Turbo-Molekularpumpen, wie sie beispielsweise in US 6,184, 640 B1 oder in EP 0 836 009 B1 beschrieben sind, bestehen aus einer Pumpeneinheit und einem daran angeschlossenen Steuergerät. Die zur Pumpeneinheit gehörende Turbo-Molekularpumpe hat eine hohe Betriebsdrehzahl von über 10.000 U/min. Der Rotor dieser Pumpe hat also im Betrieb eine sehr hohe kinetische Energie. Im Feh- lerfall, insbesondere bei einem Rotor-Stator-Kontakt, werden Teile des Rotors nach außen geschleudert. Dies kann zum Bersten des Gehäuses der Turbo-Molekularpumpe führen und ein Lösen der gesamten Pumpe von der Befestigung zur Folge haben. Bei größe- ren Turbo-Molekularpumpen mit entsprechend großem Rotor-Träg- heitsmoment ist es praktisch unmöglich, alle denkbaren Gefah- renmomente durch entsprechend stark ausgelegte Gehäusekomponen- ten auszuschließen.

Eine wesentliche Gefahrenquelle bildet ein Versagen oder eine Fehlfunktion des Wechselrichters, der die Betriebsströme für den Pumpenmotor erzeugt. Der Pumpenmotor ist in der Regel ein bürstenloser Gleichstrommotor, dessen Rotor mit Permanentmagne- ten ausgestattet ist. Der Stator enthält Wicklungen, in denen ein um die Achse rotierendes Magnetfeld erzeugt wird. Ein feh- lerhafter Wechselrichter kann dazu führen, dass die Pumpe mit einer zu hohen Drehzahl betrieben wird.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine aus einer Pum- peneinheit und einem Steuergerät bestehende Vakuumpumpe zu schaffen, bei der eine zuverlässige redundante Drehzahlüberwa- chung unter ständiger Prüfung der Signalwege mit geringem Auf- wand erfolgt.

Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß mit den im Patentanspruch 1 angegebenen Merkmalen. Hiernach enthält die Pumpeneinheit einen Überwachungs-Mikrocontroller, dem die Sig- nale des Drehzahlsensors der Pumpeneinheit zugeführt werden und der im Falle des Überschreitens einer vorgespeicherten maxima- len Drehzahl den Wechselrichter abschaltet. Außerdem ist vorge- sehen, dass der im Steuergerät enthaltene Steuer-Mikrocontrol- ler und der in der Pumpeneinheit vorgesehene Überwachungs-Mik- rocontroller zum Datenabgleich miteinander kommunizieren.

Dadurch, dass der Überwachungs-Mikrocontroller in der Pumpen- einheit angeordnet ist, kann er zwei unterschiedliche Funktio- nen erfüllen, nämlich einerseits die Speicherung der Pumpenpa- rameter, zu denen unter anderem die höchstzulässige Pumpendreh- zahl gehört, und zum anderen die Überwachungs-und Abschaltauf- gabe. Der Überwachungs-Mikrocontroller führt mit dem Steuer- Mikrocontroller einen Dialog zum Datenabgleich. Dadurch werden zugleich die Datenwege überprüft. Das Signal des Drehzahlsen- sors, das die aktuelle Pumpendrehzahl repräsentiert, wird bei- den Mikrocontrollern zugeführt, so dass in beiden Mikrocontrol- lern jeweils unabhängig beurteilt wird, ob die Pumpendrehzahl im zulässigen Bereich liegt. Sofern die maximale Pumpendrehzahl von der Betriebstemperatur der Pumpe abhängig ist, kann außer- dem das Signal eines Temperatursensors an die Mikrocontroller geliefert werden.

Wenn der Steuer-Mikrocontroller versagt und daher die Pumpen- drehzahl über den zulässigen Wert ansteigt, wird dies von dem Überwachungs-Mikrocontroller erkannt und dieser bewirkt über einen eigenen Kanal die sofortige Abschaltung des Wechselrich- ters.

Wenn bei der Kommunikation der beiden Mikrocomputer während des Datenabgleichs festgestellt wird, dass die zu vergleichenden Daten voneinander abweichen, folgt eine Fehlermeldung bzw. eine Beendigung des Pumpenbetriebes.

Dadurch, dass der Überwachungs-Mikrocontroller in der Pumpen- einheit angeordnet ist und außer der Überwachungsfunktion auch die Funktion der Speicherung der Pumpendaten und ihre Übertra- gung an den Steuer-Mikrocontroller wahrnimmt, hat der Überwa- chungs-Mikrocontroller eine Doppelfunktion. Üblicherweise wer- den für die drei Funktionen Steuerung, Überwachung und Speiche- rung drei Mikrocontroller eingesetzt. Demgegenüber sind bei der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe für die genannten drei Funktionen nur zwei Mikrocontroller erforderlich.

