Die Erfindung bezieht sich auf ein Vakuumventil mit einer eine Längsachse

aufweisenden Ventilstange, die mindestens ein Verschlussglied zum Verschließen mindestens einer Ventilöffnung trägt und die von einem Längsantrieb in eine parallel zur Längsachse der Ventilstange liegende Längsrichtung von einer Anfangsstellung, in der das Vakuumventil geöffnet ist, in eine Zwischenstellung verschiebbar ist und von einem Querantrieb von der Zwischenstellung in mindestens eine Endstellung verschiebbar ist, in der das Vakuumventil geschlossen ist.

Vakuumventile, bei denen ein Verschlussglied von einer Offenstellung über eine Mittelstellung, in welcher das Verschlussglied eine Ventilöffnung überdeckt, vom

Ventilsitz aber abgehoben ist, in eine Schließstellung verfahrbar sind, werden als L- Ventile bezeichnet. Neben Ausbildungen, bei denen die Verstellung des

Verschlussgliedes von der Mittelstellung in die Schließstellung durch eine

Verschwenkung der das Verschlussglied tragenden Ventilstange um eine

rechtwinkelig zur Ventilstange liegende Achse erfolgt, sind auch Ausbildungen bekannt, bei denen eine geradlinige Verstellung des Verschlussgliedes zwischen seiner Mittelstellung und seiner Schließstellung erfolgt. Beispielsweise sind

Ausbildungen bekannt, bei denen an der Ventilstange eine Trageinheit befestigt ist, wobei das Verschlussglied gegenüber der Trageinheit mittels Kolben-Zylinder- Einheiten verstellbar ist. Derartige Ausbildungen gehen beispielsweise aus der US 2007/0272888 A1 und US 6,899,316 hervor.

Aus der US 2008/0017822 A1 ist ein L-Ventil bekannt, bei dem das Verschlussglied an einer Ventilstange angebracht ist, welche in ihre Längsrichtung verschiebbar geführt ist und mittels eines von einer Kolben-Zylinder-Einheit gebildeten

Längsantriebes in die Längsrichtung verschiebbar ist. Durch eine

Führungseinrichtung, die in einer Ausführungsform von einer Linearführung gebildet wird, ist diese Kolben-Zylinder-Einheit in eine rechtwinkelig zur Längsrichtung liegende Querrichtung verschiebbar geführt, wodurch auch die Ventilstange in die Querrichtung verschiebbar ist. Zur Verstellung der Ventilstange in die Querrichtung dient eine in das Verschlussglied integrierte Kolben-Zylinder-Einheit. In einer weiteren Ausführungsform wird die Quer-Antriebseinrichtung von einer außerhalb des Vakuumbereichs angeordneten Kolben-Zylinder-Einheit gebildet, die auf den Zylinder der Längs-Antriebseinrichtung einwirkt. Es ist ausgeführt, dass sich eine solche Ausbildungsform insbesondere für Anwendungen eignen, bei denen das Verschlussglied nur durch einen Differenzdruck beaufschlagt wird, der das

Verschlussglied an den Ventilsitz andrückt. In diesem Fall muss keine große, das Verschlussglied an den Ventilsitz andrückende Schließkraft aufgebracht werden. Eine Übertragung einer größeren Schließkraft wäre mit der aus dieser Schrift hervorgehenden Querführung problematisch. Ein L-Ventil der eingangs genannten Art geht aus der WO 2010/034046 A1 hervor. Die im Querschnitt zylindrische Ventilstange wird in den dort gezeigten

Ausführungsbeispielen unmittelbar von einer Führungseinheit in ihre Längsrichtung verschiebbar geführt, welche ihrerseits von einer Lagereinheit in die rechtwinkelig zur Längsrichtung der Ventilstange liegende Querrichtung verschiebbar geführt ist. Die Führungseinheit ist relativ massiv ausgebildet, um eine gute Führung zu ermöglichen und bildet auch Zylinderräume für den die Ventilstange in ihre

Längsrichtung verschiebenden Längsantrieb aus.

Aufgabe der Erfindung ist es ein vorteilhaftes Vakuumventil der eingangs genannten Art bereitzustellen, welches bei relativ günstigen Herstellungskosten eine stabile und zuverlässige Ausbildung besitzt. Erfindungsgemäß gelingt dies durch ein Vakuumventil mit den Merkmalen des Anspruchs 1 .

Beim Vakuumventil gemäß der Erfindung ist an der Ventilstange ein

Übertragungsstück festgelegt, das von mindestens einem, vorzugsweise

stangenförmigen, Führungsteil in die Längsrichtung verschiebbar geführt ist.

Mindestens ein Quer-Antriebsteil des Querantriebs greift am Führungsteil bzw. an einem jeweiligen Führungsteil an, wobei das Führungsteil vom mindestens einen Quer-Antriebsteil in die Querrichtung verschiebbar ist und wobei das Führungsteil bei seiner Verschiebung in die Querrichtung das Übertragungsstück mitnimmt. Bei der Verschiebung des mindestens einen Führungsteils in die Querrichtung erfolgt somit auch eine Verschiebung der Ventilstange in die Querrichtung.

