Die Erfindung bezieht sich auf ein Vakuumventil umfassend eine Wand mit einer Ventilöffnung, die von einem Ventilsitz umgeben ist, mindestens eine in einem Vakuumbereich des Vakuumventils angeordnete Ventilplatte, die von einer Offenstellung, in der sie die Ventilöffnung freigibt, in eine Längsrichtung in eine Zwischenstellung, in der sie die Ventilöffnung überdeckt aber vom Ventilsitz abgehoben ist, und von ihrer Zwischenstellung in eine rechtwinkelig zur Längsrichtung stehende Querrichtung in eine Schließstellung, in der sie an den Ventilsitz angedrückt ist und die Ventilöffnung verschließt, verstellbar ist, mindestens eine die Ventilplatte tragende Ventilstange, die aus dem Vakuumbereich des Vakuumventils herausgeführt ist und gegenüber der Wand in die Längsrichtung, die parallel zur Längsachse der Ventilstange liegt, verschiebbar ist sowie gegenüber der Wand in die Querrichtung parallel verschiebbar ist, eine außerhalb des Vakuumbereichs des Vakuumventils angeordnete Längs- Antriebseinrichtung, von der die Ventilstange zur Verstellung der Ventilplatte zwischen ihrer Offenstellung und ihrer Zwischenstellung in die Längsrichtung verschiebbar ist, und eine außerhalb des Vakuumbereichs des Vakuumventils angeordnete Quer- Antriebseinrichtung, von der die Ventilstange zur Verstellung der Ventilplatte zwischen ihrer Zwischenstellung und ihre Schließstellung in die Querrichtung verschiebbar ist.

Derartige Vakuumventile werden auch als L-Ventile bezeichnet, die in unterschiedlichen Bauweisen bekannt sind. Bei einer häufigen, nicht gattungsgemäßen Bauweise ist die Ventilstange um eine rechtwinkelig zur Längsrichtung und rechtwinkelig zur Querrichtung stehende Achse verschwenkbar gelagert, um die Verstellung der Ventilplatte von ihrer Zwi- schenstellung in ihre Schließstellung und zurück zu ermöglichen. Eine solche Ausbildung geht beispielsweise aus der US 6,431 ,518 B1 hervor. Der Zylinder der den Längsantrieb bildenden Kolben-Zylinder-Einheit ist zusammen mit der Ventilstange verschwenkbar und zur Verschwenkung der Ventilstange und des Zylinders dient eine weitere Kolben-Zylinder- Einheit. Eine ähnliche Einrichtung ist auch aus der US 6,416,037 B1 bekannt. Eine häufige Bauweise besteht auch darin, dass die Verkippung der Ventilstange mittels einer Kulissenführung durch die gleiche, den Längsantrieb bewirkende Kolben-Zylinder-Einheit erfolgt, wie dies beispielsweise aus der US 6,966,538 B2, US 5,641,149 A, US 6,237,892 B1 und US 6,619,618 B2 hervorgeht.

Ein Nachteil dieser vorbekannten L-Ventile, bei denen die Verstellung der Ventilplatte in die Querrichtung durch eine Verkippung der Ventilstange erfolgt, besteht darin, dass die Verstellung der Ventilplatte nicht exakt und parallel sondern eben nur näherungsweise in die Querrichtung erfolgt, was zu einer erhöhten Beanspruchung der die Ventilplatte gegenüber dem Ventilsitz abdichtenden Dichtung führt. Weiters sind auch sogenannte J-Ventile bekannt, bei denen das Anlaufen der Ventilplatte an den Ventilsitz stark schräg zur Querrichtung erfolgt.

Bekannt geworden sind weiters L-Ventile, bei denen die Verstellung der Ventilplatte von ihrer Zwischenstellung in ihre Schließstellung durch eine geradlinige Verschiebung in die Querrichtung erfolgt. Beispielsweise geht aus der US 2007/0272888 A1 der Anmelderin ein Vakuumventil hervor, bei der die Ventilplatte mittels Kolben-Zylinder-Einheiten gegenüber einer Trageinheit in die Querrichtung verschiebbar ist. Die Trageinheit ist an Ventilstangen angeordnet, die mittels weiteren Kolben-Zylinder-Einheiten in die Längsrichtung ver- schiebbar sind. Neben einer Ausbildung als Vakuumventil kann diese Einrichtung auch als Türe ausgebildet sein, bei der die Ventilplatte eine Öffnung in einer Wand einer Vakuumkammer von außen verschließt und hierbei außerhalb des Vakuumbereichs liegen kann. Ein ähnliches Vakuumventil mit Kolben-Zylinder-Einheiten für die Längsverschiebung von Ventilstangen, die eine Trageinheit tragen, und für die Querverschiebung einer Ventilplat- te gegenüber der Trageinheit ist aus der US 6,899,316 A bekannt.

Aus der US 2008/0017822 A1 ist ein L- Ventil bekannt, bei dem die Ventilplatte an einer Ventilstange angebracht ist, die in die Längsrichtung verschiebbar geführt ist und mittels einer Kolben-Zylinder-Einheit in die Längsrichtung verstellbar ist. Mittels einer Führungs- einrichtung, die in einer Ausführungsform von einer Linearführung gebildet wird, ist diese Kolben-Zylinder-Einheit in die Querrichtung verschiebbar geführt, wodurch auch die Kolbenstange gegenüber der die Ventilöffnung aufweisenden Wand in die Querrichtung verschiebbar ist. Zur Verstellung der Ventilplatte von ihrer Zwischenstellung in ihre Schließstellung dient eine in die Ventilplatte integrierte Kolben-Zylinder-Einheit. In einer anderen Ausführungsform wird die Quer-Antriebseinrichtung von einer außerhalb des Vakuumbereichs angeordneten Kolben-Zylinder-Einheit gebildet, die auf den Zylinder der Kolben- Zylinder-Einheit der Längs-Antriebseinrichtung einwirkt. Es ist ausgeführt, dass sich eine solche Ausführung insbesondere für Anwendungen eignet, bei denen die Ventilplatte nur durch einen Differenzdruck beaufschlagt wird, der die Ventilplatte an den Ventilsitz an- drückt. In diesem Fall muss keine große, die Ventilplatte an den Ventilsitz andrückende Schließkraft aufgebracht werden. Eine Übertragung einer größeren Schließkraft wäre mit der aus dieser Schrift hervorgehenden Querführung problematisch.

