本発明の油剤中、(A)プロピレングリコール� ��配合量に対する(B)ジエチレングリコールの� ��合量は1.50~1.80倍である。この範囲外では、� ��エーハの一部がスライス台より落下する「� ��れ」の現象が起こり易くなったり、切断用� ��イヤーへの砥粒付着性(乗り)が劣ってくる� �向がある。
 本発明の油剤中、成分(A)のプロピレングリ� ��ールの含有量は好ましくは30~33質量%である� ��30質量%未満では切断用ワイヤーへの砥粒付� ��性(乗り)が劣ってくる傾向があり、33質量%� �超えると「割れ」が発生し易くなる傾向が� �る。
 本発明の油剤中、成分(B)のジエチレングリ� ��ールの含有量は好ましくは45~59質量%である� ��45質量%未満では「割れ」が発生し易くなる� ��向があり、59質量%を超えると切断用ワイヤ� ��への砥粒付着性(乗り)が劣ってくる傾向が� �る。

 本発明に使用する成分(C)のジカルボン酸塩� ��、スラリーにした場合の、砥粒の分散性、� ��分散性、ワイヤーへの砥粒の付着性等に寄� ��している。本発明に使用されるジカルボン� ��塩の好ましい例としては、炭素原子数8~20の ジカルボン酸と炭素原子数2~12のアルカノー� �アミンの塩が挙げられる。ジカルボン酸は� �ましくは芳香族ジカルボン酸であり、具体� �としては、フタル酸、イソフタル酸、テレ� �タル酸が挙げられる。アルカノールアミン� �具体例としてはモノエタノールアミン、ジ� �タノールアミン、トリエタノールアミン、� �ノイソプロパノールアミン、ジイソプロパ� �ールアミン、トリイソプロパノールアミン� �モノメチルエタノールアミン、ジエチルエ� �ノールアミン等が挙げられる。
 本発明に使用するジカルボン酸塩の水に対� ��る溶解度は20℃において5g/100g水以上である� ��とが望ましい。5g/100g水未満では、ジカルボ ン酸塩が折出しやすく、好ましくない。
 本発明の油剤中、ジカルボン酸塩の含有量� ��好ましくは0.5~10質量%、さらに好ましくは0.5 ~5質量%、最も好ましくは0.5~2質量%である。0.5 質量%未満では、スラリー中の砥粒の分散性� �上効果が充分でなく、又10質量%を超えても� �分散性向上効果が飽和し、経済的に不利で� �る。

 本発明に使用される、成分(D)のアルキレン� ��リコールのアルキレンオキサイド付加物と� ��ては、エチレングリコール及び/又はプロピ レングリコールの、エチレンオキサイド及び /又はプロピレンオキサイド付加物が挙げら� �る。付加モル数は好ましくは5~100、さらに好 ましくは10~80であり、分子量は好ましくは500~ 5000、さらに好ましくは1000~2000である。
 上記アルキレングリコールのアルキレンオ� ��サイド付加物の水に対する溶解度は5g/100g水 以上であることが望ましい。
 本発明の油剤中、成分(D)のアルキレングリ� ��ールのアルキレンオキサイド付加物の含有� ��は、好ましくは2~10質量%、さらに好ましく� �3~10質量%である。含有量が2質量%未満では、� ��粒のワイヤーに対する付着性向上効果が低� ��、10質量%を超えても効果が飽和し、不経済� ��ある。

 本発明の油剤を使用して切断加工するの� ��適した被加工材料の例としては、電子産業� ��野で広く使用されている脆性材料が挙げら� ��、具体例としては、シリコン(単結晶、多結 晶)、ガリウム砒素等の半導体、アルミナ、� �化ジルコニウム等のセラミックス、石英ガ� �ス、ケイ酸ガラス等のガラスが挙げられる� �脆性材料が、シリコン系である場合は、油� �のpHは5~9とすることが望ましい。この場合、 塩基性物質としては、無機塩基性物質より有 機塩基性物質を使用することが望ましい。特 に、塩基性のマイルドなトリエタノールアミ ン、トリイソプロパノールアミン等の第3級� �ルカノールアミンが望ましい。

 本発明の油剤に使用する水としては、超� ��水、蒸留水、イオン交換水、水道水、市水� ��工業用水等のいずれを用いても良く、水の� ��有量は好ましくは5~22.5質量%である。水の含 有量が22.5質量%を超えると、スラリーの粘度� ��低くなり過ぎて、切断加工性能が低下する� ��とがある。又、5質量%未満では、切断加工� �の熱の発生によりスラリー中の水分(油剤中� ��水分)が蒸発し、油剤自身に引火性を生じ水 溶性油剤としての特性が失なわれるおそれが ある。

 本発明の油剤は、成分(A)~(E)を、適当な温度 条件下、例えば、40~70℃程度で混合溶解させ� ��ことにより容易に製造できる。その際、必� ��に応じて、界面活性剤(アニオン系、ノニオ ン系)、水溶性増粘剤、防腐剤、防カビ剤、� �鉄金属防食剤、pH緩衝剤等を適宜添加含有さ せても良い。
 本発明の油剤は、通常は油剤と砥粒(例えば GC 緑色炭化珪素砥粒)を質量比で油剤:砥粒=1. 0:0.8~1.0:1.5(例えば、1.0:0.9)で混合して脆性材� �の切断加工用スラリーとして使用される。