Beschreibung

Die Erfindung betrifft einen vektoriellen Netzwerkanalysator gemäß Anspruch 1 .

Aus dem Stand der Technik sind vektorielle Netzwerkanalysatoren bekannt, mit denen das Reflexions- und/oder Transmissionsverhalten (die „S-Parameter") eines elektronischen Bauelementes oder eines Netzwerkes frequenzabhängig gemessen werden kann.

Eine Schwierigkeit besteht in dem Erzeugen und Zuführen eines hochfrequenten elektrischen Signals an das zu vermessende Bauelement, da die elektrischen Verluste etwa von flexiblen Leitungen zu hohen Frequenzen hin überproportional steigen. So werden bei Frequenzen bis 100 GHz verlustreduzierte Leitungen eingesetzt, welche aber nur eine Länge von einigen Dezimetern aufweisen dürfen, um das Messsignal nicht deutlich zu verschlechtern. Zur Erzeugung von Frequenzen oberhalb von 100 GHz werden elektronische Mischerstufen eingesetzt, welche jedoch nur zu sehr hohen Kosten verfügbar sind. Zudem sind derartige Mischerstufen voluminös und führen zu unflexiblen Messaufbauten, da sie mit dem Messobjekt über einen starren Hohlleiter verbunden sein müssen. Des Weiteren kann jede Mischerstufe nur für einen spezifischen Frequenzbereich verwendet werden, wobei für jeden der acht Hohlleiterstandards (WR8 - WR1 , von 90 GHz bis 1 ,1 THz) jeweils eine individuelle, komplexe elektronische Komponente hergestellt werden muss. Eine weitere Möglichkeit zur Durchführung von Hochfrequenzmessungen ist in der US 6,348,683 B1 beschrieben. Dieses Messverfahren erlaubt jedoch u.a. keine Bestimmung der Phasenlage aller transmissiven und reflektierten Messsignale, welche für die Realisierung eines Zweiport-Vektoranalysators notwendig wären.

Das der Erfindung zugrunde liegende Problem besteht darin, einen möglichst kostengünstigen und flexibel handhabbaren Netzwerkanalysator zur Verfügung zu stellen, der eine möglichst umfassende Charakterisierung eines elektronischen Bauelementes insbesondere für Frequenzen bis in den Terahertzbereich ermöglicht.

Dieses Problem wird durch die Bereitstellung des vektoriellen Netzwerkanalysators mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Weiterbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben. Danach wird ein vektorieller Netzwerkanalysator bereitgestellt, mit

- einer Eingangsmessvorrichtung, aufweisend:

- einen Terahertz-Sender zum Beaufschlagen eines Eingangs eines Messobjektes mit einem Terahertz-Signal;

- einen Terahertz-Empfänger zum Empfangen eines über den Eingang des Mess- Objektes abgegebenen Terahertz-Signals;

- einen Terahertz-Referenzempfänger zum Empfangen eines Teils des vom Terahertz-Sender erzeugten Terahertz-Signals;

- einer Ausgangsmessvorichtung, aufweisend:

- einen Terahertz-Sender zum Beaufschlagen eines Ausgangs des Messobjektes mit einem Terahertz-Signal;

- einen Terahertz-Empfänger zum Empfangen eines über den Ausgang des Messobjektes abgegebenen Terahertz-Signals;

- einen Terahertz-Referenzempfänger zum Empfangen eines Teils des vom Terahertz-Sender erzeugten Terahertz-Signals; - einer Schwebungsquelle zum Erzeugen eines optischen Schwebungssignals;

- einer optischen Übertragungsvorrichtung, die das optische Schwebungssignal in mindestens ein erstes und ein zweites Teilsignal aufteilt, wobei die Übertragungsvorrichtung das erste Teilsignal an zumindest einen der Terahertz-Sender und das zweite Teilsignal an zumindest einen der Terahertz-Empfänger und/oder zumindest einen der Terahertz-Referenzempfänger leitet; und

- einer Phasenveränderungseinheit (ein Phasenbeeinflussungselement) zum Variieren der Phase des ersten und/oder des zweiten Teilsignals des optischen Schwebungssignals.

Bei dem erfindungsgemäßen Netzwerkanalysator handelt es sich somit um einen vollständigen Zwei-Port-Netzwerkanalysator, wobei jeweils an einem Eingang und an einem Ausgang des Messobjektes die Transmission und die Reflexion eines in das Messobjekt eingespeisten Terahertz-Messsignals gemessen werden kann. Darüber hinaus ist es möglich, jeweils ein Referenzsignal des von dem Terahertz-Sender erzeugten Terahertz- Signals zu bestimmen, das insbesondere zur Charakterisierung dieses Terahertz-Signals dient. Mit der Phasenveränderungseinheit lässt sich zudem insbesondere eine Phasenverschiebung zwischen dem ersten und dem zweiten (optischen) Teilsignal einstellen, was insbesondere eine Bestimmung der Phasenlage der von den Terahertz-Empfängern erzeugten Messsignale ermöglicht. Bei den Terahertz-Empfängern handelt es sich insbesondere um kohärente Empfänger, z.B. wie in US 6,348,683 B1 . Auf dieses Dokument wird insofern ausdrücklich Bezug genommen.

Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung weist die Eingangsmessvorrichtung und/oder die Ausgangsmessvorichtung einen Wellenleiter mit Richtkopplerwirkung auf, über den das Terahertz-Signal des Terahertz-Senders dem Messobjekt und dem Terahertz- Referenzempfänger, und das vom Messobjekt abgegebene Terahertz-Signal dem Terahertz-Empfänger zuleitbar ist. Bei dem Wellenleiter handelt es sich insbesondere um einen Hohlwellenleiter. Diese Variante der Erfindung ist jedoch nicht auf Wellenleiter in Form von Hohlwellenleitern beschränkt, sondern es sind im Prinzip beliebige wellenleitende Strukturen verwendbar; beispielsweise auch photonische Kristalle. Der Wellenleiter erstreckt sich z.B. zumindest abschnittsweise geradlinig und kann einen im Prinzip beliebigen Querschnitt aufweisen, zum Beispiel einen kreisförmigen oder rechteckigen (insbesondere quadratischen) Querschnitt. Darüber hinaus weist der Wellenleiter einen Ein- gang (insbesondere in Form einer in einer ersten Stirnseite des Wellenleiters ausgeformten Öffnung) und einen Ausgang (insbesondere in Form einer in einer von der ersten Stirnseite abgewandten zweiten Stirnseite des Wellenleiters ausgeformten Öffnung) auf, wobei der Terahertz-Sender insbesondere an und/oder in dem Eingang angeordnet ist. Denkbar ist auch, dass mehr als eine Eingangsmessvorrichtung und/oder mehr als eine Ausgangsmessvorichtung vorhanden sind.

Bei dem Terahertz-Sender handelt es sich beispielsweise um eine Vorrichtung, die einen mit einer Antenne gekoppelten/integrierten. Fotomixer umfasst. Der Fotomixer wiederum besteht entweder aus einem optischen Fotoleiter oder einer optische Fotodiode. Insbesondere wird unter einem Terahertz-Sender bzw. einem Terahertz-Empfänger ein Sender bzw. Empfänger verstanden, der elektromagnetische Strahlung mit Frequenzen bis in den Terahertz-Bereich hinein erzeugt, insbesondere wird der Bereich zwischen 90 GHz bis 3 THz abgedeckt.

Der Aufbau des Terahertz-Empfängers kann dem Aufbau des Terahertz-Senders entsprechen, wobei jedoch der Fotomixer und/oder die Antenne ein abweichendes Design besitzen können (beispielsweise weist der Terahertz-Empfänger keine Fotodiode, sondern einen Fotoleiter auf). Der Terahertz-Sender und die Terahertz-Empfänger können in kompakter Bauweise realisiert werden, so dass die opto-elektronischen„Tastköpfe" des erfindungsgemäßen Netzwerkanalysators, d.h. insbesondere die Hohlwellenleiter mit den ihnen jeweils zugeordneten Terahertz-Sendern und Terahertz-Empfängern, ebenfalls eine insbesondere im Vergleich mit den Tastköpfen der vorbekannten rein elektrischen Netzwerkanalysatoren kompakte Bauform besitzen können. Beispielsweise können durch den erfindungsgemäßen Ansatz teure und unhandlich große elektrische Mischerstufen durch kleinere Tastköpfe (mit kompakteren opto-elektrischen Sendern und Empfängern) ersetzt werden. Diese opto-elektrischen Sender und Empfänger werden z.B. für jeden Hohlleiterstandard (W8-W1 ), nach dem die Hohlwellenleiter ausgelegt sein können, individuell realisiert. Die optische Schwebungsquelle (z.B. mindestens ein als Lichtquelle eingesetzter Laser der optischen Schwebungsquelle) sowie die Phasenveränderungseinheit können jedoch für alle Frequenzen (z.B. auch bis oberhalb von 1 THz) unverändert bleiben. Hierdurch kann ein kleines und damit flexibles Messsystem realisiert werden, welches insbesondere deutlich günstiger herstellbar sein kann als konventionelle, rein elektrische Messsysteme (z.B. um den Faktor 10 günstiger). Die optische Übertragungsvorrichtung des erfindungsgemäßen Netzwerkanalysators um- fasst beispielsweise mindestens einen ersten optischen Wellenleiter (zum Beispiel in Form einer Glasfaser), über den das erste optische Teilsignal an zumindest einen der Terahertz-Sender leitbar ist, und mindestens einen zweiten optischen Wellenleiter, über den das zweite optische Teilsignal an zumindest einen der Terahertz-Empfänger und/oder zumindest einen der Terahertz-Referenzempfänger leitbar ist. Der erste und/oder der zweite optische Wellenleiter sind insbesondere mit dem jeweiligen Fotomixer des Terahertz-Senders, der Terahertz-Empfänger bzw. der Terahertz- Referenzempfänger gekoppelt, zum Beispiel jeweils über eine Abbildungsoptik (etwa in Form einer Linse).

