Login| Sign Up| Help| Contact|

Patent Searching and Data


Title:
TRANSPARENT ELECTRODE AND METHOD FOR PRODUCING TRANSPARENT ELECTRODE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2009/060717
Kind Code:
A1
Abstract:
Disclosed is a transparent electrode which is satisfactory in characteristics such as high light transmittance, low surface resistance, lightweightness and flexibility. Also disclosed are a transparent electrode which is excellent in uniformity of surface resistance and surface smoothness, and a method for producing such a transparent electrode. The transparent electrode is characterized by having a conductive layer (layer A) containing a conductive fiber and a conductive layer (layer B) containing a conductive polymer, which layers are arranged adjacent to each other on a transparent supporting body. This transparent electrode is also characterized in that the layer A is arranged closer to the supporting body, and the interface of the layer B in contact with the layer A has a smoothness expressed as Ra (B) ≤ 30 nm.

Inventors:
TAKADA, Hiroshi (Inc. 1 Sakura-machi, Hino-sh, Tokyo 11, 1918511, JP)
Application Number:
JP2008/069099
Publication Date:
May 14, 2009
Filing Date:
October 22, 2008
Export Citation:
Click for automatic bibliography generation   Help
Assignee:
Konica Minolta Holdings, Inc. (6-1 Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku Tokyo, 05, 1000005, JP)
コニカミノルタホールディングス株式会社 (〒05 東京都千代田区丸の内一丁目6番1号 Tokyo, 1000005, JP)
International Classes:
H01B5/14; H01B13/00; H01B5/14; H01B13/00
Download PDF:
Claims:
 透明支持体上に互いに隣接する導電性繊維を含む導電性層(A層)と導電性高分子を含む導電性層(B層)を有し、且つA層が支持体に近い側に配置されており、且つA層に接するB層の第一表面の平滑性Ra(B)が、30nm以下であることを特徴とする透明電極。
 前記透明支持体から遠い側のB層の第二表面の平滑性Ra(S)が、5nm以下であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の透明電極。
 請求の範囲第1項または第2項に記載の透明電極を製造する透明電極の製造方法であって、離型性支持体の離型面側に導電性高分子を含む導電性層(B層)を形成した後、導電性繊維を含む導電性層(A層)を積層し、導電性高分子を含む導電性層(B層)と導電性繊維を含む導電性層(A層)の積層物を、透明支持体上に転写することを特徴とする透明電極の製造方法。
 請求の範囲第1項または第2項に記載の透明電極を製造する透明電極の製造方法であって、離型性支持体の離型面上に導電性繊維を含む導電性層(A層)を形成し、該導電性繊維を含む導電性層(A層)を透明支持体上に形成した透明な樹脂を含むバインダー層に転写した後、導電性高分子を含む導電性層(B層)を積層することを特徴とする透明電極の製造方法。
Description:
透明電極及び透明電極の製造方

 本発明は、液晶表示素子、有機発光素子 無機電界発光素子、太陽電池、電磁波シー ド、タッチパネル等の各種分野において好 に用いることができる、高い導電性と良好 透明性を併せ持つ透明電極、及び該透明電 の製造方法に関するものである。

 近年、薄型テレビ需要の高まりに伴い、 晶、プラズマ、有機エレクトロルミネッセ ス、フィールドエミッション等、各種方式 ディスプレイ技術が開発されている。これ 表示方式の異なるいずれのディスプレイに いても、透明電極は必須の構成技術となっ いる。また、テレビ以外でも、タッチパネ や携帯電話、電子ペーパ、各種太陽電池、 種エレクトロルミネッセンス調光素子にお ても、透明電極は欠くことのできない技術 素となっている。

 従来、透明電極として、Au、Ag、Pt、Cu等の 種金属薄膜や、錫や亜鉛をドープした酸化 ンジウム(ITO、IZO等)、アルミニウムやガリウ ムをドープした酸化亜鉛(AZO、GZO等)、フッ素 アンチモンをドープした酸化錫(FTO、ATO等) の金属酸化物半導体薄膜、TiN、ZrN、HfN等の 電性窒化物薄膜、LaB 6 等の導電性ホウ素化物薄膜が知られており、 またこれらを組み合わせたBi 2 O 3 /Au/Bi 2 O 3 ,TiO 2 /Ag/TiO 2 等の各種電極も知られている。無機物以外に も、導電性高分子を使用した透明電極も提案 されている(例えば、非特許文献1参照)。

 しかしながら、上述した金属薄膜、窒化 薄膜及びホウ素物薄膜は、光透過性と導電 の特性が両立し得ないため、電磁波シール 等の特殊な技術分野においてのみ使用され いた。一方、金属酸化物半導体薄膜は、光 過性と導電性との両立が可能で耐久性にも れるため、透明電極の主流となりつつある 特に例示した酸化物半導体材料の中でも、I TOは光透過性と導電性とのバランスが良く、 溶液を用いたウェットエッチングによる電 微細パターン形成が容易であることから、 種オプトエレクトロニクス用の透明電極と て多用されている。

 一方で、携帯電話や電子ペーパ等の各種 帯デバイスや調光素子、太陽電池では、透 電極の高光透過率化、低表面抵抗率化、薄 化に加えて、軽量性や柔軟性、更に表面の 滑性を高めたいという要望が強く、各種の プローチがなされている。

 柔軟性を高めるための技術的なアプロー としては、二つに大別される。第一の方法 、従来の剛直な基板の見直しであり、ガラ 基板に代えて柔軟性、且つ防湿性に優れた 分子樹脂フィルム基板を適用しようとする のである。第二の方法は、上記基板の変更 加え、透明電極材料自体も改良して、より いフレキシビリティを確保しようとする試 である。

 第一のアプローチにおいては、例えば、 明電極体として、厚さ0.1~0.2mmの高分子樹脂 ィルム上に、ITOをスパッタ法やイオンプレ ティング法等の真空成膜法で成膜して透明 電性膜とした電極体が検討されている。そ 際、高分子樹脂フィルムとしては、真空成 時の熱的損傷と機械的強度を考慮して、ポ エチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレ ナフタレート(PEN)、ポリエーテルスルホン(PE S)またはポリカーボネート(PC)等が使用されて いる(例えば、特許文献1~3参照)。

 しかし、ガラス基板を用いる従来の成膜 では、基板温度を300~400℃程度に設定するこ とができ、結晶性の高いITO膜を形成できるの に対して、高分子樹脂フィルム基板を用いる 場合には、耐熱性の点から成膜時の温度を高 温に設定できないため、ITO膜の結晶性が低下 する。その結果、光透過率と表面抵抗との両 特性を満足した透明電極が得られていないの が実状である。更に、ITO膜自体は一種のセラ ミックスであり、しかも抵抗値の低い結晶性 のITO膜は構造的に柱状であるため、曲げや伸 びに追従することが困難であり、依然として 高いフレキシビリティを確保できていない。