Vorteilhafterweise ist bezogen auf eine rechtwinkelig zur Längsrichtung und rechtwinkelig zur Querrichtung liegende Richtung beidseitig der Ventilstange jeweils mindestens ein Führungsteil angeordnet, an dem jeweils mindestens ein Quer- Antriebsteil angreift. Es liegt also auf gegenüberliegenden Seiten einer durch die Längsachse der Ventilstange verlaufende, parallel zur Längsrichtung und zur

Querrichtung liegende Ebene jeweils mindesten ein solches Führungsteil.

Durch die Erfindung wird ohne allzu großen Materialeinsatz eine stabile Führung in die Längs- als auch in die Querrichtung ermöglicht und hohe Schließkräfte in die Querrichtung können sicher übertragen werden.

Vorteilhafterweise ist zur Verstellung des Übertragungsstücks in die Längsrichtung mindestens ein Längs-Antriebsteil mit dem Übertragungsstück verbunden, wobei die Verbindung so ausgebildet ist, dass eine Verschiebung des Übertragungsstücks gegenüber dem Längs-Antriebsteil in die Querrichtung möglich ist. Das Längs- Antriebsteil kann damit selbst in die Querrichtung unverschiebbar angeordnet sein. Beispielsweise kann das mindestens eine Längs-Antriebsteil eine Kolbenstange einer Kolben-Zylinder-Einheit sein.

Das Übertragungsstück ist günstigerweise in einem Innenraum eines

Querantriebsgehäuses angeordnet, welches in die Längs- und Querrichtung unverschiebbar gehalten ist. Mindestens ein Gehäuseteil des Längsantriebes, gegenüber welchem das mindestens eine Längs-Antriebsteil des Längsantriebes in die Längsrichtung verschiebbar ist und in die Querrichtung unverschiebbar ist, ist vorteilhafterweise starr mit dem Querantriebsgehäuse verbunden. Eine verschiebbare Führung des mindestens einen Führungsteils in die Querrichtung und unverschiebbare Halterung des mindestens einen Führungsteils in die

Längsrichtung erfolgt vorteilhafterweise durch eine in die Querrichtung

verschiebbare Lagerung mindestens eines mit dem Führungsteil verbundenen Elements durch das Querantriebsgehäuse. Insbesondere können Teile des

Querantriebs vom Querantriebsgehäuse in die Querrichtung verschiebbar geführt sein, so beispielsweise das mindestens eine am Führungsteil oder am jeweiligen Führungsteil angreifende Quer-Antriebsteil, gegebenenfalls in Verbindung mit einer in die Querrichtung verschiebbaren Führung von weiteren Teilen des Querantriebs, beispielsweise eines Kolbens.

Eine vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass an der Ventilstange ein erstes und ein zweites Verschlussglied befestigt sind. Das erste Verschlussglied ist in einer ersten Endstellung der Ventilstange an einen ersten Ventilsitz angedrückt, der eine erste Ventilöffnung des Vakuumventils umgibt. Das zweite Verschlussglied ist in einer zweiten Endstellung der Ventilstange an einen zweiten Ventilsitz angedrückt, der eine zweite Ventilöffnung des Vakuumventils umgibt. Bei einem solchen Vakuumventil kann vorteilhafterweise ein Service des zweiten

Verschlussgliedes durchgeführt werden, beispielsweise um einen Dichtring des zweiten Verschlussgliedes zu ersetzen, wenn sich die Ventilstange in ihrer ersten Endstellung befindet, und ein Service des ersten Verschlussgliedes durchgeführt werden, beispielsweise um einen Dichtring des ersten Verschlussgliedes zu ersetzen, wenn sich die Ventilstange in ihrer zweiten Endstellung befindet. Dabei kann eine vakuumdichte Abdichtung zwischen zwei Vakuumräumen, beispielsweise von

Vakuumkammern aufrechterhalten werden, die im geöffneten Zustand des

Vakuumventils über dieses verbunden sind.

Der Querantrieb ist vorteilhafterweise mit mindestens einem Federelement versehen, von dem die in ihrer Endstellung oder in einer ihrer Endstellungen sich befindende Ventilstange in Richtung ihrer Zwischenstellung vorgespannt ist. Wenn der Querantrieb in entgegengesetzte Richtungen parallel zur Querrichtung wirkende Antriebsteile, insbesondere Kolben, aufweist, um die Ventilstange ausgehend von ihrer Zwischenstellung in erste und zweite Endstellungen zu verstellen, so ist für beide Endstellungen vorteilhafterweise jeweils mindestens ein Federelement vorhanden, welches die Ventilstange von ihrer jeweiligen Endstellung in Richtung ihrer Zwischenstellung beaufschlagt. Die Ventilstange kann dadurch in einfacher Weise in eine definierte Zwischenstellung bewegt werden. In einer möglichen Ausbildungsform können hierbei Anschlagbolzen vorgesehen sein, die bei der Verschiebung der Ventilstange in ihre mindestens eine Endstellung an einem Teil eines Querantriebsgehäuses in Anlage kommen und hierbei gegen die Kraft einer Feder verschoben werden. Insbesondere können solche Anschlagbolzen in

Ausnehmungen von Kolben des Querantriebs angeordnet sein.

