La présente invention concerne un groupe de pompage à vide. Un groupe de pompage à vide, se compose habituellement d'un sous- ensemble de pompage primaire e d'un sous-ensemble de pompage secon- daire, l'enceinte à vider étant reliée à l'aspiration du sous-ensemble de pompage secondaire.

Il est connu que la vitesse de rotation du moteur d'entraînement sous-ensemble de pompage secondaire soit asservi à la pression de l'enceinte à vider en utilisant une jauge de mesure de dépression. Cel permet, lorsque le vide limite est atteint, de diminuer la vitesse de pompe secondaire et ainsi de limiter son usure.

Cependant, les jauges de mesure de vide ne sont pas très précises Le principe de l'invention consiste à agir non pas sur le sous- ensemble de pompage secondaire, mais sur le sous-ensemble de pompage primaire et surtout à ne pas utiliser de jauge de mesure de v de, mais utiliser directement le courant électrique du moteur d'entraînement du sous-ensemble de pompage secondaire ou bien du sous-ensemble de pompag primaire lui-même lorsqu'il est utilisé seul.

En application de cette idée, et selon les différents montages utilisés, l'invention prend trois formes voisines.

Selon une première forme, l'invention a pour objet un groupe de pompage à vide comprenant un sous-ensemble de pompage primaire entraîn en rotation par un moteur électrique, caractérisé en ce qu'il comporte un circuit électronique de commande de vitesse de rotation du moteur e fonction de son intensité.

Selon une seconde forme, l'invention a pour objet un groupe de pompage comprenant un sous-ensemble de pompage secondaire entraîné en rotation par un moteur électrique M et aspirant dans l'enceinte à vider, et un sous-ensemble de pompage primaire entraîné en rotation pa un moteur électrique M, et dont l'aspiration est reliée au refoulement du sous-ensemble de pompage secondaire, caractérisé en ce qu'il compor un circuit électron αue de commande de la vitesse de rotation du moteu électrique M _η en fonction de l'intensité du courant du moteur électriq

V

Selon une troisième forme, l'invention a pour objet un groupe de

F~î 5° rr. ^TO -~ τr ^« ->rr--.< >-> r*-~ - - ?---_*-— I..--W'. -. .,_.. ^< _ .. ... ,ι*... - _ ^: •...__._.,..Lira β

pompage à vide comprenant un sous-ensemble de pompage secondaire entraîné en rotation par un moteur électrique M et aspirant dans l'enceinte à vider, et un sous-ensemble de pompage primaire, caractérisé en ce que ledit sous-ensemble de pompage primaire comprend un premier sous-ensemble de pompage à gros débit entraîné par un moteur électrique M' et un second sous-ensemble de pompage à petit débit entraîné en rotation par un moteur électrique M" et dont l'aspiration est reliée au refoulement du sous-ensemble de pompage secondaire et en ce qu'un circuit de commande électronique commande 1'arrêt du moteur électrique M' lorsque l'intensité du courant du moteur descend au-dessous d'une valeur déterminée.

Selon une autre caractéristique, ledit circuit de commande électronique commande en outre la vitesse de rotation du moteur électri¬ que M" en fonction de l'intensité du moteur M„. Le système est plus simple, plus précis et moins coûteux que d'utiliser une jauge à vide. On passe donc par l'intensité du courant du moteur d'entraînement du sous-ensemble de pompage secondaire ou bien du sous-ensemble de pompage primaire s'il est utilisé seul, sachant que cette intensité est fonction de la pression de l'enceinte à vider. L'invention va maintenant être décrite en se référant au dessin annexé dans lequel :

La figure 1 est une figure schématique représentant un groupe de pompage à vide selon l'invention ne comportant qu'un sous-ensemble de pompage primaire. La figure 2 est une figure schématique représentant un groupe de pompage à vide selon 1'invention et comportant un sous-ensemble de pompage secondaire et un sous-ensemble de pompage primaire.

La figure 3 est une figure schématique représentant un groupe de pompage à vide selon l'invention et dans lequel le sous-ensemble de pompage primaire se subdivise lui-même en deux sous-ensembles.

Ξn revenant à la figure 1, on voit une enceinte à vide 1 à laquelle est relié un sous-ensemble de pompage primaire 2 qui peut comporter une ou plusieurs pompes. Le sous-ensemble de pompage primaire 2 comporte son (ou ses) moteur(s) d'entraînement M.. Le(ou les) mo eur.s) d'entraîne- ment 'Λ. est alimenté sous une tension V, par un circuit de commande 3

FEUÎLLE DE

qui reçoit en entrée une tension V d'une alimentation à e un signal représentatif de l'intensité I du courant du moteur M élaboré par un circuit de mesure d'intensité 5. Le circuit de commande 3 donne en sortie une tension V fonction du courant I* . D'une façon particulière le circuit de commande 3 est un simple circuit à seuil de telle sorte qu'au démarrage, et jusqu'à ce que l'intensité I descende au- dessous de ce seuil, la tension reste constante et passe ensuite à une vaieur inférieure par exemple moitié. Le moteur d'entraînement M est un moteur à courant continu.

