LESSMANN, Steffen (Flensburger Strasse 31, Dresden, 01157, DE)
BAUER, Reinhardt (Oybiner Str. 16, Dresden, 01324, DE)
KENNE, Marco (Priessnitzaue 2, Dresden, 01099, DE)
PUENSCH, Thomas (Azaleenweg 21, Dresden, 01279, DE)
VON DER WAYDBRINK, Hubertus (Zaschendorfer Str. 15, Dresden, 01326, DE)
JAEGER, Reinhard (Neuhofweg 7, Coswig, 01640, DE)
HENTSCHEL, Michael (Doebraer Str. 6, Dresden, 01189, DE)
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| Transportverfahren, Antriebseinrichtung und Substratbehandlungsanlage Patentansprüche 1. Verfahren zum Transport von Substraten in Substrat- behandlungsanlagen (1), bei dem ein Substrat mittels einer Transporteinrichtung (2) in der Substratbehandlungsanlage (1) bewegt wird, wobei die Transporteinrichtung (2) durch eine Antriebseinrichtung (3) mit einem Antriebsmittel (34) und einem Zugmittel (31) angetrieben wird, dadurch gekennzeichnet, dass während des Betriebs des Antriebsmittels (34) zumindest das Leertrum (32) des Zugmittels (31) gespannt wird. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens einmal eine Bewegungsumkehr der Transport- einrichtung (2) erfolgt, bei welcher das Leertrum (32) und das Lasttrum (33) ihre Funktionen tauschen, und mit der Bewegungsumkehr das neue Leertrum (32) gespannt wird. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Lasttrum (33) und das Leertrum (32) des Zugmittels (31) gleichzeitig gespannt werden, wobei das Spannen von Lasttrum (33) und Leertrum (32) des Zugmittels (31) dadurch erfolgt, dass auf das Antriebsmittel (34) eine von der Transporteinrichtung (2) weg weisende Spannkraft ausgeübt wird. 4. Antriebseinrichtung (3) für eine Transporteinrichtung (2) einer Substratbehandlungsanlage (1), umfassend ein Antriebsmittel (34) mit einem antreibenden Rad (35) und ein Zugmittel (31), welches um das antreibende Rad (35) und mindestens ein angetriebenes Rad (22) der Transporteinrichtung (2) geführt ist und diese im Betrieb der Substratbehandlungsanlage (1) antreibt, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinrichtung (3) weiterhin mindestens ein Spannmittel (4) umfasst, das mit dem Zugmittel (31) zumindest während des Betriebs der Antriebseinrichtung (2) so in Wirkverbindung bringbar ist, dass auf das Leertrum (32) des Zugmittels (31) eine Spannkraft wirkt. 5. Antriebseinrichtung (3) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebsmittel (34) relativ zur Transporteinrichtung (2) beweglich gelagert ist und das Spannmittel (4) mit dem Antriebsmittel (34) zumindest während des Betriebs der Antriebseinrichtung (2) so in Wirkverbindung bringbar ist, dass auf das Antriebsmittel (34) eine von der Transporteinrichtung (2) weg weisende Spannkraft wirkt. 6. Antriebseinrichtung (3) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebsmittel (34) bidirektional betreibbar ist und das Spannmittel (4) mit dem Zugmittel (31) zumindest während des Betriebs der Antriebseinrichtung (3) so in Wirkverbindung bringbar ist, dass bei jeder Bewegungsumkehr des Antriebsmittels (34) auf das jeweilige Leertrum (32) oder/und Lasttrum des Zugmittels (31) eine Spannkraft wirkt. 7. Antriebseinrichtung (3) nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Spannmittel (4) einen Hebel (41) mit einem Andruckrad (42) umfasst, wobei der Hebel (41) an einem Ende schwenkbar gelagert ist und das Andruckrad (42) am anderen Ende des Hebels (41) drehbar gelagert ist, und wobei das Andruckrad (42) durch Schwenken des Hebels (41) eine Spannkraft auf das Zugmittel (31) ausübt. 8. Antriebseinrichtung (3) nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Feder so angeordnet ist, dass sie eine Spannkraft erzeugt, die vom Spannmittel (4) auf das Zugmittel (31) wirkt. 9. Antriebseinrichtung (3) nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Spannmittel (4) mindestens ein elastisches oder hydraulisches oder pneumatisches Betätigungsmittel (43) umfasst. 