Beschreibung

Die Erfindung bezieht sich auf druckstabile Wasserschallwandler, auch als Hydrophone bezeichnet, und ein Fertigungsverfahren derselben.

Wasserschallwandler weisen typischerweise eine Piezokeramik auf. Diese kann als Hohlkörper, als Vollkörper oder als Piezokompositkeramik ausgebildet sein. Um mittels einer Elektronik ein Wasserschallsignal von den Wasserschallwandlern abgreifen zu können bzw. ein Wasserschallsignal an die Wasserschallwandler anlegen zu können, weist der Wasserschallwandler Elektroden auf. Die Elektronik ist dann mittels eines Drahts oder eines Leitklebers mit der Elektrode verbunden. Beide Verfahren weisen jedoch Nachteile auf. So ist das Anlöten eines Drahts in der Herstellung nicht oder nur mit großem Aufwand automatisierbar. Der Leitkleber ist häufig hydrophil, so dass spezielle Vorkehrungen getroffen werden müssten, um eine dauerhaft zuverlässige und druckstabile Verbindung zwischen der Elektronik und der Elektrode zu gewährleisten.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht deshalb darin, ein verbessertes Konzept für Wasserschallwandler und deren Herstellungsverfahren zu schaffen.

Die Aufgabe wird durch den Gegenstand der unabhängigen Patentansprüche gelöst. Weitere vorteilhafte Ausführungsformen sind der Gegenstand der abhängigen Patentansprüche.

Ausführungsbeispiele zeigen einen Wasserschallwandler mit einem Wandlerelement, das ausgebildet ist, Wasserschall zu empfangen und ein dem Wasserschall entsprechendes Wasserschallsignal auszugeben und/oder entsprechend eines Wasserschallsignals einen entsprechenden Wasserschall auszusenden. Das Wandlerelement weist eine Elektrode auf, die eine elektrische Kontaktierung des Wandlerelements ermöglicht. Eine Platine ist mit der Elektrode verbunden, wobei ein Lot die elektrische und mechanische Verbindung zwischen der Platine und der Elektrode herstellt. Vorteilhafterweise ist die mechanische Verbindung derart ausgebildet, dass die Platine und die Elektrode hermetisch dicht miteinander verbunden sind. Das heißt, ein Bereich innerhalb der mechanischen Verbindung ist hermetisch gegen die Außenwelt verschlossen. Dies ist insbesondere vorteilhaft, wenn der Wasserschallwandler in einer ölgefüllten Umgebung eingesetzt wird. So kann beispielsweise ein Array aus den Wasserschallwandlern mit einem eigenen Arraygehäuse aufgebaut werden, das mit Öl gefüllt ist. Auf der Platine kann z.B. eine Elektronikschaltung angeordnet sein. Die Elektronikschaltung kann das Wasserschallsignal verarbeiten, d.h. das Wasserschallsignal von dem Wasserschallwandler abgreifen bzw. das Wasserschallsignal an den Wasserschallwandler anlegen.

Das Lot ist ein Mittel, das durch Löten eine elektrisch leitende, typischerweise metallische, Verbindung zwischen der Elektrode und der Platine herstellt. Beim Löten wird das Lot so stark erhitzt, dass es schmilzt. Nach dem Abkühlen bildet das Lot eine mechanische und elektrische (und in Ausführungsbeispielen auch hermetisch dichte) Verbindung zwischen der Elektrode und der Platine.

Das Wandlerelement weist als sensorisches Material beispielsweise ein piezoelektrisches Material, insbesondere eine Piezokeramik auf. Das piezoelektrische Material kann als Vollkörper (z.B. Zylinder), als Hohlkörper (z.B. Hohlkugel oder Hohlzylinder) oder als Piezokomposit angeordnet sein. Ein Piezokomposit umfasst eine Vielzahl von Stäbchen des piezoelektrischen Materials, die gemeinsam ein Wandlerelement bilden. Typischerweise sind die Stäbchen mittels einer Vergussmasse vergossen.

Idee ist es, die Platine mit der Elektrode des Wandlerelements zu verlöten. Das direkte Löten der Platine auf das Wandlerelement hat gegenüber dem Anlöten eines Drahts den Vorteil, dass es einfacher zu automatisieren ist. So kann die Platine automatisiert, z.B. mittels Reflow-Löten, an das Wandlerelement angelötet werden.

