す概略断面 図である。図1中1は基材、2はゴム状有機弾性 層、3は熱膨張性粘着層、4はセパレーター、5 は仮固定用粘着層をそれぞれ示す。なお、ゴ ム状有機弾性層2及びセパレーター4は必要に� ��じて設けられる層であり必ずしも設けられ� ��いる必要はない。

[基材]
 基材1は、熱剥離型両面粘着シートの支持母 体となるもので、適宜な薄葉体をいずれも使 用することができ、特に制限されない。例え ば、紙、布、不織布、金属箔、あるいはそれ らのプラスチックラミネート体、プラスチッ ク同士の積層体などが例示できる。基材1の� �さは5~250μm程度が一般的であるが特に制限さ れない。

[ゴム状有機弾性層]
 ゴム状有機弾性層2は、基材と熱膨張性粘着 層3との間に設けられることが多く、熱剥離� �両面粘着シートの熱膨張性粘着層3の粘着面� ��被着体の表面形状に良好に追従させて接着� ��積を大きくする機能と、後述の熱膨張性微� ��球の膨張により熱膨張性粘着層を被着体か� ��加熱剥離する際に、熱膨張性粘着層の加熱� ��張を高度に(精度よく)コントロールし、熱� �張性粘着層を厚さ方向へ優先的に、かつ均� �に膨張させるという機能とを有する。なお� �ゴム状有機弾性層2は、基材1と仮固定用粘着 層5との間に設けられていてもよい。

 ゴム状有機弾性層2は、上記機能を具備さ せるため、例えば、ASTM D-2240に基づくD型シ� �アーD型硬度が50以下、特に40以下の天然ゴム 、合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂に より形成することが好ましい。

 前記合成ゴム又はゴム弾性を有する合成� ��脂としては、例えば、ニトリル系、ジエン� ��、アクリル系などの合成ゴム;ポリオレフィ ン系、ポリエステル系などの熱可塑性エラス トマー;エチレン-酢酸ビニル共重合体、ポリ� ��レタン、ポリブタジエン、軟質ポリ塩化ビ� ��ルなどのゴム弾性を有する合成樹脂などが� ��げられる。なお、ポリ塩化ビニルなどのよ� ��に本質的には硬質系ポリマーであっても、� ��塑剤や柔軟剤等の配合剤との組み合わせに� ��りゴム弾性が発現しうる。このような組成� ��も、ゴム状有機弾性層2の構成材料として使 用できる。また、ゴム状有機弾性層2を構成� �る材料としては後述の熱膨張性粘着層3を構� ��する粘着剤のベースポリマーとして例示さ� ��たポリマーなども、好ましく使用でき、ア� ��リル系共重合体を特に好適に使用できる。

 ゴム状有機弾性層2を形成する方法は特に 制限されず、例えば、上述のゴム状有機弾性 層2を構成する材料を含むコーティング液を� �材1上に塗布する方式(コーティング法)、上� �のゴム状有機弾性層2を構成する材料からな� ��フィルムを基材1と接着するか、又は熱膨張 性粘着層3上にゴム状有機弾性層2を構成する� ��料からなる層を形成してなる積層フィルム� ��基材1と接着する方式(ドライラミネート法)� ��基材1の構成材料とゴム状有機弾性層2を構� �する材料を共押し出しする方式(共押し出し� ��)などの適宜な方式で行うことができる。

 なお、ゴム状有機弾性層2は、粘着特性を 有する粘着性物質で形成されていてもよく、 気泡構造を有する発泡フィルム等で形成され ていてもよい。ゴム状有機弾性層2に気泡構� �を導入する方法は特に制限されず、慣用の� �法、例えば、機械的な撹拌により材料中に� �泡を含有させる方法、発泡剤を使用する方� �、溶剤可溶性物質からなる粒を分散してゴ� �状有機弾性層2を形成した後に、該粒を溶剤� ��溶解して除去する方法、スプレーによる方� ��、シオンタクチックフォームを形成する方� ��、焼結法などにより行うことができる。ゴ� ��状有機弾性層2は単層であってもよく、2以� �の層で構成してもよい。

