Die Erfindung betrifft einen Tastfühler für eine

Werkzeugmaschine, sowie eine Werkzeugmaschine mit einem solchen Tastfühler.

Stand der Technik

Tastfühler der einleitend genannten Art sind bereits vielfach bekannt. Ein bekannter Tastfühler umfasst ein Gehäuse, an welchem über eine Lagermechanik ein Taststifthalter zur Anordnung eines Taststifts bewegbar gelagert ist. Bekannte Tastfühler umfassen als Lagermechanik ein Drei-Punkt-Lager bzw. eine Drei-Punkt-Aufläge, mittels welchem der

Taststifthalter bewegbar am Gehäuse gelagert ist. Ein

bekannter Nachteil des Drei-Punkt-Lagers ist, dass es eine ungleiche Bewegungscharakteristik des Taststifthalters radial um eine Längsachse des Taststiftelements aufweist. Diese markante Hebelcharakteristik des Drei-Punkt-Lagers führt zu einer ungleichen Messcharakteristik für Bewegungen des

Taststifthalters in radialer Richtung um die Längsachse des Taststifts und damit zu einer Messungenauigkeit . Aufgaben und Vorteile der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen verbesserten Tastfühler bereitzustellen. Insbesondere einen Tastfühler bereitzustellen, welcher eine verbesserte Messcharakteristik; aufweist .

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.

In den abhängigen Ansprüchen sind vorteilhafte und zweckmäßige Ausführungsformen der Erfindung angegeben.

Die Erfindung geht von einem Tastfühler mit einem Gehäuse und einer Taststifthalterung aus, wobei die Taststifthalterung ein Taststiftlager und eine Taststiftaufnahme umfasst, wobei die Taststiftaufnahme dazu vorgesehen ist, einen Taststift aufzunehmen, wobei die Taststifthalterung mittels des

Taststiftlagers am Gehäuse beweglich gelagert ist.

Bevorzugterweise ist die Taststifthalterung mittels des

Taststiftlagers über eine Ruhelagemechanik am Gehäuse

beweglich gelagert. Die Ruhelagemechanik ist beispielsweise als eine bekannte Drei-Punkt-Auflage ausgeführt. Im nicht ausgelenkten Zustand befindet sich die Taststifthalterung insbesondere in einer Ruheposition, z.B. einer sogenannten Nulllage, an der Ruhelagemechanik.

Der wesentliche Aspekt der Erfindung ist nun darin zu sehen, dass die Taststifthalterung eine Membran aufweist, wobei die Membran zwischen der Taststiftaufnahme und dem Taststiftlager der Taststifthalterung ausgebildet ist. Hierdurch ist eine Messcharakteristik des Tastfühlers verbessert, insbesondere eine radiale Messcharakteristik. Die Messcharakteristik des Tastfühlers lässt sich insbesondere bei einer radialen

Antastung, z.B. in X- und/oder Y-Richtung, des Tastfühlers durch die Membran optimieren. Eine radiale Antastung des

Tastfühlers ist als Antastung senkrecht zu einer Längsachse L2 des Gehäuses bzw. zu einer Längsachse LI eines angeordneten Taststifts zu sehen.

Im nicht ausgelenkten Zustand der Taststiftaufnahme, bzw. des an der Taststiftaufnahme anordenbaren Taststifts, befindet sich bevorzugterweise die Taststiftaufnahme und/oder die Membran in einer Ruheposition an der Taststifthalterung .

Auch ist es von Vorteil, dass die Membran die

Taststiftaufnahme mit dem Taststiftlager, insbesondere ausschließlich, verbindet.

Bevorzugterweise ist die Membran als eine elastische Membran, z.B. hautartig, plättchenartig und/oder scheibenartig, z.B. als ein insbesondere dünnes, flaches Biegeelement,

ausgebildet. Hierdurch ist eine Messempfindlichkeit des

Tastfühlers bei einer radialen Antastung aus jeder Richtung gleich. Beispielsweise wird zum Auslösen eines Messsignals in einer radialen Antastrichtung immer eine gleiche Messkraft benötigt .

