以下、本発明の最良の実施形態の例とし� ��、処理槽をウェブであるポリイミドフィル� ��(以下、単にフィルムと呼ぶ。)の縦型搬送� �連続電解銅めっき装置に適用した場合を例� �とって、図面を参照しながら説明する。

 図1は、本発明が適用可能なフィルムのめ っき装置の概略平面図である。巻出部2から� �ィルム搬送方向に搬送されてきたフィルム1� ��、給電部3で給電(給電工程)された後、めっ� ��槽4を備えためっき部5でめっき処理(めっき� ��程)が施される。この給電工程とめっき工程 が、複数回順次繰り返され、目標とする厚み のめっき層が形成され、所定のめっき層が形 成された後、巻取部6で巻き取られる。給電� �3では、例えば図2に示すように、搬送ロール 11(例えば、表面SUS製)と搬送ロール12(例えば� �表面SUS製)の間に、給電ロール13(例えば、表� ��銅製)がフィルム1を押圧するように配置さ� �、フィルム1のめっき面10に給電される。図5� ��本発明の一実施形態に係るフィルムのめっ� ��装置のめっき部の拡大概略横断面図である� ��図1に示すめっき部5では、図5に示すように� ��めっき液14および銅塊15を収容しためっき槽 4内にフィルム1が連続的に通されるが、めっ� ��槽4内のめっき液14の外部への漏出量を抑え� ��ために、めっき槽4の入口、出口に液シール 部7が設けられている。液シール部7はめっき� ��4の入口、出口の側壁に密接して設けられて おり、めっき液14は液シール部7とめっき槽4� �側壁の間からはほとんど流出しないように� �成されている。液シール部7とめっき槽4の側 壁の間には、その間からの漏れを防ぐための シール部材を設けてもよいし、設けなくても よい。この間からの漏れがフィルムの搬送に 影響を与えない程度であれば、シール部材は 設けなくてもよい。

 図6aに、図5の液シール部7を拡大した概略 構成図を示す。液シール部7は、めっき液14を 収容しためっき槽4の出入り口にて、フィル� �1の搬送経路を挟んで対向するように整流部� ��29a,29bを配設して構成される。整流部材29a,29 bの材質としては、めっき液に耐性のある材� �を用いるのが好ましい。例えば硫酸銅めっ� �浴であれば、塩化ビニルやポリエステル系� �脂が好適に用いられる。図6aではめっき槽4� �部に整流部材29a,29bを配設しているが、めっ� ��槽4外部であってもかまわない。図7に、本� �明の一実施形態による液シール部を縦型搬� �方式のめっき槽に適用したときの概略側面� �を示す。図7に示すように、整流部材29a,29bの 深さ方向の長さはめっき槽4の側壁に設けら� �たフィルム出入り口となる開口部32の深さ方 向長さと同じか、開口部32の長さよりも長く� ��るのが好適である。整流部材29a,29bの上面は 、おおよそめっき液面の高さと同じになるよ うに構成するのがよいが、特に制約するもの ではない。整流部材29a,29bの上面が液面下に� �っても、液面上にあってもよい。

 図6aに示すように、フィルム1は整流部材2 9aとC1だけ離れ、整流部材29bとC2だけ離れて、 整流部材29aと整流部材29bの間を非接触で搬送 され、めっき液14はフィルム1に沿って整流部 材29aとフィルム1との間(すなわちC1)、整流部� ��29bとフィルム1との間(すなわちC2)から、そ� �ぞれ漏れ出す(液シール部から漏れる処理液3 0)。整流部材29aとフィルム1との間、整流部材 29bとフィルム1との間をそれぞれ流れる液の� �流を安定化させる観点から、整流部材29a,29b� ��フィルム1側にあたる面は互いに平行な平面 であることが好ましい。なお、このときの処 理液30の漏出量は、理論的には以下の式2で導 かれる。

 ここで、整流部材29aと整流部材29bの間を� ��接触で安定して搬送されるメカニズムにつ� ��て説明する。C1(整流部材29aとフィルム1との 間)=C2(整流部材29bとフィルム1との間)となる� �うな状態でフィルムが搬送されている場合� �は、フィルム1の両面から圧力が同じように� ��用するため、安定した状態で搬送されるこ� ��になる。一方、C1=C2といった安定した状態� �ら、フィルム1に何らかの外力が作用してフ� ��ルム1が整流部材29a側に偏った場合には、C2� ��の流路が拡大(C1<C2)するため、整流部材29b とフィルム1との間(C2)の流路抵抗が減少して� ��力が低下する。その結果フィルム1は整流部 材29b側に吸い寄せられ、元に戻ろうとする力 が働く。逆に整流部材29b側にフィルム1が偏� �た場合は整流部材29a側に寄せられる方向に� �が働く。このようなメカニズムでフィルム1� ��整流部材29a,29bに接触しにくい状態で安定し て搬送されるのである。なお、このメカニズ ムが有効に作用するためには、搬送する対象 物は薄く、軽い方がよい。したがって、厚み が10μm以上100μm以下のウェブが好適であり、� ��にプラスチックフィルムは軽く、しかも柔� ��なので、上記作用が有効に働きやすく好ま� ��い。またウェブの搬送張力は、50N/m以上500N/ m以下とするのが好ましい。これは50N/mを下回 った場合は液シール部から漏れ出す液流によ ってウェブがあおられてばたつきを生じ、500 N/mを超えた場合は見かけ上ウェブの剛性が上 がったような作用をするため上記メカニズム が有効に作用しにくくなるためである。

