本发明涉及一种可识别晶圆缺口（切边）及圆 心的预对准机， 尤指一种透光 夹持式预对准机。 背景技术

现有的边缘夹持式预对准机（aligner)大多为卡� ��式， 常见的有二爪式、 三 爪式及四爪式。 用来检测晶圆缺口的传感器多为透射式传感器 （例如 LED或激 光透过式传感器）。 当卡爪夹持晶圆时， 任何一个爪的爪臂都有可能遮挡住晶圆 缺口。这样， 当晶圆缺口旋转至传感器发射的光线位置时， 会因为卡爪爪臂的遮 挡而无法被识别。现有专利大多提到了避免卡 爪末端接触.中.元遮挡晶圆缺口的方 法， 例如毎个爪的末端至少布置两个接触 ^元， 并且其间距大于晶圆缺口尺寸， 而并未提到卡爪爪臂对传感器光线的遮挡的直 接解决办法。这些专利采取的解决 办法大多是先使晶圆旋转一周，看传感器信号 有无变化或信号变化是否符合耍求 来判断晶圆缺口是否被卡爪爪臂遮挡， 若被遮挡， 则放下晶圆， 待卡爪旋转一定 角度后再. ¾新夹持晶圆继续检测。这样会使控制程序更� ��复杂，并降低了预对准 的效率。 发明内容

鉴于以上内容，有必耍提供一种透光夹持式预 对准机， 能够避免由于预对准 机卡爪遮挡晶圆缺口及传感器光线带来的. ¾新夹持晶圆的 1 题。

一种透光夹持式预对准机，所述透光夹持式预 对准机包括一机座、一装设在 所述机座上的卡爪以及一检测所述晶圆上的缺 口的传感器，所述卡爪包括至少两 个卡爪接触^元、至少两个卡爪臂以及至少两� �与所述卡爪接触单元和所述卡爪 臂相连接的连铵部，所述卡爪接触 元夹持所述晶圆，所述卡爪臂支撑所述晶圆， 所述连按部是透光材料制成， 所述传感器包括一光线发射端以及一光线接收 端， 所述光线发射端发射光线以检测所述缺口位置 。

相对现有技术， 本发明透光夹持式预对准机的较佳实施方式屮 ，透光材料采 用有机玻璃， 采 ffl焊接方式或螺紋连接等与其他零部件连接； 而传感器采用发射 光线可透过所述的有机玻璃的透过式激光传感 器，并可对光信号的微弱变化进行 补^。不必担心晶圆缺口及传感器发射光线被� �爪爪臂遮挡仵，也不必做任何调 整来.章:新夹持晶圆， 简化了控制程序， 并可有效提高预对准的效率。 能够避免由 •T预对准机卡爪遮挡晶圆缺口及传感器光线� �来的. ¾新夹持晶圆的 1 题。 國綱

图 1为本发明透光夹持式预对准机较佳实施方式� �立体魟装图。

图 2为图 1屮的卡爪的立体图。

图 3为图 1屮的 A的放大图。

ΐ耍元件符号说明

机应

卡爪

撑托

传感器

光线发射端

光线

光线接收端

卡爪接触.中-元

连铵部

卡爪臂

卡爪转轴

Η 圆

缺口 具体实施方式

请参阅图 1-3， 本发明透光夹持式预对准机较佳实施方式用于 夹持晶圆边缘 并识别晶圆缺口 （切边）及圆心。 所述透光夹持式预对准机包括一机座 1、 一装 设在所述机痤 1上的卡爪 2、 一设丁 -所述机座 1上的撑托 3以及一与所述撑托 3 相对的传感器 4。 所述卡爪 2、 所述撑托 3、 所述传感器 4设在所述机座 1的同 一面。

请继续参阅图 2,所述机座 1早.一立方体。所述卡爪 2装设在所述机座 1上， 所述卡爪 2包括至少两个干卡爪接触单元 8、 至少两个连接部 9、 至少两个卡爪 臂 10以及一卡爪转轴 11。 所述卡爪按触 元 8早.一钩状， 用以夹持一晶圆 12。 所述连接部 9早.一小立方体形状，采用透光材料制成，并� ��连接所述卡爪接触^ 元 8和所述卡爪臂 10 所述卡爪臂 10为长条状， 若干卡爪臂 10连接到所述卡 爪转轴 11上。所述卡爪转轴 11早.圆柱状，并将所述卡爪 2装设在所述机应 1上。 其屮，透光材料采 ffl有机玻璃，采 ffl焊接方式或螺纹连接等与所述卡爪接触 ^元 8和所述卡爪臂 10相连接。 所述卡爪转轴 11的延仲方向与所述卡爪臂 10所在 的平而相垂直 在本较佳实施例屮， 所述卡爪 2具有三个卡爪臂 10。

