Die Erfindung bezieht sich auf einen Tunnelofen gemäß Oberbegriff

Patentanspruch 1 oder 1 3.

Bekannt ist das sogenannten„DGB-Verfahrens" (Direct-Copper-Bond- Technology) beispielsweise zum Verbinden von Meta lschichten oder - blechen (z.B. Kupferblechen oder -folien) mit einander und/oder mit Keramik oder Keramikschichten, und zwar unter Verwendung von

Metallblechen oder -follen, insbesondere auch solchen aus Kupfer oder Kupferlegierungen, die an ihren Oberflächenseiten eine Schicht oder einen Überzug aus einer chemischen Verbindung aus dem Metall und einem reaktiven Gas , bevorzugt Sauerstoff aufweisen. Bei diesem beispielsweise in der US-PS 37 44 120 oder in der DE-PS 23 19 854 beschriebenen Verfahren bildet diese Schicht oder dieser Überzug zusammen mit dem angrenzenden Metall ein Eutektikum (Aufschmelzschicht) mit einer Schmelztemperatur unter der Schmelztemperatur des Metalls (z.B. Kupfers), so dass durch Auflegen der Folie auf die Keramik und durch Erhitzen sämtlicher Schichten diese miteinander verbunden werden können, und zwar durch

Aufschmelzen des Metalls bzw. Kupfers im wesentlichen nur im Bereich der Aufschmelzschicht bzw. Oxidschicht,

Dieses DCB-Verfahren weist dann z.B. folgende Verfahrensschritte auf: ® Oxidieren einer Metallfolie, z.B. Kupferfolie derart, das sich eine

gleichmäßige Metali- oder Kupferoxidschicht ergibt;

• Auflegen der Metallfolie, beispielsweise Kupferfolie auf die

Keramikschicht;

• Erhitzen des Verbundes auf eine Prozesstemperatur zwischen etwa 1025 bis 1083 °C, z.B. auf ca. 1071 °C;

• Abkühlen auf Raumtemperatur. Substrate, die nach diesem Verfahren (nachstehend auch als„DCB-Bonden" bezeichnet) hergestellt wurden, werden nachfolgend als ,,,DCB~Substrate" bezeichnet, und zwar unabhängig von dem für die Metailschichten oder - folien verwendeten etaH. Das Verfahren selbst wird nachfolgend als„DCB- Bonden" bezeichnet, und zwar unabhängig von dem für die Metailschichten oder -folien verwendeten Metall.

Bekannt ist weiterhin das sogenannte Aktivlot-Verfahren (DE 22 1 3 1 1 5; EP-A-1 53 618} z.B. zum Verbinden von Metallisierungen bildenden

Metallschichten oder Metallfolien, insbesondere auch von Kupferschichten oder Kupferfolien mit KeramikmateriaL Bei diesem Verfahren, welches speziell auch zum Hersteilen von Metall-Keramik-Substraten verwendet wird, wird bei einer Temperatur zwischen ca. 800 - 1000°C eine

Verbindung zwischen einer Metallfolie, beispielsweise Kupferfoüe, und einem Keramiksubstrat, beispielsweise Aluminiumnitrid-Keramik, unter Verwendung eines Hartlots hergesteilt, welches zusätzlich zu einer

Hauptkomponente, wie Kupfer, Silber und/oder Gold auch ein Aktivmetall enthält. Dieses Aktivmetail, welches beispielsweise wenigstens ein Element der Gruppe Hf, Ti, Zr, Nb, Ce ist, stellt durch chemische Reaktion eine Verbindung zwischen dem Lot und der Keramik her, während die

Verbindung zwischen dem Lot und dem Metali eine metallische Hartlot- Verbindung äst. Insbesondere für das Herstellen von Mehrschicht-Produkten bzw. für das dabei notwendige DCB-Bonden von Metall auf Metall und/oder Metall auf Keramik, aber auch für das Aktivlöten von Metall auf Keramik sowie zum Einbrennen von Dickfilm- oder Metalldickfilmpasten auf Substraten, insbesondere Keramiksubstraten werden üblicherweise Tunnelöfen verwendet. Dies umfassen u.a. ein einen langgestreckten tunnelartigen Ofenraum bildendes Ofengehäuse (auch Muffel genannt) sowie einen Transporteur mit einem Transportelement in Form eines flexiblen und hitzebeständigen Transportbandes zum transportieren des Behandiungsgutes durch den mit wenigstens einer Heizeinrichtung beheizten Ofenraum aufweisen. Das Transportband, welches aus einem hochtemperaturfesten metallischen Material besieht, bildet eine In sich geschlossene und umlaufend angetriebene Schlaufe und ist mit einer beispielsweise oberen Schlaufenlänge durch den Ofenraum hindurchgeführt und liegt mit dieser Schlaufenlänge gleitend auf innerhalb des Ofenraumes vorgesehenen Führungen auf. Der Antrieb des Transportbandes erfolgt derart, dass dieses mit seiner oberen Schlaufenlänge durch den Ofenraum gezogen wird.

