Die Erfindung betrifft ein Ventil aus einem keramischen Werkstoff und ein Verfahren zu seiner Herstellung.

Zur Steuerung von technischen und chemischen Prozessen in der Industrie, sowie zur Regelung von komplexen Systemen, wie beispielsweise in fluidischen oder mikrofluidischen Systemen, sind Ventile erforderlich. Je nach Einsatzort und Bedingungen werden aktive, d.h. durch äußere Anregung öffnende bzw. schließende Ventile, oder passive Ventile, die durch Gegendruck in eine Richtung öffnen und schließen, benötigt. Besonders bei Einsatzbedingungen mit erhöhten Temperaturen (>100°C) oder für chemisch aggressive Medien sind spezielle Ventile erforderlich, die auch über einen längerem Zeitraum, zum Teil über mehrere Jahre, funktionsfähig sind.

Hier stoßen die üblicherweise eingesetzten Materialien, wie Metalle oder

Halbleiter an ihre Grenzen. Ein weiterer wesentlicher Aspekt für immer komplexer und kleiner werdende Systeme ist die Miniaturisierung aller Komponenten, um somit neben der erreichbaren Platzersparnis die Kosten weiter zu senken.

Mit den Standardfertigungsverfahren der Feinwerkmechanik, im Regelfall der Formgebung von metallischen Werkstoffen, ist der erreichbare Miniaturisie- rungsgrad eingeschränkt. Die für die Massenfertigung taugliche Halbleitertechnologie bietet den Vorteil der Miniaturisierung, ist aber durch die physi- kaiischen Eigenschaften des Basismaterials Silizium in ihren Einsatzbedingungen, wie der Stabilität unter mechanischer Belastung und Stabilität unter aggressiven Medien, begrenzt.

Die keramische Mehrlagentechnik ist ebenfalls eine für die Massenfertigung geeignete Technologie, die es ermöglicht, mehrlagige Verdrahtungsträger für die Elektronik sowie mikrosystemtechnische Komponenten kostengünstig zu fertigen. Neben der 3D-lntegration der in der Mehrlagenkomponente benötigten Leiterbahnen und Durchkontaktierungen von Ebene zu Ebene, der sog. Vias, erlaubt die keramischen Mehrlagentechnologie die Integration passiver Bauelemente wie Spulen, Widerstände und Kondensatoren. Hohe

Packungsdichten, Hochfrequenztauglichkeit, enorme Widerstandsfähigkeit gegen Umwelteinflüsse und hohe Zuverlässigkeit zeichnen keramische Mehrlagenkomponenten aus. Dennoch fehlen hier bisher industrietaugliche Konzepte für die Herstellung von Ventilen mittels keramischer Mehrlagentechnologie.

Miniaturisierte Ventile bestehen aus einer Kombination von Werkstoffen unterschiedlicher Härte. Die übliche Kombination ist ein harter Verschluss aus einem keramischen Material, einem metallischen Material oder Silizium, und eine weiche Dichtung, wie z. B. aus einem Polymer. So wird beispielsweise auf einen keramischen Träger (LTCC) eine flexible Membran aus Polymeren aufgebracht und diese mittels einer aufgebrachten piezoelektrischen Schicht ausgelenkt.

Ein weiteres bekanntes Beispiel für Miniaturisierung ist eine Kombination einer silizium-basierten Membran und einer Kanalführung in LTCC, wobei die Auslenkung der Membran durch eine in die LTCC eingebettete Luftspule oder mit Hilfe eines Heizers als thermischem Aktor erfolgt.

Ein weitere bekannte Ausführungsvariante basiert auf einem mehrlagigen keramischen Substrat in Verbindung mit einer Siliziummembran, bei der die Siliziummembran durch in die Keramik eingebettete Mikrokanäle und durch ein sich infolge thermischer Aktivierung ausdehnendes Fluid bewegt wird.