Auch ist es von Vorteil, dass die Membran derart vorhanden ist, dass eine Messung des Tastfühlers nicht durch Vibrationen einer Bearbeitungs- und/oder Messmaschine, an welcher der Tastfühler anordenbar ist, gestört ist. Vorteilhafterweise dämpft die Membran eine Bewegung oder Kraft der

Taststiftaufnahme, welche durch äußere Vibrationen verursacht ist. Eine äußere Vibration kann beispielsweise durch eine Achsbewegung einer Achse der Bearbeitungsmaschine, an welcher der Tastfühler z.B. angeordnet ist, verursacht sein.

Insbesondere besitzt die Membran eine z.B. vergleichsweise große Dicke, um äußere Vibrationen zu dämpfen.

Die Dicke der Membran ist z.B. in einem Bereich zwischen 0,1 mm und 5 mm vorhanden, beispielsweise in einem Bereich

zwischen 0,2 mm und 4 mm oder zwischen 0,3 mm und 3 mm oder zwischen 0 , 4 mm und 2 mm. Die Dicke der Membran ist

vorteilhafterweise 0,5 mm, 1mm, insbesondere 1,5 mm. Weiter wird vorgeschlagen, dass die Membran

rotationssymmetrisch ausgebildet ist.

Beispielsweise ist die Membran in Form einer ringförmigen Scheibe, als sogenannte Dünnstelle, vorhanden.

Vorteilhafterweise ist die Membran als Ring oder als

Ringscheibe ausgebildet. Denkbar ist auch, dass die Membran stegartig, z.B. speichenartig vorhanden ist. Insbesondere ist die ringscheibenförmige und/oder speichenartige Membran zwischen der Taststiftaufnahme und dem Taststiftlager

angeordnet und verbindet die Taststiftaufnähme mit dem

Taststiftlager. Die insbesondere ringscheibenförmige Membran ist z.B. mit einer radial innenliegenden Seite mit der

Taststiftaufnahme verbunden und mit einer radial

außenliegenden Seite mit dem Taststiftlager. Durch die rotationssymmetrisch vorhandene Membran besitzt die

Taststiftaufnahme, insbesondere der Tastfühler, eine

gleichmäßige radiale Antastcharakteristik. Als vorteilhaft erweist sich auch, dass die Membran derart ausgebildet ist, dass sie sich bei einer Bewegung der

Taststiftaufnahme relativ zum Gehäuse verformt. Hierdurch ist eine Messempfindlichkeit des Tastfühlers vorteilhaft

verbessert. Insbesondere ist die Membran aus einem

vergleichsweise weichen Material ausgebildet.

Insbesondere verformt sich die Membran bei einer Bewegung der Taststiftaufnahme in eine radiale Richtung, wobei eine radiale Richtung als eine Richtung senkrecht zu einer Längsachse LI der Taststifthalterung bzw. zu einer Längsachse der

Taststiftaufnahme zu sehen ist. Eine Bewegung der

Taststiftaufnahme in radialer Richtung ist z.B. eine Bewegung in X- und/oder Y-Richtung. Bspw. wird die Membran bei einer Bewegung der Taststiftaufnahme gestaucht und/oder gedehnt. Denkbar ist allerdings auch, dass die Membran sich bei einer axialen Bewegung der Taststiftaufnahme, z.B. in Z-Richtung, verformt . Als vorteilhaft erweist sich auch, dass die Membran derart vorhanden ist, dass sie sich nach einer Verformung wieder entformt. Die Membran kehrt beispielsweise wieder in ihren Ausgangszustand, die Ruheposition zurück, insbesondere wird damit auch die Taststiftaufnahme in ihre Ruheposition zurück bewegt. Bevorzugterweise kehrt die Membran in ihre

Ruheposition zurück, sobald keine Kraft mehr auf die Membran einwirkt, insbesondere durch die Taststiftaufnahme. Die

Membran besitzt vorteilhafterweise eine

Formgedächtnisfunktion .