Hierbei wirken auf das Transportband allein schon zur Überwindung der

Gleitreibung zwischen Transportband und Gleitführung erhebliche Zugkräfte ein. Diese führen u.a. zu einer ständigen Verlängerung oder Längung des Transportbandes, und zwar bei gleichzeitiger Verringerung der Breite dieses Bandes. Aus diesem Grund ist bei bekannten Tunnelöfen, insbesondere auch bei solchen, die für das DCB-Bonder? oder Aktivlöten oder zum Einbrennen von Dickfilm- oder .Metalldickfilmpasten verwendet werden, für das

Transportband nur eine relativ kurze Standzeit erreichbar, d.h. es ist ein relativ häufiger Wechsel des Transportbandes erforderlich, was nicht nur durch den eigentlichen Austausch des Transportbandes, sondern auch durch die für das Abkühlen und wieder Aufheizen des Tunnelofens sowie für die Wiedereinstellung der benötigten Tunnelofenatmosphäre einen erheblichen Produktionsstillstand bedeutet. Hierbei Ist zu berücksichtigen, dass speziell auch für das DCB-Bonden, Aktivlöten und Einbrennen von Dickfilm- oder Metalldickfiimpasten im Tunnelraum eine Schutzgasatmosphäre mit einem exakt eingestellten Sauerstoffanteil erforderlich ist, um die jeweilige

Behandlung, d.h. das Bonden zu erreichen, insbesondere auch mit der angestrebten Qualität. Ein weiterer wesentlicher Nachteil bekannter

Tunnelöfen besteht darin, dass durch die Gleitreibung zwischen dem

Transportband und den Führungen des Tunnelofens sich eine nicht unerhebliche Belastung des Ofeninnenraumes und damit der dortigen Atmosphäre durch Abrieb erzeugter Partikel ergibt. Bekannt ist ein Transportsystem bzw. ein Transporteur für Tunnelöfen (DE 20 2010 01 461 U 1 ), dessen Transportelemente von einem Rollen-Adapter- System mit einer Vielzahl von aus einem keramischen Werkstoff gefertigten Rollen besteht, Die in einer Transportrichtung des Transporteurs aufeinander folgenden und voneinander beabstandeten Rollen bilden die

Transportfläche, auf der das Behandlungsgut aufliegend durch den

Tunnelofen bewegt wird. Nachteilig hierbei ist u.a., dass mit dem bekannten System eine vollflächige Auflage des Behandlungsgutes nicht möglich ist, sich dieses vielmehr durch räumlich versetzt an den Rollen abstützt.

Keramische Gleitbahnen dienen zur Abstützung der Rollen.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Tunnelofen aufzuzeigen, der die vorgenannten Nachteile vermeidet und insbesondere auch für das

„Hochtemperatur-Bonden'" von .Mehrschichtprodukten geeignet ist. Zur Lösung dieser Aufgabe ist ein Tunnelofen entsprechend dem Patentanspruch 1 oder 13 ausgebildet.

Der Ausdruck„im Wesentlichen" bzw.„etwa" bedeutet im Sinne der Erfindung Abweichungen vom jeweils exakten Wert um +/- 10%, bevorzugt um +/- 5% und/oder Abweichungen in Form von für die Funktion

unbedeutenden Änderungen.

„Hochtemperatur-Bonden" bedeutet im Sinne der Erfindung ein Bonden oder Verbinden bei hoher Temperatur, d.h. bei einer Temperatur über 600°C,

„Mehrschichtprodukte" sind im Sinne der Erfindung solche Produkte, die aus wenigstens einem ersten Element aus Metall oder Keramik, beispielsweise in Form einer Metall- oder Keramikschicht: oder Metall- oder Keramikplatte, und aus wenigsten einem zweiten Element aus Metall, beispielsweise in Form einer Metallschicht oder Metallplatte bestehen, wobei diese Elemente durch Hochtemperatur-Bonden mit einander verbunden sind. „Vollflächige oder im Wesentlichen voüflächige Auflage" bedeutet im Sinne der Erfindung, dass das jeweilige Behandlungsgut mit seiner dem

Transportelement unmittelbar benachbarten Seite vollflächig oder im

Wesentlichen voüflächig auf dem Transportelement aufliegt,

In Weiterbildung der Erfindung ist der Tunnelofen beispielsweise so ausgebildet,

dass das Ofengehäuse den wenigstens einen Ofenraum zumindest an sämtlichen, sich in Transportrichtung erstreckenden Umfangsseiten gasdicht zu einer Umgebung hin verschließt,

und/oder

dass der Tunnelofen für ein DCB~Bonden von Metall mit Metall,

beispielsweise von Metall- oder Kupferfolien mit Metall- oder Kupferfolien, oder für ein DCB-Bonden oder Aktivlöten von Metall mit Keramik, beispielsweise von Metall- oder Kupferfolien mit Keramik oder für das Einbrennen von Dickfilm- oder Metalldickfiimpasten ausgebildet ist, und/oder

dass die Wälzkörper sowie vorzugsweise auch Lager und/oder

Lagerwälzkörper und/oder Führungen für die Wälzkörper und/oder

Lagerwälzkörper aus keramischem Werkstoff bestehen,

und/oder

dass die Transportelementgleitmittel von einer Vielzahl von Wälzkörpern in Form von Walzen gebildet sind, die in Transportrichtung aufeinander folgend eine Walzen- oder Rollenbahn für den Transporteur oder für das wenigstens eine Transportelement bilden,

und/oder

dass die Rollen oder Walzen aus dem keramischen Werkstoff in dem wenigstens einen Ofenraum an ebenfalls in dem wenigstens einen Ofenraum angeordneten Lagern, vorzugsweise mit Wälz- oder Kugellagern aus dem keramischen Werkstoff frei drehbar gelagert sind,

und/oder dass die Wälz- oder Kugellager Lagerwälzkörper aufweisen, die unmittelbar gegen von den Walzen gebildete Lager- oder Laufflächen anliegen., und/oder