[熱膨張性粘着層]
 熱膨張性粘着層3は、粘着剤層中に、熱によ り膨張する熱膨張性微小球(マイクロカプセ� �)が分散されてなる層である。すなわち、熱� ��張性粘着層3は、少なくとも粘着性を付与す るための粘着剤(感圧接着剤)と、熱膨張性を� ��与するための熱膨張性微小球(マイクロカプ セル)とを含む粘着剤組成物により形成する� �とができる。そのため、粘着シートを被着� �に貼着した後、任意なときに熱膨張性粘着� �3を加熱して、熱膨張性微小球を発泡及び/又 は膨張処理することにより、熱膨張性粘着層 3と被着体との接着面積を減少させて、熱膨� �性粘着層3を被着体から容易に剥離すること� ��できる。なお、マイクロカプセル化してい� ��い発泡剤では、良好な剥離性を安定して発� ��させることができない。

(粘着剤)
 熱膨張性粘着層3において用いられる粘着剤 としては、加熱時に熱膨張性微小球の発泡及 び/又は膨張を可及的に拘束しないものを使� �することができる。このような粘着剤とし� �は例えば、ゴム系粘着剤、アクリル系粘着� �、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、シリ� �ーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポ� �アミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、スチ� �ン-ジエンブロック共重合体系粘着剤、これ� ��の粘着剤に融点が200℃以下の熱溶融性樹脂� ��配合したクリープ特性改良型粘着剤などの� ��知の粘着剤を1種又は2種以上組み合わせて� �いることができる(例えば、特開昭56-61468号� �報、特開昭61-174857号公報、特開昭63-17981号公 報、特開昭56-13040号公報等参照)。粘着剤は、 粘着性成分(ベースポリマー等)のポリマー成� ��の他に、架橋剤(例えば、ロジン誘導体樹脂 、ポリテルペン樹脂、石油樹脂、油溶性フェ ノール樹脂など)、可塑剤、充填剤、老化防� �剤などの適宜な添加剤を含んでいてもよい� �なお、粘着剤は、エマルジョン系粘着剤、� �剤系粘着剤などのいずれの形態の粘着剤で� �ってもよい。

 一般には、前記粘着剤として、天然ゴムや� ��種の合成ゴムをベースポリマーとしたゴム� ��粘着剤;(メタ)アクリル酸アルキルエステル( 例えば、メチルエステル、エチルエステル、 プロピルエステル、イソプロピルエステル、 ブチルエステル、イソブチルエステル、s-ブ� ��ルエステル、t-ブチルエステル、ペンチル� �ステル、ヘキシルエステル、ヘプチルエス� �ル、オクチルエステル、2-エチルヘキシルエ ステル、イソオクチルエステル、イソデシル エステル、ドデシルエステル、トリデシルエ ステル、ペンタデシルエステル、ヘキサデシ ルエステル、ヘプタデシルエステル、オクタ デイシルエステル、ノナデシルエステル、エ イコシルエステル)などの(メタ)アクリル酸C _1-20 アルキルエステルなどの1種又は2種以上を単� ��体成分として用いたアクリル系重合体(単独 重合体又は共重合体)をベースポリマーとす� �アクリル系粘着剤などが用いられる。