In einer vorteilhaften Modifikation des Tastfühlers entkoppeil die Membran eine Bewegung der TastStiftaufnahme von einer Bewegung der Ruhelagemechanik bzw. des Taststiftlagers.

Vorteilhafterweise verformt sich die Membran bei einer

Bewegung der Taststiftaufnahme bevor das Taststiftlager bewegl wird. Die Membran ist beispielsweise dazu ausgelegt eine vergleichsweise große Antastbewegung bzw. Antastkraft der Taststiftaufnahme auf das Taststiftlager zu übertragen. Bei einer vergleichsweise großen Antastbewegung bzw. Antastkraft der Taststiftaufnahme verformt sich somit z.B. zunächst die Membran, um anschließend die Bewegung der Taststifthalterung auf das TastStiftlager zu übertragen. Bei einer

vergleichsweise kleinen Antastbewegung der Taststiftaufnahme bzw. bei einer vergleichsweise kleinen Antastkraft, welche auj die Taststiftaufnahme wirkt, verformt sich hingegen

insbesondere ausschließlich die Membran, das Taststiftlager verbleibt vorteilhafterweise in seiner Lagerposition und wird nicht bewegt.

Zur Detektion einer Auslenkung des Taststiftlagers ist

vorteilhafterweise eine kleine Antastbewegung des Taststifts, bzw. eine vergleichsweise kleine Antastkraft, welche auf die Taststiftaufnahme wirkt, notwendig und insbesondere

ausreichend. Beispielsweise wird bei einer normalen Nutzung des Tastfühlers hauptsächlich die Membran verformt und das Taststiftlager der Taststiftaufnahme verbleibt unbewegt in einer Ruheposition am Gehäuse.

Auch erweist es sich als vorteilhaft, dass die

Taststifthalterung einstückig ausgebildet ist. Beispielsweise sind das Taststiftlager, die Membran und die Taststiftaufnahme einstückig ausgebildet. Denkbar ist auch, dass die

Taststifthalterung dreiteilig ausgeführt ist und aus dem

Taststiftlager, der Membran und der Taststiftaufnahme

zusammengesetzt vorhanden ist. Z.B. ist die Taststifthalterung aus einem Metall und/oder einem Kunststoff ausgebildet.

Weiter wird vorgeschlagen, dass die Membran metallisch

vorhanden ist.

Beispielsweise ist die Membran aus einem Metall, insbesondere einer metallischen Legierung hergestellt. Denkbar ist

allerdings auch, dass die Membran aus einem Kunststoff hergestellt ist. Bspw. umfasst der Kunststoff metallische Elemente. Vorteilhafterweise ist die Membran fest,

insbesondere unlösbar mit der Taststiftaufnahme und/oder dem Taststiftlager verbunden. Beispielsweise ist die Membran mit der Taststiftaufnahme und/oder dem Taststiftlager verklebt. Denkbar ist auch, dass die Membran an der Taststiftaufnahme und/oder am Taststiftlager geklemmt vorhanden ist.

Überdies ist es vorteilhaft, dass der Tastfühler eine

Lichtquelle, Sensormittel, sowie ein erstes reflektierendes Element umfasst, wobei das erste reflektierende Element im Bereich der Taststifthalteraufnähme der Taststifthalterung angeordnet ist.

Bevorzugterweise ist das erste reflektierende Element derart im Gehäuse vorhanden, um einen Lichtstrahl der Lichtquelle zu den Sensormitteln zu lenken. Beispielsweise ist das erste reflektierende Element an die Taststifthalterung geklebt und/oder geklemmt. Unter einem Lichtstrahl ist beispielsweise elektromagnetisches Licht zu verstehen, insbesondere elektromagnetisches Licht aus dem infraroten Spektrum, dem sichtbaren Spektrum und/oder dem ultravioletten Spektrum.

