以下では、本発明の実施の形態について説� ��するが、本発明はこれに限定されるもので� ��ない。
 図1は本発明のワイヤソーの一例を示す概略 図である。
 図1に示す本発明のワイヤソー1は、切断さ� �るワークを下方のワイヤへと送りだすワー� �送り装置5以外の他の構成、例えばワークを� ��断するためのワイヤ2、ワイヤ2を巻掛けた� �付きローラ3、ワイヤ2に張力を付与するため の機構4、切断時にスラリを供給する機構6(ノ ズル17を含む)等は特に限定されず、従来と同 様のものとすることができる。

 次に、図2に本発明のワイヤソーにおけるワ ーク送り装置の一例を示す。
 このワーク送り装置5は、ワークを保持する ためのワーク保持部11、ワークを下方へ送る� ��めのLMガイド12およびワーク送り本体部13を� ��えており、コンピュータ制御でLMガイド12に 沿ってワーク送り本体部13を駆動させること� ��より、予めプログラムされた送り速度で、� ��ーク保持部11により保持されたワークを送� �出すことが可能である。
 ワークは、従来と同様に、当て板14および� �ークプレート15を介して、上記ワーク保持部 11により保持される。

 以下では、このワーク送り装置5のワーク 保持部11について、より具体的に構成例を挙� ��て説明する。ただし、このワーク保持部11� �関して、切断されるワークに面する下端面11 uの最大幅が、溝付きローラに巻掛けされた� �イヤ2のワイヤ列と平行な方向において、ワ� ��クの幅よりも大きければよく、本発明のワ� ��ヤソー1は以下の例に限定されるものではな い。

 (ワーク保持部がクランパである場合)
 まず、ワーク保持部11の下面を構成するも� �が、ワークプレート15を保持することによっ てワークを保持するクランパだけである場合 について、図3を参照して説明する。
 この場合、図3に示すように、クランパ16Aと しては、その下面16Au(図2のワーク保持部11の� ��端面11uに相当する)の最大幅が、ワイヤ列と 平行な方向においてワークの幅よりも大きい ものを用意する。

 このような幅広のクランパ16Aを有するワ� ��ク送り装置を備えたワイヤソーであれば、� ��ークの中央部以降を切断するとき、スラリ� ��ワークの側面にあたってワークの上方へ向� ��って飛散しても、クランパ16Aの側面16Asに飛 散するのを防ぐことができる。図3に示すよ� �に、クランパ16Aの下面16Auの最大幅がワーク� ��幅よりも大きいため、ワークの側面のワイ� ��切入り部から、クランパ16Aの側面16Asにまで スラリが飛散することはない。

 したがって、本発明では、当然、図14、15に 示す従来のワーク保持部を備えたワイヤソー を用いたときのように、スラリがクランパ116 の側面116sに飛散し、その側面116sに沿って流� ��落ち、ワークの切断済のウエーハ状となっ� ��箇所に集中して滴下するようなこともない� ��また、本発明では、たとえクランパの側面� ��スラリが飛散したとしても、クランパの最� ��幅がワークよりも大きいので、ワークの切� ��された部分に集中してスラリが流れ落ちる� ��とはない。
 このため、切断後半部(特に切断終了部付近 )において、ワークの切断済のウエーハ状と� �った箇所へのスラリの滴下によって引き起� �されるワークの蛇腹運動を従来に比べて十� �に抑制することができ、切断されるウエー� �のWarp形状が悪化するのを著しく抑えること� ��可能になる。

 次に、ワーク保持部の別の例について説� ��する。なお、ここでは、下面の最大幅がワ� ��クの幅よりも小さいクランパを有する場合� ��例に挙げて述べるが、以下の例は、下面の� ��大幅がワークの幅よりも大きいクランパを� ��する場合であっても適用することが可能で� ��る。