Möglich ist auch, dass der erfindungsgemäße vektorielle Netzwerkanalysator einen mit dem (z.B. als Hohlwellenleiter ausgebildeten) Wellenleiter gekoppelten weiteren Wellen- leiter (z.B. in Form eines weiteren Hohlwellenleiters) aufweist, wobei mindestens ein Übergang (insbesondere ein Durchgang) vorhanden ist, über den ein Terahertz-Signal aus dem Wellenleiter in den weiteren Wellenleiter überkoppeln kann. Beispielsweise ist ein erster und ein zweiter Übergang vorhanden, über die ein Terahertz-Signal aus dem Wellenleiter in den weiteren Wellenleiter überkoppeln und zu dem Terahertz-Empfänger und dem Terahertz-Referenzempfänger gelangen kann. Insbesondere bei Verwendung zweiter Hohlwellenleiter als erster und zweiter Wellenleiter werden der erste und der zweite Übergang jeweils insbesondere durch miteinander fluchtende Öffnungen in Seitenwänden des Hohlwellenleiters und des weiteren Hohlwellenleiter ausgebildet. Beispielsweise befinden sich die Öffnungen jeweils in Seitenabschnitten des Hohlwellenlei- ters und des weiteren Hohlwellenleiters, die zumindest näherungsweise parallel (und insbesondere geradlinig) zueinander verlaufen.

Um einen möglichst breiten Frequenzbereich der Terahertz-Signale aus dem Wellenleiter in den weiteren Wellenleiter überkoppeln zu können, ist es auch möglich, dass mehr als zwei Übergänge vorgesehen sind. Über den Durchmesser und/oder den Abstand der Übergänge voneinander lässt sich zudem der Koppelfaktor in Bezug auf das Überkoppeln der Terahertz-Wellen aus dem Wellenleiter in den weiteren Wellenleiter festlegen.

Gemäß einer anderen Ausgestaltung der Erfindung weist der weitere Wellenleiter einen ersten Ausgang auf, über den ein Terahertz-Signal (z.B. das in den weiteren Hohlwellen- leiter übergekoppelte, vom Messobjekt abgegebene Terahertz-Signal) dem Terahertz- Empfänger zuleitbar ist. Der Ausgang ist insbesondere in Form einer Öffnung in einer dem Terahertz-Empfänger zugewandten Stirnseite des weiteren Wellenleiter ausgebildet. Möglich ist auch, dass der weitere Wellenleiter einen zweiten Ausgang aufweist, über den ein Terahertz-Signal (z.B. das in den weiteren Wellenleiter übergekoppelte Terahertz- Signal des Terahertz-Senders) dem Terahertz-Referenzempfänger zuleitbar ist. Der zweite Ausgang ist analog zum ersten Ausgang ebenfalls insbesondere in Form einer Öffnung (in einer weiteren Stirnseite) des Wellenleiter ausgeformt. Denkbar ist, dass der weitere Wellenleiter einen geradlinig verlaufenden Abschnitt aufweist, der parallel zu zu- mindest einem Abschnitt des Wellenleiters verläuft. Darüber hinaus kann der weitere Wellenleiter Endabschnitte besitzen, die sich unter einem Winkel zu dem geradlinig verlaufenden Abschnitt erstrecken. Beispielsweise ist der weitere Wellenleiter (in seitlicher Draufsicht) zumindest näherungsweise U- oder V-artig ausgebildet. Möglich ist darüber hinaus, dass mit dem Wellenleiter eine (z.B. flexible) Hochfrequenzleitung (etwa eine Koaxial- oder Koplanarleitung) gekoppelt ist, über die aus dem Wellenleiter austretende Terahertz-Strahlung dem Messobjekt zugeleitet wird. Beispielsweise ist ein Konverter vorgesehen, über den der Wellenleiter, d.h. der messobjektseitige Ausgang des Wellenleiters, mit der Hochfrequenzleitung verbunden ist. Denkbar ist auch, dass ein durchgehender Wellenleiter (z.B. ein durchgehender Hohlwellenleiter verwendet wird), der das Signal von dem Terahertz-Sender bis zum dem Messobjekt leitet.

Gemäß einer anderen Weiterbildung weist der erfindungsgemäße Netzwerkanalysator ein abbildendes Element auf, über das das Terahertz-Signal des Terahertz-Senders in den Wellenleiter einkoppelbar ist. Das abbildende Element ist insbesondere aus einem dielektrischen Material oder einem Metamaterial ausgebildet, wobei es sich zum Beispiel um eine Linse handelt, die etwa planar oder zumindest teilweise sphärisch ausgebildet ist. Darüber hinaus kann jeweils ein abbildendes Element, z.B. ebenfalls eine (etwa wie oben erwähnt ausgebildete) Linse, vorhanden sein, über die Terahertz-Wellen aus dem weiteren Wellenleiter ausgekoppelt werden. Denkbar ist, dass den Ausgängen des weiteren Wellenleiters jeweils ein derartiges abbildendes Element zugeordnet ist, mit dem jeweils insbesondere die sich im weiteren Wellenleiter ausbreitenden Terahertz-Wellen auf den Fotomixer des Terahertz-Empfängers bzw. auf den Fotomixer des Terahertz- Referenzempfängers abgebildet werden.