 そこで、第二のアプローチとして、酸化 ンジウムや酸化錫よりなる導電性酸化物粒 を含む分散液を、支持体上に塗布し熱処理 行うことにより透明導電膜を形成する方法 、基材上に塗布した無機酸化物微粒子の表 を溶解し、その後、加熱処理により安定化 せる成膜方法が開示されている(例えば、特 許文献4、5参照)。

 しかし、これらの方法は、いずれも透明 電膜形成時に加熱処理を必要とするため、 分子樹脂フィルム上に透明導電膜を形成す 場合には適用できない。また、一般に市販 れている透明導電性ペーストや透明導電性 ンクと呼ばれる材料も、高い導電性を得る めには塗膜形成後に加熱処理や焼結処理が 要であり、樹脂支持体への使用には適さな ものである。

 柔軟性に優れた透明電極材料として、π 役系高分子に代表される導電性高分子材料 挙げられる。導電性高分子材料を用いると 当な溶媒に溶解または分散し、必要に応じ バインダー成分を加えて塗布や印刷するこ によって透明電極体を形成することができ (例えば、特許文献6参照)。しかし、真空成 法によるITO等の金属酸化物透明電極に較べ と、導電性は低く、且つ透明性にも劣る。

 また、カーボンナノチューブ(CNT)や金属ナ ワイヤのような導電性繊維を用いる技術も 示されており、導電性繊維の一部を透明樹 膜で基板に固定し、且つ導電性繊維の一部 透明樹脂膜表面に露出または突起させて透 電極を形成することが提案されている(例え 、特許文献7~9参照)。しかし、このような構 成の透明電極は、表面に導電性繊維が露出ま たは突起していない部分には導電性がないた め、面電極としての機能を有しておらず、ま た表面に導電性繊維が露出または突起してい るため、電極表面の平滑性が求められる技術 用途には適用できない。

特開平6-145964号公報

特開平8-64034号公報

特開平8-17267号公報

特許第3251066号公報

特開2006-245516号公報

特開平6-273964号公報

特開2005-255985号公報

特表2006-519712号公報

米国特許出願公開第2007/0074316A1号明細書 「透明導電膜の技術」第80頁(オーム社出 版局)

 以上のように、従来の各特許文献及び非 許文献に記載された技術では、いずれの方 でも各種特性を満足した透明電極を得ると う課題を解決することができなかった。従 て、本発明の目的は、高光透過率、低表面 抗、軽量性、柔軟性の各特性を満足する透 電極を提供することにあり、更には表面抵 の均一性と表面平滑性に優れた透明電極と 透明電極の製造方法を提供することにある

 本発明者は、上記課題に鑑み鋭意検討を った結果、透明支持体上に導電性繊維を含 透明導電性層と導電性高分子を含む透明導 性層を平滑な面をもって積層することによ て、高い導電性と透明性を有し、且つ表面 抗の均一性と表面平滑性に優れた透明電極 実現できることを見出し、本発明に至った また、透明支持体に透明樹脂フィルムを用 ることにより、軽量性と柔軟性をも満足す 透明電極を得ることもできる。即ち、本発 に係る上記課題は、以下の構成により解決 れる。

 1.透明支持体上に互いに隣接する導電性 維を含む導電性層(A層)と導電性高分子を含 導電性層(B層)を有し、且つA層が支持体に近 側に配置されており、且つA層に接するB層 第一表面の平滑性Ra(B)が、30nm以下であるこ を特徴とする透明電極。

 2.前記透明支持体から遠い側のB層の第二 面の平滑性Ra(S)が、5nm以下であることを特 とする前記1に記載の透明電極。

 3.前記1または2に記載の透明電極を製造す る透明電極の製造方法であって、離型性支持 体の離型面側に導電性高分子を含む導電性層 (B層)を形成した後、導電性繊維を含む導電性 層(A層)を積層し、導電性高分子を含む導電性 層(B層)と導電性繊維を含む導電性層(A層)の積 層物を、透明支持体上に転写することを特徴 とする透明電極の製造方法。

 4.前記1または2に記載の透明電極を製造す る透明電極の製造方法であって、離型性支持 体の離型面上に導電性繊維を含む導電性層(A )を形成し、該導電性繊維を含む導電性層(A )を透明支持体上に形成した透明な樹脂を含 むバインダー層に転写した後、導電性高分子 を含む導電性層(B層)を積層することを特徴と する透明電極の製造方法。

 本発明の上記構成によれば、高光透過率 低表面抵抗、軽量性、柔軟性といった特徴 有し、且つ表面抵抗の均一性と表面平滑性 優れた透明電極を得ることができ、その効 として、軽量性や柔軟性が求められるモバ ルオプトエレクトロニクスデバイスや、表 抵抗の均一性や電極表面の平滑性が求めら る電流駆動型オプトエレクトロニクスデバ スや、タッチパネルなどの技術用途にも適 可能な透明電極を提供できる。また、本発 の透明電極は、真空成膜を必要としないた 、コストや環境適性にも優れた利点を備え いる。

 以下、本発明について詳述する。

 本発明の透明電極は、互いに隣接する導 性繊維を含む導電性層(A層)と、導電性高分 を含む導電性層(B層)を有し、且つA層が支持 体に近い側に配置されていることを特徴とす る。この特徴は、前記構成1~3に係る発明に共 通する技術的特徴である。

 以下、本発明の透明電極の各構成要素、 び本発明を実施するための最良の形態等に いて詳細な説明をする。

 〔導電性繊維を含む導電性層(A層)〕
 本発明で用いられる導電性繊維として、カ ボンナノチューブやカーボンナノファイバ 、カーボンナノワイヤなどのカーボン系繊 状材料、金属ナノワイヤや金属ナノチュー 、金属ナノロッドなどの金属系繊維状材料 金属酸化物ナノワイヤや金属酸化物ナノワ ヤ、金属酸化物ナノロッドなどの金属酸化 系繊維状材料、あるいは有機物繊維表面を 属や金属酸化物でコーティングした複合系 維状材料などが挙げられる。

 これらの導電性繊維の中でも、導電性の 点から、カーボンナノチューブや金属ナノ イヤを好ましく用いることができ、更には スト(原材料費、製造費)と性能(導電性、透 性、可撓性)の観点から、Agナノワイヤを最 好ましく用いることができる。カーボンナ チューブは、炭素によって作られる六員環 ットワーク(グラフェンシート)が、単層あ いは多層の同軸管状に構造化した物質で、 の構造によって電気伝導率が変化すること 知られている。

 本発明においては、導電性に優れた単層 ーボンナノチューブを用いることが好まし 、更には金属性(いわゆるアームチェア型) 単層カーボンナノチューブを用いることが ましい。

 単層カーボンナノチューブは、炭素ター ットのレーザーアブレーションや炭化水素 分解、2つのグラファイト電極間でのアーク 放電など色々な方法で作製でき、例えば、気 体炭素原料と非担持触媒を使用する単層カー ボンナノチューブの合成法が開示されている (例えば、米国特許第6,221,330号明細書参照)。 た、金属性単層カーボンナノチューブの単 技術が報告されている。