Aufgabe der Erfindung ist es ein verbessertes Vakuumventil der eingangs genannten Art bereitzustellen, welches sich auch für Anwendungen eignet, bei denen in beide Richtungen auf die Ventilplatte einwirkende Differenzialdrücke auftreten können. Erfindungsgemäß gelingt dies durch ein Vakuumventil mit den Merkmalen des Anspruchs 1.

Beim Vakuumventil der Erfindung ist die Ventilstange einerseits in die Längsrichtung, die parallel zu ihrer Längsachse liegt, gegenüber der die Ventilöffnung aufweisenden Wand verschiebbar und andererseits in die rechtwinklig zur Längsachse stehende Querrichtung gegenüber der die Ventilöffnung aufweisenden Wand parallel verschiebbar. Die Längs- Antriebseinrichtung und die Quer-Antriebseinrichtung für die Ventilstange liegen außer- halb des Vakuumbereichs des Vakuumventils. Außerhalb des Vakuumbereichs des Vakuumventils ist weiters eine Lagereinheit angeordnet. Von dieser ist eine Führungseinheit, welche die Ventilstange in die Längsrichtung verschiebbar führt, in die Querrichtung verschiebbar geführt, wobei die Führungseinheit somit ebenfalls außerhalb des Vakuumbe- reichs des Vakuumventils liegt. Die Führungseinheit ist als Ganzes, d.h. über ihre gesamte Erstreckung in die Querrichtung gegenüber der Lagereinheit verschiebbar.

Mittels der außerhalb des Vakuumbereichs angeordneten, starr mit der Wand verbundenen Lagereinheit, die die Führungseinheit verschiebbar führt, kann eine verbesserte Kraft- Übertragung auf die Ventilplatte erreicht werden, wodurch die Auslegung eines derartigen L-Ventils, bei dem sowohl die Längs-Antriebseinrichtung als auch die Quer- Antriebseinrichtung außerhalb des Vakuumbereichs liegen, zur Aufnahme von in beide Richtungen auf die Ventilplatte wirkenden Differenzdrücken ermöglicht wird. Durch die Anordnung sowohl der Längs-Antriebseinrichtung als auch der Quer-Antriebseinrichtung außerhalb des Vakuumbereichs kann ein vorteilhafter und servicefreundlicher Aufbau erreicht werden.

Vorteilhafterweise weist die Lagereinheit, die die Führungseinheit geradlinig in die Querrichtung verschiebbar lagert, bezogen auf die Längsrichtung beiderseits der Führungsein- heit liegende Abschnitte auf. Hierbei ist die Führungseinheit vorzugsweise zumindest teilweise, vorzugsweise vollständig, in einem Aufnahmeraum der Lagereinheit angeordnet ist und in diesem von der Lagereinheit verschiebbar geführt ist. Die Führungseinheit stellt einen von der Lagereinheit geradlinig in die Querrichtung geführten Schlitten dar.

Vorzugsweise weist die Längs-Antriebseinrichtung mindestens eine Kolben-Zylinder- Einheit auf. Der Zylinderausnehmung, in dem der Kolben angeordnet ist, kann vorteilhafterweise in der Führungseinheit ausgebildet sein. Es ist aber auch möglich, einen starr mit der Führungseinheit verbundenen Zylinder vorzusehen. Die Ventilstange des Kolbens der Kolben-Zylinder-Einheit kann direkt die in den Vakuumbereich geführte und die Ventilplat- te tragende Ventilstange bilden oder es kann eine separate mit der Ventilstange verbundene Kolbenstange vorgesehen sein.

Die von der Quer-Antriebseinrichtung zur Verschiebung der Ventilstange in die Querrichtung aufzubringende Kraft wirkt vorteilhafterweise über die Führungseinheit auf die Ven- tilstange ein, wobei dieses Einwirken unmittelbar oder über mindestens ein Getriebeglied erfolgen kann. Die Quer-Antriebseinrichtung kann beispielsweise in Form mindestens einer Kolben-Zylinder-Einheit ausgebildet sein.

In einer möglichen Ausführungsform der Erfindung weist die Quer-Antriebseinrichtung mindestens ein in die Längsrichtung verschiebbares Antriebsteil auf, das über mindestens ein Getriebeglied mit der Führungseinheit verbunden ist, welches die in die Längsrichtung erfolgende Bewegung des Antriebsteils in eine Bewegung der Führungseinheit in die Querrichtung umsetzt. Vorzugsweise ist hierbei das Antriebsteil bzw. ein jeweiliges An- triebsteil auf bezogen auf die Längsrichtung gegenüberliegenden Seiten des Antriebsteils über ein jeweiliges Getriebeglied mit der Führungseinheit verbunden, um eine parallele Verschiebung der Führungseinheit in die Querrichtung zu erreichen. Mit anderen Worten bilden die Getriebeglieder eine Parallelführung für die Führungseinheit. Die Getriebeglie- der können hierbei beispielsweise verschwenkbar mit dem Antriebsteil und der Führungseinheit verbundene Lenker sein, die zusammen eine Parallelogrammführung ausbilden. Hierbei können die Aktuatoren der Quer-Antriebseinrichtung, welche die Antriebsteile aufweisen, als Ganze in die Längsrichtung verschiebbar gegenüber der Trageinheit geführt sein und sich an dieser abstützen, beispielsweise mittels einem plattenförmigen, ge- genüber der Lagereinheit verschiebbaren Verschiebeteil, an dem sie angebracht sind. Es kann auf diese Weise eine hohe Kraft gegenüber einer Verkippung der Ventilstange gegenüber der Längsrichtung aufgebracht werden, um die Ventilplatte in ihrer Schließstellung mit einer entsprechend hohen Schließkraft an den Ventilsitz anzudrücken.