 なお、前記アクリル系重合体は、凝集力� ��耐熱性、架橋性などの改質を目的として、� ��要に応じて前記(メタ)アクリル酸アルキル� �ステルと共重合可能な他の単量体成分に対� �する単位を含んでいてもよい。このような� �量体成分として、例えば、アクリル酸、メ� �クリル酸、カルボキシエチルアクリレート� �カルボキシペンチルアクリレート、イタコ� �酸、マレイン酸、フマール酸、クロトン酸� �どのカルボキシル基含有モノマー;無水マレ� ��ン酸、無水イタコン酸などの酸無水物モノ� ��ー;(メタ)アクリル酸ヒドロキシエチル、(メ タ)アクリル酸ヒドロキシプロピル、(メタ)ア クリル酸ヒドロキシブチル、(メタ)アクリル� ��ヒドロキシヘキシル、(メタ)アクリル酸ヒ� �ロキシオクチル、(メタ)アクリル酸ヒドロキ シデシル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシラウ� ��ル、(4-ヒドロキシメチルシクロヘキシル)メ チル(メタ)アクリレートなどのヒドロキシル� ��含有モノマー;スチレンスルホン酸、アリル スルホン酸、2-(メタ)アクリルアミド-2-メチ� �プロパンスルホン酸、(メタ)アクリルアミド プロパンスルホン酸、スルホプロピル(メタ)� ��クリレート、(メタ)アクリロイルオキシナ� �タレンスルホン酸などのスルホン酸基含有� �ノマー;(メタ)アクリルアミドやN,N-ジメチル( メタ)アクリルアミド、N-ブチル(メタ)アクリ� ��アミド、N-メチロール(メタ)アクリルアミド 、N-メチロールプロパン(メタ)アクリルアミ� �などの(N-置換)アミド系モノマー;(メタ)アク� ��ル酸アミノエチル、(メタ)アクリル酸アミ� �エチル、(メタ)アクリル酸N,N-ジメチルアミ� �エチル、(メタ)アクリル酸t-ブチルアミノエ� ��ルなどの(メタ)アクリル酸アルキルアミノ� �モノマー;(メタ)アクリル酸メトキシエチル� �(メタ)アクリル酸エトキシエチルなどの(メ� �)アクリル酸アルコキシアルキル系モノマー; N-シクロヘキシルマレイミド、N-イソプロピ� �マレイミド、N-ラウリルマレイミド、N-フェ� ��ルマレイミドなどのマレイミド系モノマー; N-メチルイタコンイミド、N-エチルイタコン� �ミド、N-ブチルイタコンイミド、N-オクチル� ��タコンイミド、N-2-エチルヘキシルイタコン イミド、N-シクロヘキシルイタコンイミド、N -ラウリルイタコンイミドなどのイタコンイ� �ド系モノマー;N-(メタ)アクリロイルオキシメ チレンスクシンイミド、N-(メタ)アクリロイ� �-6-オキシヘキサメチレンスクシンイミド、N- (メタ)アクリロイル-8-オキシオクタメチレン� ��クシンイミドなどのスクシンイミド系モノ� ��ー;酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、N-ビ� ��ルピロリドン、メチルビニルピロリドン、� ��ニルピリジン、ビニルピペリドン、ビニル� ��リミジン、ビニルピペラジン、ビニルピラ� ��ン、ビニルピロール、ビニルイミダゾール� ��ビニルオキサゾール、ビニルモルホリン、N -ビニルカルボン酸アミド類、スチレン、α-� �チルスチレン、N-ビニルカプロラクタムなど のビニル系モノマー;アクリロニトリル、メ� �クリロニトリルなどのシアノアクリレート� �ノマー;(メタ)アクリル酸グリシジルなどの� �ポキシ基含有アクリル系モノマー;(メタ)ア� �リル酸ポリエチレングリコールや(メタ)アク リル酸ポリプロピレングリコール、(メタ)ア� ��リル酸メトキシエチレングリコール、(メタ )アクリル酸メトキシポリプロピレングリコ� �ルなどのグリコール系アクリルエステルモ� �マー;(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフ� �ル、フッ素(メタ)アクリレート、シリコーン (メタ)アクリレートなどの複素環、ハロゲン� ��子、ケイ素原子などを有するアクリル酸エ� ��テル系モノマー;ヘキサンジオールジ(メタ)� ��クリレート、(ポリ)エチレングリコールジ(� ��タ)アクリレート、(ポリ)プロピレングリコ� ��ルジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグ� �コールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリス リトールジ(メタ)アクリレート、トリメチロ� ��ルプロパントリ(メタ)アクリレート、ペン� �エリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジ ペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレ� ��ト、エポキシアクリレート、ポリエステル� ��クリレート、ウレタンアクリレートなどの� ��官能モノマー;イソプレン、ブタジエン、イ ソブチレンなどのオレフィン系モノマー;ビ� �ルエーテルなどのビニルエーテル系モノマ� �等が挙げられる。これらの共重合性モノマ� �は、1種又は2種以上を選択して用いることが できる。

