Vakuumpumpe

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe zur Erzeugung eines Vakuums in einem Raum,

Vakuumpumpen werden zur Evakuierung von Räumen genutzt, in denen insbesondere hinsichtlich Partikeln kritische Prozesse ablaufen. Derartige Prozesse erfolgen beispielsweise in der Halbleiterproduktion, in Bedampfungsprozessen, chemischen Prozessen etc.. Um zu vermeiden, dass aus der Vakuumpumpe Schmiermϊtteibestandteile in den zu evakuierenden Raum gelangen, besteht die Forderung, trockenlaufende Vakuumpumpen einzusetzen.

Beispielsweise sind trockenlaufende Drehschieber-Vakuumpumpen bekannt, die jedoch den Nachteil aufweisen, dass an den reibenden Bauteilen, d, h., zwischen dem Schieber und der Schöpfrauminnenwand, hohe Reiativgeschwindigkeiten auftreten. Da bei akzeptablen Volumenströmen hohe Reiativgeschwindigkeiten auftreten, ist die Lebensdauer von Drehschieber- Vakuumpumpen relativ gering.

Als weitere trockenlaufende Vakuumpumpen sind Scrollpumpen bekannt Scrollpumpen umfassen ein ortsfestes und ein orbitierendes Bauteil, die spiralförmige, ineinander greifende Fördermittel tragen. Scrollpumpen sind jedoch in der Hersteilung teuer und müssen häufig gewartet werden, um einen zuverlässigen Dauerbetrieb zu gewährleisten.

Trockenlaufende Koibenvakuumpumpen weisen den Nachtet! auf, dass die Herstellungskosten hoch sind und ferner das Bauvolumen groß ist. Ferner sind bei derartigen Pumpen die Geräuschentwicklung und die auftretenden Vibrationen nachteilig.

Aus WO 03/081048 ist eine trockenlaufende Vakuumpumpe bekannt, die einen exzentrisch gelagerten Verdränger aufweist. In einer schraubenlinienförmigen Nut des zylindrischen Verdrängers ist ein wendeiförmiges Dichtelement angeordnet. Innerhalb des hohl ausgebildeten Zylinders ist exzentrisch zur Drehachse des Zylinders eine Kurbel angeordnet Das System aus rotierender Kurbel und orbitierendem Verdränger ist in einem zylindrischen Gehäuse angeordnet. Die in WO 03/081048 beschriebene Vakuumpumpe ist für hohe Förderleistungen gut geeignet, weist jedoch einen komplizierten Aufbau auf.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vakuumpumpe zu schaffen, deren wirtschaftlicher Einsatz auch bei Trockenlauf, insbesondere bei kleinem Saugvermögen, gewährleistet ist.

Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1,

Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe weist ein Gehäuse mit einem zylindrischen Innenraum auf. In dem Innenraum ist exzentrisch ein Verdränger angeordnet. Zwischen dem Verdränger und der Innenwand des Gehäuses ist ein wendeiförmiges Dichtelement zur Ausbildung mindestens eines sichelförmigen Förderraums angeordnet. Der Verdränger und/oder das Gehäuse sind unmittelbar mit einer Antriebseinrichtung verbunden, wobei je nach Ausfuhrungsform vorzugsweise entweder das Gehäuse oder der Verdränger feststehend ist. Durch eine einfache Drehbewegung des Gehäuses oder des Verdrängers erfolgt auf Grund der Exzentrizität ein Fördern,

beispielsweise eines Gases, aus einem zu evakuierenden Raum durch einen Einiass der Vakuumpumpe zu einem Auslass der Vakuumpumpe.

Ein wesentlicher Aspekt der Erfindung besteht hierbei darin, dass der Verdränger mittig gelagert ist, d, h. dass die WeNe des Verdrängers, bei der es sich je nach dem ob der Verdränger angetrieben ist oder nicht, um die Antriebs- oder die Lagerwelle handelt, konzentrisch zu dem zylindrischen Verdränger angeordnet ist. Der Verdränger führt somit keine orbitierende sondern eine rotierende Bewegung durch. Der Verdränger ist erfindungsgemäß konzentrisch gelagert.