Wenn in dieser Schrift allgemein von einer in bezogen auf die Längsrichtung oder Querrichtung unverschiebbaren Anordnung oder Halterung die Rede ist, so sind beide Richtungen parallel zur Längsrichtung bzw. beide Richtungen parallel zur Querrichtung gemeint.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden im Folgenden anhand der beiliegenden Zeichnung erläutert. In dieser zeigen: Fig. 1 eine Ansicht eines erfindungsgemäßen Vakuumventils im geöffneten Zustand;

Fig. 2 und 3 eine Seitenansicht und eine Draufsicht auf das Vakuumventil von Fig. 1 ;

Fig. 4 einen Schnitt entlang der Linie AA von Fig. 1 ;

Fig. 5 einen Schnitt entlang der Linie BB von Fig. 1 ;

Fig. 6 ein vergrößertes Detail X von Fig. 5;

Fig. 7 einen Schnitt entlang der Linie CC von Fig. 1 ;

Fig. 8 bis 1 1 Darstellungen entsprechend den Fig. 4 bis 7 in der Zwischenstellung der Ventilstange;

Fig. 12 bis 15 Darstellungen entsprechend den Fig. 4 bis 7 in der ersten Endstellung der Ventilstange;

Fig. 16 bis 19 Darstellungen entsprechend den Fig. 4 bis 7 in der zweiten

Endstellung der Ventilstange; Fig. 20 eine Schrägsicht des Vakuumventils, Teile des Vakuumventils explosionsartig auseinandergezogen dargestellt;

Fig. 21 eine Schrägsicht der Ventilstange mit dem Längs- und dem Querantrieb, Teile des Längs- und Querantriebs explosionsartig auseinandergezogen dargestellt; Fig. 22 eine Schrägsicht der Ventilstange mit dem Ubertragungsstück und den Führungsteilen sowie den Kolben des Längs- und Querantriebs;

Fig. 23 und Fig. 24 die Teile von Fig. 22 in Ansicht und in Draufsicht;

Fig. 25 einen Schnitt entlang der Linie DD in Fig. 8;

Fig. 26 ein vergrößertes Detail Y von Fig. 25.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Fig. 1 bis 26 dargestellt. Das Vakuumventil umfasst ein Ventilgehäuse 1 mit ersten und zweiten Ventilöffnungen 2, 3, welche Achsen 4, 5 aufweisen und in gegenüberliegenden Wänden des

Ventilgehäuses 1 angeordnet sind. Die die Ventilöffnungen 2, 3 umgebenden Wände weisen an ihren einander zugewandten Seiten erste und zweite Ventilsitze 6, 7 auf, welche die Ventilöffnungen 2, 3 umgeben.

Das Ventilgehäuse 1 besitzt einen Innenraum 8, der einen Vakuumbereich des Vakuumventils bildet, d.h. der Innenraum 8 ist, abgesehen von den Ventilöffnungen 2, 3, vakuumdicht gegenüber dem Außenraum des Vakuumventils abgedichtet.

Im Innenraum 8 des Ventilgehäuses 1 sind ein erstes und ein zweites Verschlussglied 9, 10 angeordnet, welches jeweils in Form einer Ventilplatte ausgebildet ist. Die Verschlussglieder 9, 10 sind an einer sie tragenden Ventilstange 11 angebracht, welche eine Längsachse 20 besitzt.

Im gezeigten Ausführungsbeispiel ist am ersten und zweiten Verschlussglied 9, 10 jeweils mindestens ein elastomerer Dichtring 15 angeordnet und die Ventilsitze 6, 7 werden von Dichtflächen gebildet.

Grundsätzlich ist auch eine umgekehrte Ausbildung möglich, bei der die Ventilsitze 6, 7 Dichtringe aufweisen und die Verschlussglieder 9, 10 Dichtflächen aufweisen. Die Ventilsitze 6, 7 liegen jeweils in einer Ebene. Vorzugweise sind die Ebenen der Ventilsitze, wie im gezeigten Ausführungsbeispiel dargestellt, parallel zueinander. Die Achsen 4, 5 der Ventilöffnungen 2, 3 liegen rechtwinkelig zu den Ebenen, in denen die Ventilsitze 6, 7 liegen.

Beispielsweise kann die Verbindung mit der Ventilstange 1 1 wie dargestellt über ein Verbindungsstück 12 erfolgen, welches zwei Fortsätze 13 aufweist, an denen jeweils ein Träger 14 angeschraubt ist, der wiederum an seinen beiden Enden am jeweiligen Verschlussglied 9, 10 angeschraubt ist. Durch eine Torsion des Trägers 14 ist eine gewisse Verschwenkung des jeweiligen Verschlussglieds 9, 10 um eine Achse möglich, die rechtwinkelig zur Längsachse 20 und parallel zur Ebene des jeweiligen Ventilsitzes 6, 7 liegt, so dass eine weitgehend gleichmäßige Anpresskraft des Dichtrings 15 an die Dichtfläche erreicht wird. Die Verbindung der Verschlussglieder 9, 10 mit der Ventilstange 1 1 kann auch in anderer Weise erfolgen.