dass die Wälz- oder Kugellager Lagerwälzkörper aufweisen, die frei, d.h. ohne einen Kugel- oder Wälzkörperkäfig zwischen der jeweiligen Walze und einer Lager- oder Lauffläche eines Lagerkörpers angeordnet sind, und/oder

dass die Transportelementgleitmittel, insbesondere die Rollenbahn aus mehreren in Transportrichtung des Transporteurs an einander

anschließenden Segmenten besteht, von denen jedes mehrere Wälzkörper, vorzugsweise Walzen und zugehörigen Lager mit Lagerwälzkörpern aufweist,

und/oder

dass die an zwei gegenüber liegenden Seiten eines Segments angeordneten Lagerkörper durch wenigstens eine vorzugsweise lösbare Halteklammer mit einander verbunden sind,

und/oder

dass die Transportelementgieitmittel von Rollen oder Walzen gebildet sind, die am Transporteur oder an dessen Transportelementen frei drehbar gelagert sind, und dass die Walzen oder Rollen aus dem keramischen Werkstoff bestehen und vorzugsweise mit ebenfalls aus dem keramischen Werkstoff gefertigten Führungen des Tunnelofens zusammenwirken,

und/oder

dass die Transportelemente Gleitmittel in Kugelführungen geführte Kugeln sind, auf denen sich der Transporteur oder das wenigstens eine

Transportelement abstützt, und dass die Kugeln sowie vorzugsweise auch die

Kugelführungen aus dem keramischen Werkstoff bestehen,

und/oder

dass Düsenöffnungen zum Einbringen eines gasförmigen Mediums vorgesehen sind, beispielsweise in Form eines Schutzgases und/oder in Form von Sauerstoff, in den wenigstens einen Ofenraum, wobei die

Düsenöffnungen zumindest zum Teil an Führungen für die Transportelemenlgieitmiltel bildenden Verteilerrohren, beispielsweise an die

Kugelführungen bildenden Verteilerrohren vorgesehen sind,

und/oder

dass das Transportelement ein Transportband ist, weiches eine in sich geschlossene und umlaufend antreibbare Schlaufe bildet und mit einer Schlaufen Sänge durch den wenigstens einen Tunnelraum hindurchreicht, und/oder

dass der Transporteur von mehreren aneinander anschließenden

Transportelementen oder Aufnahmen gebildet ist, dass die Aufnahmen als nicht miteinander verbundene Einzelelemente von einem Tunnelofeneinlass an einen Tunnelofenausiass bewegt und vom Tunnelofenausiass an den Tunnelofeneinlass zurückgeführt werden, oder dass die Aufnahmen kettengliederartig miteinander zu einem umlaufenden Transportelement miteinander verbunden sind,

und/oder

dass die mit dem Transporteur oder mit dessen Transportelementen oder Aufnahmen von einem Tunnelofeneinlass an einen Tunnelofenausiass in den Kugelbahnen mitgeführten Kugeln von dem Tunnelofenausiass an den Tunnelofeneinlass zurückgeführt werden,

und/oder

dass die Düsen an wenigstens einem Verteilerrohr aus einem keramischen

Werkstoff vorgesehen sind,

und/oder

dass der keramische Werkstoff Siliziumnitrid, Siliziumkarbid,

Aluminiumoxid ist,

wobei die vorgenannten Merkmale jeweils einzeln oder in beliebiger Kombination verwendet sein können.

Weiterbildungen, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung ergeben sich auch aus der nachfolgenden Beschreibung von

Ausführungsbeispielen und aus den Figuren, Dabei sind alle beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination grundsätzlich Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung. Auch wird der Inhalt der Ansprüche zu einem Bestandteil der Beschreibung gemacht.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand der Figuren an

Ausfuhrungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 in vereinfachter Darstellung und im Schnitt ein durch

Hochtemperatur-Bonden bzw. DCB-Bonden hergestelltes Metall-

Keramik-Substrat;

Fig. 2 in schematischer Darstellung und im Längsschnitt einen

Tunnelofen zum Herstellen des Metall-Keramik-Substrates;

Fig. 3 in schematischer Schnittdarstellung den Tunnelofen der Figur 2; Fig. 4 in vereinfachter Darstellung eine Draufsicht auf eine Rollenbahn zum Führen und Stützen des Transportelementes, zusammen mit einer Teildarstellung dieses Transportelementes;

Fig. 5 in vergrößerter Darstellung die Lagerung einer der Rollen oder

Walzen der Rollenbahn der Figur 4;

Fig. 6 eine Darstellung wie Figur 5 bei einer weiteren Ausführungsform

der Erfindung;

Fig. 7 und 8 in schematischer Darstellung ähnlich den Figuren 2 und 3 eine weitere Ausführungen des erfindungsgemäßen Behandlungsoder Tunnelofens;

Fig. 9 in schematischer Darstellung und im Längsschnitt eine weitere

Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 10 und 1 1 in vereinfachten Schnittdarstellungen die

Transportelementgleitmittel des Tunnelofens der Figur 9;

Fig. 12 in vereinfachter Darstellung eine Draufsicht auf eine Rollenbahn zum Führen und Stützen des Transportelementes entsprechend einer weiteren Ausführungsform der Erfindung; Fig. 13 eine Stirnansicht eines Rollenbahnsegmentes der Rollenbahn der Figur 12;

Fig. 14 in Einzeldarstellung und in Seitenansicht: einen der Lagerkörper der Rollenbahn der Figur 12;

Fig. 1 5 in vergrößerter Teildarstellung die Lagerung einer Rolle oder

Walze der Rollenbahn der Figur 12.