Erfindungsgemäß ist die Vakuumpumpe als trockenlaufende Vakuumpumpe ausgebildet. Ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe besteht darin, dass es sich um eine konstruktiv einfach aufgebaute Vakuumpumpe handelt, bei der lediglich das Gehäuse oder der Verdränger angetrieben werden muss. Dies kann durch eine einfache Verbindung des Verdrängers oder des Gehäuses mit einem Elektromotor, beispielsweise über einen Riementrieb oder über ein zwischengeschaitetes Getriebe, oder auch direkt, erfolgen. Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe ist insbesondere als langsam laufende Vakuumpumpe geeignet, die vorzugsweise Maximalumdrehungen von weniger als 300 l/min und besonders bevorzugt weniger als 200 l/min aufweist. Auf Grund des Aufbaus und der Geometrie der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe kann trotz der geringen Drehzahlen ein guter Förderstrom erzielt werden.

Um die erfindungsgemäße trockenlaufende Vakuumpumpe zuverlässig und wartungsfreundlich betreiben zu können, ist es besonders vorteilhaft, eine geeignete Werkstoffpaarung zwischen dem wendeiförmigen Dichtelement und der Gleitfläche, an der das Dichtelement gleitet, zu verwirklichen. Je nach Ausgestaltung der Vakuumpumpe gleitet das Dichtelement bei einer Vakuumpumpe mit außenreibendem Dichtelement an der Innenwand des zylindrischen Innenraums des Gehäuses, wenn das Dichtelement drehfest mit

dem Verdränger verbunden ist. Bei einer Vakuumpumpe mit innenreibendem Dichtelement ist das Dichtelement drehfest mit dem Gehäuse verbunden und gleitet an einer Mantelfläche des zylindrischen Verdrängers. Besonders bevorzugte Werkstoffpaarungen zwischen dem Dichtelement und einer Gleitfläche, d. h,, der Innenwand des Gehäuses oder der Mantelfläche des Verdrängers, bestehen aus einem Dichtelement aus einem PTFE-Compound oder aus Peek in Kombination mit einer Gleitfläche aus geglättetem, insbesondere anolisiertem Aluminium. Ferner kann das Dichtelement auch aus Federstahl, insbesondere beschichtetem Federstahl, hergestellt sein. Bei der Beschichtung handelt es sich insbesondere um PTFE Compounds (PTFE mit Füllstoffen), PEEK und PEEK Compounds, PI (Polyimide) und PI Compounds, PPS (Polyphenylen Sulfid) und PPS Compounds oder Epoxidharzen mit Füllstoffen. Generell sind mechanisch und thermisch hoch belastbare Kunststoffe geeignet. Für ein derartiges tribologisches System können Relativgeschwindigkeiten von bis zu 5 m/s realisiert werden. Ais Werkstoffe für die Gleitfläche sind neben dem insbesondere hart anodisiertem Aluminium Grauguß, Sphäroguß und Temperguß sowie Stähle, insbesondere rostfreie Stähle, geeignet Vorzugsweise sind diese Werkstoffe mit einer Verschleißschutzschicht, insbesondere CrN oder TiN beschichtet. Zur Verminderung der Reibung zwischen dem Dichtelement und der Gleitfläche ist es femer vorteilhaft, Beschichtungen oder Glettlacke vorzusehen. Hierbei kann es sich um keramische Beschichtungen sowie um TIN, CrN, AICrN und CrC handeln.

Hierbei ist die Rauhigkeit R _z der Gleitfläche vorzugsweise geringer als 5, insbesondere geringer als 2 und besonders bevorzugt geringer als 0,5.