Es kann sogar in dem gleichen Herstellungsschritt zumindest ein Teil der Elektronik der Platine an die Platine angelötet werden. Das Anlöten des Drahts an die Platine und das Wandlerelement ist nur schwer automatisierbar und wird daher typischerweise per Hand vollzogen. Ferner ist der Draht mechanisch nicht sehr stabil und kann brechen. Ähnlich verhält es sich mit dem direkten Löten der Platine auf das Wandlerelement gegenüber dem Kleben mittels eines Leitklebers. Das Kleben ist aufwendig in der Fertigung.

In Ausführungsbeispielen weist das Wandlerelement eine Hohlform auf, wobei die Hohlform mittels der Platine verschlossen ist. Ein solches Ausführungsbeispiel ist zwar auch mittels Klebens der Platine auf das Wandlerelement möglich. Der Leitkleber ist jedoch weniger druckstabil verglichen mit dem Lot und bildet insgesamt die schwächere Verbindung aus. So kann die Dichtigkeit und der elektrische Kontakt von der Platine zu dem Wandlerelement verloren gehen, wenn mechanische Spannung auf den Leitkleber durch Ausdehnen (durch Temperaturänderungen oder Quellen des Leitklebers) und/oder Druck zu groß werden.

Die Hohlform kann ein Hohlzylinder sein, der einseitig von der Platine verschlossen ist. Das Wandlerelement kann jedoch auch eine weitere Elektrode aufweisen, die eine weitere elektrische Kontaktierung des Wandlerelement ermöglich. So kann ein erster Pol des Wandlerelements mittels der Elektrode und ein zweiter Pol des Wandlerelements mittels der weiteren Elektrode kontaktiert werden. Ferner kann die Platine die weitere Elektrode kontaktieren oder es ist eine weitere (zweite) Platine, die die weitere Elektrode kontaktiert, vorgesehen. Ein weiteres Lot stellt eine elektrische und mechanische (und in Ausführungsbeispielen hermetisch dichte) Verbindung zwischen der entsprechenden Platine und der Elektrode her. Die zweite Platine (sofern vorgesehen) verschließt den Hohlzylinder dann beidseitig. D.h., die erste Platine verschließt eine erste Öffnung des Hohlzylinders und die zweite Platine verschließt eine zweite, der ersten Öffnung gegenüberliegende, Öffnung des Hohlzylinders. In anderen Worten ist die Platine und sofern vorgesehen die weitere Platine mit einer Stirnseite des Hohlzylinders mittels des Lots verbunden. Vorteilhafterweise ist das Lot (vollständig) umlaufend um den Hohlzylinder angeordnet, so dass das Lot eine in Sich geschlossene Bahn beschreibt. Die zweite Öffnung kann jedoch auch mittels eines beliebigen anderen Abschlusselements verschlossen sein.

Alternativ zu dem Hohlzylinder ist in Ausführungsbeispielen gezeigt, dass die Hohlform eine Kugelhalbschale ist, wobei die Platine an einer Stirnfläche der Kugelhalbschale angeordnet ist. Vorteilhafterweise ist die Platine mittig zwischen zwei Kugelhalbschalen angeordnet, so dass die Platine beide Kugelhalbschalen zu einer Vollkugel verschließt. Abhängig von der Beschaltung der Kugelhalbschalen bilden die beiden Kugelhalbschalen ein verbundenes Wandlerelement aus zwei in Reihe geschalteten Wandlerelementen oder jeweils separate Wandlerelemente.

Solche Wasserschallwandler, die einen Hohlkörper aufweisen und mittels der Platine verschlossen sind, haben den Vorteil, dass sie im Inneren einen hermetisch abgeschlossenen Raum aufweisen. Dort kann Elektronik angeordnet sein, die vor Störeinflüssen durch elektrische Felder von außen geschützt ist. Durch die Verwendung der Platine zum Verschließen des Hohlkörpers ist es ferner nicht mehr notwendig, eine Bohrung in den Hohlkörper vorzusehen, durch den ein Draht zur Kontaktierung der innenliegenden Elektrode in den Hohlkörper geführt werden kann.

