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Title:
VACUUM PUMP
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2010/072526
Kind Code:
A2
Abstract:
The invention relates to a vacuum pump, particularly a screw-vacuum pump, having a pump housing (14) wherein pump elements (10) are arranged. The pump housing (14) has a first flange (48) that is connected to a second flange (50) of a pump element (10), such as a transmission housing. There is a sealing groove (54) in one of the two flange surfaces (52) of the flange connection (44) in which a sealing element, such as an o-ring, is arranged. There is a circumferential protective channel (60) within the sealing groove (54). The protective channel (60) is connected via a gas channel (62) and a connection channel (64), such as to a gas source or a vacuum shaft. The protection channel (60) protects the sealing element arranged in the sealing groove (54).

Inventors:
DREIFERT, Thomas (Falkenweg 5, Kerpen, 50171, DE)
BIRCH, Peter (27 Littledak Partridge Green, West Sussex, Sussex RH13 8JY, GB)
JENKINS, Robert (11 Dunstall Avenue, Burgess HillWest Sussex, Sussex RH 15 8PJ, GB)
Application Number:
EP2009/066252
Publication Date:
July 01, 2010
Filing Date:
December 02, 2009
Export Citation:
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Assignee:
OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH (Bonner Strasse 498, Köln, 50968, DE)
DREIFERT, Thomas (Falkenweg 5, Kerpen, 50171, DE)
BIRCH, Peter (27 Littledak Partridge Green, West Sussex, Sussex RH13 8JY, GB)
JENKINS, Robert (11 Dunstall Avenue, Burgess HillWest Sussex, Sussex RH 15 8PJ, GB)
International Classes:
F04C18/16; F04C27/00
Foreign References:
GB2442738A2008-04-16
US6612820B12003-09-02
EP1620649B12006-08-23
Attorney, Agent or Firm:
VON KIRSCHBAUM, Alexander (Patentanwälte von Kreisler, Selting Werner,Bahnhofsvorplatz, Deichmannhaus am Dom Köln, 50667, DE)
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Claims:
Patentansprüche

1, Vakuumpumpe, insbesondere Schrauben-Vakuumpumpe, mit

in einem einen Schöpfraum (12) ausbildenden Pumpengehäuse (14) angeordneten mindestens einen Pumpelement (10),

einem an dem Pumpengehäuse (14) vorgesehenen ersten Flansch (48),

einem Gehäuseelement (36), das zur Verbindung mit dem ersten Flansch (48) eine zweiten Flansch (50) aufweist,

einer in einer der beiden aneinander anliegenden Flanschflächen (52) vorgesehenen, umlaufenden Dichtnut (54), in der ein Dichtelement angeordnet ist, und

einem von der Dichtnut (54) umgebenen, umlaufenden Schutzkanal (60),

d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass

der Schutzkana! mit einem Gaskanal (62) verbunden ist, wobei weder der Schutzkanal (60) noch der Gaskana! (62) mit dem Schöpfraum (12) verbunden ist.

2, Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Gaskana! (62) mit einer Gasquelle zum Zufuhren eines Schutzgases in den Schutzkanal (60) verbunden ist,

3, Vakuumpumpe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Gehäuseelement (36) mindestens ein Lagerelement (32) angeordnet ist.

4. Vakuumpumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Schutzkanal (60) mit einem Verbindungskanal (66) zum Zuführen von Schutzgas zu dem Lagerelement (32) verbunden ist.

5. Vakuumpumpe nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch einen in dem Gehäuseelement (36) angeordneten gesonderten Zuführkanal (70) zum Zufuhren von Schutzgas zu dem mindestens einen Lagerelement (32), wobei der Zufύhrkanal (70) und der Gaskanal (62) mit derselben Gasquelle verbunden sind.

6. Vakuumpumpe nach Anspruch 1-5, dadurch gekennzeichnet, dass der Gaskanal (62) über einen im Gehäuseeiement (36) vorgesehenen Querverbindungskanal (64) mit einer Gasquelle verbunden ist.

7. Vakuumpumpe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Querverbindungskanal (64) über mindestens zwei Gaskanäle (62) mit dem Schutzkanal (60) verbunden ist.