10. Antriebseinrichtung (3) einem der Ansprüche 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Betätigungsmittel (43) so angeordnet ist, dass es eine Spannkraft erzeugt, die vom Spannmittel (4) auf das Zugmittel (31) wirkt. 11. Antriebseinrichtung (3) nach einem der Ansprüche 4 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebsmittel (34) oder/und das antreibende Rad (35) in einem Loslager, relativ zur Transporteinrichtung (2) verschiebbar, gelagert ist. 12. Antriebseinrichtung (3) einem der Ansprüche 4 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebsmittel (34) oder/und das antreibende Rad (35) im Loslager elastisch gelagert ist. 13. Substratbehandlungsanlage (1), umfassend eine Transporteinrichtung (2) sowie eine Antriebseinrichtung (3) nach einem der Ansprüche 4 bis 12. 14. Substratbehandlungsanlage (1) nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebsmittel (34) außerhalb der Substratbehandlungsanlage (1) angeordnet ist. 15. Substratbehandlungsanlage (1) nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Betätigungsmittel (43) außerhalb der Substratbehandlungsanlage (1) angeordnet ist . |
Substratbehandlungsanlage
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Transport von
Substraten in Substratbehandlungsanlagen, eine uni- oder bidirektional betreibbare Antriebseinrichtung für eine
Anlagenkomponente einer Substratbehandlungsanlage, und eine Substratbehandlungsanlage mit einer solchen Antriebseinrichtung.
Unter einer Substratbehandlungsanlage wird dabei eine Anlage zur Durchführung technischer Behandlungen an Substraten, wie beispielsweise Ätz-, Beschichtungs- oder Umwandlungs- prozessen usw., verstanden. Derartige Anlagen weisen
üblicherweise eine Prozesskammer sowie eine oder mehrere Behandlungseinrichtungen, wie Beschichtungsquellen oder Ätzeinrichtungen auf. Weitere Anlagenkomponenten, wie Transporteinrichtungen, Speichereinrichtungen, Heizeinrichtungen, Kühleinrichtungen, Gaszufuhreinrichtungen und Gasabsaugeinrichtungen usw. können ebenfalls vorgesehen sein, von denen einige eine Antriebseinrichtung aufweisen.
Aus der Patentanmeldung WO 2008/003792 A2 ist beispielsweise eine Transporteinrichtung für rohrförmige Substrate inner- halb einer Substratbehandlungsanlage mit einer Antriebseinrichtung bekannt.
Einige dieser zusätzlichen Anlagenkomponenten können auch ganz oder teilweise außerhalb der Prozesskammer, im Falle von Substratbehandlungsanlagen also atmosphärenseitig, beispielsweise am Eingang oder Ausgang der Prozesskammer, angeordnet sein.
Beim Transport von Substraten durch Substratbehandlungsanlagen sind Antriebseinrichtungen bekannt, bei denen
Bewegungen durch Zugmittel wie Zahnriemen, Bogenzahnketten, Rollenketten oder Kardanwellen mit Kegelradverzahnung auf Substrate, Substrathalter (Carrier) oder Messinstrumente entweder direkt oder über weitere Transportmittel, wie
Transportrahmen, Transportbehälter, Transportrollen oder Transportwalzen oder Kombinationen derartiger Transportmittel, welche wiederum durch das Zugmittel der Antriebseinrichtung angetrieben werden, übertragen werden. Durchgehend ist bei diesen Antriebseinrichtungen ein mehr oder weniger großer unerwünschter Polygoneffekt nachweisbar, wodurch die Geschwindigkeit des Zugmittels periodisch um eine mittlere Geschwindigkeit schwankt. Auch Stahlseile finden in derartigen Antriebseinrichtungen Verwendung als Zugmittel, haben aber mit ihrer endlosen Verbindung und innerer Reibung der Litzen technische Grenzen erreicht. Die Antriebseinrichtungen von Anlagenkomponenten für
Substratbehandlungsanlagen stellen eine sensible mechanische Komponente dar, weil vom gleichmäßigen Lauf beispielsweise einer Transporteinrichtung einer Vakuumbeschichtungsanlage die Qualität der Beschichtung abhängt. Ist die Transport- geschwindigkeit der Substrate nicht konstant, wie dies beispielsweise aufgrund des oben beschriebenen Polygoneffekts geschehen kann, so wird die Homogenität der sich ausbildenden Schicht negativ beeinflusst.