Auf Grund der Exzentrizität zwischen dem Verdränger und dem zylindrischen Innenraum des Gehäuses ist das Dichtelement in einer Nut angeordnet und in dieser radial verschiebbar. Die Nut ist entweder in dem Verdränger oder dem Gehäuse angeordnet. Wenngleich die Reiativgeschwindigkeiten innerhalb des Dichtelementes und einer Nutwandung deutlich geringer sind, ist es dennoch

vorteilhaft, auch die Iπnenwandung der Nut zu Verringerung der Reibung beispielsweise zu beschichten.

Die Breite und die Tiefe der Nut sind derart gewählt, dass im Betriebszustand der Vakuumpumpe einerseits ein gutes radiales Verschieben des Dichtelementes gewährleistet ist und andererseits der Spalt zwischen Dichtelement und Nut möglichst gering ist, um Leckageströme, die die Pumpleistung der Vakuumpumpe reduzieren wurden, zu vermeiden. Hierbei ist insbesondere je nach Werkstoffwahl zu berücksichtigen, dass sich die Ausdehnungskoeffizienten, und damit auch die Wärmedehnung der Bauteile unterscheiden können. Dies gilt insbesondere für ein Dichtelement aus Kunststoff,

Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist ein Kuhlefement vorgesehen, um die an der Gleichfläche des Dichtelementes auftretende Wärme gut abführen zu können. Hierdurch kann der Verschleiß, insbesondere des Dichtelementes, erheblich reduziert werden. Bei einer außengieitenden Vakuumpumpe, bei der das Dichtelement an der Innenwand des zylindrischen Innenraums des Gehäuses gleitet, ist das Kühielernent insbesondere in Form von Kühlrippen vorzugsweise mit dem Gehäuse verbunden. Hierbei ist es ferner möglich, um ein gutes Kuhlen sicherzustellen, die Kuhlrippen mit einem Luftstrom anzuströmen. Hierbei kann die Anströmung in Abhängigkeit der Temperatur gesteuert werden, so dass die Vakuumpumpe zu Beginn des Betriebs schnell auf Betriebstemperatur kommt und sodann in einem engen Temperaturbereich betrieben wird. Dies hat insbesondere den Vorteil, dass das Dichtelement aus einem Material hergestellt werden kann, das einen großen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist und somit nur in relativ engen Temperaturbereichen ein zuverlässiges Abdichten bei gleichzeitig guten Gleiteigenschaften gewährleistet.

Bei einer Vakuumpumpe mit innenreibendem Dichtelement ist es insbesondere vorteilhaft, den Verdränger zu kühlen. Hierzu kann beispielsweise ein hohl

ausgebildeter Verdräπger vorgesehen sein, wobei in dem Hohlraum wiederum Kuhlrippen angeordnet sein können, die von einem Luftstrom zur Kühlung umströmt werden.

Besonders bevorzugt ist es, die Lagerung des Gehäuses oder des Verdrängers auslassseitig vorzunehmen. Hierbei werden die Lager derart angeordnet, dass keine Verbindung mit der Unterdruckseite der Vakuumpumpe besteht. Hierdurch ist sichergestellt, dass Schmiermittel der insbesondere als Wälzlager ausgebildeten Lager, nicht in den zu evakuierenden Raum gelangen. Bevorzugt ist hierbei eine fliegende Lagerung des Verdrängers. Eine weitere Verbesserung der fliegenden Lagerung des Verdrängers, bei der die auf die Lager wirkenden Kippmomente verringert werden können, liegt in der bevorzugten Ausgestaltung innenliegender Lager. Hierzu ist es beispielsweise möglich, den Verdränger als Hohlzylinder auszugestalten und innerhalb des Hohlzylinders die Antriebswelle für den Verdränger anzuordnen und mit diesem zu verbinden. Um die in dem Hohlraum angeordnete Antriebswelle innenüegend zu lagern und dennoch zu gewährleisten, dass es sich um auslassseitige Lager handelt, kann die Antriebswelle von einer Hohlachse, die ggf. innerhalb des Hohlraums des Verdrängers angeordnet ist, umgeben werden. Die Hohlachse ist stationär und trägt die Lager zur Lagerung der Antriebswelle.