 金属ナノワイヤとしては、バルク状態での 電率が1×10 6 S/m以上の金属元素を用いることが好ましい。 本発明で好ましく用いることができる金属ナ ノワイヤの金属元素の具体例としては、Ag、C u、Au、Al、Rh、Ir、Co、Zn、Ni、In、Fe、Pd、Pt、S n、Ti等、及びそれらの合金を挙げることがで きる。本発明においては2種類以上の金属ナ ワイヤを組み合わせて用いることもできる 、導電性の観点から、Ag、Cu、Au、Al、Coより 択される元素を用いることが好ましい。

 金属ナノワイヤは、液相法や気相法など 色々な方法で作製できる。例えば、Agナノ イヤの製造方法としては、Adv.Mater.2002,14,833-8 37、及びChem.Mater.2002,14,4736-4745に、Auナノワイ の製造方法としては、特開2006-233252号公報 Cuナノワイヤの製造方法としては、特開2002-2 66007号公報、Coナノワイヤの製造方法として 、特開2004-149871号公報を参考にできる。

 特に、Adv.Mater.2002,14,833-837、及びChem.Mater.2 002,14,4736-4745に報告されたAgナノワイヤの製造 方法は、水系で簡便に、且つ大量にAgナノワ ヤを製造することができ、また銀の導電率 金属中で最大であることから、本発明に係 金属ナノワイヤの製造方法として好ましく 用することができる。

 本発明においては、水系にて製造した金 ナノワイヤを、必要に応じて疎水化処理す ことができる。例えば、金属ナノワイヤを 水化処理する方法としては、特開2007-500606 公報などに記載の方法を参考にできる。

 本発明においては、平均直径が0.3~200nmの 電性繊維が好ましく使用される。特にカー ンナノチューブの場合には、平均直径が0.3~ 100nm、金属ナノワイヤの場合には平均直径が3 0~200nmであるものが好ましく用いられる。平 直径が200nmより小さい場合には、光散乱の影 響を軽減でき透明性を高められるため好まし い。一方で、導電性を高めるためには平均直 径が大きい方が好ましく、金属ナノワイヤの 場合には、使用する金属における電子の平均 自由行程以上の直径を有していることが好ま しい。

 本発明に係る導電性繊維を含む導電性層 、導電性繊維が互いに接触し合うことによ 、三次元的な導電ネットワークが形成され 導電性を発現する。従って、導電性繊維が い方が導電ネットワーク形成に有利であり ましい。一方で、導電性繊維が長くなると 導電性繊維が絡み合って凝集体を生じ、光 乱を劣化させる場合がある。導電ネットワ ク形成や凝集体生成には、導電性繊維の剛 や直径等も影響するため、使用する導電性 維に応じて最適な平均アスペクト比(長さ/ 径)のものを使用することが好ましい。大凡 目安として、平均アスペクト比は、10~10,000 あるものが好ましい。

 本発明において、上記導電性繊維の平均 径及び平均アスペクト比は、十分な数のナ ワイヤについて電子顕微鏡写真を撮影し、 々の導電性繊維像の計測値の算術平均から めることができる。導電性繊維の長さは、 来は直線状に伸ばした状態で求めるべきで るが、現実には屈曲している場合が多いた 、電子顕微鏡写真から画像解析装置を用い ナノワイヤの投影径及び投影面積を算出し 円柱体を仮定して算出する(長さ=投影面積/ 影径)ものとする。計測対象のナノワイヤ数 は、少なくとも100個以上が好ましく、300個以 上のナノワイヤを計測するのが更に好ましい 。

 本発明に係る導電性繊維を含む導電性層 、導電性繊維の他に透明なバインダー材料 添加剤を含んでいてもよい。透明なバイン ー材料としては、天然高分子樹脂または合 高分子樹脂から広く選択して使用すること できる。例えば、透明な熱可塑性樹脂(例え ば、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル-酢酸ビニ 共重合体、ポリメチルメタクリレート、ニ ロセルロース、塩素化ポリエチレン、塩素 ポリプロピレン、弗化ビニリデン)や、熱、 、電子線、放射線等で硬化する透明硬化性 脂(例えば、メラミンアクリレート、ウレタ ンアクリレート、エポキシ樹脂、ポリイミド 樹脂、アクリル変性シリケート等のシリコー ン樹脂)を使用することができる。

 導電性繊維を含む導電性層の厚さは、使 する導電性繊維の平均直径や含有量によっ 異なるが、大凡の目安として、導電性繊維 平均直径以上500nm以下が好ましい。本発明 係る導電性繊維を含む導電性層の厚さは、 くすることにより厚さ方向の導電性繊維の ットワーク形成を密にすることができるた 好ましい。

 〔導電性高分子を含む導電性層(B層)〕
 本発明で用いられる導電性高分子としては 例えば、ポリピロール、ポリアニリン、ポ チオフェン、ポリチエニレンビニレン、ポ アズレン、ポリイソチアナフテン、ポリカ バゾール、ポリアセチレン、ポリフェニレ 、ポリフェニレンビニレン、ポリアセン、 リフェニルアセチレン、ポリジアセチレン びポリナフタレンの各誘導体からなる群よ 選ばれる化合物を挙げられる。

 本発明に係る導電性高分子を含む導電性 は、1種類の導電性高分子を単独で含有して もよいし、2種類以上の導電性高分子を組み わせて含有してもよいが、導電性及び透明 の観点から、下記一般式(I)または(II)で示さ る繰り返し単位を有するポリアニリンまた その誘導体や、下記一般式(III)で示される り返し単位を有するポリピロール誘導体、 たは下記一般式(IV)で示される繰り返し単位 有するポリチオフェン誘導体からなる群よ 選ばれる少なくとも1種の化合物を含むこと がより好ましい。

 なお、上記一般式(III)及び一般式(IV)にお て、Rは主として線状有機置換基であり、ア ルキル基、アルコキシ基、アリル基またはこ れらの基の組み合わせが好ましいが、更にこ れらにスルホネート基、エステル基、アミド 基などが、可溶性導電性高分子としての性質 を損なわない範囲で結合、あるいは組み合わ されてもよい。また、nは整数である。

 本発明で用いられる導電性高分子には、 電性をより高めるためにドーピング処理を すことができる。

 導電性高分子に対するドーパントとしては 例えば、炭素数が6~30の炭化水素基を有する スルホン酸(以下、長鎖スルホン酸ともいう) るいはその重合体(例えば、ポリスチレンス ルホン酸等)、ハロゲン、ルイス酸、プロト 酸、遷移金属ハロゲン化物、遷移金属化合 、アルカリ金属、アルカリ土類金属、MClO 4 (M=Li + 、Na + )、R 4 N + (R=CH 3 、C 4 H 9 、C 6 H 5 )、またはR 4 P + (R=CH 3 、C 4 H 9 、C 6 H 5 )からなる群から選ばれる少なくとも1種が挙 られる。中でも、上記長鎖スルホン酸が好 しい。