Aber auch klassische Kombinationen mit Gehäuse und Druckfeder aus Stahl und einem Verschluss aus einem keramischen Werkstoff in feinwerktechni- scher Fertigung finden Anwendung bei erhöhten Temperaturen oder aggressiven Medien.

In der Literatur wird auch eine reine LTCC-Variante beschrieben, bei der das entwickelte Rückschlagventil den Fluidkanal mit Hilfe eines sich im Medium bewegenden keramischen Formstücks verschlossen wird.

Die bisherigen Lösungen weisen mindestens je einen der folgenden Nachteile auf:

• Der Herstellungsaufwand ist sehr hoch.

• Der Miniaturisierungsgrad ist begrenzt.

• Die Eigenschaften der Aktoren sind für die Anwendungen zum Teil ungeeignet.

• Der Energiebedarf der Ventile ist hoch.

Zudem verhindern individuelle lösungsspezifische Nachteile den praktischen Einsatz.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Ventil und ein Verfahren zu seiner Herstellung vorzuschlagen, wobei die benannten Nachteile vermieden werden und eine weitere Miniaturisierung erreicht werden kann.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe mit einem Ventil, das die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist, und einem Verfahren zu seiner Herstellung nach Anspruch 11 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung können Merkmalen, die in den untergeordneten Ansprüchen beschrieben sind, realisiert werden. Ein erfindungsgemäßes Ventil aus einem keramischen Werkstoff ist aus einem ersten Grundkörper und einem zweiten Grundkörper gebildet. Die Grundkörper sind mittels eines Fügematerials zusammengefügt und bilden dabei eine Kavität zwischen dem ersten und dem zweiten Grundkörper aus.

Die Grundkörper sind jeweils aus mehreren Lagen eines keramischen Werkstoffs gebildet. In dem ersten Grundkörper ist auf einer dem zweiten Grundkörper zugewandten Wand eine Zuführung für ein Fluid in die zwischen den Grundkörpern gebildete Kavität ausgebildet. Außerdem ist auf der Oberfläche der Wand im Inneren der Kavität ein Dichtelement umlaufend um die Zuführung für das Fluid aufgebracht.

In der Kavität zwischen dem ersten und dem zweiten Grundkörper ist eine Membran fixiert, die aus einem keramischen Werkstoff gebildet und elastisch verformbar ist. In der Kavität ist weiterhin eine Durchführung für das Fluid in Form einer Bypassleitung ausgebildet. Durch die Durchführung kann das Fluid bei geöffnetem Ventil, also wenn die Membran von dem Dichtelement abgehoben ist, durch die Kavität und eine Abführung, die in dem zweiten Grundkörper ausgebildet ist, aus dem Ventil austreten.

Die Schichten aus einem keramischen Werkstoff und/oder die Membran kön- nen aus LTCC, HTCC, Glas- und/oder Glas-Keramik-Komposit gebildet sein.

Bevorzugt sind die Schichten und die Membran aus dem gleichen Werkstoff gebildet. Das Fügematerial kann ein Glaslot, ein Aktivlot oder ein Klebstoff sein. Die Grundfläche der zwischen den Grundkörpern fixierten Membran ist bevorzugt rund. Durch die Dicke, den Querschnitt über die Fläche und/oder den Durchmesser der Membran kann in Abhängigkeit von dem Werkstoff, aus dem die Membran gebildet ist, die Membranfederkonstante eingestellt werden. Damit ist eine gezielte Einstellung des Öffnungsdruckes und des gesam- ten Öffnungsverhaltens der Membran möglich. An der Oberfläche der Membran können Erhebungen und/oder Vertiefungen ausgebildet sein, die ein ab- gestuftes Öffnen ermöglichen.