Die Ventilstange 1 1 ist durch eine Öffnung 16 des Ventilgehäuses aus diesem herausgeführt, so dass sich ein Abschnitt der Ventilstange, an welchem die

Verschlussglieder 9, 10 angebracht sind, innerhalb des Ventilgehäuses 1 und ein weiterer Abschnitt der Ventilstange 1 1 außerhalb des Ventilgehäuses 1 befindet. Die Durchführung der Ventilstange 1 1 durch das Ventilgehäuse 1 ist vakuumdicht ausgeführt, im gezeigten Ausführungsbeispiel mittels eines Balges 17, von dem ein Ende vakuumdicht mit dem Ventilgehäuse 1 und das andere Ende vakuumdicht mit der Ventilstange 1 1 verbunden ist.

Mit dem außerhalb des Ventilgehäuses 1 sich befindenden Abschnitt der

Ventilstange 1 1 wirken ein Längsantrieb 18 und ein Querantrieb 19 zusammen, der Längsantrieb 18 und der Querantrieb 19 sind also außerhalb des Vakuumbereichs des Vakuumventils angeordnet. Der Längsantrieb 18 dient zur Verschiebung der Ventilstange 1 1 in eine parallel zur Längsachse 20 der Ventilstange 1 1 liegende Längsrichtung 21 , die in den Figuren durch einen Doppelpfeil bezeichnet ist. Der Querantrieb 19 dient zur Verschiebung der Ventilstange 1 1 in eine rechtwinkelig zur Längsachse 20 der Ventilstange 1 1 liegende Querrichtung 22, die in den Figuren durch einen Doppelpfeil bezeichnet ist. Bei einer Verschiebung der Ventilstange 1 1 in die Längsrichtung 21 ändert sich die Lage der Längsachse 20 der Ventilstange 1 1 nicht. Bei einer Verschiebung der Ventilstange 1 1 in die Querrichtung 22 liegt die Längsachse 20 der Ventilstange 1 1 nach der Verschiebung parallel zu ihrer Lage vor der Verschiebung. Mit anderen Worten sind die Verschiebungen in die

Längsrichtung 21 und in die Querrichtung 22 Parallelverschiebungen der

Ventilstange 1 1 . Bei einer parallelen Anordnung der Ebenen, in denen die Ventilsitze 6, 7 liegen, liegt die Längsrichtung 21 parallel zu diesen Ebenen. Die Querrichtung 22 steht rechtwinkelig zu diesen Ebenen. Würden die Ebenen der Ventilsitze 6, 7 einen Winkel miteinander einschließen, so würde die Längsrichtung 21 parallel zur Ebene liegen, die in der Winkelhalbierenden zu diesem Winkel liegt, und die Querrichtung 22 würde rechtwinkelig zu dieser in der Winkelhalbierenden liegenden Ebene liegen.

Im in den Fig. 1 bis 7 dargestellten vollständig geöffneten Zustand des

Vakuumventils nimmt die Ventilstange 1 1 eine Anfangsstellung ein. Die

Verschlussglieder 9, 10 befinden sich in ihren Offenstellungen, in welchen sie die Ventilöffnungen 2, 3 (in Richtung der Achsen 4, 5 gesehen) vollständig freigeben.

Mittels des Längsantriebs 18 kann die Ventilstange 1 1 ausgehend von ihrer

Anfangsstellung in die Längsrichtung 21 in die in den Fig. 8 bis 1 1 dargestellte Zwischenstellung verschoben werden. In der Zwischenstellung der Ventilstange 1 1 nehmen die Verschlussglieder 9, 10 ihre Mittelstellungen ein, in welchen sie die Ventilöffnungen 2, 3 in Richtung der Achsen 4, 5 gesehen überdecken, aber von den Ventilsitzen 6, 7 abgehoben sind. Mittels des Querantriebs 19 kann die Ventilstange 1 1 ausgehend von der

Mittelstellung in die Querrichtung 22 in die in den Fig. 12 bis 15 dargestellte erste Endstellung und in die in den Fig. 16 bis 19 dargestellte zweite Endstellung verschoben werden. In der ersten Endstellung nimmt das erste Verschlussglied 9 seine Schließstellung ein, in welcher es an den ersten Ventilsitz 6 angedrückt ist und die erste Ventilöffnung 2 verschließt. In der zweiten Endstellung nimmt das zweite Verschlussglied 10 seine Schließstellung ein, in welcher es an den zweiten Ventilsitz 7 angedrückt ist und die zweite Ventilöffnung 3 verschließt. Der Verschluss der jeweiligen Ventilöffnung 2, 3 ist vakuumdicht.„Vakuumdicht" soll im Rahmen dieser Schrift heißen, dass ein Vakuum von weniger als 1.10-3mBar über zumindest mehr als eine Stunde im Vakuumbereich des Vakuumventils aufrechterhalten werden kann (hierbei ist angenommen, dass die andere Ventilöffnung vollständig abgedichtet ist; in der Praxis wird sie mit einem evakuierten Raum, beispielsweise einer

Vakuumkammer verbunden sein).

Am außerhalb des Ventilgehäuses 1 liegenden Abschnitt der Ventilstange 1 1 ist ein Übertragungsstück 23 festgelegt. Das Übertragungsstück 23 ist mit der Ventilstange 1 1 in die Längs- und Querrichtung unverschiebbar verbunden.

Das Übertragungsstück 23 ist von Führungsteilen 24, die in die Längsrichtung 21 unverschiebbar gehalten sind, in die Längsrichtung 21 verschiebbar geführt. Die Führungsteile 24 bilden eine Linearführung für das Übertragungsstück 23 in die Längsrichtung 21. Dieses ist im Ausführungsbeispiel in Form eines Gleitlagers ausgebildet, wie dies bevorzugt ist.