Nach einem anderen Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Netzwerkanalysators weist dessen Phasenveränderungseinheit eine mechanisch verstellbare optische Verzögerungsstrecke auf. Beispielsweise umfasst die Verzögerungsstrecke zwei unter einem Winkel zueinander angeordnete Umlenkelemente, die gemeinsam linear bewegbar sind. Derartige mechanische Verzögerungsstrecken sind jedoch an sich bekannt, so dass hierauf nicht weiter eingegangen wird.

Denkbar ist auch, dass die Phasenveränderungseinheit einen Phasenmodulator umfasst. Beispielsweise handelt es sich um einen polarisationsselektiven Phasenmodulator, der unterschiedlich polarisierte Komponenten des Sehwebungssignals unterschiedlich beeinflusse Beispielsweise wird nur eine der Komponenten des optischen Sehwebungssignals phasenverschoben. Auf diese Weise lässt sich ohne mechanische Verzögerungsstrecke eine Phasenverschiebung zwischen dem ersten und dem zweiten Teilsignal des optischen Sehwebungssignals erzeugen. Dieses Verfahren ist insbesondere in dem Patent EP 2 488 917 B1 beschrieben, auf das insofern hiermit ausdrücklich Bezug genommen wird.

Die optische Schwebungsquelle weist zum Beispiel zwei Laser mit geringfügig unterschiedlicher Emissionswellenlänge auf. Die emittierte Strahlung der beiden Laser wird überlagert, wodurch das optische Schwebungssignal entsteht. Denkbar ist, dass zur Überlagerung der von den Lasern erzeugten Strahlung ein optischer Koppler verwendet wird. Beispielsweise wird die von den Lasern jeweils emittierte Strahlung über eine Glasfaser in den Koppler geleitet. Der Koppler kann darüber hinaus gleichzeitig zum Aufteilen des durch das Überlagern der Laserstrahlung erzeugten Sehwebungssignals in das erste und das zweite Teilsignal dienen. Beispielsweise weist der Koppler zwei Ausgänge auf, über die das erste bzw. das zweite Teilsignal an mindestens einen der Terahertz-Sender bzw. an mindestens einen der Terahertz-Empfänger und/oder an mindestens einen der Terahertz-Referenzempfänger geleitet wird.

Denkbar ist darüber hinaus, dass die Phasenveränderungseinheit (zum Beispiel in Form des oben bereits erwähnten Phasenmodulators) in einer der vom Koppler wegführenden Ubertragungsstrecke vorgesehen ist. Die wegführende Ubertragungsstrecke ist z.B. durch mindestens eine Glasfaser realisiert.

Gemäß einer anderen Ausgestaltung der Erfindung weist die Schwebungsquelle einen Zweimodenlaser auf, der gleichzeitig zwei Moden geringfügig unterschiedlicher Wellenlänge erzeugt, wobei sich die Moden bereits im Laser überlagern und der Laser somit unmittelbar das optische Schwebungssignal abgibt. Das Aufteilen dieses Schwebungs- signals in das erste und das zweite Teilsignal kann dann zum Beispiel über einen entsprechenden Splitter erfolgen.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Figuren näher erläutert. Es zeigen:

Figur 1 eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Netzwerkanaly- sators;

Figur 2 eine Variante des Netzwerkanalysators aus Figur 1 ;

Figur 3 eine weitere Variante des Netzwerkanalysators aus Figur 1 ;

Figur 4 eine schematische Darstellung eines Teiles eines erfindungsgemäßen

Netzwerkanalysators;

Figur 5 eine schematische Darstellung einer Hohlleiteranordnung des erfindungsgemäßen Netzwerkanalysators;

Figur 6 ein Detail der Hohlleiteranordnung aus Figur 5;

Figur 7 ein weiteres Detail der Hohlleiteranordnung aus Figur 5;

Figur 8 ein weiteres Detail der Hohlleiteranordnung aus Figur 5;