Auf der dem ersten Grundkörper zugewandten Oberfläche der Membran kann im Bereich des Dichtelements ein Verschlusselement aufgebracht sein. Das Verschlusselement sollte bevorzugt aus einem Polymer, insbesondere aus einem Elastomer, gebildet sein. Durch eine gezielte Auswahl des Polymers kann eine hohe Fluiddichtheit und eine erhöhte Einsatztemperatur für das Ventil von bis zu 300 °C erreicht werden. Das Dichtelement kann aus einem Glas oder einem keramischen Werkstoff gebildet sein. Der keramische Werkstoff kann dabei der gleiche Werkstoff wie der Werkstoff für die Schichten und/oder für die Membran sein.

Mittels der Schichtdicke(n) des Verschlusselements und/oder des Dichtele- ments kann die Vorspannung der Membran beeinflusst werden. Damit kann der Öffnungsdruck und das Öffnungsverhalten der Membran weiter beeinflusst und eingestellt werden.

Zur Ausbildung eines aktiven Ventils kann auf der Membran mindestens ein aktorisch wirkendes Element ausgebildet sein. Dies kann bevorzugt ein piezoaktives, ein thermisch aktives, ein elektrisch aktives und/oder ein elektromagnetisch aktives Element sein. Mittels eines aktorischen Elements kann das Ventil gezielt geöffnet bzw. geschlossen werden. Bei einem Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Ventils werden in einer ersten Alternative ein erster Grundkörper und ein zweiter Grundkörper aus mehreren übereinander aufgebrachten Schichten, die aus einem keramischen Werkstoff gebildet sind, jeweils in Form einer Suspension oder einer Paste mittels Siebdruck oder Schablonendruck in einer definierten Geo- metrie unter Ausbildung der Zuführung und der Abführung für das Fluid ausgebildet.

Zur Ausbildung der Durchführung für das Fluid und der Kavität in den Grundkörpern wird in den Grundkörpern jeweils innerhalb mindestens einer Schicht ein weiterer Werkstoff, der bei einer thermischen Behandlung entfernbar ist, in Form einer Paste oder Suspension mittels Siebdruck oder Schablonendruck in einer definierten Geometrie und Dicke aufgebracht. Als weiterer Werkstoff kann/können Epoxidharz, Polyvenylalkohol (PVA), Polyvenylbutyral (PVB), Polyvenylidenflourid (PVDF), Alginate, Acrylate, Cellulosen, Ruß oder Graphit verwendet werden.

In einer zweiten Alternative werden die Grundkörper aus mehreren Schichten, die mit einem pulverförmigen keramischen Werkstoff und einem Binder gebildet und als Grünfolien mit einer definierten Geometrie ausgebildet sind, unter Ausbildung der Kavität, der Zuführung, der Durchführung und der Ab- führung für das Fluid übereinander gestapelt und laminiert.

Die zwischen den Grundkörpern fixierte Membran wird ausgebildet, indem auf einer dem ersten Grundkörper zugewandten Oberfläche des zweiten Grundkörpers in der Kavität mindestens eine weitere Schicht aus einem keramischen Werkstoff mittels Siebdruck oder Schablonendruck in einer definierten Geometrie und Dicke zur Ausbildung der elastisch verformbaren Membran über den weiteren Werkstoff, der bei einer thermischen Behandlung entfernbar ist, aufgebracht wird. In einer alternativen Ausführungsform wird die Membran aus mindestens einer Schicht, die aus einem keramischen Werkstoff gebildet und als Grünfolie in einer definierten Geometrie ausgebildet ist, auf den zweiten Grundkörper aufgebracht und laminiert.

Auf der dem zweiten Grundkörper zugewandten Wand des ersten Grundkörpers wird in der Kavität umlaufend um die Zuführung für das Fluid ein Dicht- element mit einer definierten Form und Dicke in Form einer Suspension oder

Paste mittels Siebdruck oder Schablonendruck oder in Form mindestens einer entsprechend geformten und dimensionierten Grünfolie aufgebracht.