Das Übertragungsstück 23 ist zumindest von allen Führungsteilen 24 zusammen in die Querrichtung 22 unverschiebbar gehalten. Im Ausführungsbeispiel ist das Übertragungsstück 23 von jedem Führungsteil 24 einzeln in die Querrichtung 22 unverschiebbar gehalten.

Das Übertragungsstück 23 und die Führungsteile 24 befinden sich außerhalb des Vakuumbereichs des Vakuumventils.

Das Übertragungsstück 23 des gezeigten Ausführungsbeispiels könnte auch als Joch bezeichnet werden. Die Führungsteiie 24 sind in Form von Stangen ausgebildet und durchsetzen

Ausnehmungen 25 des Übertragungsstücks 23. Die Ausnehmungen 25 sind in die Querrichtung 22 zum Rand des Übertragungsstücks 23 jeweils offen und umgeben das jeweilige Führungsteil 24 über mehr als 180°. Dadurch ist das Übertragungsstück 23 gegenüber einem jeweiligen Führungsteil 24 in die Längsrichtung 21

verschiebbar, in die Querrichtung 22 aber unverschiebbar gehalten.

Eine Linearführung für das Übertragungsstück 23 in die Längsrichtung 21 könnte auch in anderer Weise ausgebildet sein. Die Führungsteile 24 könnten in anderen Ausbildungen von Linearführungen beispielsweise jeweils einen in eine

hinterschnittene Nut ragenden Abschnitt und einen außerhalb dieser

hinterschnittenen Nut liegenden Abschnitt aufweisen, z.B. nach Art einer

Schwalbenschwanzführung. Anstelle der gezeigten zylindrischen Ausbildung der Führungsteile 24 könnten diese also beispielsweise stabförmige Ausbildungen mit anderen Querschnitten aufweisen.

An den Führungsteilen 24 sind jeweils Quer-Antriebsteile 26 befestigt, welche in Form von Kolbenstangen ausgebildet sind. Die Befestigung erfolgt an Stellen der Führungsteile 24, welche bei der Längsverschiebung des Übertragungsstücks 23 in den bezogen auf die Querrichtung zum Rand des Übertragungsstücks 23 offenen Bereichen der Ausnehmungen 25 zu liegen kommen. Die Befestigung könnte auch an Stellen erfolgen, welche über den gesamten Verschiebeweg des

Übertragungsstücks 23 bei der Verschiebung der Ventilstange 1 1 von ihrer

Anfangsstellung in ihre Zwischenstellung seitlich neben (bezogen auf die

Längsrichtung 21) dem Übertragungsstück 23 liegen. In diesem Fall könnten die Führungsteile 24 auch zum Rand des Übertragungsstücks 23 geschlossene

Ausnehmungen 25 (in Form von Bohrungen durch das Übertragungsstück 23) durchsetzen.

Die im Ausführungsbeispiel in Form von Kolbenstangen ausgebildeten Quer- Antriebsteile 26 sind an Kolben 27 des Querantriebs 29 befestigt. Die Kolben 27 des Querantriebs 19 liegen in Zylinderräumen 28. Die Zylinderräume 28 werden im gezeigten Ausführungsbeispiel von Innenräumen eines Querantriebsgehäuses gebildet. Das Querantriebsgehäuse umfasst zwei starr miteinander verbundene Grundkörper 29. Zur Ausbildung der Zylinderräume 28 besitzen diese

Ausnehmungen, die von Deckeln 30 verschlossen sind. Das Querantriebsgehäuse 29, 30 ist starr mit dem Ventilgehäuse 1 verbunden.

Bezogen auf eine rechtwinkelig zur Längsrichtung 21 und zur Querrichtung 22 stehende Richtung sind beidseitig der Ventilstange 1 1 jeweils zwei Führungsteile 24 angeordnet. Mit anderen Worten liegen beidseitig einer parallel zur Längs- und Querrichtung 21 , 22 liegenden und die Längsachse 20 durchsetzenden Ebene jeweils zwei Führungsteile 24. Die beiden auf jeder Seite der genannten Ebene liegenden Führungsteile 24 sind in die Querrichtung 19 voneinander beabstandet, wobei sie beidseitig einer parallel zur Längsrichtung 21 und rechtwinkelig zur Querrichtung 22 liegenden und die Längsachse 20 der Ventilstange durchsetzenden Ebene liegen. Die an den beiden beidseitig der letztgenannten Ebene liegenden Führungsteile 24 befestigten Quer-Antriebsteile 26 stehen in voneinander weg gerichtete Richtungen (die parallel zur Querrichtung 22 liegen) von den

Führungsteilen 24 ab.

Im gezeigten Ausführungsbeispiel ist jeder Kolben 27 über zwei in Form von

Kolbenstangen ausgebildete Quer-Antriebsteile 26 mit dem jeweiligen Führungsteil 24 verbunden. Stattdessen könnte eine solche Verbindung auch nur über ein Quer- Antriebsteil 26 erfolgen.