Es ist daher eine Aufgabe der Erfindung, ein Transport- verfahren für Substrate sowie eine Antriebseinrichtung, insbesondere für eine Transporteinrichtung einer Substratbehandlungsanlage, zu entwickeln, wobei Polygoneffekte gegenüber bekannten Lösungen stark verringert oder ganz verhindert werden sollen. Ferner besteht eine Aufgabe darin, eine Antriebseinrichtung anzugeben, welche geeignet ist, eine Transporteinrichtung mit nur einem Motor oder anderen Antriebsmittel bidirektional anzutreiben, d.h. einen
polygoneffektarmen oder -freien Reversierbetrieb zu
ermöglichen, bei dem Substrate abwechselnd in beiden Richtungen durch die Substratbehandlungsanlage bewegt werden .
Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren zum Transport von Substraten in Substratbehandlungsanlagen mit den
Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 1, eine Antriebseinrichtung mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 4 sowie eine Substratbehandlungsanlage mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 13; vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche. Es wird daher ein Verfahren zum Transport von Substraten in Substratbehandlungsanlagen vorgeschlagen, bei dem ein
Substrat mittels einer Transporteinrichtung in der Substratbehandlungsanlage bewegt wird, wobei die Transporteinrichtung durch eine Antriebseinrichtung mit einem
Antriebsmittel und einem Zugmittel angetrieben wird, und wobei während des Betriebs des Antriebsmittels zumindest das Leertrum des Zugmittels gespannt wird, und in einer
Weiterbildung des Verfahrens das Lasttrum und das Leertrum des Zugmittels gleichzeitig gespannt werden. Eine derartige Transporteinrichtung kann beispielsweise mehrere in der Längserstreckung einer Substratbehandlungsanlage hintereinander und parallel zueinander angeordnete Transportwalzen umfassen, auf denen tafelförmige Substrate liegend durch die Substratbehandlungsanlage bewegt werden, so dass die obersten Mantellinien der Transportwalzen die
Transportebene definieren. Derartige Transportwalzen weisen häufig an einem Ende ein angetriebenes Rad auf, und eines oder mehrere angetriebene Räder sind von einem endlosen Zugmittel umfasst, welches die angetriebenen Räder antreibt. Dabei überträgt das Zugmittel auf das oder die angetriebenen Räder eine Bewegung, die durch ein Antriebsmittel,
beispielsweise einen Elektromotor, erzeugt und durch ein antreibendes Rad auf das Zugmittel übertragen wird. Das Zugmittel kann dabei ein Seil, eine Kette, ein Riemen, beispielsweise Zahn-, Keil-, Rund- oder Flachriemen sein; dementsprechend können das antreibende Rad und die
angetriebenen Räder die zum gewählten Zugmittel passenden Maschinenelemente, also beispielsweise Zahnriemenräder,
Kettenritzel oder Riemenscheiben verschiedener Ausführungen sein .
Bei der oben beschriebenen Transporteinrichtung wird der obere Teil des Zugmittels als Obertrum, der untere Teil entsprechend als Untertrum bezeichnet. Das Antriebsmittel greift in das Obertrum oder das Untertrum ein, wobei das Zugmittel hierzu entsprechend oberhalb oder unterhalb der Transportwalzen und damit oberhalb oder unterhalb der angetriebenen Räder angeordnet ist und das Zugmittel an dieser Stelle auch um das antreibende Rad geführt ist. Nachfolgend wird der auf das antreibende Rad zu laufende Teil des Zugmittels, welcher auf Zug belastet ist, als Lasttrum bezeichnet, und der vom antreibenden Rad weg laufende Teil des Zugmittels, welcher lastfrei ist, als Leertrum
bezeichnet. Wird nun die Bewegungsrichtung des Antriebsmittels umgekehrt, so wird das bisherige Leertrum zum
Lasttrum und das bisherige Lasttrum wird zum Leertrum.