 長鎖スルホン酸としては、例えば、ジノニ ナフタレンジスルホン酸、ジノニルナフタ ンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン 等が挙げられる。ハロゲンとしては、Cl 2 、Br 2 、I 2 、ICl 3 、IBr、IF 5 等が挙げられる。ルイス酸としては、PF 5 、AsF 5 、SbF 5 、BF 3 、BCl 3 、BBr 3 、SO 3 、GaCl 3 等が挙げられる。プロトン酸としては、HF、H Cl、HNO 3 、H 2 SO 4 、HBF 4 、HClO 4 、FSO 3 H、ClSO 3 H、CF 3 SO 3 H等が挙げられる。

 遷移金属ハロゲン化物としては、例えば、N bF 5 、TaF 5 、MoF 5 、WF 5 、RuF 5 、BiF 5 、TiCl 4 、ZrCl 4 、MoCl 5 、MoCl 3 、WCl 5 、FeCl 3 、TeCl 4 、SnCl 4 、SeCl 4 、FeBr 3 、SnI 5 等が挙げられる。遷移金属化合物としては、 AgClO 4 、AgBF 4 、La(NO 3 ) 3 、Sm(NO 3 ) 3 等が挙げられる。アルカリ金属としては、Li Na、K、Rb、Cs等が挙げられる。アルカリ土類 金属としては、Be、Mg、Ca、Sc、Ba等が挙げら る。

 また、導電性高分子に対するドーパント 、水素化フラーレン、水酸化フラーレン、 ルホン酸化フラーレンなどのフラーレン類 導入されていてもよい。

 本発明の透明電極において、上記ドーパ トは、導電性高分子100質量部に対して0.001 量部以上含まれていることが好ましい。更 は0.5質量部以上含まれていることがより好 しい。

 なお、本実施形態の透明導電性組成物は、 鎖スルホン酸、長鎖スルホン酸の重合体(例 えば、ポリスチレンスルホン酸)、ハロゲン ルイス酸、プロトン酸、遷移金属ハロゲン 物、遷移金属化合物、アルカリ金属、アル リ土類金属、MClO 4 、R 4 N + 、及びR 4 P + からなる群から選ばれる少なくとも1種のド パントと、フラーレン類との双方を含んで てもよい。

 本発明に係る導電性高分子として、特表2 001-511581号、特開2004-99640号、特開2007-165199号 各公報に開示される金属によって改質され 導電性高分子を用いることもできる。

 本発明係る導電性高分子を含む導電性層( B層)には、水溶性有機化合物を含有してもよ 。水溶性有機化合物の中で、導電性高分子 添加することによって導電性を向上させる 果を有する化合物が知られており、2nd.ドー パント(あるいは増感剤)と称される場合があ 。本発明で用いることができる2nd.ドーパン トには特に制限はなく、公知のものの中から 適宜選択することができ、例えば、酸素含有 化合物が好適に挙げられる。

 前記酸素含有化合物としては、酸素を含 する限り特に制限はなく、例えば、水酸基 有化合物、カルボニル基含有化合物、エー ル基含有化合物、スルホキシド基含有化合 などが挙げられる。

 前記水酸基含有化合物としては、例えば エチレングリコール、ジエチレングリコー 、プロピレングリコール、トリメチレング コール、1,4-ブタンジオール、グリセリンな どが挙げられ、これらの中でも、エチレング リコール、ジエチレングリコールが好ましい 。前記カルボニル基含有化合物としては、例 えば、イソホロン、プロピレンカーボネート 、シクロヘキサノン、γ-ブチロラクトンなど が挙げられる。前記エーテル基含有化合物と しては、例えば、ジエチレングリコールモノ エチルエーテル、などが挙げられる。前記ス ルホキシド基含有化合物としては、例えば、 ジメチルスルホキシドなどが挙げられる。こ れらは1種単独で使用してもよいし、2種以上 併用してもよいが、ジメチルスルホキシド エチレングリコール、ジエチレングリコー から選ばれる少なくとも1種を用いることが 特に好ましい。

 本発明に係る導電性高分子を含む導電性 (B層)において、導電性高分子100質量部に対 る上記2nd.ドーパントの含有量は0.001質量部 上が好ましく、0.01~50質量部がより好ましく 、0.01~10質量部が特に好ましい。

 本発明に係る導電性高分子を含む導電性 (B層)は、成膜性や膜強度を確保するために 電性高分子の他に透明な樹脂成分や添加剤 含んでいてもよい。透明な樹脂成分として 、導電性高分子と相溶または混合分散可能 あれば特に制限されず、硬化性樹脂であっ もよいし、熱可塑性樹脂であってもよい。

 例えば、硬化型樹脂として、熱硬化型樹 、紫外線硬化型樹脂、電子線硬化型樹脂な が挙げられるが、これらの硬化型樹脂のう では、樹脂硬化のための設備が簡易で作業 に優れることから、紫外線硬化型樹脂を用 ることが好ましい。紫外線硬化型樹脂とは 外線照射により架橋反応等を経て硬化する 脂で、エチレン性不飽和二重結合を有する ノマーを含む成分が好ましく用いられる。 えば、アクリルウレタン系樹脂、ポリエス ルアクリレート系樹脂、エポキシアクリレ ト系樹脂、ポリオールアクリレート系樹脂 が挙げられる。本発明では、バインダーと てアクリル系、アクリルウレタン系の紫外 硬化型樹脂を主成分とすることが好ましい

 アクリルウレタン系樹脂は、一般にポリ ステルポリオールにイソシアネートモノマ 、またはプレポリマーを反応させて得られ 生成物にさらに2-ヒドロキシエチルアクリ ート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート( 下、アクリレートにはメタクリレートを包 するものとしてアクリレートのみを表示す )、2-ヒドロキシプロピルアクリレート等の 酸基を有するアクリレート系のモノマーを 応させることによって容易に得ることがで る。例えば、特開昭59-151110号に記載のもの 用いることができる。例えば、ユニディッ 17-806(大日本インキ(株)製)100部とコロネートL (日本ポリウレタン(株)製)1部との混合物等が ましく用いられる。

 紫外線硬化型ポリエステルアクリレート 樹脂としては、一般にポリエステルポリオ ルに2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒ ドロキシアクリレート系のモノマーを反応さ せると容易に形成されるものを挙げることが でき、特開昭59-151112号に記載のものを用いる ことができる。

 紫外線硬化型エポキシアクリレート系樹 の具体例としては、エポキシアクリレート オリゴマーとし、これに反応性希釈剤、光 応開始剤を添加し、反応させて生成するも を挙げることができ、特開平1-105738号に記 のものを用いることができる。

 紫外線硬化型ポリオールアクリレート系 脂の具体例としては、トリメチロールプロ ントリアクリレート、ジトリメチロールプ パンテトラアクリレート、ペンタエリスリ ールトリアクリレート、ペンタエリスリト ルテトラアクリレート、ジペンタエリスリ ールヘキサアクリレート、アルキル変性ジ ンタエリスリトールペンタアクリレート等 挙げることができる。