Eine vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die Ventilstange sowohl in der Offenstellung als auch in der Zwischenstellung und Schließstellung auf ihrer von der Ventilplatte abgelegenen Seite aus der Führungseinheit herausragt und sich in der Schließstellung der Ventilplatte an einem Queranschlag abstützt, der an der Lagereinheit angeordnet ist und einer Verschiebung der Ventilstange in die Querrichtung entgegen- wirkt. Hierbei stützt sich die Ventilstange oder ein mit dieser verbundenes Teil auf der bezogen auf die Querrichtung näher beim Ventilsitz liegenden Seite der Ventilstange bzw. dieses Teils am Queranschlag ab. Der Queranschlag der Lagereinheit sowie der Ventilsitz, an dem die Ventilplatte anliegt, bilden somit in der Schließstellung der Ventilplatte zwei Auflager für die aus der Ventilstange und der Ventilplatte gebildeten Einheit. Damit kann eine die Ausrichtung der Ventilstange in der Schließstellung der Ventilplatte parallel zur Längsrichtung haltende Kraft von der Ventilstange über die Lagereinheit auf die die Ventilöffnung aufweisende Wand übertragen werden.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden im Folgenden anhand der beilie- genden Zeichnung erläutert. In dieser zeigen:

Fig. 1 eine Ansicht eines Vakuumventils gemäß einer ersten Ausführungsform der

Erfindung, in der Offenstellung der Ventilplatte;

Fig. 2 bis 4 Schnitte entlang den Linien AA, BB und CC von Fig. 1; Fig. 5 eine Ansicht entsprechend Fig. 1 , aber in der Zwischenstellung der Ventilplatte;

Fig. 6 bis 8 Schnitte entlang der Linien AA, BB und CC von Fig. 5; Fig. 9 eine Ansicht entsprechend Fig. 1, aber in der Schließstellung der Ventilplatte; Fig. 10 bis 12 Schnitte entlang der Linien AA, BB und CC von Fig. 9;

Fig. 13 eine Schrägsicht des Antriebs des Vakuumventils mit der Ventilstange und der daran angebrachten Ventilplatte entsprechend der ersten Ausführungsform der Erfindung; Fig. 14 eine Schrägsicht entsprechend Fig. 13, Teile des Ventils auseinandergezogen dargestellt;

Fig. 15 eine weitere Ausführungsvariante eines Vakuumventils entsprechend der ersten Ausführungsform der Erfindung, in Ansicht; Fig. 16 einen Schnitt entlang der Linie AA von Fig. 15;

Fig. 17 eine Ansicht eines Vakuumventils gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung, in der Offenstellung der Ventilplatte (der Balg der Balgdurchführung der

Ventilstange ist weggelassen);

Fig. 18 bis 20 Schnitte entlang der Linien AA, BB und CC von Fig. 17 (mit dem Balg der Balgdurchführung der Ventilstange);

Fig. 21 eine Ansicht des Ventils von Fig. 17 in der Zwischenstellung der Ventilplatte;

Fig. 22 bis 24 Schnitte entlang der Linien AA, BB und CC in Fig. 21;

Fig. 25 eine Ansicht des Ventils von Fig. 17 in der Schließstellung der Ventilplatte;

Fig. 26 bis 28 Schnitte entlang der Linien AA, BB und CC in Fig. 25; Fig. 29 eine Unteransicht des Vakuumventils gemäß der zweiten Ausführungsform;

Fig. 30 eine Schrägsicht des Vakuumventils gemäß der zweiten Ausführungsform;

Fig. 31 eine Schrägsicht aus einer Blickrichtung entsprechend Fig. 30, Teile des

Vakuumventils auseinandergezogen dargestellt;

Fig. 32 eine Darstellung entsprechend Fig. 31, aber aus einer anderen Blickrich- tung;

Fig. 33 eine Ansicht des Ventilantriebs mit der Ventilstange (ohne den Balg der

Balgdurchführung), teilweise aufgeschnitten;

Fig. 34 eine schematische Darstellung des Ventils in einem in eine Vakuumkammer eingebauten Zustand. Die Figuren sind teilweise vereinfacht dargestellt. So sind u.a. Verbindungsflansche vereinfacht dargestellt, z.B. teilweise Schraublöcher weggelassen, und Verbindungsschrauben teilweise nicht dargestellt.

Eine erste Ausführungsform der Erfindung wird im Folgenden anhand der Fig. 1 bis 14 erläutert. Das Vakuumventil umfasst eine Wand 1 mit einer Ventilöffnung 2, die eine Achse 3 aufweist und von einem Ventilsitz 4 umgeben ist, der im Ausführungsbeispiel von einer Dichtfläche gebildet wird. Zum vakuumdichten Verschließen der Ventilöffnung 2 in einem geschlossenen Zustand des Vakuumventils (vgl. Fig. 9 bis 12) ist eine Ventilplatte 5 vorgesehen. Im geöffneten Zustand des Vakuumventils (vgl. Fig. 1 bis 4) gibt die Ventilplatte 5 die Ventilöffnung 2 frei, wobei sie vorzugsweise bezogen auf die Richtung der Achse 3 der Ventilöffnung 2 vollständig neben der Ventilöffnung 2 angeordnet ist. Ausgehend von dieser Offenstellung der Ventilplatte 5 kann die Ventilplatte 5 zum Schließen des Vakuumventils zunächst in eine Längsrichtung 6 verschoben werden, bis sie die Ventilöffnung 2 überdeckt (in Richtung der Achse 3 gesehen), hierbei aber noch vom Ventilsitz 4 abgehoben ist. Diese Zwischenstellung der Ventilplatte 5 ist in den Fig. 5 bis 8 dargestellt. Die Verschiebung der Ventilplatte von ihrer Offenstellung in ihre Zwischenstellung erfolgt über den gesamten Verstellweg geradlinig in die Längsrichtung 6. Weiters wird die Ventilplatte ausgehend von ihrer Zwischenstellung in eine rechtwinkelig zur Längsrichtung stehende Querrichtung I ₁ die parallel zur Achse 3 liegt, in Richtung zum Ventilsitz 4 verschoben und zum Abdichten der Ventilöffnung 2 an den Ventilsitz 4 angepresst. In dieser Schließstellung der Ventilplatte (vgl. Fig. 9 bis 12) ist das Vakuumventil geschlossen. Die Verschiebung von der Zwischenstellung in die Schließstellung erfolgt über den gesamten Verstell- weg geradlinig in die Querrichtung 7.