Figur 9 eine perspektivische Ansicht eines Terahertz-Senders eines erfindungsgemäßen Netzwerkanalysators. Der in Figur 1 dargestellte erfindungsgemäße Netzwerkanalysator 1 umfasst eine Eingangsmessvorrichtung 10 sowie eine Ausgangsmessvorichtung 20. Die Eingangs- und die Ausgangsmessvorichtung 10, 20 weisen jeweils einen Terahertz-Sender 1 1 bzw. 21 auf, wobei der Terahertz-Sender 1 1 der Eingangsmessvorrichtung 10 zum Beaufschlagen eines Einganges 31 eines Messobjektes 30 („DUT") und der Terahertz-Sender 21 der Ausgangsmessvorrichtung 20 zum Beaufschlagen eines Ausgangs 32 des Messobjektes 30 dienen. Das von den Terahertz-Sendern 1 1 , 21 ausgesandte Terahertz-Signal wird jeweils über einen Wellenleiter in Form eines (insbesondere starren) Hohlwellenleiters 15, 17 an das Messobjekt 30 übertragen, wobei die Terahertz-Sender 1 1 , 21 jeweils an und/oder in einem Ausgang des jeweiligen Hohlwellenleiters 15, 17 angeordnet sind. Ein Beispiel für die Anordnung der Terahertz-Sender 1 1 , 21 an den Hohlwellenleitern 15, 17 wird weiter unten anhand der Figur 4 erläutert. Es wurde bereits oben darauf hingewiesen, dass die Erfindung natürlich nicht auf die Verwendung eines Hohlwellenleiters zur Führung der Terahertz-Signale beschränkt ist. Vielmehr können im Prinzip beliebige Typen von richtkoppelnden Wellenleitern verwendet werden. Die Eingangs- und die Ausgangsmessvorichtung 10, 20 weisen des Weiteren jeweils einen Terahertz-Empfänger 12 bzw. 22 auf. Der Terahertz-Empfänger 12 der Eingangsmessvorrichtung 10 dient zum Empfangen eines über den Eingang 31 des Messobjektes 30 abgegebenen Terahertz-Signals, zum Beispiel eines von dem Messobjekt 30 reflektierten oder durch das Messobjekt 30 hindurch transmittierten Signals. Analog ist der Terahertz-Empfänger 12 der Ausgangsmessvorichtung 20 zum Empfang eines über den Ausgang 32 des Messobjektes 30 abgegebenen Terahertz-Signals vorgesehen.

Die Eingangs- und die Ausgangsmessvorichtung 10, 20 weisen zudem jeweils einen Terahertz-Referenzempfänger 13 bzw. 23 auf, mit denen jeweils ein Teil der von den jeweiligen Terahertz-Sender 1 1 , 21 erzeugten Terahertz-Strahlung empfangen werden kann. Die Referenzempfänger 13, 23 dienen somit insbesondere zur Charakterisierung der von den Terahertz-Sendern 1 1 , 21 abgegebenen Terahertz-Strahlung. Es wird darauf hingewiesen, dass die Positionen des Terahertz-Empfängers 12, 22 und des Terahertz- Referenzempfängers 13, 23 auch vertauscht sein können, so dass der Terahertz- Empfänger 12, 22 jeweils auch näher an dem Terahertz-Sender 1 1 , 21 liegen kann als der Terahertz-Referenzempfänger 13, 23. Denkbar ist natürlich auch, dass die Terahertz- Empfänger 12, 22 und die Terahertz-Referenzempfängers 13, 23 zumindest näherungsweise den gleichen Abstand von dem jeweiligen Terahertz-Sender 1 1 , 21 haben.

Der vektorielle Netzwerkanalysator 1 umfasst darüber hinaus eine optische Schwe- bungsquelle 40, mit der ein optisches Schwebungssignal erzeugt werden kann. Im Ausführungsbeispiel der Figur 1 umfasst die Schwebungsquelle 40 einen ersten und zweiten Laser 41 , 42, die geringfügig gegeneinander verstimmt sind, d.h. geringfügig andere Emissionswellenlängen λ1 , λ2 besitzen. Die von den Lasern 41 , 42 erzeugte Strahlung wird in einem Koppler 4 überlagert, wodurch das gewünschte optische Schwebungssignal entsteht. Das von den Lasern 41 , 42 erzeugte Licht wird über Glasfasern 43, 44 in den Koppler 4 eingeleitet. Der Koppler 4 ist zudem Bestandteil einer optischen Übertragungsvorrichtung 50 des Netzwerkanalysators 1 , die das optische Schwebungssignal in ein erstes und ein zweites Teilsignal TS1 , TS2 aufteilt. Das erste optische Teilsignal TS1 ist über eine mit dem Koppler 4 verbundene Glasfaser 51 dem Terahertz-Sender 1 1 der Eingangsmessvorrichtung 10 und/oder dem Terahertz-Sender 21 der Ausgangsmessvorichtung 20 zuleitbar. Die Übertragungsvorrichtung 50 umfasst des Weiteren einen optischen Schalter 54, über den das über die Glasfaser 51 geführte Licht (d.h. das erste Teilsignal TS1 ) entweder dem Terahertz-Sender 1 1 der Eingangsmessvorrichtung 10 oder dem Terahertz-Sender 21 der Ausgangsmessvorichtung 20 zugeführt wird. Des Weiteren umfasst die optische Übertragungsvorrichtung 50 eine weitere Glasfaser 52, mit der das zweite Teilsignal TS2 den kohärenten Terahertz-Empfängern 12, 23 sowie den kohärenten Referenzempfängern 13, 23 der Eingangs- bzw. der Ausgangsmessvorichtung 10, 20 zuleitbar ist. Insbesondere wird das über die Glasfaser 52 von dem Koppler 4 weggeführte zweite Teilsignal TS2 über einen Splitter 53 auf weitere Glasfa- serverbindungen 521 - 523 aufgeteilt. Die Glasfaserverbindungen 522 und 523 leiten das zweite Teilsignal TS2 zu den Terahertz-Empfängern 12, 23, während über die Glasfaserverbindung 521 das zweite Teilsignal TS2 entweder dem Referenzempfänger 13 der Eingangsmessvorrichtung 10 oder dem Referenzempfänger 23 der Ausgangsmessvorichtung 20 zugeführt wird. Möglich ist, dass ein weiterer optischer Schalter 55 vorgesehen ist, über den entweder der Referenzempfänger 13 oder der Referenzempfänger 23 mit demjenigen Ausgang des Kopplers 4 verbunden ist (über den Splitter 53), der das zweite Teilsignal TS2 aussendet. Der erfindungsgemäße Netzwerkanalysator 1 umfasst des Weiteren eine Phasenveränderungseinheit 60, mit der die Phase des ersten Teilsignals TS1 relativ zu der Phase des zweiten Teilsignals TS2 verändert werden kann. Die Phasenveränderungseinheit 60 ist mit der Glasfaser 51 , über die das erste Teilsignal TS1 übertragen wird, gekoppelt. Denkbar ist natürlich auch, dass die Phasenveränderungseinheit 60 so angeordnet wird, dass sie nicht auf das erste Teilsignal TS1 , sondern auf das zweite Teilsignal TS2 wirkt. Dies wird insbesondere dadurch realisiert, dass die Phasenveränderungseinheit 60 nicht mit der Glasfaser 51 , sondern mit der Glasfaser 52 gekoppelt wird. Mögliche Ausführungen der Phasenveränderungseinheit 60 sind in den Figuren 2 und 3 dargestellt. Gemäß Figur 2, die im Übrigen der Figur 1 entspricht, umfasst die Phasenveränderungseinheit 60 eine mechanische optische Verzögerungsstrecke 61 . Die mechanische Verzögerungsstrecke 61 weist genauer zwei Umlenkelemente 61 1 , 612 auf, die unter einem Winkel gegeneinander orientiert sind. Das über die Glasfaser 51 von dem Koppler 4 weggeleitete erste Teilsignal TS1 wird in die Verzögerungsstrecke 61 per Freistrahl ein- gekoppelt und in einen Teilabschnitt der Glasfaser 51 eingespeist. Über die Position der Umlenkelemente 61 1 , 612 wird die optische Weglänge, die das erste Teilsignal TS1 zurücklegen muss, und damit die Phase des ersten Teilsignals TS1 relativ zu dem zweiten Teilsignal TS2 eingestellt. Derartige Verzögerungsvorrichtung sind jedoch an sich bekannt.