Es wurde nunmehr festgestellt, dass Polygoneffekte stark vermindert werden können, wenn zumindest das Leertrum während des Betriebs des Antriebsmittels gespannt wird.
Dadurch wird die Transportgeschwindigkeit wesentlich gleichmäßiger, so dass beispielsweise bei Beschichtungsverfahren die Schichtqualität signifikant verbessert werden kann. Aber selbstverständlich ist das vorgeschlagene Verfahren auch bei Seil- oder Riemenantrieben etc. nutzbringend einsetzbar, weil hier die Spannung des Leertrums die Reibung des Zugmittels mit den angetriebenen Rädern erhöht und damit - insbesondere, wenn das Zugmittel sich aufgrund der Prozesstemperatur verlängert - verhindert wird, dass das Zugmittel rut s cht .
In einer Weiterbildung des Verfahrens ist vorgesehen, dass mindestens einmal eine Bewegungsumkehr der Transporteinrichtung erfolgt, bei welcher das Leertrum und das
Lasttrum ihre Funktionen tauschen, und mit der Bewegungsumkehr das neue Leertrum gespannt wird.
Der sogenannte Reversierbetrieb dient dazu, Substrate zwei- oder mehrmals durch die Substratbehandlungsanlage zu
bewegen, beispielsweise um mehrschichtige Beschichtungen herzustellen oder/und um die Länge der Substratbehandlungsanlage
In einer anderen Weiterbildung des Verfahrens ist
vorgesehen, dass das gleichzeitige Spannen von Lasttrum und Leertrum des Zugmittels dadurch erfolgt, dass auf das
Antriebsmittel eine von der Transporteinrichtung weg
weisende Spannkraft ausgeübt wird.
Weiterhin wird eine Antriebseinrichtung für eine Transporteinrichtung einer Substratbehandlungsanlage vorgeschlagen, die ein Antriebsmittel mit einem antreibenden Rad und ein Zugmittel umfasst, welches um das antreibende Rad und mindestens ein angetriebenes Rad der Transporteinrichtung geführt ist und diese im Betrieb der Substratbehandlungsanlage antreibt, wobei die Antriebseinrichtung weiterhin mindestens ein Spannmittel umfasst, das mit dem Zugmittel zumindest während des Betriebs der Antriebseinrichtung so in Wirkverbindung bringbar ist, dass auf das Leertrum des Zugmittels eine Spannkraft wirkt, oder wobei das
Antriebsmittel relativ zur Transporteinrichtung beweglich gelagert ist und die Antriebseinrichtung weiterhin
mindestens ein Spannmittel umfasst, das mit dem
Antriebsmittel zumindest während des Betriebs der
Antriebseinrichtung so in Wirkverbindung bringbar ist, dass auf das Antriebsmittel eine von der Transporteinrichtung weg weisende Spannkraft wirkt.
In einer Weiterbildung der Antriebseinrichtung ist
vorgesehen, dass das Antriebsmittel bidirektional betreibbar ist und das Spannmittel mit dem Zugmittel zumindest während des Betriebs der Antriebseinrichtung so in Wirkverbindung bringbar ist, dass bei jeder Bewegungsumkehr des Antriebsmittels auf das jeweilige Leertrum des Zugmittels eine
Spannkraft wirkt.
Beispielsweise kann das Spannmittel einen Hebel mit einem Andruckrad umfassen, wobei der Hebel an einem Ende
schwenkbar gelagert ist und das Andruckrad am anderen Ende des Hebels drehbar gelagert ist, und wobei das Andruckrad durch Schwenken des Hebels eine Spannkraft auf das Zugmittel ausübt . Dazu kann an der Antriebseinrichtung mindestens eine Feder so angeordnet sein, dass sie eine Spannkraft erzeugt, die vom Spannmittel auf das Zugmittel wirkt.