In Ausführungsbeispielen umfasst das Wandlerelement das sensorisches Material, das eine Curie-Temperatur von mehr als 300°C, insbesondere mehr als 340°C, aufweist. Es hat sich gezeigt, dass das sensorische Material hitzeempfindlich ist. Ist das sensorische Material über einen zu großen Zeitraum einer zu hohen Temperatur, d.h. einer Temperatur größer der halben Curie-Temperatur, ausgesetzt, verliert das sensorische Material seine notwendige Polarisation. Bei Temperaturen, deren Wert höher als der halben Curie Temperatur in Grad Celsius ist, ist die Dauer der zeitlichen Temperatureinwirkung zu begrenzen um Depolarisierungseffekte zu verhindern. Somit ist es möglich einen Lötprozess zu verwenden, bei dem die maximale Temperatur deutlich oberhalb der halben Curie-Temperatur liegt. Bei einem Reflow-Lötprozess wird ein zeitliches Temperaturprofil verwendet so dass die maximale Löttemperatur nur für einen Zeitraum von maximal 40s, beispielsweise ca. 30s, am Bauteil bzw. der Platine anliegt. Die gesamte Dauer des Lötprozesses beträgt mehrere Minuten. Je höher die Curie Temperatur des sensorischen Materials, desto größer ist die Auswahl bei den Loten. Ein mögliches sensorisches Material ist PZT5 (Blei-Zirkonat-Titanat 5). Dieses weist eine Curie Temperatur von 340 - 380°C auf so dass in der Leiterplattenfertigung gängige Lote (sowohl bleihaltig wie auch bleifrei) verwendet werden können. Ferner kann es vorteilhaft sein, ein Niedertemperaturlot zu verwenden, das eine Schmelztemperatur (bzw. Liquidustemperatur) von weniger als 180°C, insbesondere weniger als 165°C, aufweist. Bei Verwendung von Niedertemperaturloten können auch piezokeramische Werkstoffe mit Curie-Temperaturen < 300°C verwendet werden.

In Ausführungsbeispielen sind die Platine und die Elektrode mittels Reflow-Löten elektrisch und mechanisch (in Ausführungsbeispielen auch hermetisch dicht) verbunden. Dies ermöglicht die Automatisierung des Lötens in einem standardisierten Prozess.

In weiteren Ausführungsbeispielen sind die Platine und die Elektrode mittels Laser- Reflow-Löten elektrisch und mechanisch (in Ausführungsbeispielen auch hermetisch dicht) verbunden. Laser-Reflow-Löten ist aufwendiger und teurer aber dennoch automatisierbar. Der Vorteil von Laser-Reflow-Löten ist es, dass durch den Laserstrahl eine punktuelle Hitzeentwicklung erzeugt wird. Der Laser kann so das Lot schmelzen, ohne das sensorische Material merklich zu erhitzen. Somit können mit Hilfe dieses Verfahrens sämtliche piezokeramische Werkstoffe, unabhängig von ihrer Curie-Temperatur, verwendet werden.

In Ausführungsbeispielen weist eine Kontaktfläche, beispielsweise eine Stirnseite, an der sich das Wandlerelement und die Platine berühren, die Abwesenheit der Elektrode auf. Dies hat insbesondere bei Hohlkörpern den Vorteil, dass eine auf die Kontaktfläche gezogene Außenelektrode nicht von der Innenelektrode (oder umgekehrt) isoliert werden braucht. Somit wird das Herstellungsverfahren vereinfacht und die Gefahr eines Kurzschlusses zwischen der Außenelektrode und der Innenelektrode verringert. Bei der Verwendung des Lots reicht es aus, dass die Elektrode im Wesentlichen senkrecht zu der Platine angeordnet ist. Das Lot ist dann in dem resultierenden Winkel zwischen Elektrode und Platine angeordnet und verbindet beides miteinander.