In den Figuren ist 1 ein Produkt in Form eines Metail-Keramik-Substrates, welche in bekannter Weise aus einer Keramikschicht 2, beispielsweise aus Aluminiumoxid; Aluminiumnitrid, Siliziumnitrid oder Aluminiumoxid mit Zirkonoxid sowie aus von MetailfoHen 3, beispielsweise Kupferfolien gebildeten Metallisierungen besteht, die durch Hochtemperatur-Bonden, beispielsweise durch DCB-Bonden, an den beide einander

gegenüberliegenden Oberflächenseiten der Keramikschicht 2 vorgesehen sind,.

Zur Herstellung des Produktes 1 dient der in den Figuren 1 - 5 schematisch mit 4 bezeichnete Behandlungs- oder Tunnelofen, der u.a. ein beidendig offenes, langgestrecktes Ofengehäuse 5 (Muffel) mit Ofenraum 5.1 sowie einen Transporteur 6 aufweist, welcher bei der in den Figuren 2 - 5 dargestellten Ausführungsform in an sich bekannter Weise von einem eine geschlossene Schlaufe bildenden und hierfür über wenigstens zwei

Umlenkungen 7 und 8 geführten Transportband 9 bebildet ist, welches mit seiner in den Figuren 2 und 3 oberen Länge durch den in geeigneter Weise, beispielsweise elektrisch oder aber mit einem gas- oder flüssigen

Heizmedium beheizten Ofenraum 5.1 hindurchgeführt ist. Die Wandung des Ofengehäuses 5 besteht aus einem hochwärmefesten Stahl oder einer Nickel-Basisiegierung. Die zum Beheizen des Ofenraumes 5.1 dienenden Heizelemente 10 sind außerhalb des Ofenraumes 5.1 vorgesehen und durch ihnen zugeordnete Thermosensoren gesteuert. Das Transportelement 9 besteht aus einer Vielzahl von Kettenelementen oder -gliedern, die sowohl in Transportrichtung A aufeinander folgend als auch quer zur Transportrichtung A nebeneinander angeordnet und gelenkig miteinander verbunden sind, sodass sich das gitterartige, flexible

Transportband 9 ergibt. Das Transportband 9, dessen Kettenglieder und Gelenke sind aus einem hochwärmefesten Stahl gefertigt.

Durch einen geeigneten Antrieb wird das Transportband 9 umlaufend so angetrieben, dass sich die jeweils obere Schlaufenlänge 9.1 in der in der Figur 2 mit dem Pfeil A angegebenen Transportrichtung durch den Ofenraum 5.1 bewegt, und zwar von dem Einlass 4.1 an den Auslass 4.2 des

Tunnelofens. Der Antrieb des Transportbandes 9 erfolgt über die Umlenkung 8, sodass die obere Schlaufenlänge 9.1 durch den Ofenraum 5.1 gezogen wird.

In den Ofenraum 5.1 münden an geeigneten Bereichen Düsen 14 zum Einbringen eines Schutzgases sowie insbesondere beim DCB-Bonden auch zum geregelten Einbringen von Sauerstoff oder eines Schutzgas-Sauerstoff- Gemisches mit geregeltem Sauerstoffanteii. Zum Herstellen der Produkte 1 wird das entsprechende Behandlungsgut 1 .1 , welches bei der dargestellten Ausführungsform jeweils von der Stapelanordnung bestehend aus den beiden elalSfolien 3 und der zwischen diesen angeordneten

Keramikschicht 2 gebildet ist, am Ofeneinlauf 4.1 auf die obere eine horizontale Transportebene bildende Schlaufen länge 9.1 aufgelegt und dann mit dem Transportband 9 durch den Ofenraum 5.1 bewegt. Das fertige Produkt 1 wird am Ofenauslauf 4.2 entnommen. Eine der beiden

Umlenkungen 7 und 8 ist auch für ein Spannen oder Nachspannen des Transportbandes 9 ausgebildet. Zur Unterstützung der oberen Schlaufenlänge 9.1 nicht nur im Bereich des Ofeneinlaufs 4.1 und des Ofenauslaufs 4.2, sondern insbesondere auch im Ofenraum 5.1 sind Transportelementgleitmittel vorgesehen, die bei der in den Figuren 3 - 5 dargestellten Ausführungsform durch eine Vielzahl von Rollen oder Walzen 1 1.1 realisiert sind, die eine Rollenbahn 1 1 formen und jeweils frei drehbar im Ofengehäuse 5 oder an einem dortigen

/vtaschinengestellt 12 beidendsg gelagert sind. Die Walzen 1 1 .1 sind mit ihren Achsen parallel zur horizontalen Transportebene des Transportbandes 9 sowie senkrecht zur Transportrichtung A orientiert.

Die obere Schlaufenlänge 9.1 bildet somit eine horizontale oder im

Wesentlichen horizontale Transportebene für das Behandlungsgut 1 .1 bzw. für das jeweilige Produkt 1 .