Die Führungsteile 24 sind durch ihre Verbindung mit den Quer-Antriebsteilen 26 in die Längsrichtung 21 unverschiebbar gehalten und vom Querantrieb 19 in die Querrichtung 22 verschiebbar. Im Ausführungsbeispiel umfasst die in die

Querrichtung 22 verschiebbare Führung der Führungsteile 24 eine die Quer- Antriebsteile 26 in die Querrichtung 22 verschiebbar lagernde Führung sowie die verschiebbare Führung der Kolben 27 in die Querrichtung 22. Die Kolben 27 sind von den Rändern der Zylinderräume 28 in die Querrichtung 22 verschiebbar geführt und die Quer-Antriebsteile 26 sind von Rändern von Öffnungen 31 (vgl. Fig. 21 ) im Querantriebsgehäuse, durch welche sich Quer-Antriebsteile 26 erstrecken, in die Querrichtung 22 verschiebbar geführt. Zudem sind an den Kolben 27

Führungszapfen 51 angeordnet, die in Führungsbohrungen 52 (vgl. Fig. 21) im Grundkörper 29, welche sich in die Querrichtung 22 erstrecken, in die Querrichtung verschiebbar geführt sind. Eine verschiebbare Führung in die Querrichtung 22 könnte auch in anderer Weise erfolgen, beispielsweise könnten die Führungszapfen 21 und Führungsbohrungen 52 entfallen oder nur die Kolben 27 könnten in die Querrichtung 22 verschiebbar geführt sein.

Zur Verstellung des Übertragungsstücks 23 in die Längsrichtung sind Längs- Antriebsteile 32 mit dem Übertragungsstück 23 verbunden, welche von

Kolbenstangen gebildet werden, an denen Kolben 33 des Längsantriebs 18 angebracht sind. Die Kolben 33 sind in Zylinderräumen 34 angeordnet. Diese werden im Ausführungsbeispiel von Innenräumen eines Längsantriebsgehäuses gebildet. Das Längsantriebsgehäuse besitzt hierzu einen Grundkörper 35 mit Ausnehmungen, welche von Deckeln 36a, 36b verschlossen sind. Durch eine

Bohrung des Deckels 36b erstreckt sich die das Längs-Antriebsteil 32 bildende Kolbenstange.

Das Längsantriebsgehäuse 35, 36 ist mit dem Querantriebsgehäuse 29, 30 starr verbunden.

Die Längs-Antriebsteile 32, die selbst in die Querrichtung 22 unverschiebbar sind, sind mit dem Übertragungsstück 23 in die Querrichtung 22 verschiebbar verbunden. Hierzu durchsetzen sie im Ausführungsbeispiel in die Längsrichtung 21 sich erstreckende Durchtrittsöffnungen 37 durch das Übertragungsstück 23, deren lichte Weite in die Querrichtung 22 jeweils größer als die Erstreckung des Längs- Antriebsteils 32 in die Querrichtung 22 ist. Die jeweilige Durchtrittsöffnung 37 wird von einem in Bohrungen im Übertragungsstück 23 gehaltenen Verbindungsstift 38 durchquert. Der Verbindungsstift 38 erstreckt sich durch eine Bohrung 39 (vgl. Fig. 21 ) im Längsantriebsteil 32 mit Spiel, sodass das Längs-Antriebsteil 32 gegenüber dem Verbindungsstück 38 in die Querrichtung 22 verschiebbar ist.

Im auf der gegenüberliegenden Seite des Kolbens 33 aus dem Übertragungsstück 23 herausragenden Abschnitt ist das Längsantriebsteil 32 zumindest in der

Zwischenstellung und in den Endstellungen der Ventilstange 1 1 vom

Querantriebsgehäuse 29, 30 in die Querrichtung 22 unverschiebbar gehalten. Hierzu ist im Ausführungsbeispiel das Quer-Antriebsteil 26 in eine in einer Ausnehmung des Querantriebsgehäuses 29, 30 gehaltene Hülse 40 eingefahren (vgl. Fig. 21 , 22), gegenüber welcher es in die Längsrichtung 21 verschiebbar ist.

Eine in die Querrichtung 22 verschiebbare Verbindung des Längs-Antriebsteils 32 mit dem Übertragungsstück 23 ist auch in anderer Weise als dargestellt denkbar und möglich. Beispielsweise könnte auch eine gelenkige Verbindung zwischen dem Übertragungsstück 23 und dem jeweiligen Längs-Antriebsteil 32 vorhanden sein, wobei für die beiden Verschieberichtungen parallel zur Längsrichtung 21

unterschiedliche Längs-Antriebsteile 32 vorhanden sein könnten oder die

Verschiebung in eine Richtung durch eine Feder erfolgen könnte.

Im Ausführungsbeispiel sind zwei Längs-Antriebsteile 32 vorhanden, welche bezogen auf eine rechtwinkelig zur Längsrichtung 21 und rechtwinkelig zur

Querrichtung 22 liegende Richtung auf gegenüberliegenden Seiten der Ventilstange 1 1 angeordnet sind und jeweils mit dem Übertragungsstück 23 verbunden sind.

Die Befestigung des Übertragungsstücks 23 an der Ventilstange 11 erfolgt im gezeigten Ausführungsbeispiel mittels eines Klemmstücks 41 (vgl. Fig. 21), welches an einen Basiskörper des Übertragungsstücks 23 angeschraubt wird. Im

abgenommenen Zustand des Klemmstücks 41 kann die Ventilstange 1 1 aus dem Übertragungsstück 23 herausgezogen werden.