Figur 3 zeigt eine alternative Ausgestaltung der Phasenveränderungseinheit 60. Hiernach weist die Phasenveränderungseinheit 60 einen polarisationsselektiven Phasenmodulator 62 auf. Der Phasenmodulator 62 ist so beschaffen, dass er nur auf die Phase einer der beiden optischen Komponenten des optischen Schwebungssignals wirkt. Mit anderen Worten wirkt der Phasenmodulator 62 nur auf die von einem der beiden Laser 41 , 42 erzeugte (und eine der erwähnten optischen Komponenten des Schwebungssignals bildende) Strahlung. Vorliegend weist die Strahlung des ersten Lasers 41 eine TE- Polarisation und die Strahlung des zweiten Lasers 42 eine TM-Polarisation auf. Der Phasenmodulator 62 ist nun so beschaffen, dass er nur die Phase des TE-polarisierten Lichts, d.h. die Phase der Strahlung des ersten Lasers 41 verändert, während die Phase der in dem optischen Schwebungssignal enthaltenen TM-polarisierten Strahlung des zweiten Laser 42 unverändert bleibt. In einem nachgeschalteten Polarisator 63 der Phasenveränderungseinheit 60, der hauptsächlich oder ausschließlich Licht einer Polarisation, die unter einem Winkel gegenüber der Polarisation des von den Lasern 41 , 42 erzeugten Lichts orientiert ist, transmittiert, werden die beiden Komponenten des optischen Schwebungssignals überlagert, wodurch das gegenüber dem zweiten Teilsignal TS2 phasenverschobene Signal entsteht. Diese Art der Realisierung der Phasenverschiebung ist für sich genommen in dem bereits oben erwähnten europäischen Patent EP 2 488 917 B1 beschrieben.

Das zu den Terahertz-Empfängern 12, 23 und den Terahertz-Referenzempfängern 13, 23 geleitete zweite Teilsignal TS2 (d.h. der jeweils durch den Splitter 53 erzeugte Teil) hiervon) wird ebenfalls durch Polarisatoren 531 - 533 geleitet. Die Polarisatoren 531 - 533 weisen insbesondere ähnliche oder identische Eigenschaften wie der Polarisator 63 auf.