Zur Lagerung der Walzen 1 1 .1 dienen Kugellager 13, die beispielsweise aus einem inneren Lagerring 1 3.1 , aus einem äußeren Lagering 13,2 sowie aus einer Vielzahl von Kugeln 13.3 bestehen, die zwischen den Lagerringen 13.1 und 13.2 bzw. zwischen den dortigen Kugel laufflächen angeordnet sind. Zumindest die Walzen 1 1 .1 sowie auch die Kugellager 1 3

einschließlich ihrer Lagerringe 1 3.1 und 13.2 sowie Kugeln 1 3.3 jeweils aus einem keramischen Material oder Werkstoff gefertigt, das nicht nur eine hohe Temperaturfestigkeit sondern auch eine hohe mechanische Festigkeit bei der maximalen Behandlungs- oder Bondtemperatur aufweist.

Die obere Schlaufenlänge 9.1 liegt mit ihrer Unterseite auf den Walzen 1 1 .1 bzw. auf den von diesen Walzen gebildeten Rollengang auf. Hierdurch wird die für das Bewegen des Transportbandes 9 erforderliche und von der Umlenkung 8 auf das Transportband 9 ausgeübte Zugkraft wesentlich reduziert. Insbesondere werden auch die Nachteile einer reinen

Gleitführung des Transportbandes 9 innerhalb des Tunnelofens 4 vermieden, zumindest aber wesentlich reduziert. Dies bedeutet u.a. auch, dass ein die Qualität der hergestellten Produkte 1 möglicherweise beeinträchtigender und aus einer Gleitführung resultierender Abrieb zwischen dem Transportband 9 und einer Transportbandführung vermieden ist, und vor allem aber ein Austauschen des Transportbandes 9 wegen übermäßiger Längung dieses Transportbandes nicht mehr oder aber nur noch in wesentlich größeren Zeitintervaiien erforderlich ist, d.h. mit der Erfindung ergibt sich eine wesentliche Erhöhung der Lebensdauer oder Standzeit des Transportbandes 9.

Die Figur 6 zeigt in einer Darstellung ähnlich der Figur 5 ein Kugellager 1 3a für die Walzen 1 1 .1 . Das Kugellager 13a unterscheidet sich von dem

Kugellager 1 3 dadurch, dass der innere Ring 13.1 entfallen ist und die Kugeln 1 3.3 gegen die jeweilige Walze 1 1.1 unmittelbar anSiegen.

Die Figuren 7 und 8 zeigen als weitere Ausführungsform einen Tunnelofen 4a, der sich vom Tunnelofen 4 im Wesentlichen nur dadurch unterscheidet, dass der Transporteur 6b von einer Vielzahl von beispielsweise

piattenförmigen oder im Wesentlichen piattenförmigen Aufnahmen 15 gebildet ist. Die Aufnahmen 1 5 sind jeweils mit mehreren Rollen 16 versehen, mit denen sich die Aufnahmen 5 auf Führungen 1 7 des

Tunnelofens 4a abstützen. Zumindest zwischen dem Einlass 4a.1 und dem Auslass 4a.2 des Tunnelofens 4 schließen die einzelnen Aufnahmen 15 dicht aneinander an, sodass sie durch einen in der Figur 7 durch den Pfeil 18 schematisch dargestellten Schubantrieb durch Schieben durch den

Tunnelraum 5.1 in der Transportrichtung A bewegt werden, wobei sich die Rollen 16 jeweils auf den Führungen 1 7 abwälzen.

Das Behandlungsgut wird am Einlass 4a.1 auf die Aufnahmen 1 5 aufgelegt und das fertige Produkt 1 wird am Auslass 4a.2 von den Aufnahmen 1 5 abgenommen. Über eine in der Figur 7 schematisch mit 19 bezeichnete Transportstrecke werden die Aufnahmen 15 in der Transportrichtung A' vom Auslass 4a.2 an den Einlass 4a zurückbewegt. Hierbei kann es zweckmäßig sein, dass die Transportstrecke 19 innerhalb eines gegenüber der Umgebung thermisch isolierten und/oder beheizten Innenraumes verläuft, wie dies in der Figur 7 mit der unterbrochenen Linie 20 angedeutet ist, um ein zu starkes Abkühlen der Aufnahmen 15 während ihres Rücktransportes an den Einlass 4a.1 zu vermeiden.

Grundsätzlich besteht aber auch die Möglichkeit, die Transportstrecke 19 durch einen weiteren dem Ofenraum 5.1 entsprechenden Ofenraum des Tunnelofens 4a oder eines gesonderten Tunnelofens zu führen, sodass auch die Transportstrecke 19 zur Herstellung der Produkte 1 aus dem

Behandlungsgut 1 .1 genutzt wird. Die Rollen 1 6 sind beispielsweise jeweils von einem Kugellager gebildet. Zumindest die Rollen 16 und die Aufnahmen 15 bestehen aus dem

hitzebeständigen und auch mechanisch hochfesten keramischen Werkstoff.

Vorstehend wurde davon ausgegangen, dass die Aufnahmen 15 getrennte Elemente sind. Sei stverständ lieh besteht auch die Möglichkeit, die

Aufnahmen 1 5 über Gelenke gliederkettenartig zu einem eine geschlossene Schlaufe bildenden und umlaufend antreibbaren Transportelement zu verbinden. Die Figuren 9 und 0 zeigen als weitere Ausführungsform einen Tunnelofen 4b, bei dem die Transportelementgleitmittel von einer Vielzahl von Kugeln 21 in zwei parallelen und sich jeweils in Transportricbtung A erstreckenden Kugelführungen 22 gebildet sind. Der Transporteur 6b des Tunnelofens 4b ist auch bei dieser Ausführungsform wiederum von einer Vielzahl von Aufnahmen 23 gebildet, die beispielsweise plattenförmig oder im