Vorteilhafterweise umfasst der Tastfühler weitere optische Mittel, welche dazu ausgebildet sind, einen Lichtstrahl der Lichtquelle zu beeinflussen, z.B. Linsenelemente und/oder Spiegelelemente. Beispielsweise können die optischen Mittel dazu ausgebildet sein, den Lichtstrahl zu formen oder eine Fokus bzw. einen Brennpunkt zu verändern, z.B. zu verschieben. Insbesondere sind die optischen Mittel derart ausgebildet, dass eine Lichtstrahlform im Bereich der Sensormittel formbar bzw. definierbar ist. Denkbar ist auch, dass die optischen Mittel Strahlteiler umfassen.

Das erste reflektierende Element ist beispielsweise als ein Spiegel vorhanden. Vorteilhafterweise ist das erste

reflektierende Element dazu ausgebildet das elektromagnetische Licht der Lichtquelle zu reflektieren. Denkbar ist weiterhin, dass das erste reflektierende Element dazu ausgestaltet ist den Lichtstrahl, welcher von der Lichtquelle ausgeht, zu formen. Die Lichtquelle ist vorteilhafterweise eine Laser- Lichtquelle, z.B. in Form einer Laserdiode. Das erste

reflektieren Element kann dazu ausgebildet sein, den

Lichtstrahl, bspw. einen Laserlichtstrahl, zu verändern, z.B. eine Mode des Laserlichtstrahls zu modulieren.

Der insbesondere optische Weg des Lichtstrahls der Lichtquelle verläuft z.B. von der Lichtquelle über ggf. optische Mittel zum ersten reflektierenden Element. Am ersten reflektierenden Element wird der Lichtstrahl in Richtung Sensormittel,

insbesondere auf die Sensormittel reflektiert.

Die Sensormittel umfassen zum Beispiel einen Photodetektor. Beispielsweise ist ein Sensormittel als Photodiode

ausgestaltet, insbesondere sind die Sensormittel als

Quadranten-Photodioden vorhanden. Eine Quadranten-Photodiode besteht aus vier quadratischen Photodioden, welche in einem Quadrat zueinander positioniert sind. Die Funktion der

Quadranten-Photodiode ist derart, dass die Intensität der Lichteinstrahlung auf allen vier Photodioden gemessen wird. Ändert sich die Intensitätsverteilung der Lichteinstrahlung auf den vier Photodioden, so hat sich der Lichtstrahl z.B. bewegt oder verändert.

In einer vorteilhaften Modifikation weist der Tastfühler ein zweites reflektierendes Element am Gehäuse auf, wobei ein Lichtstrahl der Lichtquelle entlang seines optischen Weges zu den Sensormitteln am ersten und am zweiten reflektierenden Element reflektiert wird.

Das zweite reflektierende Element ist beispielsweise als ein Spiegel vorhanden. Vorteilhafterweise ist das zweite

reflektierende Element dazu ausgebildet das elektromagnetische Licht der Lichtquelle zu reflektieren. Denkbar ist weiterhin, dass das zweite reflektierende Element dazu ausgestaltet ist den Lichtstrahl, welcher von der Lichtquelle ausgeht, zu formen. Das zweite reflektieren Element kann dazu ausgebildet sein, den Lichtstrahl zu verändern, z.B. eine Mode des

Laserlichtstrahls zu modulieren.

Durch das zweite reflektierende Element ist es möglich den insbesondere optischen Weg des Lichtstrahls zu verlängern, indem das erste und das zweite reflektierende Element derart zueinander positioniert sind, dass der Lichtstrahl zwischen dem ersten und dem zweiten Element mehrfach reflektiert wird. Beispielsweise wird der Lichtstrahl zunächst am ersten

reflektierenden Element in Richtung des zweiten

reflektierenden Elements reflektiert und vom zweiten

reflektierenden Element wieder zurück zum ersten

reflektierenden Element reflektiert, dies ggf. mehrmals, um dann abschließend vom ersten reflektierenden Element in

Richtung Sensormittel gelenkt zu werden. Hierdurch ist der Lichtstrahl, z.B. eine Lichtstrahllänge von der Lichtquelle zu den Sensormitteln, vorteilhafterweise verlängert. Dadurch ist eine Auflösung des Tastfühlers verbessert.

