以下では、本発明の実施の形態について説� ��するが、本発明はこれに限定されるもので� ��ない。
 図1は本発明のワイヤソー装置の一例を示す 概略図である。図1に示すように、本発明の� �イヤソー装置1はスラリ飛散防止部材20を具� �しており、他の機構、例えばワークを切断� �るためのワイヤ2、ワイヤ2を巻回した溝付き ローラ3、ワイヤ2に張力を付与するための機� ��4、切断されるワークを下方へと送り出す機 構5、切断時にスラリを供給する機構6等は特� ��限定されず、従来と同様のものとすること� ��できる。

 次に、図2に、可動式のスラリ飛散防止部材 20の一例を示す。なお、図2(A)は切断開始前、 (B)は切断開始部から中央部を切断していると き、(C)は中央部から切断終了部を切断してい るときの一例をそれぞれ挙げたものである。
 まず、切断されるワークは当て板14に接着� �れており、該当て板14はワークプレート13に� ��り保持されている。当て板14は、例えばエ� �キシ系樹脂板とすることができ、ワークと� �ポキシ接着剤により接着されている。また� �ワークプレート13は、インバー材やステンレ スでできており、当て板14とエポキシ接着剤� ��より接着されている。

 そして、ワーク送り機構5のワーク保持部11� ��、クランプにより上記ワークプレート13を� �持している。すなわち、このワーク保持部11 は、当て板14、ワークプレート13を介してワ� �クを保持している。
 そして、このようにワーク送り機構5のワー ク保持部11によって保持されたワークは、切� ��を行う際、ワーク送り機構5により、下方に 位置するワイヤ2へと送られる。
 一方、溝付きローラ3に巻掛けされ、切断時 に、軸方向に往復走行するワイヤ2の上方に� �ノズル15が配置されており、ワークの切断を 行うときには、ワイヤ2にスラリを供給する� �とができるようになっている。

 また、スラリ飛散防止部材20はワーク保持� �11の下方に位置し、さらには、特に図1、2(B)( C)に示すように、ワイヤ2がワークに切入る側 と切出す側の両側に、ワイヤ2のワイヤ列と� �行する方向に配設されている。これは、ワ� �ヤを往復走行させるので、切入り側と切出� �側は、周期的に逆転するので、ワークの両� �に必要だからである。
 スラリ飛散防止部材20の形状は、図2に示す� ��ではブロック状となっているが、このほか� ��板状のものとすることも可能である。そし� ��、その下面は、図2に示すように、外側に向 かってテーパを有している。当然、下面が平 坦な形状のものを用いることもできるが、こ のように外側に向かってテーパを有する形状 であると、ワーク切入り部から飛散するスラ リを、外側に向かって跳ね返すことが可能と なり、すなわち、ワークの内側へスラリが飛 散するのを一層効果的に防止することができ るので好ましい。例えば、水平面に対して5� �以上の角度で傾斜しているものとすること� �できる。
 また、大きさや厚さ等は特に限定されず、� ��ークを切断終了する時点において、ワーク� ��持部11とワークの間に入り込めるように設� �することができる。ただし、そのワーク切� �終了時において、スラリ飛散防止部材20の下 端が、ワークプレート13よりも下方に位置す� ��程度の大きさ、厚さを有するものとするの� ��好ましい。そのようなものであれば、スラ� ��飛散防止部材20の下端がワークから離れす� �ることもなく、ワークの上方にスラリが大� �く飛散し、ワーク内側にスラリが流れ込む� �を効果的に防止することができる。

 さらに、このスラリ飛散防止部材20はコ� �ピュータ等につなげられており、このコン� �ュータにより、配設位置を適切に決定する� �とが可能である。また、スラリ飛散防止部� �20がつながったコンピュータは、ワーク送り 機構5ともつなげることができ、例えば、ワ� �ク送り機構5により下方へ押し下げられるワ� ��クの移動量に応じて、スラリ飛散防止部材2 0の位置を制御することができる。このコン� �ュータ制御により、ワーク(ワイヤ2の切入り 部)とスラリ飛散防止部材20の距離を常に一定 に制御することも可能である。

 スラリ飛散防止部材20の動かし方は特に限� �されないが、例えば水平動のものとするこ� �ができる。ワークの切断時、ワークはワー� �送り機構5により押し下げられるので、円柱� ��のワークの中央部以降を切断するときなど� ��、ワークのワイヤの切入り部はワークの内� ��方向へと移動することになる。スラリ飛散� ��止部材20が水平方向に移動可能なものであ� �ば、そのワークの内側方向へと移動する切� �り部を容易に追うことが可能であり、切入� �部からのスラリの飛散を防ぐことができる� �
 あるいは、円軌道に沿って平行動させるこ� ��ができるものとし、円柱状のワークの側面� ��沿って、より細やかにスラリ飛散防止部材2 0を移動させるものとすることができる。
 ワークの形状等に応じて適宜設定すること� ��可能である。