Figur 4 zeigt eine Ausführungsform des Hohlwellenleiters 15 der Eingangsmessvorrich- tung 10 in vergrößerter Darstellung. Der Hohlwellenleiter 15 weist einen Ausgang in Form einer in einer Stirnseite des Hohlwellenleiters 15 ausgebildeten Öffnung 151 auf, der der Terahertz-Sender 1 1 zugeordnet ist. Wie oben bereits erwähnt, weist der Terahertz- Sender 1 1 eine mit einer Antenne 1 1 1 gekoppelte Fotodiode 1 12 auf. Der Terahertz- Sender 1 1 befindet sich zumindest zum Teil innerhalb des Hohlwellenleiters 15, wobei der Terahertz-Sender 1 1 zum Beispiel über die Öffnung 151 in das Innere des Hohlwellenleiters 15 hineinragt. Denkbar ist auch, dass sich der Terahertz-Sender 1 1 vollständig im Innern des Hohlwellenleiters 15 befindet und lediglich das aus der Glasfaser 51 ausgekoppelte Licht über die Öffnung 151 auf die Fotodiode 1 12 des Terahertz-Senders 1 1 gestrahlt wird. Möglich ist natürlich auch, dass der Terahertz-Sender 1 1 vollständig au- ßerhalb des Hohlwellenleiters 15 angeordnet ist.

Zur Kopplung des aus der Glasfaser 51 austretenden Lichts mit dem Terahertz-Sender 1 1 , d.h. mit dessen Fotodiode 1 12, kann ein abbildendes Element in Form einer Linse 1 13 vorgesehen sein. Die von der Antenne 1 1 1 des Terahertz-Senders 1 1 abgestrahlten Terahertz-Wellen breiten sich im Innern des Hohlwellenleiters 15 bis zu seinem hinteren Ausgang (Öffnung 152, die sich in der dem Terahertz-Sender 1 1 abgewandten Stirnseite des Hohlwellenleiters 15 befindet) aus. Im Bereich der Öffnung 152 des Hohlwellenleiters 15 befindet sich ein Konverter 1 14, über den das im Hohlleiter 15 geführte Terahertz- Signal in eine Hochfrequenzleitung 16 eingekoppelt werden kann. Diese Hochfrequenzleitung kann je nach gewünschtem Frequenzband unterschiedlich ausgeführt sein. Beispielhaft seien Hohlleiter, Koaxialleiter oder eine Koplanarleitung genannt. Die Hochfrequenzleitung 16 führt das Terahertz-Signal zu dem Messobjekt 30, wobei das Koaxialkabel 16 insbesondere mit mindestens einer Kontaktfläche des Messobjektes 30, zum Bei- spiel einer Signal-Kontaktfläche 301 einer GSG-Kontaktanordnung, verbunden ist. Die Hochfrequenzleitung 16 bildet zusammen mit dem Hohlwellenleiter 15 gewissermaßen einen Tastkopf des Netzwerkanalysators.

Der Hohlwellenleiter 15 weist darüber hinaus Öffnungen 153, 154 auf, über die ein Teil des im Hohlwellenleiter 15 geführten Terahertz-Signals an den Terahertz-Empfänger 12 bzw. an den Terahertz-Referenzempfänger 13 geleitet wird. Die Ankopplung der Empfänger 12, 13 erfolgt insbesondere analog zur Ankopplung des Terahertz-Senders 1 1 an den Hohlwellenleiter 15. Die Kopplung des Terahertz-Senders 21 bzw. der Terahertz- Empfänger 22, 23 an den Hohlwellenleiter 17 der Ausgangsmessvorichtung 20 erfolgt insbesondere ähnlich oder identisch zu der Kopplung des Terahertz-Senders 21 bzw. der Terahertz-Empfänger 12, 13 der Eingangsmessvorrichtung 10 an den Hohlwellenleiter 15.

In Figur 5 ist eine weitere Möglichkeit zur Einkopplung eines Terahertz-Signals in den Terahertz-Empfänger (MR) 12 und in den Terahertz-Referenzempfänger (RR) 13 illustriert, wobei die Positionen des Terahertz-Empfängers 12 und des Terahertz- Referenzempfängers 13 gegenüber der Variante der Fig. 1 vertauscht sind. Die Einkopplung in den Terahertz-Empfänger 23 und den Terahertz-Referenzempfänger 22 der Aus- koppelmessvorrichtung 20 kann identisch realisiert sein.

Gemäß Fig. 5 ist ein weiterer Wellenleiter in Form eines weiteren Hohlwellenleiters 18 vorhanden, der mit dem Hohlwellenleiter 15 gekoppelt ist. Zur Kopplung der beiden Hohlwellenleiter 15, 18 ist ein erster und ein zweiter Durchgang 181 , 182 vorhanden, über den ein Teil eines sich in dem Hohlwellenleiter 15 ausbreitenden Terahertz-Signals in den weiteren Hohlwellenleiter 18 überkoppeln kann. Die Durchgänge 181 , 182 sind durch miteinander fluchtende Öffnungen in einander angrenzenden (insbesondere einander anliegenden) Seitenwänden der Hohlwellenleiter 15, 18 ausgebildet. Über den Abstand der Durchgänge (insbesondere ihrer Mitten) 181 , 182 lässt sich der Kopplungsfre- quenzbereich festlegen. Beispielsweise beträgt der Abstand λ/4 (λ: Wellenlänge der sich im Hohlwellenleiter 15 ausbreitenden Terahertz-Wellen). Denkbar ist auch, dass mehr als zwei Durchgänge vorgesehen sind, insbesondere, um den Frequenzbereich der überkoppelnden Wellen zu vergrößern. Darüber hinaus könnte anstelle der Hohlwellenleiter 15, 18 eine andere (nicht als Hohlwellenleiter ausgebildete) richtkoppelnde Struktur (oder mehrere richtkoppelnde Strukturen) verwendet werden, wie bereits oben erläutert.