Dans le cas de la figure 2, le groupe de pompage comprend un sous- ensemble de pompage secondaire 6 entraîné en rotation par un moteur M et un sous-ensemble de pompage primaire 2 entraîné en rotation par un moteur électrique à courant continu M .

Le moteur M est alimenté sous une tension V par un circuit électronique de commande 7 qui reçoit en entrée d'une part une tension V en provenance d'une alimentation 8, et d'autre part un signal représen¬ tatif de l'intensité I_ du courant du moteur d'entraînement M , élaboré par un circuit de mesure d'intensité 9. Le circuit de commande 7 donne en sortie, une tension V fonction du courant I du moteur M . Dans un cas particulier intéressant par sa simplicité, le circuit de commande 7 est un simple circuit à seuil qui fournit en sortie une tension V pouvant prendre deux valeurs selon que le courant I dépasse ou descend au-dessous d'une valeur déterminée.

En 10 on a l'alimentation du moteur M , en 11 un transformateur d'alimentation et en 12 l'interrupteur de commande de démarrage du groupe.

Ainsi, les deux sous-ensembles de pompage sont mis en route simultanément. Depuis la pression atmosphérique jusqu'à une pression de quelques millibars, la tension V demeure au maximum et le moteur - tourne à la vitesse de rotation maximaie. Le sous-ensemble de pompage primaire 2 fonctionne avec un débit maximal et le temps pour descendre de la pression atmosphérique à quelques millibars est le plus court. Lorsque le sous-ensemble de pompage secondaire 6 commence à travailler dans le domaine qui lui est favorable, aux environs d'une pression inférieure à 10 millibars, le courant ^~ .décroît et la tension V. est

réduite à une faible valeur. Ainsi, le moteur M, , à courant continu, tourne à faible vitesse de rotation et le débit du sous-ensemble de pompage primaire 2 est réduit mais suffisant pour entretenir le pompage nécessaire de la pompe secondaire 6.

On n'utilise donc à pleine vitesse de rotation le sous-ensemble* de pompage primaire 2 que pendant le temps où on a besoin d'un grand débit, c'est-à-dire lorsque la pompe secondaire ne travaille pas dans le domaine de pression qui lui est favorable et plus particulièrement entre la pression atmosphérique et quelques millibars. Ce temps est en générai relativement faible, car il est plus facile de descendre la pression d'une enceinte de la pression atmosphérique à quelques millibars qu'ensuite, de quelques millibars à 10 mbar.

Enfin, la figure 3 montre un groupe de pompage dans lequel le sous- ensemble de pompage secondaire 2 est lui-même divisé en deux sous- ensembles : un premier sous-ensemble de pompage primaire à gros débit 13 entraîné par un moteur électrique M' et un second sous-ensemble de pompage à petit débit 14 entraîné en rotation par un moteur électrique M" . Le sous-ensemble de pompage primaire à gros débit 13 est relié directement à l'enceinte à vide i par l'intermédiaire d'une électro¬ vanne 15.

Le sous-ensemble 14 est relié, comme dans le cas de la figure 2, au refoulement du sous-ensemble de pompage secondaire 6.

Le moteur M' du sous-ensemble de pompage primaire à gros débit 13 est alimenté par l'alimentation 8 par l'intermédiaire d'un interrupteur 16 commandé par un circuit de commande 17 qui reçoit en entrée, d'une part la tension V de l'alimentation 8 et d'autre part, comme dans les cas précédents, un signal représentatif du courant I . En sortie, il fournit d'une part un signal de commande d'ouverture ou de fermeture de l'interrupteur 16 et d'autre part une tension V" fonction du courant

T - ₂ *

Dans cet exemple, le sous-ensemble à gros débit 13 ne fonctionne que pendant la phase de prévidage, tant que l'intensité I_ reste supérieure à une valeur déterminée. Ensuite, l'interrupteur 16 est ouvert et la pompe 13 est arrêtée et 1' électro-vanne 15 fermée, seule la pompe 14 fonctionne ensuite.

Selon le cas, le circuit de commande 17 peut, soit fournir en sortie une tension V" constante, indépendante du courant I , soit, comme dans le cas précédent, fournir une tension V" qui prendra une valeur plus faible lorsque la pression dans l'enceinte 1 sera tombée à quelques millibars. Le moteur M" est un moteur électrique à courant continu.

Ainsi, grâce à l'invention, la(ou les -pompes) du sous-ensemble de pompage primaire 2 tourne à pleine vitesse pendant un temps faible d'où une moindre usure, une moindre puissance électrique consommée, un échauffement moindre, moins de vibrations et un moindre niveau sonore. En outre, dans le cas de la figure 3, la pompe à gros débit 13 est, elle, complètement arrêtée en dehors de la période de prévidage. Enfin, l'utilisation du courant I_ de la pompe secondaire, ou du courant I dans le cas de la figure 1, pour commander le sous-ensemble de pompage primaire 2 est plus simple, plus précis et moins coûteux que d'utiliser une jauge à vide.

FEIKL EΞ r"p ?" f* * ^: F\5T