Der Schichtaufbau des ersten und des zweiten Grundkörpers werden bei einer thermischen Behandlung gesintert. Falls ein weiterer Werkstoff zur Ausbildung der Kavität und/oder der Durchführungen für das Fluid in den ersten und/oder zweiten Grundkörper eingebracht wurde, wird dieser bei der thermischen Behandlung entfernt.

Nach der thermischen Behandlung werden der erste und der zweite Grundkörper mit einem Fügematerial zusammen gefügt. Nach der thermischen Behandlung und vor dem Zusammenfügen des ersten und zweiten Grundkörpers kann auf einer dem ersten Grundkörper zugewandten Oberfläche der Membran im Bereich des Dichtelements ein Verschlusselement aufgebacht werden. Dieses kann in Form einer Suspension oder Paste mittels Siebdruck oder Schablonendruck aufgebacht werden.

Die Schichten aus einem keramischen Werkstoff sollten mit Dicken im Bereich von 10 μιη bis 500 μιη ausgebildet werden. Die Membran sollte mit Dicken im Bereich von 10 μιη bis 500 μιη ausgebildet werden.

Die Bereiche zum Einbringen eines weiteren Werkstoffs und/oder zur Ausbildung von Hohlräumen können durch Prägen und/oder Ablation von noch nicht gesinterten keramischen Werkstoffen ausgebildet werden.

Auf der Membran kann mindestens ein aktorisch wirkendes Element aufgebracht werden, so dass ein aktives Ventil gebildet wird. Das Aufbringen kann mittels Siebdruck, Lamination und/oder mittels formschlüssigem Verbinden erreicht werden. Der Werkstoff zur Ausbildung des aktorischen Elements kann vor dem Fügen der Grundkörper thermisch behandelt, z.B. gehärtet oder gesintert werden.

Durch die Entwicklung von passiven oder aktiven Ventilen aus Mehrlagenkeramik wird die Lücke zwischen den mittels Halbleiterprozessen gefertigten siliziumbasierten Komponenten und den durch Feinwerktechnik gefertigten metallischen Komponenten geschlossen. Dabei werden etablierte Materialsysteme, wie keramische Grünfolien oder keramikkompatible Funktionspasten, genutzt.

Eine Umsetzung solcher Systeme in Mehrlagenkeramik erlaubt die geringe Strukturgrößen und weist zudem eine hohe chemische Resistenz, hohe Temperaturbeständigkeit und eine hohe Packungsdichte auf. Außerdem wird durch die Verwendung der Mehrlagenkeramik zur Ausbildung mehrerer Strukturen auf einem Substrat analog zur Halbleitertechnologie eine Kostenoptimierung erreicht. Durch die Ausbildung der Membran mittels Siebdruck oder Schablonendruck können sehr dünne Membranen aus keramischem Werkstoff ausgebildet werden, die sich an den Grundkörper und Dichtelement anlegen und somit einen Schutz vor Zerstörung den Ventils oder einem in Strömungsrichtung nach dem Ventil angeordneten System bilden. Andererseits ist durch die Verwendung von Druckverfahren eine weitere Miniaturisierung erreichbar.

Die offenbarten Ventile können mit anderen mehrlagenkeramischen Komponenten, wie z. B. Mikroreaktoren, mehrlagenkeramischen Brennstoffzellen oder fluidischer Sensorik ergänzt und kombiniert werden. Sie können beispielsweise in Mikropumpen, insbesondere für chemisch aggressive Medien und Hochtemperaturanwendungen in allen Industriebereichen, oder zur Ausbildung von Mikroreaktoren oder Mikromischern Anwendung finden.

Nachfolgend soll die Erfindung beispielhaft erläutert werden.

Dabei zeigen:

Figur 1 eine beispielhafte Ausführungsform eines passiven Ventils in einer Draufsicht und zwei Schnittdarstellungen, und

Figur 2 eine beispielhafte Ausführungsform eines aktiven Ventils in einer Draufsicht und einer Schnittdarstellung.