8. Vakuumpumpe nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Zufύhrkana! (70) zum Zuführen von Schutzgas zu dem mindestens einen Lagerkanal mit dem Querverbindungskanal (64) verbunden ist,

9. Vakuumpumpe nach Anspruch 5-8, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere gesonderte Zuführkanäle (70) vorgesehen sind, die jeweils mit einem Lagerelement (32) verbunden sind.

10. Vakuumpumpe nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Gehäuseelement (36) mehrere Lagerelemente (32) angeordnet sind, die über einen gemeinsamen Verbindungskanal oder gesonderte Verbindungskanäle (66) mit dem Schutzkanal (60) verbunden sind.

11. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Gaskanal (60) mit einer Unterdruckquelle zum Absaugen von Gas aus dem Schutzkana! (60) verbunden ist.

12. Vakuumpumpe nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Gaskanal (62) zur Erzeugung des Unterdrucks mit einem Unterdruckbereich der Vakuumpumpe, insbesondere deren Einlassbereich, verbunden ist,

13. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtnut (54) und der Schutzkana! (60) in derselben Flanschfläche (52) angeordnet sind.

14. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Schutzkanal (60) einen konstanten radialen Abstand zur Dichtnut (54) aufweist.

15. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 10, gekennzeichnet durch mehrere, insbesondere zwei mit dem Schutzkanal (60) verbundene Gaskanäle (62).

16. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 11, gekennzeichnet durch einen im Pumpengehäuse (14) angeordneten, unmittelbar mit dem Schöpfraum verbundenen Purge-Gaskanal.

17. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 12, gekennzeichnet durch einen weiteren, die Dichtnut (54) umgebenden Schutzkanal (60).

Description:
Unser Zeichen : 092146WO KB/so Ihr Zeichen: P08.35 WO 01.12.2009

Vakuumpumpe

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Schrauben- Vakuumpumpe.

Vakuumpumpen, wie Schrauben-Vakuumpumpen, weisen einen durch ein Pumpengehäuse gebildeten Schöpfraum auf. In dem Schöpfraum sind Pumpelemente angeordnet. Bei Schrauben-Vakuumpumpen sind zwei sich in entgegengesetzte Richtungen drehende schraubenförmige Pumpelemente vorgesehen. Die Pumpeiemente sind von Wellen getragen, die in Gehäuseelementen gelagert sind. Das Pumpengehäuse, das den Schöpfraum ausbildet, und zumindest ein Gehäuseelement, das den Schöpfraum verschließt und beispielweise als Getriebegehäuse fungiert, sind über eine Flanschverbindung miteinander verbunden. Zwischen einem ersten Flansch, der an dem Pumpgehäuse, und einem zweiten Flansch, der an dem Gehäuseelement angeordnet ist, ist eine Dichtung vorgesehen. Hierzu ist in einer der beiden Flanschfiächen eine Dichtnut vorgesehen, in der ein Dichtelement, wie ein O-Ring, angeordnet ist.

Insbesondere beim Fördern von aggressiven oder explosiven Medien muss eine sehr hohe Dichtigkeit gewährleistet sein. Ferner besteht beim Fördern von aggressiven Medien die Gefahr, dass der O-Ring angegriffen wird und hierdurch Undichtigkeiten entstehen. Aus EP 1 620 649 ist es bekannt, innerhalb der Dichtnut eine zweite, als Schutzkanai dienende Nut in der Flanschfiäche anzuordnen. Der Schutzkana! hat somit einen geringeren Umfang als die Dichtnut, Über eine Querbohrung ist der Schutzkanai mit einem Gas-Zuführkanai verbunden. Ferner ist der Schutzkanal mit weiteren Querbohrungen verbunden, durch die Gas aus dem Schutzkana! in den Schöpfraum strömt. Gemäß der EP 1 620 649 wird dem inneren Schutzkanal ununterbrochen Gas zugeführt, das durch den Schutzkanai und die Verbindungskanäie in den Schöpfraum strömt. Es wird somit über den Schutzkanal und die Verbindungskanäle sog. Purge-Gas dem Schöpfraum zugeführt. Wenngleich durch den in EP 1 620 649 vorgeschlagenen Schutzkanal ein guter Schutz für das Dichtelement realisiert werden kann, weist diese Anordnung den Nachteil auf, dass stets eine Förderung von Purge-Gas notwendig ist, um sicherzustellen, dass der Schutzkana! während des Betriebs mit Gas gefüllt ist. Eine Unterbrechung der Gaszufuhr in den Schutzkanal kann dazu führen, dass insbesondere durch die Verbindungskanäle von der Pumpe zu förderndes Gas in den Schutzkana! und von diesem zu der Dichtung gefangt. Erfordert ein Pumpprozess beispielsweise nur eine geringe oder keine Zufuhr an Purge-Gas, ist dies mit der in EP 1 620 649 vorgeschlagenen Konstruktion nicht möglich