Alternativ oder zusätzlich kann mindestens ein
Betätigungsmittel so angeordnet sein, dass es eine Spann- kraft erzeugt, die vom Spannmittel auf das Zugmittel wirkt.
Beispielsweise kann in einer Ausgestaltung das Spannmittel federbelastet sein, so dass das Leertrum der Vorwärtsbewegung (erste Bewegungsrichtung der Transporteinrichtung) gespannt ist. Wird die Bewegung umgekehrt (erste Bewegungs- richtung der Transporteinrichtung) , so wird das Spannmittel durch die Wirkung einer Antriebseinrichtung gegen die Kraft der Feder gegen das nun als Leertrum wirkende vorherige Lasttrum gedrückt wird.
In einer anderen Ausgestaltung wird die Spannkraft in beiden Richtungen durch ein Betätigungsmittel erzeugt, wobei die Wirkungsrichtung der Antriebseinrichtung bei jeder
Bewegungsumkehr des Antriebsmittels ebenfalls umgeschaltet wird. Ein solches Betätigungsmittel kann beispielsweise einen oder mehrere, in gleicher Richtung oder entgegengesetzt wirkende Pneumatikzylinder umfassen.
In einer Weiterbildung der Antriebseinrichtung ist
vorgesehen, dass das Spannmittel mindestens ein elastisches oder hydraulisches oder pneumatisches Betätigungsmittel umfasst. Das Betätigungsmittel kann dabei so angeordnet sein, dass es eine Spannkraft erzeugt, die vom Spannmittel auf das Antriebsmittel wirkt. Beispielsweise kann in einer Ausgestaltung das Spannmittel durch ein als Feder ausgebildetes elastisches
Betätigungsmittel belastet sein.
In einer anderen Ausgestaltung wird die Spannkraft durch ein hydraulisches oder pneumatisches Betätigungsmittel erzeugt. Ein solches Betätigungsmittel kann beispielsweise zwei oder mehr entgegengesetzt wirkende Hydraulik- oder
Pneumatikzylinder umfassen.
Vorteilhaft kann weiter vorgesehen sein, dass das Antriebsmittel in einem Loslager, relativ zur Transporteinrichtung verschiebbar, gelagert ist. Hierdurch können durch die
Wirkung der Spannkraft auftretende Auslenkungen des
Zugmittels ausgeglichen werden, wobei das Gewicht des
Antriebsmittels die Gegenkraft bildet, damit die vom Spannmittel erzeugte Spannkraft tatsächlich eine Zugbelastung im Zugmittel erzeugt.
Es kann allerdings auch vorgesehen sein, dass das Antriebsmittel im Loslager elastisch gelagert ist. Dabei kann beispielsweise eine weitere Feder so angeordnet sein, dass sie eine Rückstellkraft auf das Antriebsmittel erzeugt, die der durch die Auslenkung des Zugmittels bedingten
Verschiebung des Antriebsmittels entgegenwirkt.
Schließlich wird eine Substratbehandlungsanlage vorgeschlagen, die eine Transporteinrichtung sowie eine Antriebseinrichtung der oben beschriebenen Art umfasst. Mit dieser Substratbehandlungsanlage ist es möglich, Substrate mit gleichmäßiger Transportgeschwindigkeit zu behandeln und so qualitativ hochwertige Beschichtungs- oder sonstige
Behandlungsergebnisse zu erzielen. Ist das Antriebsmittel für bidirektionalen Antrieb der Transporteinrichtung
ausgelegt, so lassen sich die gleichen Vorteile auch im Reversierbetrieb erzielen. In einer Ausgestaltung der Substratbehandlungsanlage sind das Antriebsmittel oder/und das Betätigungsmittel außerhalb der Substratbehandlungsanlage angeordnet. Hierzu können an der Prozesskammer vakuumdichte Drehdurchführungen vorgesehen sein. Dadurch werden der umbaute Raum und damit das zu evakuierende Volumen deutlich reduziert. Außerdem sind das Antriebsmittel oder/und das pneumatische Betätigungsmittel zu Wartungszwecken wesentlich leichter zugänglich.