Figur 1 zeigt eine beispielhafte Ausführungsform eines passiven Ventils, wobei in Figur la eine Draufsicht und in Figur lb ein Querschnitt durch das Ventil dargestellt ist. Figur lc zeigt das Ventil in geöffneter Stellung.

Das Ventil ist aus einem ersten Grundkörper 100 und einem zweiten Grundkörper 200 gebildet, die jeweils aus mehreren Schichten aus einem keramischen Werkstoff gebildet sind. Die Anzahl der Schichten, die den ersten Grundkörper 100 und den zweiten Grundkörper 200 bilden, muss nicht gleich groß sein. Der erste Grundkörper 100 und der zweite Grundkörper 200 sind mit einem Glaslot als Fügematerial 300 fluiddicht zusammengefügt, wobei zwischen dem ersten Grundkörper 100 und dem zweiten Grundkörper 200 eine Kavität 204 gebildet ist. Das Glaslot kann mittels Siebdruck auf zu fügende Oberflächenbereiche mindestens eines der Grundkörper 100 und/oder 200 aufgebracht werden. Zwischen dem ersten Grundkörper 100 und dem zweiten Grundkörper 200 ist eine kreisrunde, elastisch verformbare Membran 206, die aus einem keramischen Material gebildet ist, fixiert.

In dem ersten Grundkörper 100 ist in einer dem zweiten Grundkörper 200 zugewandten Wand 104 und der Oberfläche der Membran 206 eine Zuführung 102 für ein Fluid in die Kavität 204 ausgebildet. Umlaufend um die Zuführung ist ein Dichtelement 101 ausgebildet. In dem zweiten Grundkörper 200 ist eine Abführung 205 für das Fluid aus der Kavität 204 ausgebildet. Außerdem ist in der Kavität 204 eine Durchführung 207 für das Fluid in Form einer Bypassleitung ausgebildet, durch die Fluid bei vom Dichtelement 101 abgehobener Membran 206 strömen kann.

Zur Herstellung des Ventils wurden zunächst der erste Grundkörper 100 und der zweite Grundkörper 200 ausgebildet. Dazu wurden für den ersten Grundkörper 100 mindestens drei Schichten in Form einer Suspension, die einen pulverförmigen keramischen Werkstoff, insbesondere Al ₂ 0 ₃ , Zr0 ₂ , AIN oder Gläser enthält, durch Siebdruck in einer definierten Geometrie übereinander aufgebracht. Für den zweiten Grundkörper 200 wurden mindestens drei Schichten aus dem gleichen Werkstoff mittels Siebdruck in gleicher Form übereinander aufgebracht. Die Schichtdicke der einzelnen aufgebrachten Schichten liegt im Bereich von 10 μιη bis 500 μιη. In einer anderen alternativen Ausführungsform können die Schichten des ersten Grundkörpers 100 und des zweiten Grundkörpers 200 in Form von Grünfolien übereinander gestapelt und laminiert werden.

In dem ersten Grundkörper 100 wurde durch das Aufbringen der Schichten aus einem keramischen Werkstoff in einer definierten Geometrie die Zuführung 102 für das Fluid in das Ventil ausgebildet. Auf gleiche Weise wurde die Abführung 205 für das Fluid in dem zweiten Grundkörper 200 und die Kavität 204 in dem ersten Grundkörper 100 und dem zweiten Grundkörper 200 ausgebildet.

Die Ausbildung der Durchführung 207 für das Fluid wurden Bereiche, die senkrecht zum Schichtaufbau ausgebildet sind, durch Aufbringen der Schichten aus dem keramischem Werkstoff in definierter Geometrie, also durch Aussparungen / Hohlräume innerhalb einer oder mehrerer Schichten erreicht. In Hohl- und Freiräumen, die eine flächige Ausdehnung innerhalb mindestens einer der Schichten aufweisen, wurden Polymere oder Oligomere oder Kohlenstoffe als weiterer Werkstoff, der bei einer thermischen Behandlung entfernt werden kann, in Form einer Paste mittels Siebdruck aufgebracht.