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Schrauben-Vakuumpe, zu schaffen, bei der ein Flansch-Dichtelement auf einfache Weise zuverlässig geschützt ist.

Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1.

Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe weist ein Pumpengehäuse auf, das einen Schöpfraum ausbildet, in dem Pumpelemente angeordnet sind. Das Pumpengehäuse ist mit einem ersten Flansch versehen, über den ein Gehäuseelement, wie Gehäusedeckel oder ein Getriebegehäuse, mit dem Pumpengehäuse verbunden wird. Das Gehäuseelement weist hierzu einen zweiten Flansch auf. In zumindest einer der beiden aneinander anliegenden FSan5chflächen ist eine umlaufende Dichtnut angeordnet. In dieser ist ein Dichteiement, wie ein O-Ring, vorgesehen. Innerhalb der Dichtnut ist ein ebenfalls umiaufender Schutzkanal in zumindest einer der beiden Flanschflächen angeordnet. Erfindungsgemäß ist der Schutzkanal mit einem Gaskanal verbunden. Der Gaskanal ist nicht mit dem Schöpfraum verbunden. Bei einer ersten bevorzugten Ausfuhrungsform kann der Gaskana! mit einer Gasquelle zum Zuführen von Schutzgas in den Schutzkanal verbunden sein. Bei einem in sich geschlossenen Schutzkana! gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist es möglich, in diesen Schutzgas einzuleiten und unter einem vorgegebenen Druck zu halten. Somit ist auf einfache Weise ein Schutz für das in der Dichtnut vorgesehene Dichtelement realisiert. Insbesondere ist hierbei sichergestelit, dass kein oder allenfalls nur eine geringe Menge an Schutzgas in den Schöpfraum gelangt. Es ist sodann bei dieser Ausführungsform insbesondere möglich, über einen zusätzlichen Kanal Purge- Gas dem Schöpfraum zuzuführen. Die Menge an zugefuhrtem Purge-Gas kann somit sehr exakt geregelt werden.

Bei einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist es möglich, einen Verbindungskanal in dem Gehäuseeiement vorzusehen, sofern es sich um ein Gehäuseelement handelt, in dem zumindest ein Lagerelement angeordnet ist. Der Verbindungskanal steht eine Verbindung zwischen dem Schutzkanal und dem Lagerelement dar, so dass eine ggf. sehr geringe Menge an Schutzgas in das Lagereiement strömt und somit das Lagerelement vor Beschädigungen, beispielsweise durch ein aggressives zu förderndes Medium, schützt. Bei dieser Ausführungsform ist es insbesondere bevorzugt, in dem Gehäuseelement oder dem Pumpengehäuse einen gesonderten Zuführkanal zum Zufuhren von Purge-Gas in den Schöpfraum vorzusehen. Hierdurch ist wieder eine genaue Regelung der Menge an zugefuhrtem Purge-Gas, die ggf, auch πuü sein kann, möglich. Bei einer bevorzugten Weiterbildung ist in dem Gehäuseelement ein Querverbindungskanal vorgesehen. Das Vorsehen eines Querverbindungskanals hat den Vorteil, dass über diesen Kana! Gas auch zu anderen Bereichen über weitere Verbindungskanäle gefuhrt werden kann. Besonders bevorzugt ist es hierbei, mindestens einen weiteren Gaskanal vorzusehen, durch den eine weitere Verbindung zwischen dem Querverbindungskanal und dem Schutzkanai hergestellt ist. Hierdurch ist eine gieichmäßigere Verteilung des Schutzgases in dem Schutzkanal gewährleistet. Bei einer weiteren bevorzugten Weiterbildung kann mit dem Querverbindungskanal ein Zuführkanal verbunden sein, über den Schutzgas zu einem in dem Gehäuseelement angeordneten Lagerelement geleitet werden kann.