Analog ist ein Verfahren zur Herstellung eines Wasserschallwandlers mit folgenden Schritten gezeigt: Bereitstellen eines Wandlerelements, das ausgebildet ist, Wasserschall zu empfangen und ein dem Wasserschall entsprechendes Wasserschallsignal auszugeben und/oder entsprechend eines Wasserschallsignals ein entsprechendes Wasserschall auszusenden; Aufbringen eines Lots auf eine Platine und/oder eine Elektrode des Wandlerelements, so dass das Lot, wenn das Wandlerelement und die Platine zusammengeführt sind, die Platine und die Elektrode berührt; Erhitzen des Lots, so dass eine elektrische und mechanische (in Ausführungsbeispielen auch hermetisch dichte) Verbindung zwischen dem Wandlerelement und der Platine entsteht.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend Bezug nehmend auf die beiliegenden Zeichnungen erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 : eine schematische Ansicht eines zylinderförmigen Wasserschallwandlers, wobei Fig. 1a eine schematische perspektivische Darstellung, Fig. 1b eine schematische Schnittdarstellung einer hohlzylinderförmigen Ausführung des Wasserschallwandlers und Fig. 1c eine schematische Schnittdarstellung einer vollzylinderförmigen Ausführung des Wasserschallwandlers zeigt; Fig. 2: eine schematische Ansicht eines kugelförmigen Wasserschallwandlers, wobei Fig. 2a eine schematische Seitenansicht und Fig. 1b eine schematische Schnittdarstellung zeigt; und

Fig. 3 eine schematische Ansicht eines doppel-hohlzylinderförmigen Wasserschallwandlers, wobei Fig. 3a eine schematische perspektivische Darstellung und Fig. 3b eine schematische Schnittdarstellung zeigt.

Bevor nachfolgend Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung im Detail anhand der Zeichnungen näher erläutert werden, wird darauf hingewiesen, dass identische, funktionsgleiche oder gleichwirkende Elemente, Objekte und/oder Strukturen in den unterschiedlichen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen sind, so dass die in unterschiedlichen Ausführungsbeispielen dargestellte Beschreibung dieser Elemente untereinander austauschbar ist bzw. aufeinander angewendet werden kann.

Fig. 1a zeigt schematisch einen zylinderförmigen Wasserschallwandler 20. Der Wasserschallwandler 20 weist ein Wandlerelement 22 auf. Das Wandlerelement 22 kann Wasserschall empfangen und ein dem Wasserschall entsprechendes Wasserschallsignal ausgeben und/oder entsprechend eines Wasserschallsignals Wasserschall aussenden. Das Wandlerelement 22 weist eine Elektrode (vgl. Bezugszeichen 24 in Fig. 1b und 1c) auf, die eine elektrische Kontaktierung des Wandlerelements 22 ermöglicht. Mit der Elektrode ist eine Platine 26 verbunden. Ein Lot 28 stellt eine elektrische und mechanische Verbindung zwischen der Platine 26 und der Elektrode 24 her. Vorteilhafterweise ist das Lot vollständig umlaufend um das Wandlerelement bzw. die Platine angeordnet, so dass das Lot eine in sich geschlossene (Kreis-) Bahn bildet. Dann bildet das Lot auch eine hermetisch dichte Verbindung zwischen dem Wandlerelement und der Platine. Zum Reflow-Löten ist das Lot typischerweise eine Lotpaste.

Diese perspektivische Ansicht lässt sowohl vollzylinderförmige als auch hohlzylinderförmige Wandlerelemente 22 zu. Bei Verwendung eines hohlzylinderförmigen Wandlerelements 22 kann ein (beliebiges) Abschlusselement 32 den Hohlraum des Hohlzylinders (hermetisch) verschließen (vgl. Fig. 1b). Es ist aber auch möglich, eine weitere Platine 26' zu verwenden, die ebenso wie die Platine 26, das Wandlerelement kontaktiert. Die Ausführungen bezüglich der Kontaktierung der Platine 26 mit dem Lot können auch auf die Platine 26' übertragen werden. Die gezeigte perspektivische Darstellung schließt sowohl hohlzylinderförmige Wandlerelemente als für vollzylinderförmige Wandlerelemente ein.