Das erste und das zweite reflektierende Element besitzen insbesondere keine Strahlteilungsfunktion. Das erste und das zweite reflektierende Element sind damit insbesondere nicht als Strahlteiler ausgebildet. Das erste und das zweite

reflektierende Element sind beispielsweise derart ausgebildet, dass sie jeweils mehr als 70 % des auftreffenden Lichts reflektieren, insbesondere mehr als 80 % oder mehr als 90 %, insbesondere mehr als 95 % des auftreffenden Lichts.

Überdies ist es von Vorteil, dass das erste und das zweite reflektierende Element in einer Weise im Gehäuse angeordnet sind, dass der Lichtstrahl der Lichtquelle entlang seines insbesondere optischen Weges zu den Sensormitteln mehrfach reflektiert wird. Vorteilhafterweise wird der Lichtstrahl zwischen dem ersten und dem zweiten reflektierenden Element mehrfach reflektiert.

Durch die Mehrfachreflexion des Lichtstrahls ist eine

Ablenkung, insbesondere eine Ablenkungsstrecke, des

Lichtstrahls auf einer Detektionsflache der Sensormittel vergleichsweise vergrößert, wenn die Taststifthalterung aus ihrer Ruhelage bewegt ist.

Vorteilhafterweise wird der Lichtstrahl zwischen dreimal und dreiunddreißigmal, zwischen dreimal und neunzehnmal oder zwischen dreimal und elfmal, insbesondere zwischen dem ersten und dem zweiten reflektierenden Element, mehrfachreflektiert. Beispielsweise wird der Lichtstrahl dreimal, fünfmal, neunmal, elfmal, insbesondere siebenmal, z.B. zwischen dem ersten und dem zweiten reflektierenden Element, reflektiert.

Weiter wird vorgeschlagen, dass das zweite reflektierende Element positionsfest im Gehäuse des Tastfühlers vorhanden ist. Bevorzugterweise ist das zweite reflektierende Element fest, insbesondere unbeweglich im Gehäuse des Tastfühlers vorhanden. Als vorteilhaft erweist sich auch, dass das erste reflektierende Element positionsfest an der Taststifthalterung angeordnet ist.

Überdies ist es von Vorteil, dass Einstellmittel zur

Einstellung einer Position des ersten und/oder des zweiten reflektierenden Elements vorhanden sind.

Die Einstellmittel sind beispielsweise als eine

Einstellschraube und/oder als ein piezoelektrisches Element vorhanden. Vorteilhafterweise ist eine Position des zweiten reflektierenden Elements am Gehäuse einstellbar. Vorstellbar ist auch, dass eine Position des ersten reflektierenden

Elements relativ zur Taststifthalterung an der

Taststifthalterung einstellbar ist. Hierdurch ist eine Justage bzw. eine Einstellung des optischen Weges des optischen

Systems bestehend aus zumindest der Lichtquelle, dem

reflektierenden ersten und zweiten Element, sowie den

Sensormitteln möglich.

Als vorteilhaft erweist sich auch, dass eine

Oberflächennormale einer Reflexionsfläche des ersten

reflektierenden Elements zumindest annähernd parallel zu einer Längsachse des Gehäuses vorhanden ist. Bevorzugterweise ist die Längsachse des Gehäuses parallel zu einer Längsachse eines an den Tastfühler anordenbaren Taststifts im angeordneten Zustand des Taststifts vorhanden. Insbesondere fallen die beiden Längsachsen zusammen.

Hierdurch ist die Justage des optischen Weges, insbesondere des optischen Systems vergleichsweise vereinfacht.

Denkbar ist auch, dass die Oberflächennormale der

Reflexionsfläche des ersten reflektierenden Elements zumindest annähernd senkrecht zu einer Längsachse des Gehäuses

ausgebildet ist. Vorteilhafterweise ist ein Oberflächennormale einer Reflexionsfläche des zweiten reflektierenden Elements

zumindest annähernd parallel zu einer Längsachse des Gehäuses vorhanden. Vorstellbar ist auch, dass die Oberflächennormale der Reflexionsfläche des zweiten reflektierenden Elements zumindest annähernd senkrecht zu einer Längsachse des Gehäuses ausgebildet ist.

Bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des Tastfühlers ist eine reflektierende Oberfläche des ersten und/oder zweiten reflektierenden Elements eben oder planar ausgestaltet.

Das erste und/oder das zweite reflektierende Element ist z.B. als planer bzw. planparalleler Spiegel vorhanden. Denkbar ist auch, dass das erste und/oder das zweite reflektierende

Element eine reflektierende Oberfläche aufweist, welche in Sektionen unterteilt ist, z.B. ist die reflektierende

Oberfläche wabenartig oder facettenartig unterteilt.

Vorstellbar ist nun, dass die Waben oder die Facetten einen unterschiedlichen Oberflächenverlauf zueinander aufweisen. Vorteilhafterweise sind die Waben oder die Facetten identisch ausgebildet. Beispielsweise ist eine Oberfläche einer Wabe oder einer Facette konkav ausgebildet.

Auch ist es von Vorteil, dass die reflektierende Oberfläche des ersten und/oder des zweiten reflektierenden Elements eine Krümmung aufweist.

Beispielsweise ist die Reflexionsfläche des ersten und/oder des zweiten reflektierenden Elements konkav ausgeformt. Die Reflexionsfläche ist beispielsweise als konkave Sphäre oder als konkave ellipsoide Oberfläche vorhanden. Vorstellbar ist auch, dass die optische Oberfläche des ersten und/oder des zweiten reflektierenden Elements eine optische, vorteilhaft eine optisch aktive Mikrostruktur und/oder eine optische bzw. optisch aktive Nanostruktur umfasst. Die Nanostruktur kann beispielsweise schmutzabweisend ausgebildet sein, insbesondere ist die Nanostruktur derart ausgebildet, dass die Reflexionsfläche hydrophob und/oder oleophob ist. Hierdurch ist die Reflexionsfläche z.B. selbstreinigend vorhanden.

Beschreibung des Ausführungsbeispiels

Ein Ausführungsbeispiel wird anhand nachstehender

schematischer Zeichnungen unter Angabe weiterer Einzelheiten und Vorteile näher erläutert.

Es zeigen:

Figur 1: In einer seitlichen Ansicht einen Querschnitt durch einen erfindungsgemäßen Tastfühlers,

Figur 2: Eine perspektivische Ansicht von seitlich oben auf eine Taststifthalterung, welche mittels einer

Ruhelagemechanik an einem Gehäuseabschnitt gelagert ist .

Ein erfindungsgemäßer Tastfühler 1 umfasst ein Gehäuse 2, eine Taststifthalterung 3 und eine Ruhelagemechanik 4, mittels welcher die Taststifthalterung 3 beweglich am Gehäuse 2 gelagert ist. Weiter umfasst der Tastfühler 1 eine Lichtquelle in Form einer Laserdiode 5, Sensormittel 6, ein optisches Linsenelement in Form einer Linse 7, insbesondere einer

Transmissionslinse, ein erstes reflektierendes Element in Form eines ersten Spiegels 8 und ein zweites reflektierendes

Element in Form eines zweiten Spiegels 9 (Figur 1) . Zum

Verständnis der Ausrichtung und Auslenkung der einzelnen

Elemente des Tastfühlers 1 ist in Figur 1 ein

Koordinatensystem eingezeichnet.

Die Taststifthalterung 3 umfasst eine hülsenartige

Taststiftaufnahme 10, eine Membran 11, sowie ein

Taststiftlager 12. Am oberen Ende 13 der hülsenartigen

Taststiftaufnahmen 10 ist z.B. radial an einem äußeren Umfang 14 die Membran 11 vorhanden. Die Membran 11 ist vorteilhafterweise als ringförmiges, plättchenartiges Bauteil insbesondere rotationssymmetrisch ausgestaltet. Die Membran 11 ist beispielsweise mit einer radial innenliegenden Seite 15 insbesondere direkt anliegend am äußeren Umfang 14 der

Taststiftaufnahmen 10 vorhanden. Mit einer der radial

innenliegenden Seite 15 gegenüberliegend ausgebildeten, radial außenliegenden Seite 16 steht die Membran 11 insbesondere direkt am Taststiftlager 12 an. Vorteilhafterweise sind das Taststiftlager 12, die Membran 11 und die Taststiftaufnahme 10 einstückig ausgebildet (Figur 2) .

