本発明の油剤中、成分(A)のグリセリンの含� ��量は、5~80質量%であり、好ましくは、10~60質 量%である。5質量%未満では、ワイヤへの砥粒 の付着性を改善することができない。また80� ��量%を超えると、原液粘度が上昇し、取扱い が困難である。
 本発明の油剤中、成分(B)のジエチレングリ� ��ール及び/又はプロピレングリコールの含有 量は、3~60質量%であり、好ましくは、20~50質� �%でる。3質量%未満では、ワイヤへの砥粒の� �着性を改善することができない。また60質量 %を超えると、砥粒のワイヤに対する付着性� �上効果が低下する。

 本発明の油剤中、成分(C)の芳香族多価カル� ��ン酸塩を構成する芳香族多価カルボン酸と� ��ては炭素数8~20のジ、トリ、及びテトラカル ボン酸が挙げられる。具体例としては、フタ ル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメ リット酸、ピロメリット酸、等が挙げられる 。
 成分(C)の芳香族多価カルボン酸塩を構成す� ��塩としては、炭素数2~12のアルカノールアミ ン塩が挙げられる。アルカノールアミンの具 体例としてはモノエタノールアミン、ジエタ ノールアミン、トリエタノールアミン、モノ イソプロパノールアミン、ジイソプロパノー ルアミン、トリイソプロパノールアミン、モ ノメチルエタノールアミン、ジエチルエタノ ールアミン等が挙げられる。
 本発明に使用する成分(C)の芳香族多価カル� ��ン酸塩の水に対する溶解度は20℃において5g /100g水以上であることが望ましい。5g/100g水未 満では、芳香族多価カルボン酸塩が折出しや すく、好ましくない。
 本発明の油剤中、芳香族多価カルボン酸塩� ��含有量は0.3~20質量%、好ましくは0.3~10質量%� �さらに好ましくは0.7~7質量%である。0.3質量%� ��満では、スラリー中の砥粒の分散性向上効� ��が充分でなく、又20質量%を超えても、分散� ��向上効果が飽和し、経済的に不利である。

 本発明の油剤中、成分(D)の多価アルコール� ��導体としては、エチレングリコールモノメ� ��ルエーテル、エチレングリコールモノエチ� ��エーテル、エチレングリコールジエチルエ� ��テル、エチレングリコールモノブチルエー� ��ル、ジエチレングリコールモノメチルエー� ��ル、ジエチレングリコールジエチルエーテ� ��、ジエチレングリコールモノブチルエーテ� ��、グリセリンモノメチルエーテル、グリセ� ��ンジエチルエーテル、グリセリントリエチ� ��エーテル、エチレングリコールアルキレン� ��キサイド付加物、プロピレングリコールア� ��キレンオキサイド付加物、エチレングリコ� ��ルプロピレンオキサイド付加物のエチレン� ��キサイド付加物(プロピレンオキサイド/エ� �レンオキサイド=1/3質量比)等が挙げられる。 アルキレンオキサイドはエチレンオキサイド 又はプロピレンオキサイドを表す。
エチレングリコールアルキレンオキサイド付 加物、プロピレングリコールアルキレンオキ サイド付加物、及びエチレングリコールプロ ピレンオキサイド付加物のエチレンオキサイ ド付加物(プロピレンオキサイド/エチレンオ� ��サイド=1/3質量比)の分子量は好ましくは500~5 0000、さらに好ましくは700~10000、最も好まし� �は1000~3000である。
 本発明の油剤中、成分(D)多価アルコール誘� ��体の含有量は、3~30質量%、好ましくは10~25質 量%である。含有量が3質量%未満では、砥粒の ワイヤに対する付着性向上効果が低く、30質� ��%を超えても効果が飽和し、不経済である。