 樹脂モノマーとしては、例えば、不飽和 重結合が一つのモノマーとして、メチルア リレート、エチルアクリレート、ブチルア リレート、ベンジルアクリレート、シクロ キシルアクリレート、酢酸ビニル、スチレ 等の一般的なモノマーを挙げることができ 。また不飽和二重結合を二つ以上持つモノ ーとして、エチレングリコールジアクリレ ト、プロピレングリコールジアクリレート ジビニルベンゼン、1,4-シクロヘキサンジア クリレート、1,4-シクロヘキシルジメチルア アクリレート、前出のトリメチロールプロ ントリアクリレート、ペンタエリスリトー テトラアクリルエステル等を挙げることが きる。

 これらの中で、バインダーの主成分とし 、1,4-シクロヘキサンジアクリレート、ペン タエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレ ト、トリメチロールプロパン(メタ)アクリレ ート、トリメチロールエタン(メタ)アクリレ ト、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ) クリレート、ジペンタエリスリトールペン (メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトー ルヘキサ(メタ)アクリレート、1,2,3-シクロヘ サンテトラメタクリレート、ポリウレタン リアクリレート、ポリエステルポリアクリ ートから選択されるアクリル系の活性線硬 樹脂が好ましい。

 これら紫外線硬化型樹脂の光反応開始剤 しては、具体的には、ベンゾイン及びその 導体、アセトフェノン、ベンゾフェノン、 ドロキシベンゾフェノン、ミヒラーズケト 、α-アミロキシムエステル、チオキサント 等及びこれらの誘導体を挙げることができ 。光増感剤と共に使用してもよい。上記光 応開始剤も光増感剤として使用できる。ま 、エポキシアクリレート系の光反応開始剤 使用の際、n-ブチルアミン、トリエチルア ン、トリ-n-ブチルホスフィン等の増感剤を いることができる。紫外線硬化型樹脂組成 に用いられる光反応開始剤また光増感剤は 組成物100質量部に対して0.1~15質量部であり 好ましくは1~10質量部である。

 〔透明支持体〕
 本発明で用いられる透明支持体には特に制 はなく、その材料、形状、構造、厚み等に いては公知のものの中から適宜選択するこ ができる。例えば、基材としての硬度に優 、またその表面への導電性層の形成のし易 等の点で、ガラス基板、樹脂基板、樹脂フ ルムなどが好適に挙げられるが、軽量性と 軟性の観点から樹脂フィルムを用いること 好ましい。

 該樹脂には特に制限はなく、公知のもの 中から適宜選択することができ、例えば、 リエチレンテレフタレート樹脂、ポリブチ ンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフ レート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリエ テルスルホン樹脂、ポリカーボネート樹脂 ポリスチレン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリ ーテルイミド樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、 リ塩化ビニリデン樹脂、ポリフッ化ビニリ ン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリ ニルアセタール樹脂、ポリビニルブチラー 樹脂、ポリメタクリル酸メチル樹脂、ポリ クリロニトリル樹脂、ポリオレフィンポリ チレン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリブタジ ン樹脂、酢酸セルロース、硝酸セルロース アクリロニトリル-ブタジエン-スチレン共 合樹脂などが挙げられる。これらは1種単独 使用してもよいし、2種以上を組み合わせて 用いてもよい。これらの中でも、透明性及び 可撓性に優れる点でポリエチレンテレフタレ ート樹脂が好ましい。

 本発明に係る透明支持体を形成する透明 脂には、目的に応じて可塑剤、酸化防止剤 どの安定剤、界面活性剤、溶解促進剤、重 禁止剤、染料や顔料などの着色剤などの添 物を含んでいてもよい。更に係る透明樹脂 は、塗布性などの作業性を高める観点から 溶媒(例えば、水、アルコール類、グリコー ル類、セロソルブ類、ケトン類、エステル類 、エーテル類、アミド類、炭化水素類等の有 機溶媒)を含んでいてもよい。

 〔離型性支持体〕
 本発明の透明電極の製造方法で用いられる 型性支持体としては、樹脂基板や樹脂フィ ムなどが好適に挙げられる。該樹脂には特 制限はなく、公知のものの中から適宜選択 ることができ、例えば、ポリエチレンテレ タレート樹脂、塩化ビニル系樹脂、アクリ 系樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリイミ 樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン 脂などの合成樹脂の単層あるいは複数層か なる基板やフィルムが好適に用いられる。 にガラス基板や紙類を用いることもできる

 また、離型性支持体の表面(離型面)には 必要に応じてシリコーン樹脂やフッ素樹脂 ワックスなどの離型剤を塗布して表面処理 施してもよい。

 〔透明電極〕
 本発明の透明電極は、透明支持体上に互い 隣接する導電性繊維を含む導電性層(A層)と 電性高分子を含む導電性層(B層)を有し、且 A層が支持体に近い側に配置されており、且 つA層に接するB層の第一表面の平滑性Ra(B)が30 nm以下であることを特徴とする。更には、A層 に接するB層の第一表面の平滑性Ra(B)が10nm以 であることが好ましく、Ra(B)が5nm以下である ことが特に好ましい。

 また、本発明の透明電極においては、支 体から遠い側のB層の第二表面の平滑性Ra(S) 、5nm以下であることが好ましく、Ra(S)が3nm 下であることより好ましく、Ra(S)が1nm以下で あることが更に好ましい。

 ここで、平滑性Ra(B)及びRa(S)は、算術平均 粗さ(平均線からの絶対値偏差の平均値)を意 し、値が小さいほど平滑性に優れる。Ra(B) びRa(S)は、直接測定できる場合には、市販の 表面粗さ計などを用いて測定して求めること ができる。あるいは、ミクロトームで透明電 極に垂直な断面切片を作製し、10切片以上の 子顕微鏡写真を撮影して画像処理装置など 用いて、Ra(B):B層がA層に接するB層表面(第一 表面)の粗さ曲線、Ra(S):B層の支持体から遠い のB層表面(第二表面)の粗さ曲線を計測し、 術平均粗さを計算して求めることもできる

 本発明の透明電極には、必要に応じて、 ードコート層やノングレアコート層、バリ コート層、アンカーコート層、キャリア輸 層、キャリア蓄積層などの各種機能性層を 与することもできる。

 ハードコート層やノングレアコート層を 与する場合には、透明支持体を挟み本発明 係る導電性層とは反対側に配置させること 好ましく、バリアコート層を付与する場合 は、透明支持体と本発明に係る導電性層の に配置させることが好ましく、アンカーコ ト層やキャリア輸送層、キャリア蓄積層を 与する場合には、透明支持体に対して本発 に係る導電性層と同じ側に配置させること 好ましい。

 本発明の透明電極の厚みには特に制限は く、目的に応じて適宜選択することができ が、一般的に10μm以下であることが好まし 、厚みが薄くなるほど支持体との密着性や 明性が向上するためより好ましい。

 本発明の透明電極における全光線透過率 60%以上であることが好ましく、70%以上であ ことがより好ましく、80%以上であることが に好ましい。全光透過率は、分光光度計等 用いた従来公知の方法に従って測定するこ ができる。