 なお、熱膨張性粘着層3において、加熱処理 前の適度な接着力と加熱処理後の接着力の低 下性のバランスの点から、より好ましい粘着 剤は、動的弾性率が常温から150℃において5� �~1000万dyn/cm ² (0.5~100Pa)の範囲にあるポリマーをベースポリ� ��ーとした感圧接着剤である。

(熱膨張性微小球)
 熱膨張性微小球としては、例えば、イソブ� ��ン、プロパン、ペンタンなどの加熱により� ��易にガス化して膨張する物質を、弾性を有� ��る殻内に内包させた微小球であればよい。� ��記殻は、熱溶融性物質や熱膨張により破壊� ��る物質で形成される場合が多い。前記殻を� ��成する物質として、例えば、塩化ビニリデ� ��-アクリロニトリル共重合体、ポリビニルア ルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチ ルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、 ポリ塩化ビニリデン、ポリスルホンなどが挙 げられる。熱膨張性微小球は、慣用の方法、 例えば、コアセルべーション法、界面重合法 などにより製造できる。なお、熱膨張性微小 球には、例えば、マツモトマイクロスフェア [商品名、松本油脂製薬(株)製]などの市販品� �ある。

 熱膨張性微小球の粒径(平均粒子径)は特� �制限されず、熱膨張性粘着層3の厚み等に応� ��て適宜選択することができる。例えば、5~12 0μm(好ましくは10~75μm)の範囲から選択するこ� ��ができる。

 熱膨張性微小球は、加熱処理により熱膨� ��性粘着層3の接着力を効率よく低下させるた め、体積膨張率が好ましくは5倍以上、より� �ましくは7倍以上、特に好ましくは10倍以上� �なるまで破裂しない適度な強度を有するも� �が好ましい。

 熱膨張性微小球の配合量は、熱膨張性粘� ��層3の膨張倍率や接着力の低下性などに応じ て適宜設定しうるが、一般的には熱膨張性粘 着層3を構成する粘着剤のベースポリマー100� �量部に対して、例えば1~150重量部、好ましく は10~130重量部、更に好ましくは25~100重量部で ある。熱膨張性微小球の配合量が多すぎると 熱膨張性粘着層3中の粘着剤の凝集破壊を引� �起こしやすくなり、一方、少なすぎると剥� �性が低下する。

 熱膨張性粘着層3は、例えば、熱膨張性微 小球と、粘着剤と、必要に応じて溶媒やその 他の添加剤などとを混合してコーティング液 を調整し、これを基材1又はゴム状有機弾性� �2上に塗布する方式、セパレーター4やその他 適当な剥離紙等に該コーティング液を塗布し て熱膨張性粘着層3を形成し、これを基材1又� ��ゴム状有機弾性層2上に転写(移着)する方法� ��ど、慣用の方法により形成できる。熱膨張� ��粘着層3は、単層、複層のいずれであっても よい。

 熱膨張性粘着層3の厚さは、接着力の低減 性などにより適宜選択することができ、例え ば、300μm以下(好ましくは10~150μm)程度である� ��熱膨張性粘着層3の厚さが過大であると、加 熱処理後の剥離時に凝集破壊が生じやすくな る。一方、熱膨張性粘着層3の厚さが過小で� �ると、加熱処理による熱膨張性粘着層3の変� ��度が小さく、接着力が円滑に低下しにくく� ��り、また、添加する熱膨張性微小球の粒径� ��過度に小さくする必要が生じる。

 熱剥離型両面粘着シートの熱膨張性粘着� ��3を被着体より容易に剥離できるようにする ための加熱処理条件は被着体の表面状態や熱 膨張性微小球の種類等による接着面積の減少 性、基材1や被着体の耐熱性や加熱方法等の� �件により決められるが、一般的な条件は100~2 50℃、1~90秒間(ホットプレートなど)又は5~15分 間(熱風乾燥機など)である。