 ここで、図2により、本発明のワイヤソー装 置1を用い、ワークを切断するときに、ワー� �のワイヤ2の切入り部から、スラリがワーク� ��上方に飛散するのを防止する手順について� ��明する。
 まず、図2(A)に示すように、軸方向に往復走 行するワイヤ2のワイヤ列に向かって、スラ� �をノズル15から供給するとともに、ワーク保 持部11により保持されたワークを押し下げて� ��く。なお、ここでは、向かって左側から右� ��へとワイヤが走行している場合について述� ��る。

 次に、図2(B)に示すように、ワークの切断 開始部から中央部を切断しているとき、ワイ ヤ2に付着したスラリはワークの側面に衝突� �、ワークのワイヤ2の切入り部から、ワーク� ��下方へすみやかに落下する。

 さらに切断が進み、ワークの中央部以降を� ��断しているとき、ワイヤ2に付着したスラリ はワークの側面に衝突し、ワークのワイヤの 切入り部から、ワイヤの上方へと向かって飛 散しようとする。
 このとき、本発明のワイヤソー装置1では、 可動式のスラリ飛散防止部材20を具備してい� ��ので、ワークのワイヤ2の切入り部の近傍に 移動させ、スラリが切入り部からワークの上 方へと飛散するのを、スラリ飛散防止部材20� ��よって遮断して防止することができる。
 そして、切断終了部付近に近づくにつれ、� ��イヤ2の切入り部はワークの内側方向へと移 動するので、スラリ飛散防止部材20もさらに� ��側へと移動させることにより、スラリがワ� ��クの上方、ワークのより内側へ向かって飛� ��するのを、切断が終了するまで防止し続け� ��ことができる。

 以上より、ワークのワイヤ2の切入り部か ら、スラリがワークの上方へ向かって飛散す るのをスラリ飛散防止部材20により防止する� ��とができ、それによって、飛散したスラリ� ��ワークへと落下し、既にウエーハ状に切断� ��れたワーク下端へ高粘度のスラリが流れ込� ��こともなく、ワークの蛇腹運動を抑制する� ��とができ、切断後半以降のウエーハのWarpが 悪化するのを防止することが可能である。

 また、本発明のワイヤソー装置1は、図2に� �した可動式のスラリ飛散防止部材20の他、固 定式のスラリ飛散防止部材を採用することも できる。
 図3に、ワーク保持部11に対して固定された� ��ラリ飛散防止部材21の一例を示す。
 図3に示すように、スラリ飛散防止部材21は� ��ーク保持部11の下面に取り付けられており� �定されている。固定方法は特に限定されず� �接着剤やねじを用いたり、クランプにより� �うことができる。また、スラリ飛散防止部� �21の形状や大きさ、厚さ等は特に限定されず 、可動式のスラリ飛散防止部材20と同様のも� ��とすることができる。切断工程において、� ��復走行するワイヤ2により切断されてしまわ ない程度に大きさ等を調整したものが好まし い。

 ただし、固定式の場合、図3のように下面が 外側に向かってテーパを有するものが特に望 ましい。これは、可動式のものに比べると、 スラリ飛散防止部材21とワーク(ワークのワイ ヤ2の切入り部)との距離を切断中に常に近接� ��せておくことは難しいためである。そこで� ��下面をテーパ形状のものとすることにより� ��切入り部から飛散するスラリを常に外側に� ��かって跳ね返し、ワークの内側へ向かって� ��散してふりかかるのを防ぐことが望ましい� ��
 

 以下、本発明を実施例によりさらに詳細に� ��明するが、本発明はこれに限定されない。
(実施例)
 図3に示す固定式のスラリ飛散防止部材21を� ��えた本発明のワイヤソー装置を用い、直径3 00mm、軸方向長さ300mmのシリコンインゴットを ウエーハ状に切断し、275枚のスライスウエー ハを得る。
 なお、この固定式のスラリ飛散防止部材21� �して、塩化ビニル樹脂製のもので、断面が� �形のブロック状のものを用意した。このス� �リ飛散防止部材の全体形状の斜視図を図4に� ��しておく。
 そして、用意したスラリ飛散防止部材を、� ��3に示すようにワーク保持部にねじを用いて 取り付けて固定した。このとき、スラリ飛散 防止部材の下端はワークプレートよりも下方 に突き出て位置し、スラリ飛散防止部材の下 面は外側に向かってテーパを有する向きでス ラリ飛散防止部材をワーク保持部に固定した 。このようにして本発明のワイヤソー装置を 用意した。

 そして、直径160μmのワイヤを使用し、2.5k gfの張力をかけて、500m/minの平均速度で60s/cの サイクルでワイヤを往復方向に走行させると ともに、ノズルからワイヤに向かってスラリ を供給し、ワーク送り機構によってシリコン インゴットをワイヤ列に押し当てて切断を行 い、スライスウエーハを得た。