 また、本発明の透明電極における電気抵抗 としては、表面抵抗率として10 4 ω/□以下であることが好ましく、10 3 ω/□以下であることがより好ましく、10 2 ω/□以下であることが特に好ましい。10 4 ω/□を越えると、液晶ディスプレイ、透明タ ッチパネル等の透明電極や電磁波シールド材 として用いたときに、電極として十分に機能 しないこと、あるいは十分な電磁波シールド 特性が得られない場合がある。前記表面抵抗 率は、例えば、JIS K7194、ASTM D257に準拠して 定することができ、また市販の表面抵抗率 を用いて簡便に測定することができる。

 〔製造方法〕
 本発明の透明電極の製造方法において、導 性層の形成方法としては特に制限はないが 生産性と生産コスト、平滑性や均一性など 電極品質、環境負荷軽減の観点から、塗布 や印刷法などの液相成膜法を用いることが ましい。

 塗布法としては、例えば、ロールコート 、バーコート法、ディップコーティング法 スピンコーティング法、キャスティング法 ダイコート法、ブレードコート法、バーコ ト法、グラビアコート法、カーテンコート 、スプレーコート法、ドクターコート法な を用いることができる。印刷法としては、 版(活版)印刷法、孔版(スクリーン)印刷法、 平版(オフセット)印刷法、凹版(グラビア)印 法、スプレー印刷法、インクジェット印刷 などを用いることができる。

 また、本発明の特徴を有する透明電極を 明支持体上にパターン形成して、透明配線 透明回路を形成することもできる。なお、 要に応じて密着性・塗工性を向上させるた の予備処理として、透明支持体表面にコロ 放電処理、プラズマ放電処理などの物理的 面処理を施すこともできる。

 透明支持体上に互いに隣接する導電性繊 を含む導電性層(A層)と導電性高分子を含む 電性層(B層)を有し、且つA層が支持体に近い 側に配置された構成を有する本発明の透明電 極は、以下のような本発明の透明電極の製造 方法の一例に従って製造する。

 (1)離型性支持体の離型面上に、導電性高 子を含む塗工液を塗布・乾燥してB層を形成 する。次いで、B層の上に導電性繊維を揮発 の液に均一に分散した塗工液を塗布・乾燥 てA層を形成する。更にアンカーコート層を 成する。これらの積層体を透明支持体に接 し、離型性支持体を剥離することによって 層体を透明支持体に転写する。

 (2)離型性支持体の離型面上に、導電性高 子を含む塗工液を塗布・乾燥してB層を形成 する。次いで、B層の上に導電性繊維を揮発 の液に均一に分散した塗工液を塗布し乾燥 る。続いて、前記透明なバインダー材料を 有する溶液を塗布・乾燥して、導電性繊維 バインダー材料を含むA層を形成する。更に ンカーコート層を形成する。これらの積層 を透明支持体に接着し、離型性支持体を剥 することによって積層体を透明支持体に転 する。

 (3)離型性支持体の離型面上に、導電性高 子を含む塗工液を塗布・乾燥してB層を形成 する。次いで、B層の上に前記透明なバイン ー材料を含有する溶液に導電性繊維を均一 分散した塗工液を塗布・乾燥してA層を形成 る。更にアンカーコート層を形成する。こ らの積層体を透明支持体に接着し、離型性 持体を剥離することによって積層体を透明 持体に転写する。

 (4)離型性支持体の離型面上に、導電性繊 を揮発性の液に均一に分散した塗工液を塗 ・乾燥してA層を形成する。透明支持体上に 、透明なエネルギー線(紫外光や電子線)硬化 樹脂や熱硬化性樹脂を含有する溶液を塗布 乾燥し、バインダー層を形成する。離型性 持体状に形成したA層をバインダー層に圧着 し、エネルギー線や熱を付与してバインダー を硬化させた後、離型性支持体を剥離するこ とにより、透明支持体上のバインダー層表面 部分にA層が固定化された導電性層を形成す 。更に、該導電性層上に導電性高分子を含 塗工液を塗布・乾燥してB層を形成する。

 上記(1)~(2)及び(4)の方法においては、導電 性繊維を揮発性の液に均一に分散した塗工液 を塗布・乾燥した後、カレンダー処理を施し 導電性繊維間の密着性を高めることは、A層 導電性を向上させる方法として有効である

 また、(1)~(3)の方法においては、A層の上 形成した機能性層(上記製造方法例では、ア カーコート層)の一部が導電性繊維を含有し てA層の一部を形成する場合がある。

 上記いずれの方法においても、B層を形成 する離型性支持体の離型面は、予めコロナ放 電(プラズマ)などにより親水化処理していて よいし、B層を形成する塗工液には前記透明 な樹脂成分を含んでいてもよい。また、アン カーコート層は透明支持体側に形成されてい てもよい。また、積層体を転写する側の透明 支持体上にはバリアコート層が予め形成され ていてもよいし、積層体を転写する反対側の 透明支持体上にはハードコート層が予め形成 されていてもよい。また、B層の上にキャリ 輸送層やキャリア蓄積層等の機能性層を形 する場合には、透明電極製造後に形成して よいし、B層形成前に離型性支持体の離型面 に予め形成しておいてもよい。

 (4)の方法においては、A層を形成する離型 性支持体の離型面は、予めコロナ放電(プラ マ)などにより親水化処理していてもよいし A層を形成する塗液には前記透明な樹脂成分 を含んでいてもよい。また、バインダー層を 形成する側の透明支持体上にはバリアコート 層が予め形成されていてもよいし、バインダ ー層を形成する反対側の透明支持体上にはハ ードコード層が予め形成されていてもよい。 また、B層の上にキャリア輸送層やキャリア 積層等の機能性層を形成する場合には、透 電極製造後に形成してもよい。

 上記のように、B層を塗布形成した後にA を積層する製造方法によれば、塗液のレベ ングによってB層の表面を容易に平滑化でき ため、B層がA層に接する界面に優れた平滑 を付与することが可能となる。また、B層を 成する基板の表面(上記製造方法例では離型 性支持体の離型面)を平滑に保つことによっ 、B層の支持体から遠い側の表面の平滑性を 御することが可能であり、本発明において 、B層を形成する基板の表面の算術平均粗さ が5nm以下であることが好ましく、3nm以下であ ることがより好ましく、1nm以下であることが 更に好ましい。

 (4)の方法のように、離型性支持体上にA層 を塗布形成した後にバインダー層に転写し表 面部分に固定化する方法によれば、A層を含 バインダー層表面を平滑化できるため、B層 A層に接する界面に優れた平滑性を付与する ことが可能となる。また、B層の表面は塗液 レベリングによって平滑化できるため、B層 支持体から遠い側の表面の平滑性を容易に 御することが可能である。

 以下、実施例を挙げて本発明を具体的に 明するが、本発明はこれらに限定されるも ではない。なお、実施例において「部」あ いは「%」の表示を用いるが、特に断りがな い限り「質量部」あるいは「質量%」を表す また、A層とB層は、それぞれ請求の範囲で規 定する構成に従う。

 (導電性繊維及び導電性高分子)
 本実施例では、導電性繊維としてAgナノワ ヤ、導電性高分子として3,4-エチレンジオキ チオフェン(以下、PEDOTと略記する)/ポリス レンスルホン酸(以下、PSSと略記する)を用い た。以下の実施例で用いたAgナノワイヤ分散 は、次のようにして準備した。