Nachfolgend werden die beschriebenen Verbesserungen anhand eines Ausführungsbeispiels und zugehöriger Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigen
Fig. 1 einen Längsschnitt durch eine Substratbehandlungseinrichtung mit einer Transporteinrichtung und einer
Antriebseinrichtung,
Fig. 2 eine perspektivische Darstellung der Antriebs- einrichtung,
Fig. 3 Längsschnitte durch das Hilfsgehäuse der
Antriebseinrichtung in verschiedenen Funktionszuständen A, B und C,
Fig. 4 einen Längsschnitt durch eine Substratbehandlungs- einrichtung mit einer Transporteinrichtung und einer
Antriebseinrichtung, Fig. 5 eine Darstellung der Antriebseinrichtung eines ersten Ausführungsbeispiels,
Fig. 6 eine Darstellung der Antriebseinrichtung eines zweiten Ausführungsbeispiels, und Fig. 7 eine Darstellung der Antriebseinrichtung eines dritten Ausführungsbeispiels.
Fig. 1 zeigt einen Längsschnitt durch eine Substratbehandlungsanlage 1. In der Prozesskammer 11 der Substratbehandlungsanlage 1 ist eine Transporteinrichtung 2
angeordnet, die zum liegenden Transport tafelförmiger
Substrate an einer Beschichtungsquelle 12 vorbei
eingerichtet ist, welche eine Anzahl von beidseitig in je einer Lagerbank 21 drehbar gelagerten Transportwalzen, die in der gewählten Darstellung durch die Lagerbank 21 verdeckt sind, umfasst. Die Transportwalzen weisen an einem Ende je ein angetriebenes Rad 22 auf. Die angetriebenen Räder 22 stehen mit einer Zahnkette 31 in Kontakt, welche die
angetriebenen Räder 22 antreibt.
Hierzu wird das Untertrum der Zahnkette 31 über Umlenkräder 23 und um das antreibende Rad 35 einer Antriebseinrichtung 3 geführt, so dass eine von einem hier nicht dargestellten Elektromotor 34 erzeugte Bewegung des antreibenden Rades 35 durch die Zahnkette 31 auf die angetriebenen Räder 22 der Transportwalzen übertragen werden. Im Ausführungsbeispiel koaxial mit dem antreibenden Rad 35 ist in der Antriebseinrichtung 3 ein Hebel 41 schwenkbar gelagert. Koaxialität ist hingegen nicht notwendig; ebenso umfasst sind andere Gestaltungen, bei denen der Hebel 41 eine eigene Schwenkachse aufweist, welche von der Drehachse des antreibenden Rades 35 abweicht, sowie Ausführungen, bei denen die Spannkraft auf anderem Wege, beispielsweise durch eine oder mehrere Federn, erzeugt wird. Am freien Ende des Hebels 41 ist ein Andruckrad 42 drehbar gelagert, das durch Schwenken des Hebels 41 in die eine oder andere Richtung mit dem Zahnriemen 31 in Berührung gebracht werden kann, so dass eine Spannkraft auf die Zahnkette 31 übertragen wird.
Das antreibende Rad 35 der Antriebseinrichtung 3 und das Spannmittel 4 sind in einem Hilfsgehäuse 13 untergebracht, welches an der Unterseite der Prozesskammer 11 befestigt ist .