Das wendeiförmige Dichtelement weist vorzugsweise mehrere Windungen bzw. Umdrehungen auf. Dementsprechend weist auch die schraubenförmige Nut mehrere Gewindegänge auf. Um die Leistungsaufnahme der Vakuumpumpe möglichst gering zu halten und bei gleichzeitig kleinem Bauraum die Verdichtungstemperaturen niedrig zu halten, ist eine innere Verdichtung bevorzugt. Eine derartige innere Verdichtung des zu fördernden Mediums kann dadurch erreicht werden, dass in Förderrichtung die Gewindesteigung der Nut, bzw. des Dichtelementes verringert wird. Bevorzugt sind hierbei Verdichtungsverhältnisse von interner Verdichtung zu externer

Verdichtung von 1/3 bis 1/10. Vorzugsweise ist ein Bypassventil vorgesehen, um eine überkompression im Verdichtungsbereich zu vermeiden.

Eine mathematische Analyse der Kinematik der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe ergibt, dass die Relativgeschwindigkeit mit der dritten Potenz Einfluss auf das erzielbare maximale Saugvermögen hat. Bei der Relativgeschwindigkeit handelt es sich um die Relativgeschwindigkeit zwischen dem Dichtelement und der Gleitfiäche. Die erzielbare maximale Relativgeschwindigkeit hängt im Wesentlichen von der Werkstoffpaarung, der Oberflächengute und den auftretenden Temperaturen an den Kontaktstellen ab.

Die Drehzahl hingegen wirkt reziprok quadratisch auf das mögliche Saugvermögen, wenn die maximale Relativgeschwindigkeit konstant gehalten wird. Es ist somit möglich, Pumpen mit gegenüber bekannten Vakuumpumpen ungewöhnlich niedrigen Drehzahlen von weniger als 500 l/min 200 l/min zu realisieren, wobei dennoch hohe Saugvermögen realisiert werden können. Auf Grund der erfindungsgemäßen konstruktiven Ausgestaltung der Vakuumpumpe ist es somit möglich, bei niedrigen Drehzahlen hohe Saugvermögen zu erzielen. Auf Grund der erforderlichen geringen Drehzahlen kann die Vakuumpumpe als trockenlaufende Vakuumpumpe ausgestaltet werden. Bei höheren Drehzahlen würden maximale Relativgeschwindigkeiten an den Kontaktstellen auftreten, die zu einem schnellen Verschleiß fuhren. So sind mit der erfindungsgemäßen trockenlaufenden Vakuumpumpe insbesondere Saugvermögen von etwa 0,1 m ³ /h - 30 m ³ /n erzielbar. Ferner ist wegen des einfachen Aufbaus der Vakuumpumpe eine kostengünstige Konstruktion möglich. Auf Grund der geringen Bauteilanzahl ist eine hohe Wartungsfreundlichkeit gegeben. Ferner ist insbesondere auf Grund der geringen Drehzahlen eine lange Lebensdauer gewährleistet. Ferner sind die Anforderungen an die Wuchtgute gering. Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass nur geringe Vibrationen auftreten und die Geräuschentwickluπg gering ist.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist das Dichtelement mit radialer Vorspannung eingebaut. Hierdurch kann eine gute Dichtigkeit erzielt werden. Femer erfolgt hierdurch ein Ausgleich der Wärmedehnung und eine einfache Austauschbarkeit. Beispielsweise kann eine radiale Vorspannung durch ein Elastomer im Nutgrund hervorgerufen werden. Des weiteren ist ein tangentiales Spannen des Dichteiernentes durch Vorsehen einer Feder möglich.

Nachfolgend wird die Erfindung an Hand bevorzugter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.