 (ワーク保持部が、クランパと、クランパに 隣接するカバー状またはブロック状の部材を 有する場合)
 図4(A)に示すように、クランパ16Bの下面16Bu� �最大幅がワークの幅よりも小さい場合、例� �ば、クランパ16Bと接して、ワイヤ2がワーク� ��切入る側と切出す側の両側にカバー状の部� ��20を配設する。このとき、カバー状部材20の 下面20uを、クランパ16Bの下面16Buと同じ高さ� �なるように配設することで、これらの下面20 u、16Buが一体となっている。
 すなわち、この場合、クランパ16Bとカバー� ��の部材20によってワーク保持部11が構成され ており、これらの一体となった下面20uおよび 16Buがワーク保持部11の下端面11uに相当する(� �2参照)。
 なお、このカバー状部材20は、それらの下� �20uとクランパ16Bの下面16Buを合わせた幅が、� ��ークの幅よりも大きくなるようなサイズの� ��のであれば良く、その都度決定することが� ��きる。

 また、図4(B)に示すように、カバー状部材 20の代わりにブロック状部材21が配設された� �のとすることもできる。この場合、ブロッ� �状部材21の下面21uを、クランパ16Bの下面16Bu� �同じ高さになるように配設することで、こ� �らの下面21u、16Buが一体となる。

 これらのように、クランパ16Bの両側に適� ��な大きさのカバー状部材20やブロック状部� �21が配設されたものの場合、たとえクランパ 16Bの下面16Buの最大幅がワークの幅よりも小� �くとも、両側のカバー状部材20やブロック状 部材21を組み合わせることで、全体として、� ��ークの幅よりも最大幅が大きい下端面11uが� ��成されたものとすることができる。

 そして、図4(A)(または図4(B))から判るように 、クランパ16Bとカバー状部材20(またはブロッ ク状部材21)は接しているので、当然クランパ 16Bの側面16Bsにスラリが飛散することはない� �
 また、カバー状部材20の下面20u(またはブロ� ��ク状部材21の下面21u)とクランパ16Bの下面16Bu が一体となって形成された面(ワーク保持部11 の下端面11uに相当する)の最大幅はワークの� �よりも大きいので、カバー状部材20の側面20s (ブロック状部材21の側面21s)にまでスラリが� �散することも防止できる。このため、ワー� �の切断済の箇所に、このクランパの側面16Bs� ��カバー状部材の側面20s(ブロック状部材の側 面21s)からスラリが滴下することを防ぎ、こ� �スラリの滴下によって発生するワークの蛇� �運動、さらには切断されるウエーハのWarp形� ��を著しく抑制することが可能である。

 (ワーク保持部が、クランパと、クランパ下 方に位置するプレート状の部材を有する場合 )
 さらに他の例として、図5に示すように、ク ランパ16Bの下方、かつ、ワイヤ2がワークに� �入る側と切出す側の両側に、プレート状の� �材22が配設されたものとすることができる。
 すなわち、この場合、クランパ16Bとプレー� ��状部材22によってワーク保持部11が構成され ており、プレート状の部材22の下面22uがワー� ��保持部11の下端面11uに相当する。なお、プ� �ート状部材22の下面22uによる最大幅が、ワー クの幅よりも大きいものであれば良く、その 都度適切なものを用意することができる。

 そして、これらのプレート状部材22の下� �22uによる最大幅は、ワークの幅よりも大き� �なっているため、プレート状部材22の側面22s やクランパ16Bにスラリが飛散することを防止 でき、したがって該側面22s等からワークの切 断済の箇所へスラリが滴下するのを防ぐこと ができる。これによって、ワークの蛇腹運動 を抑制し、切断されるウエーハのWarp形状が� �化するのを著しく抑制することが可能であ� �。

 以上のように、ワーク保持部11の構成に� �いて例を挙げて述べてきたが、特に図4、5に 示したような、カバー状部材20やブロック状� ��材21、またはプレート状部材22を構成に含む 形態であれば、既存のワークの幅よりも小さ いクランパを有するものでも、ワークの幅よ りも大きい下端面11uを形成するように、適切 な大きさの上記各部材をクランパ等に取り付 けるだけで良いので簡便である。