Wie aus Fig. 2 ersichtlich, weist das Hilfsgehäuse 13 beidseitig vakuumdichte Drehdurchführungen 14 auf. In einer der beiden Drehdurchführungen 14 ist eine erste Achse drehbar gelagert, welche im Hilfsgehäuse 13 das antreibende Rad 35 trägt, um das die Zahnkette 31 geführt ist. Diese erste Achse führt außerhalb des Hilfsgehäuses 13 in ein Winkelgetriebe 36, an dessen Antriebsseite ein Elektromotor 34 angebracht ist, der das Antriebsmittel der Antriebseinrichtung 3 darstellt. Im Ausführungsbeispiel kann der Elektromotor 34 in beide Richtungen wirken, d.h. er kann die Transporteinrichtung 2 vorwärts oder wahlweise rückwärts betreiben . In der anderen Drehdurchführung 14 ist auf einer zweiten drehbar gelagerten Achse innerhalb des Hilfsgehäuses 13 ein Spannmittel 4 schwenkbar gelagert, das einen Hebel 41 und ein an dem Hebel 41 drehbar angeordnetes Andruckrad 42 umfasst. Außerhalb des Hilfsgehäuses 13 ist an der zweiten Achse ein pneumatisches Betätigungsmittel 43 so angeordnet, dass es eine Spannkraft erzeugen kann, die vom Spannmittel 4 auf das Zugmittel 31 wirkt. Im Ausführungsbeispiel kann das pneumatische Betätigungsmittel 43 in beide Richtungen wirken, d.h. es kann den Hebel 41 aus der Ruhestellung nach links oder wahlweise nach rechts schwenken und so eine
Spannkraft erzeugen.
Die verschiedenen Funktionszustände der Antriebseinrichtung 3 sind in den Darstellungen A, B und C von Fig. 3 darge- s te l l t .
Darstellung A zeigt das Spannmittel 4 der Antriebseinrichtung 3 in Ruhestellung. Dabei berührt das Andruckrad 42 die Zahnkette 31 nicht. Dreht sich das antreibende Rad 35 der Antriebseinrichtung 3 linksherum, wie in Darstellung B gezeigt, so wird der linke Teil der Zahnkette 31 gezogen; er wirkt als Lasttrum 33. Um das Leertrum 32 zu spannen, muss daher der Hebel 41 nach rechts geschwenkt werden, so dass das Andruckrad 42 eine Spannkraft auf die Zahnkette 31 ausübt.
Dreht sich das antreibende Rad 35 der Antriebseinrichtung 3 hingegen rechtsherum, wie in Darstellung C gezeigt, so wird der rechte Teil der Zahnkette 31 gezogen; er wirkt als Lasttrum 33. Um das Leertrum 32 zu spannen, muss daher der Hebel 41 nach links geschwenkt werden, so dass das
Andruckrad 42 eine Spannkraft auf die Zahnkette 31 ausübt.
Das dargestellte Ausführungsbeispiel ist jedoch lediglich eine von vielen Varianten der möglichen Gestaltung eines Spannmittels im Sinne der beschriebenen Erfindung; andere Ausführungsformen sind ohne Abweichung vom Erfindungsgedanken mit umfasst.
Fig. 4 zeigt einen Längsschnitt durch eine Substratbehandlungsanlage 1. In der Prozesskammer 11 der Substratbehandlungsanlage 1 ist eine Transporteinrichtung 2
angeordnet, die zum liegenden Transport tafelförmiger
Substrate an einer Beschichtungsquelle 12 vorbei
eingerichtet ist, welche eine Anzahl von beidseitig in je einer Lagerbank 21 drehbar gelagerten Transportwalzen, die in der gewählten Darstellung durch die Lagerbank 21 verdeckt sind, umfasst. Die Transportwalzen weisen an einem Ende je ein angetriebenes Rad 22 auf. Die angetriebenen Räder 22 stehen mit einer Zahnkette 31 in Kontakt, welche die angetriebenen Räder 22 antreibt.
Hierzu wird das Untertrum der Zahnkette 31 über Umlenkräder 23 und um das antreibende Rad 35 einer Antriebseinrichtung 3 geführt, so dass eine von einem hier nicht dargestellten Elektromotor 34 erzeugte Bewegung des antreibenden Rades 35 durch die Zahnkette 31 auf die angetriebenen Räder 22 der Transportwalzen übertragen werden.
Das antreibende Rad 35 der Antriebseinrichtung 3 und das Spannmittel 4 sind in einem Hilfsgehäuse 13 untergebracht, welches an der Unterseite der Prozesskammer 11 befestigt ist .