Zur Ausbildung der kreisrunden Membran 206 wurde auf der dem ersten Grundkörper 100 zugewandten Oberfläche des zweiten Grundkörpers 200 im Bereich der Kavität 204 mit Hilfe von Polymeren, Oligomeren oder Kohlenstoff als weiterer Werkstoff, der bei einer thermischen Behandlung entfernt werden kann, in Form einer Paste mittels Siebdruck in mindestens zwei Schichten mit einer Dicke im Bereich von je 10 μιη bis 500 μιη aufgebracht.

In der anderen alternativen Ausführungsform, bei der der zweite Grundkörper 200 mittels keramischer Folien ausgebildet wird, kann die Kavität 204 in den

Schichten unterhalb der herzustellenden Membran 206 mittels Zuschnitt der keramischen Folien in einer geeigneten Geometrie und/oder durch Ablation oder Prägen der ungesinterten keramischen Folien ausgebildet werden.

Darüber wurden zur Ausbildung der elastisch verformbaren Membran 206 mindestens eine Schicht mit einem keramischen Werkstoff, insbesondere LTCC, HTCC oder Glas-Keramik-Komposit mit einer Dicke im Bereich von je 10 μιη bis 500 μιη mittels Siebdruck aufgebracht. Die Membran 206 kann auch in Form mindestens einer Grünfolie aufbracht und laminiert werden.

Auf dem ersten Grundkörper 100 wurde kreisförmig umlaufend um die Zuführung 102 das Dichtelement 101 aufgebracht. Das Dichtelement ist aus Glas, LTCC, HTCC oder Glas-Keramik-Komposit gebildet und wurde mittels Sieboder Schablonendruck in mindestens einer Schichten mit einer Schichtdicke von je 10 μιη bis 500μιη aufgebracht.

Beim Drucken der Schichten wurde eine für das Drucken geeignete Viskosität eingehalten.

Die beiden Grundkörper wurden anschließend einer thermischen Behandlung unterzogen, bei der der keramische Werkstoff gesintert und die Polymere oder Oligomere oder Kohlenstoffe durch thermische Zersetzung entfernt wurde.

Nach der thermischen Behandlung und vor dem Zusammenfügen des ersten Grundkörpers 100 und des zweiten Grundkörpers 200 wurde auf die dem ersten Grundkörper zugewandte Oberfläche der Membran 206 im Bereich des Dichtelements 101 das Verschlusselement 203 aus einem Polymer oder Oli- gomer aufgebracht. Das Verschlusselement wurde in einer Suspension mittels Sieb- oder Schablonendruck auf die Membran mit einer Schichtdicke von 10 μιη bis 500 μιη aufgebracht.

Der erste Grundkörper 100 und der zweite Grundköper 200 wurden dann mittels eines Glaslotes, Epoxidharz, Silikon oder eines metallischen Lotes in Form einer Folie oder siebdruckfähigen Schicht als Fügematerial 300 zusammengefügt.

Das in Figur 2a als Draufsicht und in Figur 2b im Querschnitt dargestellte aktive Ventil wurde im Wesentlichen wie das in Figur 1 dargestellte passive Ventil gefertigt. Dabei wurde vor dem Zusammenfügen des ersten Grundkörpers 100 und des zweiten Grundkörpers 200 eine mechanisch aktive Schicht, wie z.B. eine piezoelektrische Schicht oder ein elektrischer Heizer als aktorisches Element in Form einer Paste oder Suspension mittels Schablonen- oder Siebdruck aufgebracht. Die aufgebrachten Schichten werden in einem weiteren Schritt thermisch behandelt, beispielsweise gehärtet oder gesintert, und anschließend elektrisch kontaktiert. Danach erfolgt das Fügen des ersten Grundkörpers 100 und des zweiten Grundkörpers 200.