Wesentlichen plattenförmig ausgebildet sind. Zumindest zwischen dem Einlass 4b.1 und dem Auslass 4b.2 schließen die Aufnahmen 23 dicht aneinander an, sodass sie beispielsweise durch Schieben mit einem in der Figur 9 schematisch mit dem Pfeil 24 angedeuteten Schubantrieb durch den Ofenraum 5.1 bewegt werden. Hierbei stützen sich die Aufnahmen 23 jeweils im Bereich ihrer beiden in Transportrichtung A orientierten Seiten auf den Kugeln 21 ab, die in den zugehörigen Kugelführungen 22 dicht aufeinander folgend vorgesehen sind, und die beim Bewegen der

Aufnahmen 23 ebenfalls in dieser Transportrichtung von dem Einlass 4b1 an den Ausiass 4b2 bewegt werden. Zum Behandeln des Behandlungsgutes 1 .1 wird jede Aufnahme 23 am Einlass 4b.1 auf die dortigen bereits mit einer Vielzahl von Kugeln 21 versehenen Abschnitte der Kugelführungen 23 aufgesetzt und dann das Behandlungsgut 1 .1 auf die betreffende Aufnahme 23 aufgelegt. Das jeweils hergestellte Produkt 1 wird am Ausiass 4b.2 von der Aufnahme 23 abgenommen. Danach wird die leere Aufnahme 23 von den Kugeiführungen 22 abgenommen und über eine Transportstrecke 25 zusammen mit solchen Kugeln 21 , die ebenfalls an den Ausiass 4b.2 gelangt sind, an den Einlass 4b.1 zurückbewegt. Auf der Transportstrecke 25 liegen die Aufnahmen 23 beispielsweise ebenfalls auf mit den Kugeln 21 versehenen Kugelführungen auf. Analog zur Transportsirecke 19 verläuft auch die Transportstrecke 25 bevorzugt in einem gegenüber der Umgebung thermisch isolierten und/oder beheizten Raum 20 oder aber durch einen weiteren zum Herstellen der Produkte 1 genutzten Ofenraum des Tunnelofens 4b oder eines weiteren Tunnelofens, Die Kugeln 21 und die Kugelführungen 22

Entsprechend der Figur 10 sind die beiden Kugelführungen 22

beispielsweise jeweils von zwei Rohren 26 gebildet, die parallel und geringfügig voneinander beabstandet mit ihrer Längserstreckung in

Transportrichtung A bzw. A' orientiert und in geeigneter Weise an einem Rahmen 27 des Tunnelofens 4b befestigt sind. Die Rohre 27 dienen bevorzugt zugleich zum Zuführen des Schutzgases und/oder des Sauerstoffs und/oder des Schutzgas-Sauerstoff-Gemisches in den Ofenraum 5.1 und sind hierfür mit mehreren Düsenöffnungen 26.1 ausgebildet, Düsenöffnungen 26.1 befinden sich dabei bevorzugt auch an den einander zugewandten Umfangsbereichen der Rohre 26 mit dem zusätzlichen Vorteil, dass der zwischen den Rohren 26 gebildete Raum 28 durch das aus den dortigen Düsenöffnungen 26.1 austretende Gas durch Ausblasen gereinigt wird. Zumindest die Kugeln 21 und die Kugelführungen 22 bzw. die diese bildenden Elemente, z.B. Rohre 26 bestehen aus dem hitzebeständigen und auch mechanisch hochfesten keramischen Werkstoff.

Die Figur 1 1 zeigt eine Ausführungsform, bei der die

Transportelementgleitmittel, d.h. die Gleitmittel für die Aufnahmen 23 nicht von mechanischen Gleitmitteln, sondern von einem Druckgas gebildet sind. Hierfür sind entlang der Bewegungsbahn der Aufnahmen 23 und unterhalb der Aufnahmen 23 zwei Rohre 29 vorgesehen, die an ihrer den

Aufnahmen 23 zugewandten Seite eine Vielzahl von Düsenöffnungen 29.1 bilden. Während des Betriebes des betreffenden Tunnelofens werden die Rohre 29 mit einem unter Druck stehenden Schutzgas oder Schutzgas- Sauerstoff-Gemisch beaufschlagt, sodass dieses Gas dann unter Druck aus den Düsenöffnungen 29.1 austritt und sich dadurch die Aufnahmen 23 im Bereich ihrer in Transportrichtung A orientierten Seiten auf einem von dem austretenden Druckgas gebildeten Druckgaspolster 30 abstützen. Die Rohre 29 bestehen wiederum bestehen aus dem hitzebeständigen und auch mechanisch hochfesten keramischen Werkstoff.

Die Figuren 12 und 1 3 zeigen das Transportsystem oder eine

Transportstrecke 6c eines Tunnelofens, welche wiederum das

Transportelement bzw. Transportband 9 und die die

Transportelementgleitmittel für die obere Länge 9.1 des Transportbandes bildenden Rollenbahn 1 1 c mit einer Vielzahl von in Transportrichtung A aufeinander folgenden Rollen oder Walzen 1 1 c.1 aufweist. Diese sind mit ihren Walzenachsen horizontal oder im Wesentlichen horizontal sowie senkrecht zur Transportrichtung A orientiert und beidendig in Lagergehäusen 31 drehbar gelagert, die bei der dargestellten Ausführungsform jeweils leistenartig, mit ihrer Längserstreckung in Transportrichtung A orientiert ausgebildet sind. Das Transportband 9 besieht wiederum aus einer Vielzahl von Kettenelementen oder -gliedern, die sowohl in Transportrichtung A aufeinander folgend, als auch quer zur Transportrichtung A nebeneinander angeordnet und gelenkig miteinander verbunden sind, sodass sich ein gitterartiges, flexibles Transportband ergibt. Das Transportband 9 bzw.

dessen Kettenglieder und Gelenke sind aus einem hoch temperatur- oder wärmefesten Material, bevorzugt aus einem entsprechenden Stahl hergestellt.