Ein Mikrocontroller im Sinne der vorliegenden Erfindung ist ein Mikroprozessor mit den zugehörigen Speichern und anderen Hilfs- komponenten, also ein kompletter Computer, der imstande ist, eine Speicherung und Verarbeitung von Daten selbständig vorzu- nehmen und einen Dialog mit anderen Rechnern zu führen.

Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf die einzige Figur der Zeichnung ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläu- tert.

In der Zeichnung ist ein schematisches Blockschaltbild der Va- kuumpumpe dargestellt.

Die Vakuumpumpe weist eine Pumpeneinheit 10 auf, die eine Turbo-Molekularpumpe 11 enthält. Die Turbo-Molekularpumpe 11 besteht aus einem Motor 12, der hier als bürstenloser Gleich- strommotor ausgebildet ist, und einem Pumpenteil 13. Der Motor 12 treibt den Pumpenteil 13 direkt an, also ohne Zwischenschal- tung eines Übersetzungsgetriebes. Der Motor 12 ist ein schnell- laufender Motor mit Drehzahlen über 10.000 U/min.

Ein Drehzahlsensor 14 ermittelt die Drehzahl des Motors 12 bzw. die Drehzahl des Rotors des Pumpenteils 13. Der Drehzahlsensor 14 ist beispielsweise eine Spule, die auf einen mit der Welle rotierenden Magneten anspricht und bei jedem Durchlauf des Mag- neten einen Impuls erzeugt. Ferner ist ein Temperatursensor 15 vorgesehen, der die Temperatur T des Pumpenteils 13 misst.

Die Pumpeneinheit 10 enthält ferner einen Überwachungs-Mikro- controller 16. Dieser empfängt die Signale des Drehzahlsensors 14 und des Temperatursensors 15. Er enthält einen Speicher, in dem Kenndaten der Turbo-Molekularpumpe 11 gespeichert sind, wie die höchstzulässige Drehzahl, das Herstellungsdatum, die Ma- schinennummer und ähnliches. Außerdem werden in dem Speicher Ereignisse gespeichert, wie das Auftreten einer Überdrehzahl, die Wartungsdaten des Gerätes oder auch Angaben über das Steuergerät, mit welchem die Pumpeneinheit kombiniert wurde.

Der Betrieb der Pumpeneinheit wird von dem Steuergerät 20 ge- steuert, das auch die Stromversorgung liefert. Das Steuergerät ist über Kabel mit der Pumpeneinheit verbunden. Das Kabel ent- hält eine dreiphasige Versorgungsleitung 21 sowie Daten-oder Signalleitungen 22,23.

Das Steuergerät 20 enthält einen Wechselrichter 25, der die für den Betrieb des Motors 12 erforderlichen Phasenspannungen der entsprechenden Frequenz liefert, und einen Steuer-Mikrocontrol- ler 26. Der Steuer-Mikrocontroller 26 empfängt über eine Lei- tung 27 ein Signal über die aktuelle Frequenz der Motor-Be- triebssignale, also ein Signal, das der Soll-Drehzahl ent- spricht. Über die Leitung 23 erhält der Steuer-Mikrocontroller 26 das Ist-Signal der Motordrehzahl n. Weichen diese beiden Signale voneinander ab, dann bewirkt der Steuer-Mikrocontroller 26 über eine Leitung 28 die Abschaltung des Wechselrichters 25.

Der Überwachungs-Mikrocontroller 16 kann über die Leitung 24 ebenfalls den Wechselrichter 25 ausschalten. Dies geschieht beispielsweise dann, wenn die vom Drehzahlsensor 14 gemessene Drehzahl über der maximal zulässigen Drehzahl liegt.

Auf der Leitung 22 können die Mikrocontroller 16 und 26 bidi- rektional untereinander kommunizieren. Beispielsweise teilt der Überwachungs-Mikrocontroller 16 dem Steuer-Mikrocontroller 26 die maximal zulässige Drehzahl der Turbo-Molekularpumpe 11 mit.

Die Datenübertragung erfolgt unter Anwendung üblicher Sicher- heitstechniken mit Fehlererkennung, beispielsweise nach dem CRC-Verfahren (Cyclic Redundancy Check). Dadurch wird die Da- tenübertragung insbesondere auf der Leitung 22 gesichert.

Der Überwachungs-Mikrocontroller 16 überwacht den Steuer-Mikro- controller 26 und prüft außerdem, ob die Datenwege intakt sind.

Wird ein Fehler festgestellt, so schaltet der Überwachungs-Mik- rocontroller 16 über Leitung 27 den Wechselrichter 25 ab und bewirkt eine Alarmerzeugung. Ferner wird in gewissen Zeitab- ständen der Wechselrichter für kurze Zeit (einige Millisekun- den) abgeschaltet und geprüft, ob und mit welcher Charakteris- tik der Motorstrom absinkt.

Die Überprüfung der Datenwege erfolgt in der Weise, dass das Ausbleiben von Daten auf einer der Leitungen 22,23 zu einer Ab- schaltung führt. Auf diese Weise werden sowohl Unterbrechungen als auch Signalverfälschungen oder abnorme Situationen sicher festgestellt.