In der Schließstellung ist ein an der Ventilplatte 5 angeordneter elastischer Dichtring an die den Ventilsitz 4 bildende Dichtfläche angepresst. Das Öffnen des Vakuumventils erfolgt in der umgekehrten Reihenfolge, also von der Schließstellung der Ventilplatte in ihre Zwischenstellung und im Weiteren in ihre Offenstellung.

Die in einem Vakuumbereich (=evakuierbarer Bereich) des Vakuumventils angeordnete Ventilplatte 5 ist an einer Ventilstange 12 angebracht, die mittels einer Balgdurchführung aus dem Vakuumbereich des Vakuumventils herausgeführt ist, d.h. ein Abschnitt der Ven- tilstange, an dem die Ventilplatte 5 angebracht ist, befindet sich im Vakuumbereich und ein anderer Abschnitt der Ventilstange 12 außerhalb des Vakuumbereichs. Die Balgdurchführung wird von einem in den Figuren nur schematisch dargestellten Balg 13, beispielsweise einem Faltenbalg oder Membranbalg, gebildet, der einerseits vakuumdicht mit der Ventilstange 12 andererseits vakuumdicht mit einer Wand 46 verbunden, die starr mit der Wand 1 verbunden ist und winkelig, vorzugsweise rechtwinkelig zur Wand 1 steht, und zwar im Bereich einer Öffnung durch die Wand 46, durch welche die Ventilstange 12 herausragt. Die Ventilplatte 5 kann wie dargestellt starr mit der Ventilstange 12 verbunden sein oder diese Verbindung kann eine Elastizität aufweisen, um eine gewisse Anpassung der Ventilplatte 5 an den Ventilsitz 4 in der Schließstellung der Ventilplatte 5 zu ermögli- chen. Derartige elastische Verbindungen zwischen der Ventilplatte 5 und der Ventilstange 4 sind bekannt.

Die Längsachse 14 der Ventilstange 12 liegt parallel zur Längsrichtung 6. Zur Verstellung der Ventilplatte 5 zwischen ihrer Offenstellung und ihrer Zwischenstellung ist die Ven- tilstange 12 in die Längsrichtung 6 gegenüber der Wand 1 verschiebbar. Zur Verstellung der Ventilplatte 5 zwischen ihrer Schließstellung und ihrer Zwischenstellung ist die Ventilstange 12 in die Querrichtung 7 gegenüber der Wand 1 parallel verschiebbar. Anstelle einer Balgdurchführung zur Herausführung der Ventilstange aus dem Vakuumbereich könnte auch eine Schiebedurchführung vorgesehen sein. Diese kann ein Schiebeteil auf- weisen, welches eine Durchgangsöffnung besitzt, durch die die Ventilstange mittels einer Dichtung abgedichtet geführt ist. Die Ventilstange 12 ist somit in die Längsrichtung 6 gegenüber diesem Schiebeteil verschiebbar. Das Schiebeteil selbst ist gegenüber der Wand 46 in die Querrichtung 7 verschiebbar gelagert, wobei es mittels einer Dichtung gegenüber der Wand 46 abgedichtet ist. Das Schiebeteil bildet also eine Art gegenüber der Wand 46 abgedichteten und in die Querrichtung 7 verschiebbaren Schlitten. Derartige Schiebedurchführungen, die eine Verschiebbarkeit in zwei, insbesondere orthogonal zueinander stehende Richtungen, ermöglichen, sind bekannt. Zum Öffnen und Schließen des Vakuumventils dient ein Ventilantrieb, der eine außerhalb des Vakuumbereichs angeordnete Längs-Antriebseinrichtung 15, von der die Ventilstange 12 in die Längsrichtung verschiebbar ist, und eine ebenfalls außerhalb des Vakuumbereichs angeordnete Quer-Antriebseinrichtung 16, von der die Ventilstange in die Querrich- tung verschiebbar ist.

Im gezeigten Ausführungsbeispiel bildet die Wand 1 einen Teil eines Ventilgehäuses 8, das auch eine, im Ausführungsbeispiel der Wand 1 gegenüberliegende Wand 9 mit einer weiteren Öffnung 10 aufweist. Die Ventilöffnung 2 und die Öffnung 10 sind Teil eines im geöffneten Zustand des Ventils freigegebenen Durchgangskanals durch das Ventilgehäuse 8, der im Ausführungsbeispiel geradlinig verläuft. Die Ventilplatte 5 ist im Innenraum 11 des Ventilgehäuses 8 aufgenommen, der einen Vakuumbereich des Vakuumventils darstellt.

Stattdessen könnte die Wand 1 auch Teil einer Vakuumkammer sein (wie weiter unten anhand der Fig. 15 und 16 erläutert). Weiters könnte das Vakuumventil eine Art Insert bilden, bei dem die Wand 1 in den Vakuumbereich einer Vakuumkammer eingesetzt wird. Auf die schematische Darstellung in Fig. 34 wird verwiesen, welche weiter unten im Zusammenhang mit dem zweiten Ausführungsbeispiel beschrieben wird.

Es folgt nun die genauere Beschreibung der verschiebbaren Lagerung der Ventilstange 12 in die Längs- und Querrichtung 6, 7 sowie der Längs- und Quer-Antriebseinrichtungen 15, 16:

Außerhalb des Vakuumbereichs des Vakuumventils ist eine Lagereinheit 17 starr mit der Wand 1 verbunden. Die Lagereinheit 17 umfasst im gezeigten Ausführungsbeispiel ein starr mit der Wand 1 bzw. dem die Wand 1 aufweisenden Ventilgehäuse 8 verbundenes Antriebsgehäuse 18, das einen Aufnahmeraum 19 aufweist. Im Aufnahmeraum 19 ist eine Führungseinheit 20 angeordnet, die im Aufnahmeraum 19 in die Querrichtung 7 geradlinig verschiebbar geführt ist. Von der Führungseinheit 20 wiederum ist die Ventilstange 12 in die Längsrichtung 6 verschiebbar geführt. Hierbei weist ein Basiskörper 23 der Führungseinheit 20 einen von der Ventilstange 12 durchsetzten Durchgangskanal auf, in welchem die Ventilstange 12 mittels Führungsbuchsen 21, 22 in die Längsrichtung 6 verschiebbar geführt ist. Die verschiebbare Führung der Führungseinheit 20 gegenüber der Lagerein- heit 17 ist weiter unten genauer erläutert.