Die Walzen Ί 1 c.1 sind beidendig mit Lagern 32 um ihre Walzenachse frei drehbar in den Lagergehäusen 31 gelagert, und zwar kugellager- oder wälzlagerartig. Hierfür weist jedes Lager 32 mehrere Lagerwälzkörper 33 auf, die bei der dargestellten Ausführungsform Kugeln sind und jeweils unmittelbar gegen eine Wälz- oder Lagerfläche 34 der betreffenden Walze 1 1 c.1 anliegen bzw. an dieser Lagerfläche 34 abrollen, die bei der dargestellten Ausführungsform jeweils von der Umfangsfläche eines im Querschnitt reduzierten Endes 1 c.1 .1 der betreffenden Walze 1 1 c.1 gebildet ist. Weiterhin liegen die Lagerwälzkörper 33 gegen eine äußere Lagerfläche 35 des Lagerkörpers 31 an, die bei der dargestellten

Ausführungsform jeweils von der Innenfläche einer im Lagerkörper 31 vorgesehenen Ausnehmung 36 gebildet ist. Die Lagerwälzkörper 33 wälzen sich somit unmittelbar auf der jeweiligen Walze 1 1 c.1 bzw. dem

Walzenabschnitt 1 1 c.1 .1 und der Innenfläche der betreffenden

Lagerausnehmung 36 ab. Die Lager 32 weisen somit weder die bei

Wälzlagern üblichen äußeren und inneren Laufringe, noch einen Käfig für die Lagerwälzkörper 33 auf.

Da die Lagerfläche 34 jeweils von der Umfangsfläche des im Querschnitt reduzierten Endes 1 1 c.1 .1 der betreffenden Walze 1 1 c.1 und teilweise auch an dem Übergang vom größeren Walzendurchmesser zu dem reduzierte Walzenende 1 1 c.1 .1 gebildet ist, wird auch eine axiale Abstützung für die Lagerwälzkörper 33 an den Walzen 1 1 c.1 erreicht, so dass bei der ebenfalls axialen Abstützung der Lagerwälzkörper an den Lagerkörpern 31 bzw. in den Lageröffnungen 36 die Lager 32 nicht nur als Radiallager, sondern auch als Axialiager wirken. Zumindest die Walzen 1 l c.1 und die Lagerwälzkörper 33 bestehen aus einem hitzebeständigen und auch mechanisch hochfesten keramischer Werkstoff. Die Lagerkörper 31 sind beispielsweise aus einem hoch temperaturfestem Material, beispielsweise Stahl oder aber ebenfalls aus dem hitzebeständigen und auch mechanisch hochfesten keramischen Werkstoff gefertigt.

Eine weitere Besonderheit der Rollenbahn 1 1 c besteht darin, dass sie sich aus mehreren in Transportrichtung aufeinander folgenden

Rollenbahnsegmenten 37 zusammen setzt, die jeweils zwei Lagerkörper 31 an den beiden Längsseiten des jeweiligen Segmentes 37 sowie mehreren in diesen Lagerkörpern 31 in der vorstehend beschriebenen Weise gelagerten Walzen 1 1 c bestehen. Bei der Montage des Transportsystems oder der Transportstrecke 6c werden diese Segmente vor dem Montieren des

Transportbandes 9 von wenigstens einem Ende des Tunnelofen her nacheinander in diesen eingeschoben, und zwar im vormontiertem Zustand. Um dabei die Lagerkörper 31 , die Walzen 1 1 c.1 und die Elemente der Lager 32 zusammen zu halten, d.h. den vormontierten Zustand des betreffenden Segmentes 37 zu sichern, weist jedes Segment 37 wenigstens ein z.B. aus einem hitzebeständigen Metall, Halteelement 38 auf, das als Montagehilfe dient und sich an der Unterseite des betreffenden Segmentes 37 zwischen den beiden Lagerkörpern 31 erstreckt und diese jeweils mit einem

abgewinkelten Abschnitt 38.1 hintergreift. Die Halteelemente 38 verbleiben beispielsweise im Tunnelofen, bevorzugt werden sie aber beim Einschieben des jeweiligen Segmentes 37 entfernt. Die Montage der Segmente 37 am Tunnelofen erfolgt dann so, dass jedes Segment 37 zunächst zumindest soweit in den Tunnelofen 4c eingeschoben wird, dass die Lagerkörpe 31 mit ihren den Walzen 1 1 c.1 abgewandten Außenseiten gegen

Abstützelemente 39 zur Anlage kommen, die im Tunnelofen für eine ordnungsgemäße Positionierung der Segmente 37 erforderlich sind. Im Anschluss daran kann das Halteelement 38 bereits von dem Segment 37 gelöst und dieses dann vollständig in den Tunnelofen eingeschoben, in dem der Zusammenhalt der Segmente 37 durch die Abstützelemente 39 gewährleistet ist. Bei entsprechender Ausbildung der Halteelemente 38 können diese auch nach jeweils vollständiger Montage eines Segments 37 von diesem abgenommen werden. Die Halteelemente 38 sind

beispielsweise Haltebleche oder Halteklammern, z.B. aus Federstahl.