An einem unteren Ende 17 der hülsenartigen Taststiftaufnahme 10 ist ein Taststift (nicht gezeigt) anordenbar. Hierzu umfasst die Taststiftaufnahme 10 beispielsweise ein

Innengewinde 18. Am, dem unteren Ende 17 gegenüberliegend vorhandenen, oberen Ende 13 ist der erste Spiegel 8 vorhanden. Beispielsweise ist der erste Spiegel 8 mittels eines Klebers am oberen Ende 13 positionsfest, z.B. unlösbar angeordnet. Hierdurch wird bei einer Auslenkung der Taststiftaufnahme 10 der erste Spiegel 8 ebenfalls ausgelenkt. Vorteilhafterweise wird der erste Spiegel 8 aus seiner Ruheposition ausgelenkt sobald sich die Taststiftaufnahme 10 aus ihrer Ruheposition bewegt, insbesondere auch bei einer vergleichsweise kleinen Bewegung der Taststiftaufnahme 10, welche insb. ausschließlich zu einer Verformung der Membran 11 führt.

Der erste Spiegel 8 ist z.B. als insbesondere runder

Planspiegel ausgebildet und besitzt eine optische

Reflexionsfläche 20. Eine Oberflächennormale der

Reflexionsfläche 20 des ersten Spiegels 8 ist

vorteilhafterweise parallel zu einer Längsachse LI der

Taststifthalterung 3 bzw. der Taststiftaufnahme 10

ausgerichtet. Hierdurch ist eine Justage eines optischen Wegs eines Lichtstrahls 19 der Laserdiode 5 vergleichsweise

verbessert.

Die Ruhelagemechanik 4 ist z.B. als eine Drei-Punkt-Auflage ausgestaltet, wobei ein Auflagebereich aus einer Kugel 21 besteht, welche in einer V-Nut 24 des Gehäuses 2 beweglich gelagert ist. Die Kugel 21 ist z.B. in einer Aussparung 22 des Taststiftlagers 12 befestigt, zum Beispiel angeklebt. Das Taststiftlager 12 ist aus einer Draufsicht betrachtet

kleeblattartig vorhanden. In den Figuren 1 und 2 ist die Taststifthalterung 3 in einer nicht ausgelenkten, nicht bewegten Position, einer Ruheposition, am Gehäuse 2

dargestellt . Damit das Taststiftlager 12 bei einer Auslenkung der

Taststifthalterung 3 und damit z.B. des Taststiftlagers 12 in die Ruheposition zurückkehrt, ist das Taststiftlager 12 über eine Schraubenfeder 23, insbesondere in bekannter Weise, an der Ruheposition vorgespannt. Die Schraubenfeder 23 drückt dabei das Taststiftlager 12 Richtung V-Nut 24 am Gehäuse 2. Eine Druckkraft der Schraubenfeder 23 auf das Taststiftlager 12 ist insbesondere parallel zu einer Längsachse L2 des

Gehäuses 2 ausgebildet, wobei in der Ruhelage die Längsachse L2 des Gehäuses 2 vorteilhafterweise auf die Längsachse LI der Taststifthalterung 3 fällt oder zumindest parallel zu dieser ausgerichtet ist.