 Adv.Mater.2002,14,833-837に記載の方法を参考に 、平均直径75nm、平均長さ6.2μmのAgナノワイヤ を作製し、フィルターを用いてAgナノワイヤ 濾別、且つ水洗処理した後、エタノール中 再分散してAgナノワイヤ分散液(Agナノワイ 含有量5質量%)を調製した。また、PEDOT/PSSは BaytronRPH500(H.C.Starck社製)を使用した。また、 ずれの実施例においても、塗布はスピンコ ターを用いて行った。

 実施例1
 《透明電極の作製》
 〔透明電極TC-10の作製〕
 前述の本発明の製造方法(3)に従い、透明電 TC-10を作製した。

 コロナ放電処理を施した離型性支持体の離 面上に、乾燥後の膜厚が150nmとなるようにPE DOT/PSSとジメチルスルホキシド(以下、DMSOと略 記する)を含む溶液を均一に塗布・乾燥してB を形成した。次いで、メチルイソブチルケ ンにウレタンアクリレートと上記Agナノワ ヤ分散液を加え均一に分散した溶液を塗布 乾燥してA層を形成した。なお、乾燥後のウ タンアクリレート膜厚が150nmでAgナノワイヤ の目付け量が0.3g/m 2 となるように、ウレタンアクリレートとAgナ ワイヤ分散液の添加量を調整した。更にA層 の上にアンカーコート層を形成した。これら の積層体を全光透過率90%のポリエチレンテレ フタレート(以下、PETと略記する)支持体に接 した後、離型性支持体を剥離することによ て積層体をポリエチレンナフタレート(以下 、PENと略記する)透明支持体に転写し、本発 の透明電極TC-10を作製した。

 〔透明電極TC-11の作製〕
 上記透明電極TC-10の作製方法において、B層 膜厚を300nmに変更した以外は透明電極TC-10と 同様にして、本発明の透明電極TC-11を作製し 。

 〔透明電極TC-12の作製〕
 上記透明電極TC-10の作製方法において、乾 後のウレタンアクリレート膜厚が200nmになる ように、ウレタンアクリレートの添加量を調 整してA層を形成した以外は透明電極TC-10と同 様にして、本発明の透明電極TC-12を作製した

 〔透明電極TC-13の作製〕
 上記透明電極TC-10の作製方法において、B層 膜厚を300nmに変更し、且つ乾燥後のウレタ アクリレート膜厚が200nmになるように、ウレ タンアクリレートの添加量を調整してA層を 成した以外は透明電極TC-10と同様にして、本 発明の透明電極TC-13を作製した。

 〔透明電極TC-14の作製〕
 PET支持体上に、透明電極TC-10と同様にしてA を形成し、続いて透明電極TC-10と同様にし B層を形成し、比較の透明電極TC-14を作製し 。

 〔透明電極TC-15の作製〕
 PET支持体上に、透明電極TC-11と同様にしてA を形成し、続いて透明電極TC-11と同様にし B層を形成し、比較の透明電極TC-15を作製し 。

 〔透明電極TC-16の作製〕
 PET支持体上に、透明電極TC-12と同様にしてA を形成し、続いて透明電極TC-12と同様にし B層を形成し、比較の透明電極TC-16を作製し 。

 〔透明電極TC-17の作製〕
 PET支持体上に、透明電極TC-13と同様にしてA を形成し、続いて透明電極TC-13と同様にし B層を形成し、比較の透明電極TC-17を作製し 。

 〔透明電極TC-18の作製〕
 PET支持体上に、透明電極TC-10と同様にしてA を形成し、比較の透明電極TC-18を作製した

 〔透明電極TC-19の作製〕
 PET支持体上に、透明電極TC-10と同様にしてB を形成し、比較の透明電極TC-19を作製した

 《評価》
 上記のように作製した各透明電極の全光透 率Tを測定した。また、透明電極表面を10×10 のエリアに区分けして、合計100箇所の表面抵 抗を測定し、表面抵抗の平均値SR(a)と、標準 差SR(σ)を求めた。更に、透明電極TC-10~17に いては、前述の方法でB層がA層に接する界面 の粗さ曲線を計測して、B層がA層に接するB層 の表面の平滑性Ra(B)を求めた。得られた結果 表1に示す。

 表1の結果において、透明電極TC-18(A層構 )と透明電極TC-19(B層構成)を比較するとA層が 電性に優れており、2つの層を積層した場合 にはA層(換言するとAgナノワイヤ)が主たる導 体として機能することが判る。

 同様に、表1の結果において、透明電極TC- 10~17を比較すると、比較の透明電極に対して 本発明の透明電極は、全光透過率が同等で 表面抵抗の平均値(SR(a))が改良され、表面抵 抗の標準偏差(SR(σ))が大幅に改善されている とが分かる。上記、B層表面の平滑性Ra(B)を 定した時の透明電極の断面観察において、 較の透明電極ではA層のAgナノワイヤがB層に はみ出しているのに対して、本発明の透明電 極では、A層のAgナノワイヤがB層との界面に しながらはみ出すことなく、界面近傍に多 存在していることが確認された。

 従って、本発明の透明電極における表面 抗の平均値の改良は、A層のAgナノワイヤの くがB層と接触していることにより、A層とB 間における導電性が向上することによって たらされ、また非常に優れた表面抵抗の均 性は、主たる導電体として機能するAgナノ イヤと透明電極表面の距離が一定に保たれ いる、即ち、Ra(B)の値が小さいという本発明 の特徴によってもたらされると考えられる。

 実施例2
 《透明電極の作製》
 〔透明電極TC-20の作製〕
 前述の本発明の製造方法(3)に従い、透明電 TC-20を作製した。コロナ放電処理を施した 型性支持体の離型面上に、乾燥後の膜厚が20 0nmとなるようにPEDOT/PSSとDMSOを含む溶液を均 に塗布・乾燥してB層を形成した。次いで、A gナノワイヤ分散液を目付け量が0.3g/m 2 となるように塗布・乾燥した。

 続いて、乾燥後の膜厚が400nmとなるよう ウレタンアクリレートのメチルイソブチル トン溶液を塗布・乾燥し、Agナノワイヤ層を 部分被覆してA層を形成した。更にA層の上に ンカーコート層を形成した。これらの積層 を実施例1でも用いたPET透明支持体に接着し た後、離型性支持体を剥離することによって 積層体を転写し、本発明の透明電極TC-20を作 した。

 〔透明電極TC-21の作製〕
 前述の本発明の製造方法(3)に従い、透明電 TC-21を作製した。コロナ放電処理を施した 型性支持体の離型面上に、乾燥後の膜厚が20 0nmとなるようにPEDOT/PSSとDMSOを含む溶液を均 に塗布・乾燥してB層を形成した。続いて、 面に微細な凹凸を有するローラーを用いて B層表面全体にテクスチャー構造を形成した 。次いで、テクスチャー構造を付与したB層 に、Agナノワイヤ分散液を目付け量が0.3g/m 2 となるように塗布・乾燥した。