 また、ここで、ワーク保持部11の下端面11u� �形状についてさらに詳しく述べる。
 このワーク保持部11の下端面11uとしては、� �えば図3、図4に示すように(図3ではクランパ1 6Aの下面16Au、図4では一体となったクランパ16 Bの下面16Buとカバー状部材20の下面20uに相当� �る)、水平なものとすることができる。この� ��き、ワーク側面の切入り部から飛散したス� ��リが、ワーク保持部の下端面11uに達し、そ� ��後に滴下するとしても、ワークの特定箇所� ��特にはワークの既に切断されてウエーハ状� ��なった箇所に集中的にスラリが滴下するの� ��防ぐことができる。

 また、図5に示すように、ワーク保持部11� ��下端面11u(図5ではプレート状部材22の下面22u に相当する)が、ワイヤ2のワイヤ列と平行な� ��向において、切断されるワークに対して外� ��へ向かって低くなるテーパを有する場合、� ��ラリが下端面11uに沿って流れて縁から滴下� ��ても、ワーク保持部11の下端面11uの最大幅� �切断されるワークの幅よりも大きいので、� �ラリはワークよりもさらに外側を通って滴� �することになり、ワーク上にスラリが滴下� �るのを防ぐことができる。

 これに対し、図6に示すように、ワーク保 持部11の下端面11u(図6では、プレート状部材22 ’の下面22’uに相当する)が、ワイヤ2のワイ� ��列と平行な方向において、切断されるワー� ��に対して内側へ向かって低くなるテーパを� ��する場合、飛散するスラリをワークの外側� ��向かって反射することができるし、また、� ��ーク保持部の下端面に付着したスラリが、� ��端面に沿ってワークに対して内側方向に流� ��、下端面の縁からワーク上にスラリが滴下� ��ても、ワークの切断前のブロック状の箇所� ��滴下するので、蛇腹運動を発生させる原因� ��はなりにくく、切断されるウエーハのWarpに 特に悪影響を与えることはない。

 なお、この場合のワーク保持部11の下端� �11uのテーパ角は特に限定されず、例えば、� �用するスラリの種類や切断されるワークと� �距離等に応じて適宜決定することができる� �

 次に、本発明のワークの切断方法について� ��べる。
 本発明のワークの切断方法では、一旦、切� ��されるワークの幅と比較して、確実に、ワ� ��ク保持部の下端面の最大幅が、ワイヤ列と� ��行な方向において、切断されるワークの幅� ��りも大きくなるようにしてワークの切断を� ��う。これ以外は、例えば、従来と同様の手� ��でワークを切断することができる。

 このとき、より具体的には、一例として、� ��3の本発明のワイヤソーのように、ワーク保 持部を、下面16Auの最大幅が、ワイヤ列と平� �な方向においてワークの幅よりも大きいク� �ンパ16Aで構成してワークを切断することが� �きる。
 また、図4(A)、図4(B)の本発明のワイヤソー� �ように、ワーク保持部を、クランパ16Bの他� �カバー状部材20やブロック状部材21をさらに� ��いて構成することができる。
 あるいは、図5、図6のような本発明のワイ� �ソーのように、ワーク保持部を、クランパ16 Bの下方に、プレート状部材22、22’をさらに� ��設することにより構成することができる。
 いずれの場合も、ワーク保持部の下端面の� ��大幅が切断されるワークの幅よりも大きな� ��態で切断する。

 なお、カバー状部材20等は、切断される� �ークをクランパにより保持した後で配設し� �も良いし、クランパに保持する前に予め配� �しても良い。ワークの切断時にワーク保持� �の下端面の最大幅が切断されるワークの幅� �りも大きくなっていれば良い。

 また、ワーク保持部の下端面を、例えば� ��図3、図4(A)、図4(B)のように水平なものとす� ��ことができるし、図5、図6のようにワイヤ� �と平行な方向において、切断されるワーク� �対して外側または内側へ向かって低くなる� �ーパを有するものとすることができる。こ� �ようなワーク保持部の下端面の角度につい� �は、その都度、他の条件等に応じて適宜決� �れば良い。