Der zweite Spiegel 9 ist vorteilhafterweise ebenfalls als Planspiegel vorhanden. Eine Oberflächennormale einer

Reflexionsfläche 25 des zweiten Spiegels 9 ist beispielsweise parallel zur Längsachse L2 des Gehäuses 2 am Gehäuse 2

ausgerichtet. Vorteilhafterweise sind der erste und der zweite Spiegel 8, 9 sich gegenüberliegend am Gehäuse 2 vorhanden. Hierdurch ist es möglich, dass der Lichtstrahl 19 auf seinem optischen Weg von der Laserdiode 5 zu den Sensormitteln 6 zwischen den beiden Spiegeln 8, 9 mehrfach reflektiert wird. In Figur 1 ist gezeigt, dass der Lichtstrahl 19 bspw.

siebenmal zwischen den beiden Spiegel 8, 9 reflektiert ist, viermal am ersten Spiegel 8 und dreimal am zweiten Spiegel 9. Vorteilhafterweise trifft der Lichtstrahl 19 von der

Laserdiode 5 kommend zuerst auf den ersten Spiegel 8 und wird an diesem reflektiert, bevor er auf den zweiten Spiegel 9 trifft, um dort ebenfalls reflektiert zu werden. Ebenfalls ist es von Vorteil, wenn der Lichtstrahl 19 auf seinem Weg zu den Sensormitteln 6 am ersten Spiegel 8 derart reflektiert wird, dass er ausgehend vom ersten Spiegel 8 in Richtung der

Sensormittel 6 gelenkt ist.

Befindet sich die Taststifthalterung in der Ruheposition, ist der Lichtstrahl 19 insbesondere auf einer Detektorfläche 26 der Sensormittel 6 ebenfalls in einer Ruheposition, z.B. in einer Nulllage. Vorteilhafterweise ist die Nulllage in einem mittleren Bereich der Detektorfläche 26 vorhanden. Wird der

Lichtstrahl 19 beispielsweise, wie in Figur 1 gezeigt, viermal am ersten Spiegel 8 reflektiert und die Taststifthalterung 3 aus ihrer Ruhelage bewegt, so entspricht eine Winkelabweichung des Lichtstrahls 19 relativ zur Ruheposition z.B. der

vierfachen Winkelabweichung, welche der erste Spiegel 8 aufgrund der Auslenkung der Taststifthalterung 3 aus der

Ruhelage erfährt. Hierdurch ist eine Messempfindlichkeit vergleichsweise verbessert. Auch eine Auslenkung der

Taststifthalterung 3 in einer Z-Richtung, parallel zur

Längsachse L2 , ist durch diese Anordnung vorteilhafterweise detektierbar .

Der zweite Spiegel 9 ist am Gehäuse 2 vorteilhafterweise auf einer Einstellplatte 27 insbesondere positionsfest angeordnet. Die Position der Einstellplatte 27 im Gehäuse 2 ist z.B.

relativ zum Gehäuse 2 mittels einer Einstellschraube 28 justierbar. Durch die Einstellschraube 28 ist beispielsweise ein Abstand des ersten Spiegels 8 zum zweiten Spiegel 9 einstellbar. Auch ist es vorstellbar, dass die beiden Spiegel 8 und 9 mittels Einstellmitteln der Einstellplatte 27 derart zueinander positionierbar, z.B. kippbar oder neigbar, sind, dass die beiden insbesondere planen Reflexionsflächen 20, 25 des ersten und des zweiten Spiegels 8, 9 insbesondere in der Ruhelage zueinander parallel vorhanden sind. Denkbar ist auch, dass durch die Justierbarkeit der Einstellplatte 27 optische

Achsen der Reflexionsflächen 20, 25 des ersten und des zweiten Spiegel 8, 9 insbesondere in der Ruhelage zueinander parallel ausgerichtbar sind, insbesondere, dass die optischen Achsen aufeinander fallen.

Bezugszeichenliste

1 Tastfühler

2 Gehäuse

3 Taststifthalterung

4 Ruhelagemechanik

5 Laserdiode

6 Sensormittel

7 Linse

8 Spiegel

9 Spiegel

10 Taststiftaufnahme

11 Membran

12 Taststiftlager 13 Ende

14 Umfang

15 Seite

16 Seite

17 Ende

18 Innengewinde

19 Lichtstrahl

20 Reflexionsfläche

21 Kugel

22 Aussparung

23 Schraubenfeder

24 V-Nut

25 Reflexionsfläche

26 Detektorfläche

27 Einstellplatte 28 Einstellschraube