Im Ausführungsbeispiel umfasst der Querantrieb 19 wie beschrieben das die

Zylinderräume 28 bildende Querantriebsgehäuse 29, 30, die Kolben 27 und die Quer-Antriebsteile 26. Beispielsweise könnten auch für jeden Kolben 27 separate Zylinder vorhanden sein, welche in die Längs- und Querrichtung 21 , 22

unverschiebbar mit dem Ventilgehäuse 1 verbunden sind. Im Ausführungsbeispiel umfasst der Längsantrieb das die Zylinderräume 34 aufweisende Längsantriebsgehäuse 35, 36, die in den Zylinderräumen 34

angeordneten Kolben 33 und die Längs-Antriebsteile 32. Beispielsweise könnte für jeden Kolben 33 auch ein eigener Zylinder vorgesehen sein, der in die Längs- und Querrichtung 21 , 22 unverschiebbar mit dem Ventilgehäuse 1 verbunden ist (z.B. über ein Querantriebsgehäuse).

In der ersten und zweiten Endstellung der Ventilstange 1 1 stützt sich diese in einem außerhalb des Ventilgehäuses 1 liegenden Abschnitt, der sich vom

Verbindungsbereich der Ventilstange 1 1 mit dem Übertragungsstück 23 in Richtung zum vom Ventilgehäuse 1 abgelegenen Ende der Ventilstange 1 1 erstreckt, an einem jeweiligen Queranschlag 42, 43 ab. Die Queranschläge 42, 43 sind im

Ausführungsbeispiel am Grundkörper 35 des Längsantriebsgehäuses angebracht und zwar in einer Öffnung 44 des Grundkörpers 35, in welche die Ventilstange 1 1 ragt. Der Anschlag am jeweiligen Queranschlag 42, 43 erfolgt vorzugsweise im Bereich des Endes der Ventilstange 1 1. 1m Ausführungsbeispiel sind an der

Ventilstange Anschlagstücke 45 zum Anschlag am jeweiligen Queranschlag 42, 43 angebracht.

Durch die Anlage der Ventilstange 1 1 in der jeweiligen Endstellung am jeweiligen Queranschlag 42, 43 muss vom Querantrieb 19 kein Kippmoment aufgenommen werden. Die Ventilstange 1 1 stützt sich beidseitig des Querantriebs 19 ab (zum Einen über das jeweilige Verschlussglied 9, 10 am jeweiligen Ventilsitz 6, 7 und zum

Anderen am jeweiligen Queranschlag 42, 43) und wird vom Querantrieb 19 auf Biegung belastet.

Zur Verstellung der Ventilstange 1 1 von der in den Fig. 4 bis 7 dargestellten

Anfangsstellung in die in den Fig. 8 bis 1 1 dargestellte Zwischenstellung wird das Übertragungsstück 23 vom Längsantrieb 18 in die Längsrichtung 21 verschoben. Zur Verstellung der Ventilstange 1 1 von der in den Fig. 8 bis 1 1 dargestellten

Zwischenstellung in die erste Endstellung entsprechend den Fig. 12 bis 15 oder in die zweite Endstellung entsprechend den Fig. 16 bis 19 werden die Führungsteile 24 vom Querantrieb 19 über die Quer-Antriebsteile 26 in die entsprechende Richtung parallel zur Querrichtung 22 verschoben. Dadurch erfolgt die Verschiebung des Übertragungsstücks 23 und damit der Ventilstange 1 1 in die Querrichtung 22. Zur Verschiebung der Führungsteile 24 in die Querrichtung 22 werden Kolben 33 des Querantriebs 19 durch ein Druckmittel, insbesondere Druckluft, beaufschlagt. Die auf der einen Seite angeordneten Kolben 27 schieben das Übertragungsstück 23 und die auf der anderen Seite angeordneten Kolben 27 ziehen das

Übertragungsstück 23 (je nachdem in welche der Endstellungen die Ventilstange 1 1 verschoben wird) über Vermittelung der Führungsteile 24. Die Kolben 27 sind im Ausführungsbeispiel jeweils als doppelt wirkende Kolben ausgebildet, sodass sowohl bei der Verstellung der Ventilstange 1 1 in die erste Endstellung als auch bei der Verstellung der Ventilstange 1 1 in die zweite Endstellung alle Kolben 27 wirksam sind.

Wenn die Ventilstange 1 1 von ihrer Zwischenstellung in eine ihrer Endstellungen verschoben wird, so werden Federelemente 46 gespannt, die auf der Seite des

Übertragungsstücks 23 angeordnet sind, zu der hin die Ventilstange 1 1 verschoben wird. Im Ausführungsbeispiel sind die Federelemente Schraubenfedern, die in sacklochartigen Vertiefungen 47 der Kolben 27 angeordnet sind. Die Vertiefungen 47 werden durch Lochscheiben 48 verschlossen, durch welche jeweils ein

Anschlagbolzen 49 ragt. Der Anschlagbolzen 49 besitzt einen Kopf mit einem Abstützbund 50. Die jeweilige Schraubenfeder liegt zwischen dem Boden der Vertiefung 47 und dem Abstützbund 50. Wenn die Ventilstange 1 1 von ihrer

Zwischenstellung in ihre Endstellung verschoben wird, so kommt das aus der Lochscheibe 48 ragende Ende des Anschlagbolzens 49 in Anlage am Deckel 30, sodass der Anschlagbolzen 49 unter Spannung des Federelements 46 eingedrückt wird. Die Rückstellung der Ventilstange 1 1 von der jeweiligen Endstellung in die

Zwischenstellung erfolgt durch die Federelemente 46, indem sich die betreffenden Anschlagbolzen 49 am jeweiligen Deckel 30 abstützen und die Kolben 27, in denen sie angeordnet sind, verschieben. Die Zylinderräume 28 aller Kolben 27 werden hierbei drucklos geschaltet.