Die Längs-Antriebseinrichtung 15 umfasst im gezeigten Ausführungsbeispiel als Aktuato- ren zwei Kolben 25, die jeweils in einer Zylinderausnehmung 26 im Basiskörper 23 der Führungseinheit 20 angeordnet sind. Die Zylinderausnehmungen 26 werden von einem Zylin- derdeckel 24 der Führungseinheit 20 verschlossen, der von den an den Kolben 25 angebrachten Kolbenstangen 27 durchsetzt wird. Die Kolbenstangen 27 sind über ein Joch 28 fest mit der Ventilstange 12 verbunden, sodass beim Verschieben der Kolben 25 in den Zylinderausnehmungen 26 mittels eines Druckmediums, vorzugsweise Druckluft, die Ven- tilstange 12 in die Längsrichtung 6 mitgenommen wird. Das Joch 28 ist zur Verbindung mit der Ventilstange 12 beispielsweise an dieser angeschraubt.

Die Quer-Antriebseinrichtung 16 umfasst als Aktuatoren zwei Kolben 29 mit Dichtungen 36, die in Zylinderausnehmungen 30 angeordnet sind, welche im Basiskörper 23 der Führungseinheit 20 ausgebildet sind. Die Kolben 29 sind an Kolbenstangen 31 festgelegt, welche im gezeigten Ausführungsbeispiel einstückig mit dem Antriebsgehäuse 18 der Lagereinheit 17 ausgebildet sind. In diesem Sinn stellen die Kolben 29 Teile der Lagereinheit 17 dar. Die Kolbenstangen 31 könnten auch von separaten Teilen der Lagereinheit 17 ausgebildet sein, die starr mit dem Antriebsgehäuse 18 der Lagereinheit 17 verbunden sind.

Die Kolben 29 sind im gezeigten Ausführungsbeispiel als einfach wirkende Kolben ausgebildet. Durch Beaufschlagung des auf der Seite der Kolbenstange 31 zwischen dem KoI- ben 29 und dem Antriebsgehäuse 18 liegenden Raumes kann die Führungseinheit 20 und mit ihr die Ventilstange 12 derart gegenüber der Lagereinheit 17 in die Querrichtung 7 verschoben werden, dass sich die Ventilplatte 5 ausgehend von ihrer Schließstellung in ihre Zwischenstellung verschiebt. Zur Verschiebung der Führungseinheit 20 und mit ihr der Ventilstange 12 und der Ventilplatte 5 in die umgekehrte Richtung dient im gezeigten Aus- führungsbeispiel zunächst einmal eine Federeinrichtung. Diese umfasst eine Mehrzahl von zwischen der Führungseinheit 20 und dem Antriebsgehäuse 18 wirkenden Schraubenfedern 32. Die Schraubenfedern 32 sind auf einem eine jeweilige Kolbenstange 31 umgebenden Kreis angeordnet (in Fig. 14 sind die Schraubenfedern der Übersichtlichkeit halber nur bei einer Kolbenstange 31 dargestellt). Auch andere Anordnungen von Schraubenfe- dem 32 und/oder der Einsatz von anderen Federn zur Ausbildung einer solchen Federeinrichtung ist denkbar und möglich.

Wenn in der Schließstellung der Ventilplatte 5 kein größerer im Sinne eines Wegdrückens der Ventilplatte 5 vom Ventilsitz 4 wirkender Differenzdruck auf die Ventilplatte 5 einwirkt, so ist die von der Federeinrichtung auf die Ventilplatte 5 ausgeübte Andrückkraft an den Ventilsitz 4 ausreichend, um die Ventilöffnung 2 abzudichten. Dies kann beispielsweise der Fall sein, wenn das Vakuumventil zur Abdichtung zwischen zwei Vakuumkammern vorgesehen ist und in einer der Kammern ein Vakuumprozess, beispielsweise für die Halbleiterindustrie, durchgeführt wird.

Wenn im Falle eines größeren die Ventilplatte 5 vom Ventilsitz 4 weg beaufschlagenden Differenzdruckes eine höhere Andrückkraft der Ventilplatte 5 an den Ventilsitz 4 benötigt wird, so kann zusätzlich ein zwischen dem Basiskörper 23 der Führungseinheit und dem Antriebsgehäuse 18 der Lagereinheit 17 vorgesehener Druckraum 33 bzw. im gezeigten Ausführungsbeispiel zwei solche Druckräume 33, mit einem Druckmedium, insbesondere Druckluft beaufschlagt werden. Die Druckräume 33 werden von Dichtungen 34, 35 abgedichtet. Höhere Differenzdrücke, die die Ventilplatte 5 zum Ventilsitz 4 oder von diesem weg beaufschlagen, können beispielsweise im Falle der Flutung einer der beiden durch das Vakuumventil verbundenen Vakuumkammern, z.B. zu Wartungszwecken, auftreten.

Die Schraubenfedern 32 oder anders ausgebildete Federn könnten auch entfallen. Anstelle von Federn und/oder Druckräumen 33 könnten auch doppelt wirkende Kolben 29 vorgesehen sein.

Zur Führung der Führungseinheit 20 gegenüber der Lagereinheit 17 dienen zwischen den Kolbenstangen 31 und den Basiskörpern 23 der Führungseinheiten 20 angeordnete Führungsbuchsen 37 (vgl. Fig. 4, 8 und 12). Auch die Dichtung 34 und/oder die Dichtung 35 und/oder die Dichtung 36 kann derart ausgebildet sein, dass sie eine Führungsfunktion übernimmt. In diesem Fall können die Führungsbuchsen 37 auch entfallen.