 整流部材29aと整流部材29bとの間隙(すなわ ち、整流部材29aと整流部材29bのフィルム側の 壁面のフィルムの搬送経路の面の法線方向の 間隙)C1+C2は、処理液30の漏出量を削減する観� ��から10mm以下とするのが好ましい。ただし余 りに小さすぎるとフィルム1が整流部材29a,29b� ��に接触しやすくなるため、0.25mm以上とする� ��が好ましい。なお、フィルム1に沿って処理 液30が漏れ出すため、漏出量が大きすぎると� ��5に示す回収ゾーン16のフィルム搬送方向の� ��さを長くする必要がある。このため、回収� ��ーン16のフィルム搬送方向の長さを短くし� �なおかつ、フィルム1の接触を防いで安定搬� ��させるためには、整流部材29aと整流部材29b� ��の間隙C1+C2を1mm~3mmの範囲内とするのがより� ��ましい。

 ここで整流部材の壁面の形状は、平面で� ��曲面でも良い。曲面の場合、整流部材29aと� ��流部材29bとの間隙C1+C2は、フィルム搬送方� �に関する間隙の平均値で近似すれば良い。� �6b、図6c、図6dに壁面形状の一例を示す。図6b のような2つの平行平面である場合、C1+C2は平 行平面の間隙そのものとなる。図6cのような� ��面の場合、フィルム搬送方向の位置によっ� ��C1+C2が変化する。このような場合は先に述� �た通り、C1+C2のフィルム搬送方向に関する平 均値を、壁面のウェブ搬送方向長さLを20等分 して20点の間隙C1+C2を平均して求めれば良い� �図6dのように2つの円柱を並べたような形状� �場合も、同様にフィルム搬送方向の位置に� �ってC1+C2が変化するため、フィルム搬送方向 に関する平均値をとる。ここで注意しなけれ ばならないのは、C1+C2を変化させるために円� ��の外径を変化させると、同時に壁面のウェ� ��搬送方向長さLも変化してしまう点である。 Lの役割、期待効果については後で詳述する� �、基本的にLが大きいほど流量が削減できる� ��しかし、流量を削減しようとLを大きくする と、自動的にC1+C2も大きくなる。C1+C2は小さ� �ほど流量が削減できるのでこの部分はトレ� �ドオフの関係にあり、最適化が極めて困難� �ある。それゆえ、本発明の実施にあたって� �図6dに示すような円柱を2つ並べたような形� �で構成することは避けるべきである。

 また、壁面曲線のうち、壁面曲線の接線� ��ウェブ搬送方向とのなす角度(接線とウェブ 搬送方向とが平行のときを0度とする。図6e参 照。図6eは壁面曲線の接線とフィルム搬送方� ��とのなす角度の解説図である。)が-20度以上 20度以下となる部分が壁面全体の40%を超える� ��とが流量削減の観点から好ましく、壁面曲� ��の接線とウェブ搬送方向とのなす角度が-20� ��以上20度以下となる部分が壁面全体の70%を� �えていれば、極めて滑らかな壁面を形成で� �るので液流が安定するため、より好ましい� �

 なお、壁面曲線は、壁面のマクロ的なプ� ��ファイルを表すものであって、いわゆる粗� ��曲線のようなミクロ的な曲線は含まないも� ��とする。

 整流部材29aとフィルム1との間、整流部材 29bとフィルム1との間をそれぞれ流れる液流� �フィルム1を整流部材29a,29bに接触させないよ うにする機能を有する。このため、処理液30� ��漏出量は5L/min以上であることが好ましい。� ��た、この漏出量が多すぎる場合、めっき液1 4を循環させるためのポンプの能力や、めっ� �液14をストックしておく貯槽の容量が大きく なったりするため、これらを適正範囲に抑え る観点から、300L/min以下であることが好まし� ��。

 なお、本実施形態の液シール部7の構造は 、縦型搬送方式のめっき槽に好適に用いるこ とが出来る。図7に示すように、整流部材29a,2 9bのフィルム搬送方向の長さLは、処理液30の� ��出量を削減する観点から、整流部材29a,29bに て形成されるスリットの深さ方向長さの5%以� ��とするのが好ましい。これは、式2に示した ように、処理液30の種類、整流部材29aと整流� ��材29bとの間隙C1+C2、スリットの上側端部か� �液面までの距離H1、スリットの下側端部から 液面までの距離H2が決まってしまえば、整流� ��材29a,29bのフィルム搬送方向長さLが長いほ� �、整流部材29a,29bの壁面により圧力損失が生� ��、めっき槽4からの処理液30の漏出量は少な� ��なるためである。また、整流部材29a,29bのフ ィルム搬送方向長さLがあまりにも長すぎる� �合はフィルム1が整流部材29a,29bに接触してし まうリスクが高まる。さらに漏出量は前述の とおり式2により算出できるので、フィルム� �送方向長さLがある程度以上大きくなると漏� ��量削減効果は小さくなる。このため、漏出� ��削減効果と接触のリスクとのバランスを勘� ��し、100%以下とするのが好ましい。さらに好 ましくは、70%以下、さらに好ましくは50%以下 とするのがよい。なお、漏出量削減効果は、 スリット深さ方向長さが大きい、広幅ウェブ 用の処理槽において特に顕著に現れる。この ためウェブ幅が300mmを超えるようなウェブの� ��理槽には特に好適に用いることが出来る。