 本発明者がこのワークの切断中にワークの� ��察を行ったところ、ワークの中央部以降を� ��断しているとき、ノズルからワイヤに供給� ��れてワイヤに付着したスラリは、ワークの� ��面に衝突したとき、上方に向かって一旦飛� ��するものの、下端がワークプレートよりも� ��方に突き出たスラリ飛散防止部材のテーパ� ��有する下面により、ワークの外側に跳ね返� ��れていた。すなわち、従来のワイヤソー装� ��を用いてワークの切断を行った後述の比較� ��のように、スラリがワークの上方へと大き� ��飛散し、そのままワークの内側へ落下して� ��まうのを防ぐことができた。このように、� ��ラリ飛散防止部材によってワークの内側へ� ��飛散するスラリの量を大幅に抑制できた。
 そして、ワークの蛇腹運動は抑制され、ワ� ��クの振動(ワイヤ列に直交する方向)はほと� �どなかった。

 この実施例で切り出したスライスウエーハ� ��全数について、実際に形状測定を行ってWarp を測定した。図5(A)に実施例でのWarpの測定結� ��を示す。
 図5(A)に示すように、本発明のワイヤソー装 置を用いてワークの切断を行った実施例では 、Warpを10μm以下に抑制できていることが分か る。後述する比較例では、Warpが20μmにも及ん でいる。本発明のワイヤソー装置を用いるこ とによって、Warpを格段に改善できたことが� �かる。
 

(比較例)
 従来のワイヤソー装置を用い、スラリ飛散� ��止部材を備えていないこと以外は実施例と� ��様の条件で、同様のシリコンインゴットの� ��断を行った。

 本発明者がワークの切断中にワークの観察� ��行ったところ、ワークの中央部以降を切断� ��ているとき、ワークの側面に衝突したスラ� ��は、ワークの内側に向かって大きく飛散し� ��ワークプレートにまで達し、その後、ワー� ��の内側に大量に降り注がれていた。
 そして、ワークの蛇腹運動が顕著に見られ� ��振幅の大きいワークの振動が観察された。� ��に、ワークの両方の端面付近で振動が激し� ��った。

 図5(B)に、比較例におけるスライスウエーハ の全数についてのWarpの測定結果を示す。
 このように、従来のワイヤソー装置を用い� ��ワークの切断を行った比較例では、特にワ� ��クの端面側(図5(B)の1-30枚目、246-275枚目あた り)において、Warpが大きくなっていることが� ��かる。これは、切断中に、激しい震動が観� ��されたワークの箇所と一致している。
 

 また、実施例、比較例で得た新線供給側か� ��1枚目のスライスウエーハについて、切断方 向におけるスライスウエーハのWarp形状を測� �した結果を図6に示す。
 実線が本発明、すなわち実施例の場合であ� ��、点線が従来法、すなわち比較例の場合で� ��る。ワーク切込み位置が中央部(150mm)以降、 特には250mm以降から分かるように、比較例に� ��べて、実施例は、中央部から切断終了部に� ��けるWarp形状の変化を著しく抑制できている ことが分かる。これは、上述したように、ワ ークの中央部以降を切断しているとき、ワー クの蛇腹運動を抑えることができたためと考 えられる。
 

 以上のように、本発明のワイヤソー装置で� ��れば、ワークのワイヤの切入り部からスラ� ��が飛散してワークの上方に降り注ぐことを� ��果的に防止することができ、それによって� ��ワークの中央部以降を切断しているときに� ��生するワークの蛇腹運動を抑制することが� ��能になり、切断後半におけるWarp形状を改善 することができる。その結果、従来よりも格 段にWarpが良好なスライスウエーハを提供す� �ことが可能である。
 

 なお、本発明は、上記実施形態に限定さ� ��るものではない。上記実施形態は、例示で� ��り、本発明の特許請求の範囲に記載された� ��術的思想と実質的に同一な構成を有し、同� ��な作用効果を奏するものは、いかなるもの� ��あっても本発明の技術的範囲に包含される� ��

 上記例では固定式のスラリ飛散防止部材� ��備えたワイヤソー装置を用いた場合の例を� ��げて説明したが、これに限定されず、可動� ��のスラリ飛散防止部材を備えたワイヤソー� ��置とすることもできる。この場合、ワーク� ��ワイヤの切入り部に対し、スラリ飛散防止� ��材をより近接して配設することも可能であ� ��、スラリの飛散を一層効果的に防止し、Warp がさらに良好なスライスウエーハを提供する こともできる。

 また、上記例で、固定式のスラリ飛散防� ��部材を塩化ビニル樹脂製のものとしたが、� ��の場合、その下端がワーク切断終了位置よ� ��も下方にまで伸びているサイズのものとし� ��ワークと一緒に切断することが可能なもの� ��することができる。一方、下端がワーク切� ��終了位置よりも上方にあり、ワークを切断� ��終わったときにもワイヤと接触することの� ��いサイズのものの場合、ステンレス等の金� ��材料からなるものとすることも可能である� ��