Bei einer weiteren Ausführungsform ist anstelle eines Verbindungskanals zwischen dem Schutzkanal und den Lagerelementen in dem Gehäuseelement ein gesonderter Zufuhrkanal vorgesehen, über den Schutzgas zu dem mindestens einen Lagerelement zugeführt wird. Hierbei ist es bevorzugt, dass der Zuführkanal sowie der Schutzkanal mit derselben Gasquelle verbunden sind.

Sofern in dem Gehäuseelement mehrere, insbesondere zwei Lagerelemeπte angeordnet sind, ist es bevorzugt, dass für jedes Lagerelement gesonderte Verbindungskanäle vorgesehen sind. Hierdurch ist es möglich, kurze Wege zu realisieren. Bevorzugt ist es wiederum, dass sämtliche Zufuhrkanäle zum Zufuhren von Schutzgas zu dem Schutzkanal sowie zu den Lagerelementen mit einer gemeinsamen Gasquelle verbunden sind.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausfuhrungsform ist der mit dem Schutzkanal verbundene Gaskanal mit einer Unterdruckquelle verbunden. Hierdurch kann ggf. in den Schutzkanal eindringendes Gas abgeführt werden. Der Schutzkanal, der in dieser Ausführungsform wiederum keinen Verbinduπgskanal zum Schöpfraum aber auch keinen Verbindungskanal zu Lagerelementen aufweist, kann somit unter einem definierten Unterdruck gehalten werden. Auch hierdurch ist sichergestellt, dass zu fördernde aggressive Medien nicht zu dem DichteSement, wie dem O-Ring, gelangen und dieses beschädigen. Der Unterdruck in dem Schutzkanal kann dadurch erzeugt werden, dass der Schutzkanal mit einem Unterdruckbereich der Vakuumpumpe, wie beispielsweise einem Einiassbereich, verbunden ist. Bei dem Einiassbereich handelt es sich um denjenigen Bereich der Vakuumpumpe, der in Förderrichtung vor den Pumpelementen angeordnet ist. Ebenso ist es möglich, eine gesonderte Unterdruckquelle vorzusehen, die entweder einen eigenen Antrieb aufweist oder mit dem Antrieb der Vakuumpumpe verbunden ist.

Vorzugsweise ist die Dichtnut und der mindestens eine Schutzkanal in derselben Flanschfläche angeordnet. Hierdurch ist die Fertigung vereinfacht. Ferner ist es bevorzugt, dass der Schutzkanal einen konstanten radialen Abstand zur Dichtnut aufweist.

Bei einer weiteren besonders bevorzugten Ausführungsform ist ein weiterer Schutzkanal vorgesehen, der die Dichtnut umgibt. Die Dichtnut liegt somit zwischen zwei Schutzkanäien, Auch der zweite Schutzkana! ist, wie vorstehend beschrieben, vorzugsweise mit einer Gasquelle oder einer Unterdruckwelle verbunden, wobei das vorstehend beschriebene Vorsehen von Verbindungskanälen zu Lagerelementen von dem inneren und/ oder dem äußeren Schutzkana! ausgehen kann. Durch das Vorsehen von zwei Schutzkanälen, zwischen denen die Dichtnut vorgesehen ist, ist der Schutz des Dichtelements weiter verbessert.

Bevorzugt ist es, dass als Purge-Gas, das insbesondere über einen gesonderten Purge-Gaskanal unmittelbar dem Schöpfraum und nicht durch den Schutzkanal hindurch dem Schöpfraum zugeleitet wird, Luft, Stickstoff, Argon oder gemischte Gase zu verwenden. Vorzugsweise wird das Purge-Gas dem Schöpfraum bei einem Druck im Bereich von 0,1 bis 5 bar zugeführt.

Die in der Dichtnut angeordnete Dichtung, bei der es sich insbesondere um einen O-Ring handelt, aber auch ein Dichtelement mit rechteckigem oder quadratischem Querschnitt, oder ein flaches Dichtelement vorgesehen sein kann, weist vorzugsweise eiastomeres Material, wie beispielsweise Viton, auf.

Ferner ist es bevorzugt, dass das Dichtelement PTFE-Material aufweist oder aus PTFE besteht Ggf. kann das Dichtelement aus Metall und/ oder Kupfer und/ oder Aluminium hergestellt sein bzw. entsprechende Bestandteile aufweisen.