Unterschiedliche Modifikationen des gezeigten Ausführungsbeispiels der Erfindung sind denkbar und möglich, ohne den Bereich der Erfindung zu verlassen. So könnte beispielsweise auf jeder Seite einer die Längsachse 20 der Ventilstange 1 1

durchsetzenden, parallel zur Längsrichtung 21 und parallel zur Querrichtung 22 liegenden Ebene nur ein Führungsteil 24 und/oder nur ein Kolben 27 vorgesehen sein. An einem jeweiligen Führungsteil könnten hierbei in entgegengesetzte

Richtungen abstehende Quer-Antriebsteile 26 angreifen. Wenn anstelle von doppelt wirkenden Kolben 27 einfach wirkende Kolben

eingesetzt werden, so wäre ein jeweiliger Kolben 27 nur entweder zum Schieben oder zum Ziehen des Übertragungsstücks 23 vorgesehen. Wenn nur zum Schieben des Ubertragungsstücks 23 vorgesehene Kolben 27 eingesetzt werden, so könnte die Ausnehmung 25 das Führungsteil 24 auch über weniger als 180° umgeben oder eine andere Längsführung ohne eine hinterschnittene Nut vorgesehen sein. Die Führungsteile 24 könnten auch in anderer Weise als dargestellt ausgebildet sein.

Anstelle einer Balgdurchführung zur Herausführung der Ventilstange aus dem

Vakuumbereich könnte auch eine Schiebedurchführung vorgesehen sein. Diese kann ein Schiebeteil aufweisen, welches eine Durchgangsöffnung besitzt, durch welche die Ventilstange mittels einer Dichtung abgedichtet geführt ist. Die Ventilstange ist damit in die Längsrichtung gegenüber diesem Schiebeteil verschiebbar. Das

Schiebeteil selbst ist gegenüber dem Ventilgehäuse 1 in die Querrichtung 22 verschiebbar gelagert, wobei es mittels einer Dichtung gegenüber dem

Ventilgehäuse 1 abgedichtet ist. Das Schiebeteil bildet also eine Art gegenüber dem Ventilgehäuse 1 abgedichteten und in die Querrichtung 22 verschiebbaren Schlitten. Derartige Schiebedurchführungen, die eine Verschiebbarkeit in zwei, insbesondere orthogonal zueinander stehende Richtungen, ermöglichen, sind bekannt.

Im gezeigten Ausführungsbeispiel sind an der Ventilstange 1 1 zwei

Verschlussglieder 9, 10 angebracht. Stattdessen könnte auch nur ein Verschlussglied an der Ventilstange 1 1 angebracht sein. Die Ventilstange wäre dann von der Zwischenstellung nur in eine Endstellung verschiebbar, in welcher das

Verschlussglied am Ventilsitz anliegt, der eine Ventilöffnung des Ventilgehäuses umgibt. Bei einem solchen Vakuumventil könnte das Ventilgehäuse in einer möglichen Ausführungsvariante auch von einer Vakuumkammer gebildet werden. Mit anderen Worten könnte damit ein separates Ventilgehäuse entfallen und das Vakuumventil wäre als Einsatzteil in die Vakuumkammer ausgebildet, wobei die Ventilstange abgedichtet aus der Vakuumkammer herausgeführt ist.

L e g e n d e

zu den Hinweisziffern:

1 Ventilgehäuse 28 Zylinderraum

2 erste Ventilöffnung 29 Grundkörper

3 zweite Ventilöffnung 30 Deckel

4 Achse 35 31 Öffnung

5 Achse 32 Längs-Antriebsteil

6 erster Ventilsitz 33 Kolben

7 zweiter Ventilsitz 34 Zylinderraum

8 Innenraum 35 Grundkörper

9 erstes Verschlussglied 40 36a Deckel

10 zweites Verschlussglied 36b Deckel

1 1 Ventilstange 37 Durchtrittsöffnung

12 Verbindungsstück 38 Verbindungsstift

13 Fortsatz 39 Bohrung

14 Träger 45 40 Hülse

15 Dichtring 41 Klemmstück

16 Öffnung 42 Queranschlag

17 Balg 43 Queranschlag

18 Längsantrieb 44 Öffnung

19 Querantrieb 50 45 Anschlagstück

20 Längsachse 46 Federelement

21 Längsrichtung 47 Vertiefung

22 Querrichtung 48 Lochscheibe

23 Übertragungsstück 49 Anschlagbolzen

24 Führungsteil 55 50 Abstützbund

25 Ausnehmung 51 Führungszapfen

26 Quer-Antriebsteil 52 Führungsbohrung

27 Kolben