 なお、整流部材29a,29bのフィルム側の壁面 が平行である場合には、処理液30の漏出量は� ��めっき槽上側は少なく、下側は多くなる。� ��れは、水頭差によってめっき槽4内の処理液 30の圧力が場所によって異なるためである。� ��っき槽上側は圧力水頭が小さく、間隙から� ��出する処理液の流量が少ないが、めっき槽� ��側は圧力水頭が大きく、間隙から漏出する� ��理液の流量が多いのである。このため、図8 に示すように整流部材29a,29bのフィルム搬送� �向の長さLは、上側よりも下側の方を、液面� ��らスリット上端までの距離と液面からスリ� ��ト下端までの距離との比に応じて適宜長く� ��ることが好ましい。図8は本発明の一実施形 態による液シール部を縦型搬送方式のめっき 槽に適用したときの概略側面図である。この ような構成にすることにより、整流部材29aと 整流部材29bとの間隙において、漏出する処理 液の流量の整流部材29a,29bにて形成されるス� �ットの深さ方向のばらつきを抑制すること� �できる。その結果、深さ方向の位置に関わ� �ず、フィルムの搬送位置を安定化しようと� �る前述の作用が一定になりやすいので、フ� �ルムの全幅に渡って整流部材29a,29bの壁面に� ��ィルムを接触させることなく、フィルムを� ��定して搬送することができるようになるの� ��ある。

 また図9に示すように下側の整流部材29aと整 流部材29bとの間隙C1+C2を上側のそれよりも小� ��くすることが好ましい。図9は本発明の一実 施形態による液シール部を縦型搬送方式のめ っき槽に適用したときの概略正面図である。 このような構成にすることにより、整流部材 29aと整流部材29bとの間隙において、漏出する 処理液の流量の整流部材29a,29bにて形成され� �スリットの深さ方向のばらつきを抑制する� �とができ、整流部材29a,29bの壁面にフィルム� ��接触させることなく、フィルムを安定して� ��送することができるようになるのである。� ��局、深さ方向のC ³ ×H/Lの最大値と最小値の比が8倍以下であるこ とが好ましい。
なお、整流部材29a,29bをこのような構成にし� �とき、めっき槽4の側壁に設けられたフィル� ��出入り口となる開口部は、整流部材29a,29bの フィルム搬送経路側の壁面で形成されるスリ ットの形状に合うように形成してもよいし、 整流部材29a,29bのめっき槽4側の面より大きく� ��らない範囲でスリットの形状より大きく形� ��されていてもよい。また、開口部の下端は� ��流部材29a,29bの下端に合うように形成されて いる。

 整流部材29a,29bは、スリット内部と外部と の圧力差を受けてたわむことが考えられるが 、式1に示すとおり、スリットからの漏出量� �スリット間隙の3乗に比例するため、小さな� ��位が大きな漏出量の差となる。このため部� ��の厚みtを大きくしてたわみを出来るだけ小 さくすることが好ましい。また整流部材29a,29 bのめっき槽内側端部のフィルム1側の角から5 ~20mmの範囲には、槽内の液流によってフィル� ��1が大きくあおられても整流部材29a,29bに接� �しないように少し広げておくことが好まし� �。あまりに広すぎると流路抵抗が小さくな� �ため漏出量が増加し、また液流が不安定に� �るため、10mm~100mmの曲面加工を施すことがよ� ��好ましい。なお、曲面加工を施した部分は� ��密に言えばスリット間隙が広がることにな� ��が、上記範囲内の曲面加工であれば、図6a� �示すように曲面加工部分を含めた長さを壁� �のフィルム搬送方向長さLとしてもかまわな� ��。

 本実施形態によるめっき槽を、プラスチ� ��クフィルムの連続電解めっき装置に用いれ� ��、微小なキズやザラなどの発生を抑制する� ��とができ、またニップロール方式の接触回� ��シール方式に対してメンテナンスフリーで� ��用できるため、ランニングコストを削減す� ��ことも可能となるので好ましい。フレキシ� ��ル回路基板用基材など、高品位と低コスト� ��同時に強く要求されるような用途において� ��特に好適に用いることができる。

 なお、本実施形態では、処理槽をポリイ� ��ドフィルムの縦型搬送式連続電解銅めっき� ��置に適用した場合を例にとって説明したが� ��処理槽はその他の用途、例えば、ウェブの� ��浄槽や無電解めっき槽などのウェブのウェ� ��ト処理槽全般に適用できる。