Die Ventilstange 12, die auf der von der Ventilplatte 5 abgewandten Seite der Führungseinheit 20 aus der Führungseinheit 20 herausragt, wirkt in diesem aus der Führungseinheit 20 herausragenden Abschnitt in der Schließstellung der Ventilplatte 5 mit einem am Antriebsgehäuse 18 der Lagereinheit 17 angeordneten Queranschlag 38 zusammen, vorzugsweise wie dargestellt im Endbereich der Ventilstange 12. In der Offenstellung der Ventilplatte 5 und der Zwischenstellung der Ventilplatte 5 ist die Ventilstange 12 vom

Queranschlag 38 beabstandet. Beim Verfahren der Ventilplatte 5 von der Zwischenstellung in die Schließstellung läuft die Ventilstange 12, vorzugsweise gleichzeitig mit dem Anlaufen der Ventilplatte 5 an den Ventilsitz 4, an den Queranschlag 38 an. Somit ist die Ventilstange 12 beidseitig des Angriffsbereiches der Quer-Antriebseinrichtung 16 an der Ven- tilstange 12, wobei dieser Angriffsbereich im Bereich der verschiebbaren Lagerung der Ventilstange 12 gegenüber der Führungseinheit 20 liegt, an der Wand 1 bzw. einem starr mit der Wand 1 verbundenen Teil abgestützt. Es kann dadurch in einfacher Weise die erforderliche Andrückkraft der Ventilplatte 5 an den Ventilsitz 4 übertragen werden, ohne dass von der Längsführung der Ventilstange 12 und der Querführung der Führungseinheit 20 große Kippkräfte aufnehmbar sein müssten.

Die Längs-Antriebseinrichtung 15 und/oder Quer-Antriebseinrichtung 16 kann auch mehr oder weniger als die beiden gezeigten Kolben 25 bzw. 29 aufweisen. Anstelle der Ausbildung der Zylinderausnehmungen 26 bzw. 30 für die Kolben 25 der Längs- Antriebseinrichtung 15 und/oder für die Kolben 29 der Quer-Antriebseinrichtung 16 als Ausnehmungen im Basiskörper 23 der Führungseinheit 20 könnten auch separate Zylinder vorgesehen sein, die starr mit der Führungseinheit verbunden sind. Auch die umgekehrte Anordnung der Zylinder und der Kolben ist denkbar und möglich. So könnten die Kolben der Längs-Antriebseinrichtung 15 starr mit der Führungseinheit 20 und die Zylinder dieser Kolben mit der Ventilstange 12 verbunden sein und/oder die Kolben 29 der Quer- Antriebseinrichtung 16 starr mit der Führungseinheit 20 und die Zylinder für diese Kolben starr mit der Lagereinheit 17 verbunden sein oder in Form von Zylinderausnehmungen in der Lagereinheit 17 ausgebildet sein. Bei der in den Fig. 15 und 16 dargestellten Ausführungsvariante sind der Ventilantrieb, die Ventilstange 12 und die mit ihr verbundene Ventilplatte 5 identisch wie in den Fig. 1 bis 14 dargestellt ausgebildet. Der Unterschied dieser Ausführungsvariante besteht lediglich dar- in, dass die die Ventilöffnung 2 aufweisende Wand 1 des Vakuumventils hier ein Teil einer in den Fig. 15 und 16 nur teilweise und schematisch dargestellten Vakuumkammer 39 ist. Die Ventilplatte 5 liegt innerhalb der Vakuumkammer 39, die einen Vakuumbereich des Ventils darstellt, wenn die Vakuumkammer abgepumpt ist. Die Wand 46, durch deren Öffnung die Ventilstange 12 aus dem Vakuumbereich der Vakuumkammer 39 herausgeführt ist, ist in den Fig. 15 und 16 als separater Teil dargestellt, der über eine Flanschverbindung mit der Vakuumkammer 39 verbunden ist, und zwar im Bereich um eine Öffnung in der Vakuumkammer 39. Durch Öffnen dieser Flanschverbindung kann somit die Wand 46 mit dem an ihr angebrachten Ventilantrieb und mit der Ventilstange und dem Ventilteller 5 abgenommen werden.

Eine zweite Ausführungsform der Erfindung wird im Folgenden anhand der Fig. 17 bis 34 beschrieben.

Alles was in den ersten fünf Absätzen der Beschreibung der ersten Ausführungsform der Erfindung zur ersten Ausführungsform gesagt wurde (also beginnend mit „Eine erste Ausführungsform der Erfindung wird...", nach der Kurzbeschreibung der Figuren), trifft für die zweite Ausführungsform identisch zu und die analogen Teile sind mit den gleichen Bezugszeichen versehen.

Ein Unterschied zur ersten Ausführungsform besteht zunächst darin, dass die Wand 1 hier nicht Teil eines - abgesehen von den Öffnungen - geschlossenen Ventilgehäuses ist. Das Vakuumventil ist vielmehr als Insert zum Einsetzen in eine Vakuumkammer 42 ausgebildet, wie dies schematisch in Fig. 34 dargestellt ist. Die Wand 1 besitzt somit auf der dem Ventilsitz 4 gegenüberliegenden Seite eine die Ventilöffnung 2 umgebende elastische Dich- tung 40, um die Wand 1 gegenüber der Wand 41 der Vakuumkammer im eine Öffnung 43 der Vakuumkammer 42 umgebenden Bereich abzudichten. Die rechtwinkelig zur Wand 1 stehende Wand 46, durch deren Öffnung die Ventilstange 12 tritt, wobei die Ventilstange 12 mittels der Balgdurchführung, die den Balg 13 umfasst, vakuumdicht aus dem Vakuumbereich des Vakuumventils herausgeführt ist, besitzt eine diese Öffnung umgebende elas- tische Dichtung 47 zur Abdichtung der Wand 46 gegenüber der Wand 44 der Vakuumkammer in einem die Öffnung 45 der Wand 44 und die Öffnung 60 umgebenden Bereich. Ein Bolzen 61 zur Befestigung an der Vakuumkammer 42 ist schematisch dargestellt.