 本発明の油剤を使用して切断加工するの� ��適した被加工材料の例としては、電子産業� ��野で広く使用されている脆性材料が挙げら� ��、具体例としては、シリコン(単結晶、多結 晶)、ガリウム砒素等の半導体、アルミナ、� �化ジルコニウム等のセラミックス、石英ガ� �ス、ケイ酸ガラス等のガラスが挙げられる� �脆性材料が、シリコン系である場合は、油� �のpHは5~9とすることが望ましい。この場合、 塩基性物質としては、無機塩基性物質より有 機塩基性物質を使用することが望ましい。特 に、塩基性のマイルドなトリエタノールアミ ン、トリイソプロパノールアミン等の第3級� �ルカノールアミンが望ましい。

 本発明の油剤に使用する水としては、超� ��水、蒸留水、イオン交換水、水道水、市水� ��工業用水等のいずれを用いても良く、水の� ��有量は好ましくは3~84質量%である。水の含� �量が84質量%を超えると、スラリーの粘度が� �くなり過ぎて、切断加工性能が低下するこ� �がある。又、3質量%未満では、切断加工時の 熱の発生によりスラリー中の水分(油剤中の� �分)が蒸発し、油剤自身に引火性を生じ水溶� ��油剤としての特性が失なわれるおそれがあ� ��。

 本発明の油剤は、成分(A)~(E)を、適当な温度 条件下、例えば、40~70℃程度で混合溶解させ� ��ことにより容易に製造できる。その際、必� ��に応じて、界面活性剤(アニオン系、ノニオ ン系)、水溶性増粘剤、防腐剤、防カビ剤、� �鉄金属防食剤、pH緩衝剤等を適宜添加含有さ せても良い。
 本発明の油剤は、通常は油剤1Lに対して砥� �1kg(例えば、GC緑色炭化珪素砥粒)を混合して� ��性材料の切断加工用スラリーとして使用さ� ��る。

実施例
 以下、実施例および比較例により、本発明� ��水溶性油剤を更に詳細に説明するが、本発� ��はこれらに限定されるものではない。
油剤の性状測定試験法
(a)pH測定試験
 各油剤をイオン交換水にて2倍に希釈して、 JIS-Z-8802ガラス電極法により測定した。

スラリーの性状測定試験法
 各油剤のスラリー(油剤:GC#1500砥粒=1:1)の性� �を下記の試験条件・試験方法により測定し� �。
(b)砥粒分散安定性試験
 各油剤のスラリーを100mlのメスシリンダー� �移し、室温で12時間放置し、砥粒分散安定性 を肉眼で観察した。評価は以下の基準に従っ た。
 ○:分離油分量 10ml未満
 □:分離油分量 10~20ml未満
 △:分離油分量 20~50ml未満
 ×:分離油分量 50ml以上
(c)ワイヤへの砥粒付着性試験
 容器に入れたスラリーにワイヤを5秒間浸漬 した後、引上げて10秒間垂直にした状態で放� ��した後、顕微鏡で観察して評価する。
 ◎:ワイヤ上に砥粒が非常に良く付着してい る
 ○:ワイヤ上に砥粒が良く付着している
 □:ワイヤ上に砥粒が付着している
 △:ワイヤ上に砥粒が少し、付着している
 ×:ワイヤ上に砥粒が殆ど付着していない
結果を表1及び表2に示す。

※1:イソフタル酸塩:イソフタル酸のトリエタ ノールアミン塩(1:2モル比)
※2:重量平均分子量1000のポリエチレングリコ ール。

 比較例6及び7は、市販の水溶性加工油剤� �ある。

 本発明のスラリーはワイヤへの砥粒付着性� ��砥粒分散安定性が優れている。
 成分(A)を含まない比較例1及び2、成分(C)を� �まない比較例3、成分(D)を含まない比較例4、 成分(B)を含まない比較例5及び市販品である� �較例6及び7のスラリーは砥粒分散安定性、ワ イヤへの砥粒付着性のいずれか一方又は両方 が劣っている。