Vorstehend wurde davon ausgegangen, dass die von den Segmenten 37 gebildete Rollenbahn 1 1 c als Transportelementgleitmittel für das

Transportband 9 dient, grundsätzlich besteht aber auch die Möglichkeit, anstelle des Transportbandes 9 plattenförmige Aufnahmen oder

Transportelemente vorzusehen, wie dies in der Figur 1 5 bei 40 dargestellt ist, die dann beispielsweise in Transportrichtung A unmittelbar aneinander anschließend auf der Rollenbahn 1 1 c durch den Tunnelofen 4c geschoben werden und auf denen das jeweilige Behandlungsgut 1 .1 für ein DCB- Bonden oder Aktivlöten angeordnet ist.

Behandlungsgut 1 .1 besteht beispielsweise wiederum aus der

Keramikschicht 2 und den Metallfolien 3 an den beiden Oberflächenseiten der Keramikschicht 2. Um ein unerwünschtes Verbinden der unteren

Metallfoiie 3 mit dem aus einem mechanisch hoch festen keramischen Werkstoff bestehenden Transportelementen oder Aufnahmen 40 zu vermeiden, sind diese zumindest an ihrer Oberseite mit einer Trennschicht 41 versehen, die beispielsweise mit einer hohen Porosität aus keramischen Material hergestellt ist, z.B. aus Muiiit und/oder AI203 und/oder Ti03 und/oder Zr02 und/oder MgO und/oder CaO und/oder CaC02.

Als hitzebeständiger und auch mechanisch hochfester keramischer

Werkstoff, d.h. als keramischer Werkstoff, welcher nicht nur bei der maximalen Behandlungstemperatur stabil ist, sondern bei dieser Temperatur auch die erforderliche mechanische Festigkeit aufweist, eignet sich bei sämtlichen vorbeschriebenen Ausführungsformen vorzugsweise eine

Keramik mit niedrigem thermischen Ausdehnungskoeffizienten, beispielsweise wenigstens eine Keramik aus der Gruppe SiC, SI3N4, AI2CO, AlN, BN, B4C, B-SiC, Si-SiC, N-SiC und/oder Muliit. Dieser keramische Werkstoff ist insbesondere für die Walzen 1 1 .1 und deren Lager 1 3 bzw. 1 3a, die Aufnahmen 1 5 und deren Rollen 16, die Führungen 7, die Kugeln 21 , Kugelführungen 22 und die Rohre 29 geeignet.

Allen Ausführungen ist aber gemeinsam, dass das Transportelement eine ebene oder im Wesentlichen ebene und/oder vollflächige oder im

Wesentlichen vollflächige Auflage für das Behandlungsgut 1 .1 bildet und sich die Transportelementgleitmittel im Bereich des Ofenraumes 5.1 ausschließlich im Inneren dieses Ofenraum 5.1 befinden und keine Elemente der Transportelementgieitmittel aus dem Ofenraum 5.1 herausgeführt sind, sodass sich mit Ausnahme des Einlasses 4.1 , 4a.1 oder 4b. und des

Auslasses 4.2, 4a.2 bzw. 4b.2 ein nach Außen hin geschlossener Ofenraum 5.1 ergibt und Öffnungen in der Wandung bzw. in dem Ofengehäuse 5 vermieden sind, durch welche Umgebungsluft in den Ofenraum 5.1 eintreten und/oder Schutzgas oder Schutzgas-Sauerstoff-Gemisch aus dem Ofenraum 5.1 austreten könnte. Die Erfindung wurde voranstehend an verschiedenen Ausführungsformen beschrieben. Es versteht sich, dass weitere Änderungen und Abwandlungen möglich sind, ohne dass dadurch der der Erfindung zugrunde liegende Erfindungsgedanke verlassen wird.

Bezugszeichenliste

1 Produkt

1.1 Behandlungsgui

2 Keramik

3 Metallfolie

4, 4a, 4b, 4c Tunnelofen

4.1, 4a.1, 4b.1 Einlass

4.2, 4a.2, 4b.2 Auslass

5 Ofengehäusen oder Muffel

5.1 Ofenraum

6, 6a, 6b, 6c, 6d Transportstrecke

7, 8 Umlenkung

9, 9a, 9b Transportelemeni

9.1 obere Schlaufenlänge des Transportelementes 9

10 Heizeinrichtung

11, 1c Rollenbahn

11.1, 11c.1 Walze

11c.1.1 Walzenende

12 Maschinengestell

13, 13a Kugellager

13.1, 13,2 Lagerring

13.3 Kugel

14 Düse

15 Aufnahme

16 Rolle

7 Führung

18 Antrieb

19 Transportstrecke

20 geschützter Raum

21 Kugel 22 Kugelführung

23 Aufnahme

24 Antrieb

25 Transportsirecke

26 Rohr

26.1 Düsenöffnung

27 Maschinenrahmen

28 Zwischenraum

29 Rohr

29.1 Düsenöffnung

30 Druckgaspolster

31 Lagerkörper

32 Lager

33 Lagerwälzkörper

34, 35 Lagerfläche

36 Ausnehmung oder Lageröffnung

37 Segment

38 Halteelement oder Montagehilfe 38.1 Abschnitt der Halteklammer 39 ofensestiges Abstützelement

40 Transportelement oder Aufnahme

41 Trennschicht

A, A' Transportrichtung