Es zeigen :

Fig. 1 eine schematische Schnittansicht einer ersten bevorzugten

Ausführungsform einer Vakuumpumpe,

Fig. 2 eine schematische Schnittansicht einer zweiten bevorzugten

Ausführungsform einer Vakuumpumpe und

Fig. 3 eine schematische perspektivische Ansicht einer Vakuumpumpe mit elektromotorischem Antrieb.

Gemäß einer ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung (Fig. 1) weist die Vakuumpumpe ein feststehendes Gehäuse 10 auf. Das Gehäuse 10 ist mit einem Einlassdeckel 12 und einem Auslassdeckel 14 verschlossen. Der Einlassdeckel 12 weist einen Einlass 16 auf, der mit dem zu evakuierenden Raum verbunden ist. Der Auslassdeckel 14 weist einen Anschluss 18 auf, durch den die aus dem zu evakuierenden Raum abgesaugten Gase abgegeben werden. Das Gas gelangt somit aus dem zu evakuierenden Raum In Richtung des Pfeils 20 durch den Einlass 16 in einem zylindrischen Innenraum 22 des

Gehäuses 10 und verlässt diesen durch den in dem Auslassdeckel 14 angeordneten Auslassanschluss 18 in Richtung eines Pfeils 24.

Innerhalb des zylindrischen Raums 22 ist ein zylindrischer Verdränger 26 angeordnet. Der Verdränger 26 ist zentrisch zu einer Welle 28 angeordnet. Die Mittelachse 30 des Verdrängers entspricht somit der Mittelachse der Welle 28. Die Weile 28 ist exzentrisch in dem zylindrischen Innenraum 22 angeordnet. Die Mittelachse 32 des Innenraums 22 weist somit eine Exzentrizität e zur Mittelachse 30 des Verdräπgers 26 bzw. der Welle 28 auf. Im dargestellten Ausfuhrungsbeispiel ist die Welle 28 durch den mit dem Einlassdeckel 12 verbundenen Deckel 50 hindurchgeführt.

Der Verdränger 26 trägt ein wendel- bzw. schraubenlinienförmiges Dichtelement 34. Das Dichteiement 34 ist in einer entsprechenden wendeh bzw. schraubenlinienförmigen Nut 36 angeordnet. Das Dichtelement 34 ist drehfest und radial verschiebbar mit dem Verdränger 26 verbunden, Durch Drehen des Verdrängers 26 wird das Dichtelement 34 gegenüber einer Innenwand 38 des Gehäuses 10 gedreht. Gleichzeitig wird der Verdränger 26 radial verschoben, so dass ein Fördern von Gas in Richtung der Pfeile 20, 24 erfolgt. Das Fördern des Gases erfolgt dadurch, dass sichelförmig ausgebildete Förderräume zwischen benachbarten Wendelgängen des Dichtelements 34 das Medium in Fig. 1 nach rechts fördern. Der Abstand benachbarter Wendelgänge des Dichtelementes 34 kann in Förderrichtung abnehmen, so dass ein Komprimieren bzw. Verdichten des Mediums erfolgt.

Bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel erfolgt die Relativbewegung zwischen der Innenwand 38 des Innenraums 22 und einer Außenfläche 40 des Dichteiementes 34. Hierdurch erwärmt sich sowohl das Gehäuse 10 als auch das Dichtelement 34. Wesentlich ist daher bei dieser Ausfuhrungsform, dass das Gehäuse 10 eine gute Wärmeleitfähigkeit aufweist und an seiner Außenseite Kuhlrippen 42 vorgesehen sind. Zur Unterstützung der Kühlung können die Kuhlrippen 42 zusätzlich von Luft angeströmt werden.