Anstelle der Ausbildung des Vakuumventils in Form eines in eine Vakuumkammer 42 ein- zusetzenden Inserts könnte das Vakuumventil ein Ventilgehäuse aufweisen, das in identischer Form ausgebildet ist, wie im Zusammenhang mit den Fig. 1 bis 14 beschrieben. Auch könnte die Wand 1 wie in den Fig. 15 und 16 dargestellt und anhand dieser Figuren beschrieben, Teil einer Vakuumkammer sein. Es folgt nun die genauere Beschreibung der verschiebbaren Lagerung der Ventilstange 12 in die Längs- und Querrichtung 6, 7 sowie der Längs- und Quer-Antriebseinrichtungen 15, 16:

Eine starr mit der Wand 1 verbundene außerhalb des Vakuumbereichs angeordnete Lagereinheit 17' weist ein Antriebsgehäuse 18' mit einem Aufnahmeraum 19' auf. Eine die Ventilstange 12 in die Längsrichtung 6 verschiebbar lagernde Führungseinheit 20' ist im Aufnahmeraum 19' angeordnet und in diesem von der Lagereinheit 17' in die Querrich- tung 7 geradlinig verschiebbar geführt. Zur verschiebbaren Führung dienen Führungsbuchsen 48, die in Buchsenaufnahmen 49 des Antriebsgehäuses 18' aufgenommen sind und in die Führungszapfen 50 ragen, die starr an einem Basiskörper 23' der Führungseinheit 20' angebracht sind oder einstückig mit dem Basiskörper 23' ausgebildet sind. Die Führungszapfen 50 und die Achsen der Führungsbuchsen 48 liegen parallel zur Querrich- tung. Im gezeigten Ausführungsbeispiel sind zwei in eine rechtwinkelig zur Querrichtung und rechtwinkelig zur Längsrichtung stehende Richtung beabstandete, in Buchsenaufnahmen 49 aufgenommene Führungsbuchsen 48 vorhanden, in denen jeweils ein Führungszapfen 50 verschiebbar geführt ist. In Fig. 31 ist eine der Führungsbuchsen 48 im vom Führungszapfen 50 heruntergezogenen und aus der Führungsbuchse 48 herausgezogenen Zustand dargestellt. Die andere Führungsbuchse ist in Fig. 32 im auf dem Führungszapfen 50 angeordnetem Zustand sichtbar. Auch nur ein in einer Führungsbuchse 48 verschiebbarer Führungszapfen 50 oder mehr als zwei solche verschiebbar geführte Führungszapfen 50 könnten vorgesehen sein.

Die Längs-Antriebseinrichtung 15' weist als Aktuator einen Kolben 25' auf, der in einer im Basiskörper 23' der Führungseinheit 20' ausgebildeten Zylinderausnehmung 26' angeordnet ist. Der Kolben 25' ist auf der Ventilstange 12 angeordnet, welche somit die Kolbenstange der Kolben-Zylinder-Einheit der Längs-Antriebseinrichtung 15' bildet. Die Zylinder- ausnehmung 26' ist auf der vom ventilplattenseitigen Ende der Ventilstange 12 abgelege- nen Seite von einem Zylinderdeckel 24' geschlossen, der hier buchsenartig ausgebildet ist und die die Ventilstange 12 verschiebbar führt. Auf der anderen Seite des Kolbens 25' ist die Ventilstange 12 in ihrem Bereich, in dem sie eine Öffnung im Basiskörper 23' der Führungseinheit 20' durchsetzt, ebenfalls von der Führungseinheit 20' in die Längsrichtung 6 verschiebbar gelagert, wodurch die Längsachse 14 der Ventilstange 12 parallel zur Längs- richtung 6 gehalten wird.

Die Quer-Antriebseinrichtung 16' umfasst zwei in die Längsrichtung 6 verschiebbare Antriebsteile 51 , die im dargestellten Ausführungsbeispiel in Form von Kolben einer jeweiligen Kolben-Zylinder-Einheit, welche die Aktuatoren der Quer-Antriebseinrichtung 16' bil- den, ausgebildet sind. Beispielsweise könnte als Aktuator auch mindestens ein elektromagnetisch wirkender Linearantrieb vorgesehen sein. Die in Form von Kolben ausgebildeten Antriebsteile 51 sind in Zylinderausnehmungen 30' angeordnet, welche im Antriebsgehäuse 18' der Lagereinheit 17' angeordnet sind. Die Zylinderausnehmungen 30' sind beidseitig durch Zylinderdeckel 52, 53 geschlossen. Anstelle einer Ausbildung der Zylin- derausnehmungen 30' im Antriebsgehäuse 18' könnten auch separate Zylinder der Lagereinheit 17' vorgesehen sein, die starr mit dem Antriebsgehäuse 18' verbunden sind. Eine Kolbenstange 31 ' überragt ein jeweiliges Antriebsteil 51 beidseitig und ragt beidsei- tig aus der Zylinderausnehmung 30' heraus. An den beiden, aus dem Zylinderausnehmung 30' herausragenden Enden ist die Kolbenstange 31 ' jeweils über ein Getriebeglied 54, 55 mit der Führungseinheit 20' verbunden. Bei den Getriebegliedern handelt es sich um einerseits verschwenkbar mit der Kolbenstange 31' andererseits verschwenkbar mit der Lagereinheit 17' verbundene Lenker, wobei diese Schwenkachsen rechtwinkelig zur Quer- richtung 7 und rechtwinkelig zur Längsrichtung 6 ausgerichtet sind. Zur verschwenkbaren Verbindung mit der Führungseinheit 20' können wie dargestellt Schwenkbolzen 56, 57 vorgesehen sein, die Lagerausnehmungen durchsetzen, in welche die Getriebeglieder 54, 55 ragen.

In der Offenstellung und der Zwischenstellung der Ventilplatte 5 stehen die Getriebeglieder 54, 55 winkelig zur Querrichtung 7. Durch die Längsverschiebung der Antriebsteile 51 durch Beaufschlagung des entsprechenden Zylinderraums der Zylinderausnehmung 30' mit einem Druckmedium, vorzugsweise Druckluft, wird der Winkel zur Querrichtung 7 zumindest verringert, wodurch die Führungseinheit 20' gegenüber der Lagereinheit 17' in die Querrichtung 7 verschoben wird.