 続いて、乾燥後の膜厚が400nmとなるよう ウレタンアクリレートのメチルイソブチル トン溶液を塗布・乾燥し、Agナノワイヤ層を 部分被覆してA層を形成した。更にA層の上に ンカーコート層を形成した。これらの積層 を実施例1でも用いたPET透明支持体に接着し た後、離型性支持体を剥離することによって 積層体を転写し、本発明の透明電極TC-21を作 した。

 〔透明電極TC-22~24の作製〕
 上記透明電極TC-21の作製方法において、B層 面にテクスチャー構造を形成する際のロー ーの種類を各々変えた(凹凸のPeak to Valley 異なる)以外は透明電極TC-21と同様にして、 明電極TC-22~24を作製した。

 《評価》
 上記のように作製した各透明電極の垂直な 面を観察して、B層がA層に接するB層表面の 滑性Ra(B)を求めた。また、実施例1と同様の 法で表面抵抗の平均値:SR(a)と標準偏差:SR(σ) を測定し、表面抵抗のバラツキの指標として 表面抵抗分布:D(SR)=SR(σ)/SR(a)を×100[%]求めた。 得られた結果を表2に示す。

 表2の結果において、B層表面の平滑性(Ra(B ))の劣化に伴い、表面抵抗の標準偏差(SR(σ)) 大きくなる傾向が認められるが、Ra(B)≦30nm ある本発明の透明電極TC-20~23においては、表 面抵抗分布(D(SR))が3%以下に抑えられている。 一方、Ra(B)>30nmの比較の透明電極TC-24では表 面抵抗分布が急激に劣化しており、表面抵抗 のバラツキを小さくするためには、Ra(B)を30nm 以下にすることが有効であることが判る。

 実施例3
 《透明電極の作製》
 〔透明電極TC-30の作製〕
 前述の本発明の製造方法(3)に従い、透明電 TC-30を作製した。離型面の算術平均粗さが1n m以下の高平滑性離型性支持体上に、乾燥後 膜厚が100nmとなるようにPEDOT/PSSとDMSOを含む 液を均一に塗布・乾燥してB層を形成した。 いで、Agナノワイヤ分散液を目付け量が0.3g/ m 2 となるように塗布・乾燥しAgナノワイヤ層を 成した。

 続いて、乾燥後の膜厚が300nmとなるよう ウレタンアクリレートのメチルイソブチル トン溶液を塗布・乾燥し、Agナノワイヤ層を 被覆してA層を形成した。更にA層の上にアン ーコート層を形成した。これらの積層体を 施例1でも用いたPET透明支持体に接着した後 、離型性支持体を剥離することによって積層 体を転写し、本発明の透明電極TC-30を作製し 。

 〔透明電極TC-31の作製〕
 上記透明電極TC-30の作製方法において、Agナ ノワイヤ分散液を塗布・乾燥した後、ウレタ ンアクリレート溶液の塗布前に、Agナノワイ 層にカレンダー処理を施した以外は透明電 TC-30と同様にして、本発明の透明電極TC-31を 作製した。

 〔透明電極TC-32の作製〕
 上記透明電極TC-31の作製方法において、離 面の算術平均粗さが約2nmの高平滑性離型性 持体を用いた以外は透明電極TC-31と同様にし て、本発明の透明電極TC-32を作製した。

 〔透明電極TC-33の作製〕
 上記透明電極TC-31の作製方法において、離 面の算術平均粗さが約4nmの高平滑性離型性 持体を用いた以外は透明電極TC-31と同様にし て、本発明の透明電極TC-33を作製した。

 〔透明電極TC-34の作製〕
 上記透明電極TC-31の作製方法において、離 面の算術平均粗さが約6nmの高平滑性離型性 持体を用いた以外は透明電極TC-31と同様にし て、本発明の透明電極TC-34を作製した。

 《評価》
 上記のように作製した各透明電極において 表面抵抗の平均値:SR(a)を実施例1と同様の方 法で測定した。また、各透明電極表面(即ち B層の支持体から遠い側の表面)の平滑性:Ra(S) を測定した。得られた結果を表3に示す。

 表3の結果において、透明電極TC-31は透明 極TC-30から、表面抵抗の平均値(SR(a))が明確 改良されている。これはAgナノワイヤ層形 後にカレンダー処理を施すことによって、Ag ナノワイヤ同士の密着性が高まり、Agナノワ ヤ間の導電性が向上したと同時に、B層とAg ノワイヤの密着性も高まり、B層とAgナノワ ヤ間の導電性も併せて向上したためと考え れる。また、表3における各透明電極の表面 の平滑性(Ra(S))は、各透明電極作製時に使用 た離型性支持体の表面粗さを反映している 即ち、本発明の透明電極の製造方法によれ 、本発明に係る透明電極の表面粗さを任意 制御することが可能である。

 特に、有機発光デバイスのような電極間 が狭いオプトエレクトロニクスデバイスに 発明の透明電極を適用すれば、その優れた 明電極表面の平滑性により、対極との短絡 電界の集中を防止することができる。更に の優れた表面抵抗の均一性により、有機発 デバイスの面内発光強度を均一にすること 可能となる。本発明の透明電極が有する高 明性、高導電性、優れた表面抵抗の均一性 、電流駆動型のオプトエレクトロニクスデ イスに広く有用である。

 また、透明電極の支持体に透明樹脂フィ ムを用いることにより、軽量性や柔軟性が められるモバイルオプトエレクトロニクス バイスにも好ましく適用できる。更に本発 の透明電極、及び本発明の透明電極の製造 法は、真空成膜を必要としないため製造コ トや環境適性にも優れる。

 実施例4
 〔透明電極TC-40の作製〕
 前述の本発明の製造方法(4)の方法に従い、 明電極を作製した。

 コロナ放電処理を施した離型性支持体の離 面上に、前記Agナノワイヤ分散液を均一に 散した溶液を塗布・乾燥してA層を形成した Agナノワイヤの目付け量が0.3g/m 2 となるように、Agナノワイヤ分散液の添加量 調整した。次いで、コロナ放電処理を施し 全光透過率90%のポリエチレンテレフタレー (PET)支持体に、UV光硬化性樹脂と溶媒を含む 溶液を塗布・乾燥してバインダー層を形成し た後、上記離型性支持体上に形成したA層を インダー層に圧着し、その状態を保持した までUV光を照射してバインダー層を硬化した 。その後、離型性支持体を剥離して、透明支 持体上のバインダー層表面部分にA層が固定 された導電層を形成した。更に、該導電層 に乾燥後の膜厚が150nmとなるようにPEDOT/PSSと DMSOを含む溶液を均一に塗布・乾燥してB層を 層し、本発明の透明電極TC-40を作製した。

 上記のように作製した透明電極TC-40の全 透過率T、表面抵抗の平均値SR(a)と標準偏差SR (σ)、B層がA層に接するB層表面の平滑性Ra(B)を 実施例1と同様の方法で測定した。その結果 本発明の製造方法(4)で作製された本発明の 明電極TC-40は、実施例1に示した本発明の製 方法(3)で作製された本発明の透明電極TC-10と 同等の性能と特性を有することが確認された 。