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Die mit dem Verdränger 26 verbundene Welle 28 ist mit einer Antriebseinrichtung 44 {Fig. 3), bei der es sich insbesondere um einen Elektromotor handelt, verbunden. Im dargestellten Ausfύhrungsbeispie! erfolgt die Lagerung der Welle über vorzugsweise als Wälzlager ausgebildete Lager 46, 48, die in dem Einiassdeckel 12 bzw. Auslassdeckei 14 angeordnet sind. Die Lager 46, 48 sind durch Deckel 50 gehalten und sind vorzugsweise als Wälzlager ausgebildet, fettgeschmiert und gedichtet bzw. gedeckelt. Insbesondere auf der Anlassseite ist es vorteilhaft, zwischen dem Einlassdeckel 12 und der Welle 28 eine gut abdichtende Dichtung 52 anzuordnen, um zu vermeiden, dass ein Gasaustausch zwischen der Umgebung und dem zu evakuierenden Raum stattfindet. Dies ist insbesondere dann nachteilig, wenn es sich bei dem zu evakuierenden Raum beispielsweise um einen Raum handelt, in dem eine HaSbieiterproduktion oder ähnliches durchgeführt wird. Die kontaktierenden Wellendichtungen können trockeniaufend oder fettgeschmiert ausgeführt sein. Bei kleinen Druckdifferenzen können auch Spaltdichtungen vorgesehen werden, Auch das einiasssettige Lager 48 kann durch eine kontaktierende Wellendichtung vom Prozessmedium im Schöpfraum getrennt werden.

Es ist ebenso möglich, das Dichtelement 34 in einer in dem Gehäuse 10 angeordneten Nut anzuordnen, wobei die auftretenden

Relativgeschwindigkeiten sodann zwischen dem Dichtelement und einer Außenseite des Verdrängers 26 auftreten. Die hier auftretende Wärme ist jedoch schwieriger abzuführen. Zur Wärmeabfuhr könnte beispielsweise ein hohler Vedränger vorgesehen sein.

Ferner ist es möglich, einen stationären Verdränger und ein rotierendes Gehäuse vorzusehen. Dabei wäre die Bohrung in dem Gehäuse exentrisch zur Drehachse, um die das Gehäuse dreht.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform (Fig. 2) sind ähnliche oder identische Bauteile mit den selben Bezugszeichen wie in Fig. 1 bezeichnet.

Das Gehäuse 10 ist entsprechend der Ausführungsform in Fig„ 1 ausgebildet und mit Gehäusedeckeln 12, 14 verschlossen. Das Gehäuse 10 weist ebenfalls eine zylindrische öffnung auf, in der ein Verdränger 54 angeordnet ist. Entsprechend Fig. 1 weist der Verdränger 54 eine zylindrische Außenkontur auf, wobei in Nuten 36 ein wendelförmiges Dichtelement 34 angeordnet ist, so dass die Funktionsweise der zweiten Ausführungsform (Fig. 2) derjenigen in Fig. 1 dargestellten Ausfuhrungsform entspricht.

Um eine Verbindung zwischen den Lagern des Verdrängers 54 mit dem zu evakuierenden Raum, bzw. der Einlassöffnung 16 zu vermeiden, erfolgt in der dargestellten Ausführungsform die Anordnung der Lager innerhalb des Verdrängers 54. Hierzu weist der Verdränger 54 eine zylindrische öffnung 60 auf, die in eine zylindrische öffnung 62 mit kleinerem Durchmesser übergeht. Die Zylindrische öffnung 60, 62 ist rotationssymmetrisch zum Verdränger 54 angeordnet und liegt somit auf der Mittelachse des Verdrängers 54, Der öffnung 62 gegenüberliegend ist konzentrisch eine zylindrische öffnung 64 vorgesehen, wobei die öffnungen 62, 64 durch eine weiteren konzentrische öffnung miteinander verbunden sind.