Ein Spannmittel 4, das in diesem Fall pneumatische
Kurzhubzylinder 43 und ein Joch 44 umfasst, übt eine von der Transporteinrichtung 2 weg weisende Kraft auf das
antreibende Rad 35 - und damit auf das hier nicht
dargestellte Antriebsmittel 34 - aus, so dass das Zugmittel 31 gespannt wird.
Ein konkretes Ausführungsbeispiel ist in Fig. 5 dargestellt. Darin ist das Hilfsgehäuse 13 zwischen dem Kammerflansch 131, der zur Befestigung an der Prozesskammer 11 dient, und einem Abschlussflansch 132 beweglich gelagert. Dazu ist das Hilfsgehäuse 13 mittels Gleitbuchsen 46 auf Führungsstäben 45 senkrecht zur Transportrichtung der Substrate in der Prozesskammer 11 beweglich gelagert. Pneumatische Betätigungsmittel 43 sind mit je einem ihrer Enden mit dem Abschlussflansch 132 und dem Hilfsgehäuse 13 verbunden. Sie sind dadurch in der Lage, über das
Hilfsgehäuse 13 und das darin drehbar gelagerte antreibende Rad 35 eine Kraft auf das mit dem antreibenden Rad
verbundene, hier nicht dargestellte Antriebsmittel 34, das sich außerhalb des Hilfsgehäuses 13 befindet, auszuüben. Die Faltenbälge 133, die sich beidseitig vom Hilfsgehäuse 13 zum Kammerflansch 131 und zum Abschlussflansch 132 erstrecken, sorgen für den vakuumdichten Abschluss des Hilfsgehäuses 13.
Fig. 6 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel, bei dem das Antriebsmittel 34 innerhalb des Hilfsgehäuses 13 angeordnet ist. In diesem Fall ist das Antriebsmittel 34 relativ zum Hilfsgehäuse 13 und, da dieses starre Außenwände aufweist, auch relativ zur Transporteinrichtung 2 gelagert und die Betätigungsmittel 43 üben die Spannkraft direkt auf das Antriebsmittel aus, die durch das antreibende Rad 35 auf das Zugmittel 31 übertragen wird. Die Versorgung des
Antriebsmittels 34 erfolgt durch eine Elektrodurchführung 48 in der Wand des Hilfsgehäuses 13.
Bei einem in Fig. 7 dargestellten dritten
Ausführungsbeispiel ist das Antriebsmittel 34 wiederum außerhalb des Hilfsgehäuses 13 angeordnet. Es ist über eine vakuumdicht am Hilfsgehäuse 13 angeordnete, drehbare
Exzenterscheibe 47 am Hilfsgehäuse 13 angebracht. Wird die Exzenterscheibe 47 gedreht, so ändert sich die Position des Antriebsmittels 34 relativ zur Transporteinrichtung 2 auch hinsichtlich des senkrechten Abstands zwischen beiden.
Dadurch kann auf das Antriebsmittel 34 und in der Folge auch auf das antreibende Rad 35 sowie das Zugmittel 31 eine
Spannkraft ausgeübt werden.
Transportverfahren, Antriebseinrichtung und Substratbehandlungsanlage
Bezugzeichenliste 1 Substratbehandlungsanlage
11 Prozesskammer
12 Behandlungseinrichtung, Beschichtungsquelle
13 Hilfsgehäuse
131 Kammerflansch
132 Abschlussflansch
133 Faltenbalg
14 Drehdurchführung
2 Transporteinrichtung
21 Lagerbank
22 angetriebenes Rad
23 Umlenkrad
3 Antriebseinrichtung
31 Zugmittel, Zahnkette
32 Leertrum
33 Lasttrum
34 Antriebsmittel, Elektromotor
35 antreibendes Rad
36 Winkelgetriebe
4 Spannmittel
41 Hebel
42 Andruckrad
43 Betätigungsmittel
44 Joch
45 Führungsstab
46 Gleitbuchse
47 Exzenterscheibe
48 Elektrodurchführung
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