Die vorstehend beschriebenen unterschiedlichen bevorzugten Ausführungsformen von erfindungsgernäßen Flanschdichtungen können nicht nur zwischen einem Pumpengehäuse und einem Pumpelement, das beispielsweise Lagerelemente trägt und als Getriebegehäuse dient, angeordnet sein. Entsprechende Flanschdichtungen sind bei Vakuumpumpen, die insbesondere zum Fördern von aggressivem oder explosivem Medium eingesetzt werden, stets als Dichtung vorteilhaft, wobei es sich insbesondere um Dichtungen zwischen zwei Gehäuseteilen handelt, die vorzugsweise mittels Flanschen abgedichtet werden.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand bevorzugter Ausführuπgsformen unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Schnittansicht einer Schrauben-

Vakuumpumpe,

Fig. 2 eine schematische Draufsicht auf einen Flansch eines

Gehäuseelements in Richtung des Pfeils II in Fig. 1,

Fig. 3 eine schematische Schnittansicht der in Fig. 2 dargestellten

Ausführungsform entlang der Linie III-III, Fig. 4 eine schematische Draufsicht auf eine weitere Ausfuhrungsform eines Flansches eines Gehäuseelements in Richtung des Pfeils II in Fig. 1 in einer weiteren Ausführungsform,

Fig. 5 eine schematische Schnittansicht der in Fig. 4 dargestellten

Ausfuhrungsform entlang des Schnitts V,

Fig. 6 eine schematische Draufsicht auf eine weitere Ausführungsform eines Flansches eines Gehäuseelements in Richtung des Pfeils II in Fig. 1 in einer weiteren Ausführungsform, und

Fig. 7 eine schematische Schnittansicht der in Fig. 6 dargestellten

Ausführungsform entlang des Schnitts VIL

Die schematisch in Fig. i dargestellte Schrauben-Vakuumpumpe weist zwei schraubenförmige Pumpelemente 10 auf, die in einem Schöpfraum 12 angeordnet sind. Der Schöpfraum 12 ist im Wesentlichen durch das Pumpengehäuse 14 ausgebildet. Das Pumpengehäuse 14 ist auf der in Fig. 1 linken Seite über ein als Gehäusedeckel ausgebildetes Gehäuseelement 16 verschlossen. Der Deckel 16 weist eine Einlassöffnung 18 auf, durch die das zu fördernde Medium in den Schöpfraum 12 eingesaugt wird. Der Deckel 16 ist mit dem Pumpengehäuse 14 über eine Flanschverbindung abdichtend verbunden.

Das durch die Eϊnlassöffnung 18 in Richtung eines Pfeils 22 eingesaugte Fördermedium wird durch eine im Pumpengehäuse 14 vorgesehene Ausiassöffnung 24 in Richtung eines Pfeils 26 ausgestoßen.

Die beiden Pumpelemente 10 sind jeweils von einer Welle 28, 30 getragen. Die beiden Weilen 28, 30 sind über Lagerelemente 32, 34 einerseits in einem Gehäuseelement 36 gelagert, das als Getriebegehäuse dient, und andererseits in einem Gehäuseelement 38 gelagert, das als Gehäusedeckel ausgebildet ist. Eine der Wellen, die Welle 28, ist zum Antrieb mit einem Elektromotor 40 verbunden. Ferner ist die Weile 28 mit einem Zahnrad 42 fest verbunden, das mit einem mit der Welle 30 fest verbundenen Zahnrad 43 kämmt. Hierdurch ist ein Synchronlauf der beiden Pumpelemente 10 in entgegengesetzter Richtung gewährleistet.

Im dargestellten Ausfuhrungsbeispiel weist das Gehäuse der Vakuumpumpe vier Teile, die Gehäuseelemente 16, 36, 38 und das Pumpengehäuse 14, auf. Die einzelnen Gehäuseteile sind über Flanschverbindungen 20, 44, 46 miteinander verbunden. In jeder der Flanschverbindungen 20, 44, 46 kann eine erfindungsgemäß ausgestaltete Dichtungsanordnung, d.h. eine Kombination aus einer ein Dichtelement aufweisenden Dichtnut und einem Schutzkanal, vorgesehen sein. In den nachstehend anhand der Fig. 2 bis 7 beschriebenen Ausführungsformen wird die Ausgestaltung der Dichtungsanordnung anhand der Flanschverbindung 44 näher erläutert. Die Flanschverbindung 44 stellt eine Verbindung zwischen einem ersten Flansch 48 des Pumpengehäuses 14 und einem zweiten Flansch 50 des Gehäuseelements 36 dar.