[仮固定用粘着層]
 仮固定用粘着層5は、少なくとも粘着性を付 与するための粘着剤(感圧接着剤)と親油性層� ��粘土鉱物とを含む粘着剤組成物により構成� ��れる。仮固定用粘着層5を構成する粘着剤と しては、上述の熱膨張性粘着層3を構成する� �着剤と同様のものを使用することができる� �また、上記ゴム状有機弾性層2を構成する材� ��として例示された天然ゴム、合成ゴム又は� ��ム弾性を有する合成樹脂をベースポリマー� ��する粘着剤を使用することもできる。仮固� ��用粘着層5に使用する粘着剤としては、(メ� �)アクリル酸アルキルエステルをベースポリ� ��ーとするアクリル系粘着剤が好適に用いら� ��る。粘着剤組成物が親油性層状粘土鉱物を� ��むことにより仮固定用粘着層5の凝集力が高 まり、高温雰囲気下での対被着体粘着性が向 上する。

(親油性層状粘土鉱物)
 親油性層状粘土鉱物は、主に二次元構造を� ��する粘土層が積み重なることによって結晶� ��造をなしている粘土鉱物を指す。親油性層� ��粘土鉱物は溶媒中に加えることにより膨潤� ��各層間距離が広がるという特性を有するだ� ��でなく、その構造を有したまま層間にイオ� ��や分子を取り込むことができるという特性� ��有している。溶媒への分散性など取り扱い� ��面で、親油性層状粘土鉱物としては層状珪� ��塩を特に好ましく用いることができる。親� ��性層状粘土鉱物としては、具体的には例え� ��、スメクタイト、サポナイト、ソーコナイ� ��、スチブンサイト、ヘクトライト、マーガ� ��イト、タルク、金雲母、クリソタイル、緑� ��岩、バーミキュライト、カオリナイト、白� ��母、ザンソフィライト、ディッカイト、ナ� ��ライト、パイロフィライト、モンモリロナ� ��ト、バイデライト、ノントロナイト、テト� ��シリリックマイカ、ナトリウムテニオライ� ��、アンチゴライト、ハロイサイトなどを例� ��できる。これらの親油性層状粘土鉱物は、� ��然の、あるいは合成された親油性層状粘土� ��物のいずれをも好適に使用することができ� ��。親油性層状粘土鉱物の粒子の平均長さと� ��ては、好ましくは0.01~100μm、特に好ましく� �0.05~10μmであるものを使用でき、アスペクト� ��としては好ましくは20~500、特に50~200である� ��のを好適に使用できる。親油性層状粘土鉱� ��は、1種又は2種以上を選択して使用するこ� �ができる。

 親油性層状粘土鉱物の使用量は、仮固定� ��粘着層を構成する粘着剤のベースポリマー1 00重量部に対して、好ましくは0.1~45重量部、� ��らに好ましくは1~40重量部、特に10~30重量部� ��範囲から選択することができる。親油性層� ��粘土鉱物の使用量が少なすぎると凝集力や� ��温雰囲気下での粘着力の向上等の効果が得� ��れにくい。また、使用量が多すぎると使用� ��の剥離性に問題が生じたり、粘着剤中に親� ��性層状粘土鉱物を均一に分散するのが困難� ��あり現実に生産することが困難であったり� ��る。

 仮固定用粘着層5は、上記粘着剤及び親油 性層状粘土鉱物に加えて、必要に応じて、架 橋剤(例えば、ロジン誘導体樹脂、ポリテル� �ン樹脂、石油樹脂、油溶性フェノール樹脂� �ど)、可塑剤、充填剤、老化防止剤などの適� ��な添加剤を含んでいてもよいを含んでいて� ��よい。

 仮固定用粘着層5の厚さは、例えば0.5~100μ m、好ましくは2~50μmの範囲から選択すること� ��できる。仮固定用粘着層5が薄すぎると十分 な粘着性が得られず、被着体(台座等)への貼� ��時、被着体との間に浮きが生じるなどの問� ��の原因になる。また、厚すぎると仮固定用� ��着層5の変形が大きくなり、積層セラミック シートの高温雰囲気下押切工程に使用した場 合には、横ズレによる切断精度低下の原因に なる。