Eine Antriebswelie 66, die mehrfache Abstufungen aufweist, ist in den zylindrischen öffnungen 60, 62 angeordnet und weist einen Gewindezapfen 68 auf, der in die öffnung 64 ragt. Zum drehfesten Verbinden der WeNe 66 mit dem Verdränger 54 ist der Gewindezapfen 68 über eine Mutter 70 fixiert und ferner eine Passfeder 72 vorgesehen. Die Lager 56, 58 sind innerhalb des zylindrischen Hohlraums 60 des Verdrängers 54 auf der Außenseite der Welle 66 angeordnet. Ferner ist in der zylindrischen öffnung 60 eine Hohlachse 74 vorgesehen, die die Lager 56, 58 trägt. Die Hohlachse 64 ist drehfest mit dem Deckel 14 verbunden. Zur Lagedefinition ist das Lager 56 mittels einer Feder 76 vorgespannt. Das Lager 58 ist durch einen Deckel 78 gehalten.

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Da die Lager innenliegeπd, bzw. auslassseitig angeordnet sind, besteht keine Verbindung zu dem zu evakuierenden Raum, so dass durch den herrschenden Unterdruck keine Schmiermittei aus den Lagern herausgesogen und ggf- in den zu evakuierenden Raum gelangen können.

Neben den in den Fig. 1 - 2 dargestellten Lagerungen der Verdränger 26, 54 können die Verdänger auch fliegend außerhalb des Gehäuses gelagert werden.

Die in Fig. 1 dargestellte zweiseitige Lagerung ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn ein zwetflutiges System vorgesehen ist. Bei einer zweifiutigen Vakuumpumpe erfolgt das Ansaugen über einen in der Mitte angeordneten Ansaugstutzen, wobei das Gas sodann in beide Richtungen durch einen entsprechend ausgebildeten Verdränger zur Seite gefördert und seitlich aus zwei Ausiassöffnungen ausgestoßen wird. Ein derartiger Verdränger weist zwei Dichtelemente auf, die ebenfalls wendeiförmig ausgebildet sind und das Medium von dem mittig angeordneten Eiπlassstutzen jeweils nach außen transportieren. Bei einem zweifiutigen System mit zweiseitiger Lagerung sind die Lager jeweils auslassseitig angeordnet, so dass hierbei ebenfalls vermieden ist, dass Schmiermittel der Lager in den zu evakuierenden Raum gelangen.

Je nach Lageranordnung sind die Lager gegenüber den Förderräumen durch Wellendichtungen oder andere Dichtelemente abgedichtet.

Die in Fig. 3 dargestellte perspektivische Ansicht zeigt eine fertig montierte Vakuumpumpe mit einem als Elektromotor ausgebildeten Antriebselement 44. Gut sichtbar ist hierbei das Gehäuse 10 mit am Umfang verteilten, im Wesentlichen radial angeordneten Kühlrippen 42. Ferner ist der Einlass 16 und der Auslass 18 sichtbar. Die mit dem Verdränger 26 verbundene Welle 28 ist über einen Riementrieb 82 mit dem Elektromotor 44 verbunden.

Die beiden Bauteile sind auf einer Grundplatte 80 angeordnet. Bei der in Fig. 3 dargestellten Anordnung handelt es sich um eine äußerst kompakte und somit platzsparende Anordnung,

Hinsichtlich der Kinematik der unterschiedlichen möglichen Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe ist festzuhalten, dass die Drehachse vorzugsweise die Achse des Bauteils mit Nut ist. Sowohl die Bohrung als auch der Verdränger sind im Schnitt stets kreisförmig. Die Mittellinie des zylindrischen Verdrängers entspricht der Mittellinie der Achse, insbesondere der Drehachse des Verdrängers. Vorzugsweise ist bei den unterschiedlichen Ausführungsformen der Nutgrund immer konzentrisch zu dem Bauteil mit Nut,

Eine Verdichtung kann ferner auch dadurch erfolgen, dass eine Verringerung der Nutsteigung in Förderrichtung vorgesehen ist. Ferner ist auch eine zweistufige Ausgestaltung der Vakuumpumpe möglich.