Der weitere Hohlwellenleiter 18 weist eine zumindest näherungsweise U-förmige Gestalt auf, wobei von einem sich geradlinig erstreckenden Mittelstück 183 zwei Endabschnitte 184, 185 (zum Beispiel senkrecht) abstehen. Die Endabschnitte 184, 185 besitzen jeweils in ihrer Stirnseite einen Ausgang in Form einer Öffnung 1841 , 1851 , über die die Empfänger, d.h. der Terahertz-Empfänger 12 und der Terahertz-Referenzempfänger 13, mit dem weiteren Hohlwellenleiter 18 gekoppelt sind. Insbesondere erfolgt die Kopplung der Empfänger 12, 13 analog zur in Zusammenhang mit der Figur 4 beschriebenen Kopplung des Terahertz-Senders 1 1 mit dem Hohlwellenleiter 15.

Eine Möglichkeit der Einkopplung des aus der Glasfaser 51 austretenden Lichtes mit dem Terahertz-Sender 1 1 ist in Figur 6 gezeigt (Bereich„P1 " in Fig. 5). Danach wird das aus der Glasfaser 51 austretende Licht über die Linse 1 13 auf den Terahertz-Sender 1 1 geleitet. Die von der Antenne 1 1 1 abgestrahlte Terahertz-Strahlung wird zudem über eine geeignete Linse 1 15 in den Hohlwellenleiter 15 eingekoppelt. Denkbar ist auch, dass sich die Fotodiode 1 12 und die Antenne 1 1 1 des Terahertz-Senders 1 1 , wie in Figur 4 gezeigt, zumindest teilweise im Innern des Hohlwellenleiters 15 befinden. Entsprechend wäre auch die Linse 1 15 im Innern des Hohlwellenleiters 15 angeordnet. Denkbar ist auch, dass der Terahertz-Sender 1 1 einen vor der Antenne 1 1 1 angeordneten oder von der Antenne 1 1 1 ausgebildeten Reflektor 1 16 aufweist.

Die Ankopplung der Terahertz-Empfänger 12, 13 kann analog erfolgen, wie in Figur 7 gezeigt. Danach wird das zweite optische Teilsignal TS2 über die Glasfaser 521 an den Terahertz-Empfänger 12 geleitet und über ein abbildendes Element in Form einer Linse 1 13' auf eine Fotodiode 1 12' des Terahertz-Empfängers 12 fokussiert. Die aus dem Ausgang 1841 des Endabschnitts 184 des weiteren Hohlwellenleiters 18 austretende Tera- hertz-Strahlung wird über eine Linse 1 15' mit einer Antenne 1 1 1 ' (insbesondere in Form einer Breitbandantenne) gekoppelt. Der bei Empfang einer Terahertz-Welle von dem Terahertz-Empfänger 12 erzeugte Strom kann hinsichtlich der Amplitude und Phase der empfangenen Terahertz-Strahlung in an sich bekannter Weise ausgewertet werden.

Figur 8 zeigt den an oder in dem hinteren Ende des Hohlwellenleiters 15 angeordneten Konverter 1 14. Der Konverter 1 14 weist ein Substrat 1 141 auf, auf dem eine Leiterstruk- tur 1 142 aufgebracht ist. Die Leiterstruktur 1 142 verjüngt sich von der Ausgangsöffnung 152 des Hohlwellenleiters 15 zum Koaxialkabel 16 hin. Insbesondere weist die Leiterstruktur 1 142 auf seiner dem Hohlwellenleiter 15 zugewandten Seite zwei (oder mehr) voneinander beabstandete Leiterabschnitte auf, die sich zu einem einzigen Leiterabschnitt auf der dem Koaxialkabel 16 zugewandten Seite des Konverters 1 14 vereinigen.

In Figur 9 ist eine mögliche Variante der Terahertz-Sender 1 1 , 21 gezeigt. Danach um- fasst der Terahertz-Sender 1 1 , 21 eine Antenne 1 1 1 1 (etwa in Form einer Bow-Tie- Antenne) sowie eine mit der Antenne 1 1 1 1 gekoppelte Fotodiode 1 12 sowie eine mit der Antenne 1 1 1 1 verbundene Biasversorgung 1 1 1 . Die Biasversorgung 1 1 1 , die Bow Tie Antenne 1 1 1 1 und die Fotodiode 1 12 befinden sich auf einem gemeinsamen Substrat 100. Denkbar ist, dass in oder an dem Substrat 100 ein Wellenleiter 101 ausgebildet ist, über den Licht der Fotodiode 1 12 zugeleitet wird. Bei der Fotodiode 1 12 kann es sich um ein integriert optisches Standard-Bauelement handeln, das z.B. auch in Datenübertragungssystem eingesetzt wird.