Fig. 1b zeigt ein hohlzylinderförmiges Wandlerelement 22. Die Elektrode 24 ist an der Mantelfläche, insbesondere an der inneren und der äußeren Mantelfläche, des Wandlerelements 22 angeordnet. Bei dieser Anordnung ist es nicht notwendig, anders als bei Verwendung eines Leitklebers, dass die Elektrode auf die Stirnseite des Wandlerelements 22 gezogen ist. Das Lot 28 ist dann nicht flächig zwischen der Platine 26 und der Elektrode 24 angeordnet, sondern es ist ausreichend, dass das Lot vielmehr einen Winkel ausfüllt, der von der Elektrode 24 und der Platine 26 eingeschlossen ist. Zur vollständigen Kontaktierung des Wandlerelements 22 mit der Platine kann ein weiteres Lot 28a in dem Hohlraum des Hohlzylinders 22 angeordnet sein, und eine weitere Elektrode 24a, die auf der gegenüberliegenden (hier inneren) Mantelfläche des Hohlzylinders angeordnet ist, kontaktieren. Hier ist beispielhaft das Abschlusselement 32 gezeigt, um den Hohlraum des Hohlzylinders (hermetisch) zu verschließen. Eine in dem Hohlraum angeordnete Elektronik 30 ist dann gegenüber äußeren Störeinflüssen z.B. durch elektrische Felder geschützt. Das Abschlusselement kann auch eine Platine sein. Beispielsweise kann das weitere Lot 28a dann an einem gegenüberliegenden Ende des Hohlzylinders angeordnet sein. D.h., das Lot 28a kann dann die weitere Elektrode 24a mit der weiteren Platine 26' verbinden. Die Ausführungen zum Lot 28 sind auch auf das Lot 28a übertragbar.

Fig. 1c zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines vollzylinderförmigen Wandlerelements 22 ohne Hohlraum. Hier sind die Elektroden 24, 24a an der Stirnseite und an der gegenüberliegenden (zweiten) Stirnseite des Wandlerelements 22 angeordnet. Das heißt, die Elektrode ist parallel zu der Platine angeordnet. Das weitere Lot 28a verbindet die weitere Platine 26' mit der weiteren Elektrode 24' des Wandlerelements 22. Die Lote 28, 28a sind dann zwischen Wandlerelement bzw. Elektrode und der entsprechenden Platine angeordnet. Fig. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines hohlkugelförmigen Wasserschallwandlers 20. Fig. 2a zeigt den Wasserschallwandler in einer schematischen Seitenansicht,

Fig. 2b in einer schematischen Schnittdarstellung. Der Wasserschallwandler 20 weist zwei Wandlerelemente 22, 22' auf, die jeweils als Kugelhalbschale geformt sind. Die Platine 26 ist zwischen den Kugelhalbschalen angeordnet und verbindet diese zu einer Hohlkugel. Die Platine kann flächig ausgestaltet sein. In Fig. 2b ist sie jedoch mit einer Öffnung im Inneren der Hohlkugel dargestellt. Dies ist vorteilhaft, um die akustischen Eigenschaften des Wasserschallwandlers 20 nicht negativ zu beeinflussen. Die Platine ist vorteilhafterweise zumindest eine zweiseitige Platine.

Die Unterbringung der Elektronikschaltung 30 auf der Platine 26 ist optional möglich. Die Elektronikschaltung 30 ist dann vorteilhafterweise derart auf der Platine 26 angeordnet, dass die Elektronikschaltung in dem Hohlraum im Inneren des Wandlerelements 22 angeordnet ist. Die Elektronikschaltung 30 kann aber gleichermaßen auch außerhalb des Wandlerelements 22 angeordnet sein. Das Wandlerelement 22, d.h. die erste Halbschale, weist eine Elektrode 24 und eine weitere Elektrode 24a auf. Die erste Elektrode 24 ist mittels des Lots 28 mit der Platine 26 verbunden. Die zweite Elektrode 24a ist mittels des Lots 28a mit der Platine 26 verbunden. Das Wandlerelement 22‘, d.h. die zweite Halbschale, weist eine Elektrode 24' und eine weitere Elektrode 24‘a auf. Die erste Elektrode 24' ist mittels des Lots 28' mit der Platine 26 verbunden. Die zweite Elektrode 24‘a ist mittels des Lots 28‘a mit der Platine 26 verbunden. Vorteilhafterweise ist die erste Halbschale mit einer ersten Seite der Platine 26 verbunden und die zweite Halbschale mit einer zweiten Seite der Platine 26.

Die weiteren Ausführungen bezüglich der Elektrode, der Platine und der Wandlerelemente, beispielsweise deren räumliche Anordnung zueinander, ist aus dem Ausführungsbeispiel aus Fig. 1 auf die Ausführungsbeispiele aus Fig. 2 und Fig. 3 übertragbar.

Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung eines weiteren Ausführungsbeispiels mit doppelten zylinderförmigen Wandlerelementen 22, 22‘. Wie bereits in Fig. 2 bezüglich der Kugelhalbschalen gezeigt, sind hier zwei Hohlzylinder als separate Wandlerelemente 22, 22' mittels der Platine 26 verbunden. Die Hohlzylinder weisen jeweils ein Abschlusselement 32, 32' auf. Die weiteren strukturellen Merkmale sind anhand der Bezugszeichen aus Ausführungsbeispielen zu den Fig. 1 und Fig. 2 zu entnehmen.

In Fig. 3b ist jedoch ergänzend Elektronikschaltung 30 gezeigt, die auf der Platine angeordnet ist. Die Elektronikschaltung 30 kann die an den Elektroden 24, 24a, 24‘, 24‘a abgegriffenen Wasserschallsignale verarbeiten oder ein Wasserschallsignal bereitstellen, das an die Elektroden angelegt wird. Sowohl bei dem Wasserschallwandler gemäß Fig. 2 als auch bei dem Wasserschallwandler gemäß Fig. 3 können jedoch auch die jeweiligen äußeren Elektroden 24, 24' elektrisch verbunden sein. Mit einer entgegengesetzten Polarisation der Wandlerelemente 22, 22' ergibt sich so eine Reihenschaltung der Wandlerelemente, so dass ein Wasserschallsignal, beispielsweise als Spannung, an den inneren Elektroden 24a, 24’a abgegriffen bzw. bereitgestellt werden kann.

Die beschriebenen Wasserschallwandler können alle radialsymmetrisch geformt sein. Dies trifft jedoch nicht auf eine etwaige Elektronik zu. Ferner kann eine Form der Platine statt rund auch eckig sein, so dass auch diese nicht zwingend radialsymmetrisch ist.

Die offenbarten (Wasser-) Schallwandler sind für den Einsatz unter Wasser, insbesondere im Meer, ausgelegt. Die Schallwandler sind ausgebildet, Wasserschall in eine dem Schalldruck entsprechenden elektrischen Signal (z.B. Spannung oder Strom), das Wasserschallsignal, umzuwandeln. Überdies sind die Schallwandler ausgebildet, eine anliegende elektrische Spannung in Wasserschall umzuwandeln. Die Schallwandler können demnach als Wasserschallwandler und/oder als Wasserschallsender verwendet werden. Als sensorisches Material weisen die Schallwandler typischerweise ein piezoelektrisches Material, beispielsweise eine Piezokeramik, auf. Die Schallwandler können für (Aktiv- und/oder Passiv-) Sonar (sound navigation and ranging, dt.: Schall-Navigation und -Entfernungsbestimmung) eingesetzt werden. Die Schallwandler sind nicht für medizinische Anwendungen geeignet.

Obwohl manche Aspekte im Zusammenhang mit einer Vorrichtung beschrieben wurden, versteht es sich, dass diese Aspekte auch eine Beschreibung des entsprechenden Verfahrens darstellen, sodass ein Block oder ein Bauelement einer Vorrichtung auch als ein entsprechender Verfahrensschritt oder als ein Merkmal eines Verfahrensschrittes zu verstehen ist. Analog dazu stellen Aspekte, die im Zusammenhang mit einem oder als ein Verfahrensschritt beschrieben wurden, auch eine Beschreibung eines entsprechenden Blocks oder Details oder Merkmals einer entsprechenden Vorrichtung dar.

Die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele stellen lediglich eine Veranschaulichung der Prinzipien der vorliegenden Erfindung dar. Es versteht sich, dass Modifikationen und Variationen der hierin beschriebenen Anordnungen und Einzelheiten anderen Fachleuten einleuchten werden. Deshalb ist beabsichtigt, dass die Erfindung lediglich durch den Schutzumfang der nachstehenden Patentansprüche und nicht durch die spezifischen Einzelheiten, die anhand der Beschreibung und der Erläuterung der Ausführungsbeispiele hierin präsentiert wurden, beschränkt sei. Bezugszeichenliste:

20 Wasserschallwandler 22 Wandlerelement 24 Elektrode

26 Platine 28 Lot 30 Elektronik