[セパレーター]
 セパレーター4は、熱膨張性粘着層3及び/又� ��仮固定用粘着層5の表面を保護するために設 けられる層であり、熱膨張性粘着層3及び/又� ��仮固定用粘着層5を被着体に貼り付ける際に は剥離される。セパレーター4は適宜な剥離� �などにより構成される。具体的には例えば� �シリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系� �硫化モリブデン等の剥離剤により表面処理� �れたプラスチックフィルムや紙等の剥離層� �有する基材;ポリテトラフルオロエチレン、� ��リクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ� ��ビニル、ポリフッ化ビニリデン、テトラフ� ��オロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン� ��重合体、クロロフルオロエチレン・フッ化� ��ニリデン共重合体等のフッ素系ポリマーか� ��なる低接着性基材;オレフィン系樹脂(例え� �、ポリエチレン、ポリプロピレンなど)等の� ��極性ポリマーからなる低接着性基材などを� ��いることができる。なお、セパレーター4は 必要に応じて設けられる層であり、設けられ ていなくてもよい。

[積層セラミックシートの切断方法」
 本発明の熱剥離型両面粘着シートは、種々� ��被着体の仮固定用又は保管用、運搬用粘着� ��ートとして使用でき、その用途は特に制限� ��れないが、電子部品の加工時の仮固定材、� ��に、積層セラミックシートを高温雰囲気下� ��押切加工する際の固定用粘着シートとして� ��使用に特に適している。以下に図面を参照� ��つつ本発明の積層セラミックシートの切断� ��法を説明する。図2は、本発明の熱剥離型両 面粘着シートを使用して積層セラミックシー トを台座に固定し、切断のために切断刃を入 れ込んだ様子を示す概略断面図である。図2� �6は本発明の熱剥離型両面粘着シートを示す� ��図2中1、3及び5は、図1における1、3及び5に� �じである。7は台座を示し、8は積層セラミッ クシートを示す。9は積層セラミックシート8� ��断用の押切刃を示す。本発明の熱剥離型両� ��粘着シート6の仮固定用粘着層を台座に貼り 合わせ、熱膨張性粘着層3を積層セラミック� �ート8に貼り合わせることにより被加工体で� ��る積層セラミックシート8をしっかりと固定 する。

 積層セラミックシート8の切断工程は、切 断精度の向上を目的として高温雰囲気下(例� �ば、60~100℃)で行われる。切断工程が行われ� ��温度は、熱膨張性粘着層3に含有される熱膨 張性微小球の膨張開始温度より低いことが肝 心である。本発明の熱剥離型両面粘着シート 6において、熱膨張性粘着層3及び仮固定用粘� ��層5の両粘着層は常温及び高温雰囲気下での 凝集力及び接着力に優れているため、切断工 程の前後を通して積層セラミックシート8を� �っかりと固定することができる。特に、仮� �定用粘着層5は高温雰囲気下でも浮きや変形� ��生じないので、切断時の押切刃9の入れ込み に伴う積層セラミックシート8の位置ズレを� �止し、部品単位のチップ素体として、高精� �に正確な切断ができる。

 切断終了後は、熱膨張性粘着層3を、熱膨 張性微小球の膨張温度以上の温度まで加熱し て熱膨張性粘着層3の接着力を消失あるいは� �減させて、被加工体(切断後の積層セラミッ� ��シート8)を台座7から取り外すことができる� ��なお、この際熱膨張性粘着層3を被着体から 容易に剥離できるようにするための加熱処理 条件は、被着体の表面状態や熱膨張性微小球 の種類等による接着面積の減少性、基材や被 着体の耐熱性や加熱方法等の条件により決め られるが、一般的な条件は100~250℃、1~90秒間( ホットプレートなど)又は5~15分間(熱風乾燥機 など)である。

 切断後の積層セラミックシート8を適宜な 方法により回収した後、引き剥がし等により 熱剥離型両面粘着シート6の仮固定用粘着層5� ��台座7とを剥離することができる。本発明の 熱剥離型両面粘着シート6の仮固定用粘着層� �、親油性層状粘土鉱物を含有していること� �より凝集力に優れており、高温雰囲気下で� �作業を経験した後であっても良好に再剥離� �能である。