Zur Übertragung der von der Quer-Antriebseinrichtung in der Schließstellung der Ventilplatte 5 zur Anpressung der Ventilplatte 5 an den Ventilsitz 4 aufzubringenden Kraft auf die Lagereinheit 17' dient ein verschiebbar an der Lagereinheit 17' anliegendes Verschiebeteil 58. Dieses ist mit den jeweiligen Kolbenstangen 31 ' beidseitig des Antriebsteils 51 verbunden, beispielsweise wie dargestellt im Bereich der Verbindung der Kolbenstange 31 ' mit dem jeweiligen Getriebeglied 54, 55. Das Verschiebeteil 58 wird somit bei der Längsverschiebung des Antriebsteils 51 gegenüber der Lagereinheit 17' mitverschoben. Zur verschiebbaren Führung des Verschiebeteils 58 gegenüber der Lagereinheit 17' sind Wälz- lager 59 vorgesehen. Der Einsatz einer Gleitlagerung ist ebenfalls denkbar und möglich. Über das Verschiebeteil 58 stützt sich somit die Kolbenstange 31 ' gegenüber der Lagereinheit 17' in der Schließstellung der Ventilplatte 5 ab. Die Kraftübertragung muss somit nicht über die verschiebbare Führung der Kolbenstange 31 ' erfolgen. Denkbar und möglich wäre es aber auch, dass das Verschiebeteil 58 entfällt und die Kraftübertragung von der Kolbenstange 31 ' auf die Lagereinheit 17' über die verschiebbare Lagerung der Kolbenstange erfolgt.

Anstelle der Aufnahme der in Form von Kolben ausgebildeten Antriebsteile 51 in Zylinder- ausnehmungen 26, die im Antriebsgehäuse 18' der Lagereinheit 17' ausgebildet sind, wäre es auch denkbar und möglich separate, starr mit dem Antriebsgehäuse 18' verbundene Zylinder vorzusehen. Denkbar und möglich wäre es auch mehr oder weniger als zwei Antriebsteile 51 für die Quer-Antriebseinrichtung 16' vorzusehen.

Die Getriebeglieder 54, 55 könnten auch anders als in Form von verschwenkbaren Hebeln ausgebildet sein, z.B. sind zur Parallel-Verschiebung der Führungseinheit 20' gegenüber der Lagereinheit 17' Keilelemente denkbar und möglich.

Auch eine Federeinrichtung, die die Antriebsteile 51 in eine Richtung beaufschlagt, ist denkbar und möglich.

Die Längs-Antriebseinrichtung 15' könnte als Aktuator auch ein oder mehrere separate Kolben-Zylinder-Einheiten aufweisen, deren Kolben mit der Ventilstange 12 verbunden sind.

Auch beim zweiten Ausführungsbeispiel wäre es denkbar und möglich, dass die Ventilstange 12 in der Schließstellung der Ventilplatte 5 an einem auf der von der Ventilplatte 5 abgewandten Seite aus der Führungseinheit 20' herausstehenden Abschnitt an einem Queranschlag der Lagereinheit 17' anliegt. Dadurch könnte wiederum die durch die Längs- und Querführungen gegen eine Verkippung der Ventilstange 12 aus ihrer Ausrich- tung parallel zur Längsrichtung 6 aufzubringenden Kräfte verringert werden.

In der ersten Ausführungsform könnte wie erwähnt auch ein als Insert ausgebildeter Ventilkörper vorgesehen sein, der die die Ventilöffnung 2 aufweisende Wand 1 umfasst. Das zur Fig. 34 Gesagte könnte auf eine solche Ausführungsvariante identisch gelten.

Sowohl in der ersten (Fig. 1-16) als auch in der zweiten Ausführungsform (Fig. 17-34) sind u.a. folgende Modifikationen denkbar und möglich:

Die elastische Dichtung könnte auch am Ventilsitz 4 angebracht werden und an der Ventil- platte 5 eine mit der elastischen Dichtung zusammenwirkende Dichtfläche vorgesehen sein.

Es könnte auch mehr als eine die Ventilplatte 5 tragende Ventilstange 12 vorgesehen sein.

Es könnte auch mehr als eine von der einen oder mehreren Ventilstangen 12 getragene Ventilplatte 5 vorgesehen sein.

Die Druckmedienleitungen für die verschiedenen beschriebenen, vorzugsweise pneumatischen, Kolben-Zylinder-Einheiten sind nicht im Einzelnen beschrieben. Teilweise sind Boh- rungen, welche Kanäle für das Druckmedium bilden, in den Schnittdarstellungen sichtbar. Auch andere Aktuatoren als Kolben-Zylinder-Einheiten sind für den Längs- und/oder Querantrieb des Vakuumventils einsetzbar. L c i g e n d e zu den Hinweisziffem:

1 Wand 31, 31 ' Kolbenstange

2 Ventilöffnung 32 Schraubenfeder

3 Achse 33 Druckraum

4 Ventilsitz 34 Dichtung

5 Ventilplatte 35 Dichtung

6 Längsrichtung 36 Dichtung

7 Querrichtung 37 Führungsbuchse

8 Ventilgehäuse 38 Queranschlag

9 Wand 39 Vakuumkammer

10 Öffnung 40 Dichtung

11 Innenraum 41 Wand

12 Ventilstange 42 Vakuumkammer

13 Balg 43 Öffnung

14 Längsachse 44 Wand

15, 15' Längs-Antriebseinrichtung 45 Öffnung

16, 16' Quer-Antriebseinrichtung 46 Wand

17, 17' Lagereinheit 47 Dichtung

18, 18' Antriebsgehäuse 48 Führungsbuchse

19, 19' Aufnahmeraum 49 Buchsenaufnahme

20, 20' Führungseinheit 50 Führungszapfen

21 Führungsbuchse 51 Antriebsteil

22 Führungsbuchse 52 Zylinderdeckel

23, 23' Basiskörper 53 Zylinderdeckel

24, 24' Zylinderdeckel 54 Getriebeglied

25, 25' Kolben 55 Getriebeglied

26, 26' Zylinderausnehmung 56 Schwenkbolzen

27 Kolbenstange 57 Schwenkbolzen

28 Joch 58 Verschiebeteil

29 Kolben 59 Wälzlager

30, 30' Zylinderausnehmung 60 Öffnung

61 Bolzen