请一并参阅图 1、 图 3， 所述撑托 3邻近所述卡爪 2设置， ffl以撑托所述 _Η ^Θ _Η 圆 12。 所述撑托 3早.弯折状， 具有与所述机座 1连铵的连接部和用以支撑所述 晶圆 12的支撑部。 所述传感器 4早.一倒 L形状， 所述传感器 4安装在所述卡爪 2的旁边， 使得当所述卡爪 2带动所述晶圆 12旋转时， 所述传感器 4能够检测 所述晶圆 12上的缺口 13。 当所述卡爪臂 10刚好转到所述传感器 4的位置时， 所述卡爪接触^元 8和所述连接部 9刚好位亍所述传感器 4的下方。所述传感器 4包括一光线发射端 5以及一光线铵收端 7。 所述光线发射端 5设在所述传感器 4的顶端下方， 用以向所述机座 1上发射光线， 所述光线接收端 7设在与所述传 感器 4顶端相对的所述机座 1上。所述光线发射端 5向所述光线接收端 7发射光 线 6, 由于所述连接部 9早.一小立方体形状， 采用透光材料制成， 即使所述连铵 部 9刚好位 T所述传感器 4的下方， 仍可以检测所述晶圆 12的缺口 13。

一晶圆传输装置（如机械手）将带有所述缺口 13的晶圆 12放置在所述撑托

3上， 所述卡爪 2沿所述卡爪转轴 11上升， 将所述晶圆 12托起使所述晶圆 12 所在平而及所述卡爪臂 10高于所述撑托 3。所述卡爪 2夹持所述晶圆 12并绕所 述卡爪转轴 11旋转一周， 由所述传感器 4 (如透光式传感器）， 检测山所述晶圆 12的缺口 13所在位置。

由所述卡爪 2带动所述晶圆 12旋转， 使所述晶圆 12的缺口 13对准预设方 向， 所述卡爪 2松开所述晶圆 12并下降， 使所述晶圆 12落在所述撑托 3上， 由 晶圆传输装置将所述晶圆 12取走。若所述卡爪 2的一个卡爪臂 10刚好处于所述 晶圆 12的缺口 13下方，所述卡爪 2带动所述晶圆 12旋转， 当所述晶圆 12的缺 口 13经过所述传感器 4发射的光线 6时，由于所述卡爪臂 10上的相应部分被替 换为透光材料， 而不会遮挡所述光线 6。

另外，本发明的实施不仅限于本例，还可根据 不同应用情况将所述卡爪铵触 中-元 8及所述卡爪臂 10也替换成透光材料。透光材料可选用有机玻� �� (PMMA, 聚甲基丙烯酸甲酯）， 由相关资料可知， 当透光材料的厚度在 6-15mm时， 其透 光率可达到 90%-92%， 并且其强度较高， 为普通玻璃的 7-18倍， 能够满足^片 的耍求。

本发明透光夹持式预对准机的较佳实施方式屮 ， 所述卡爪 2带动所述晶圆 12旋转， 使得所述传感器 4检测所述晶圆 12上的缺口 13所在的位置。 在所述 连接部 9夹在所述光线发射端 5、 所述光线按收端 7屮间， 所述缺口 13位丁所 述连接部 9上方时， 由丁 -所述连接部 9由透光材料制成，所述传感器 4即可检测 山所述缺口 13所在的位置。 能够避免由于预对准机卡爪遮挡晶圆缺口及传 感器 光线带来的.車:新夹持晶圆的 I、HJ题。

本发明透光夹持式预对准机的较佳实施方式屮 ，透光材料采 ffl有机玻璃，采 用焊接方式或螺紋连接等与其他零部件连接； 而传感器釆 ffl发射光线可透过所述 的有机玻璃的透过式激光传感器， 并可对光信号的微弱变化进行补傥。不必担心 晶圆缺口及传感器发射光线被卡爪爪臂遮挡住 ，也不必做任何调整来： ¾新夹持晶 圆， 简化了控制程序， 并可有效提高预对准的效率。