Bei einer ersten bevorzugten Ausfuhrungsform (Fig. 2 und 3) ist in einer Flanschfläche 52 eine umlaufende, in sich geschlossene, im Wesentlichen ovale Dichtnut 54 angeordnet. In der Dichtnut 54 ist ein nicht dargestellter O- Ring zur Dichtung der beiden einander gegenüberliegenden Flansche 48, 50 vorgesehen.

Durch die beiden im Gehäuseelement 36 vorgesehenen Öffnungen 56 sind die beiden Wellen 28, 30 geführt und in den Lagerelementen 32 gelagert. Wie ferner aus Fig. 3 ersichtlich ist, sind zur Verbindung der beiden Flansche 44, 48 Bohrungen 58 zum Vorsehen von Schrauben oder Bolzen vorgesehen. Erfindungsgemäß ist innerhalb der Dichtnut 54 in der Flanschfläche 52 ein ebenfalls umlaufender, ats Nut ausgebildeter Schutzkanal 60 vorgesehen.

Mit dem Schutzkanal 60 sind im dargestellten Ausführungsbeispiel zwei Gaskanäle 62 verbunden. Die beiden Gaskanäle 62 sind beide mit einem gemeinsamen Querverbindungskana! 64 verbunden.

Der Kanal 64 kann mit einer nicht dargestellten Gasquelle verbunden werden, um gemäß dem ersten dargestellten Ausführungsbeispie! (Fig. 2, 3) in dem Schutzkana! 60 einen Überdruck zu erzeugen. Hierbei ist zu berücksichtigen, dass der Schutzkanal 60 in dem in Fig. 2 und 3 dargestellten Ausführungsbeispiel in sich geschlossen ist und keinen Auslass aufweist. Ebenso kann der Kanal 64 mit einer Unterdruckquelle verbunden sein, um in dem Kanal 60 einen Unterdruck zu erzeugen. Hierbei kann es sich um eine gesonderte Unterdruckquelie aber auch um einen Einlassbereich der Vakuumpumpe, d.h. um den durch den Gehäusedecke! 16 verschlossenen Bereich, zur Erzeugung eines Unterdrucks handeln.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform (Fig. 4 und 5) sind identische oder ähnliche Bauteile mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet.

Zusätzlich zu der anhand der Fig. 2 und 3 beschriebenen Ausgestaltung des zweiten Flansches 44 sind in dem Gehäuseelement 36 zwei Verbindungskanäle 66 vorgesehen. Die Verbindungskanäle 66 verbinden den Schutzkanal 60 mit den Lagerelementen 32. Dies hat zur Folge, dass über den Querkanal 64, der in diesem Ausführungsbeispiel mit einer Gasquelle verbunden ist, Schutzgas durch die Gaskanäle 62 in den Schutzkanal 60 gelangt und aus dem Schutzkanal 60 durch die Verbindungskanäle 66 im Bereich des Lagerelements 32 ausströmt. Hierdurch erfolgt ein zusätzlicher Schutz der Lagerelemente 32.

Bei einer weiteren alternativen Ausfύhrungsform (Fig. 6 und 7) sind ähnliche oder identische Bauteile mit denselben Bezugszeichen gekennzeichnet. Anstelle der in Fig. 4 und 5 gezeigten Verbindungskanäle 66 sind in diesem Ausführungsbeispiei in dem Gehäuseeiement 36 Zufuhrkanäle 70 vorgesehen. Die Zuführkanäle 70 sind unmittelbar mit dem Querkaπal 64 verbunden und dienen ebenfalls zur Zufuhr von Schutzgas zu den Lagereiementen 32.

In sämtlichen dargestellten Ausführungsbeϊspielen ist es möglich, insbesondere in dem Pumpengehäuse 14 einen Zufuhrkanal zum Zuführen von Purge-Gas in den Schöpfraum 12 vorzusehen.