 また、切断されるワークの大きさは特に� ��定されないが、特にはワークの幅が300mm以� �のものとすることができる。このような比� �的大きなものであっても、本発明であれば� �確実に、飛散したスラリがワーク保持部の� �面に沿って流れ落ちてワークの切断済みの� �所に滴下するのを防止でき、その結果、Warp� ��良好なスライスウエーハを得ることができ� ��。

 特には、Warpが9μm未満のスライスウエーハ� �を得ることができる。たとえWarpが悪化しや� ��いワークの端面側から切り出されたスライ� ��ウエーハであっても、Warpを比較的小さな値 に抑制することができ、例えば9μm未満とい� �良好な値でウエーハ全数を切りだすことが� �能である。
 

 以下、本発明を実施例によりさらに詳細に� ��明するが、本発明はこれに限定されない。
(実施例1)
 図5に示すような、クランパの下方に、外側 へ向かって低くなるテーパを有するプレート 状部材を備えた本発明のワイヤソー装置を用 い、直径300mm、軸方向長さ180mmのシリコンイ� �ゴットをウエーハ状に切断し、165枚のスラ� �スウエーハを得る。
 なお、幅(直径)が300mmの上記シリコンインゴ ットに対して、ワーク保持部の構成として、 幅が260mmのクランパ16Bと、幅が388mmでシリコ� �インゴットの幅よりも大きい一組のプレー� �状部材22からなるものを用意した。

 そして、直径160μmのワイヤを使用し、2.5kgf� ��張力をかけて、500m/minの平均速度で60s/cのサ イクルでワイヤを往復方向に走行させるとと もに、ノズルからワイヤに向かってスラリを 供給し、ワーク送り装置によってシリコンイ ンゴットをワイヤ列に押し当てて切断を行い 、スライスウエーハを得た。
 このようにして、本発明のワークの切断方� ��を実施した。

 そして、切断中にスラリの流れについて観� ��を行った。
 切断開始時からシリコンインゴットの中央� ��切断時までは、ワイヤの切入り部からシリ� ��ンインゴットの下方へ落下した。
 一方、中央部以降を切断しているときは、� ��ラリはワイヤの切入り部からシリコンイン� ��ットの上方へ飛散した。このとき、プレー� ��状部材の下面22uまで飛散したスラリは、そ� ��大部分が、下面22uに沿って流れ落ち、下面2 2uの外側の縁から滴下していた。そして、縁� ��ら滴下したスラリは、切断中のシリコンイ� ��ゴット上にかかることなくさらに下方へと� ��下した。
 また、下方にプレート状部材22が配設され� �いるため、クランパ16Bにまでスラリは飛散� �ず、当然、従来のようにクランパ16Bの側面� �らスラリが滴下することはなかった。

 また、シリコンインゴットについて観察を� ��ったところ、シリコンインゴットの中央部� ��降を切断中、既に切断済みでウエーハ状に� ��った箇所において、後述する比較例1に比べ て、蛇腹運動の発生は著しく抑制されていた 。
 ここで、図7に、切断されたウエーハ全数の Warpの測定結果を示す。Warpの平均値は4.67μmで あり、従来のワイヤソーを用いた場合(比較� �1:7.72μm)に比べて6割程度に抑えられているこ とが判る。本発明のワイヤソーによって、従 来に比べて、スライスウエーハのWarpの大き� �を抑制でき、優れた品質のものを得ること� �判る。
 

 (比較例1)
 図11のようなワーク送り装置を有する従来� �ワイヤソーを用いる以外は実施例と同様に� �てシリコンインゴットをウエーハ状に切断� �た。
 ここで用いたワイヤソーは、ワーク保持部� ��クランパのみからなるものであり、その幅� ��260mmで、シリコンインゴットの幅よりも小� �かった。

 本発明者が切断中にスラリの流れについ� ��観察を行ったところ、実施例1とは異なり、 シリコンインゴットの中央部以降を切断中、 幅がシリコンインゴットよりも小さいクラン パの側面にまでスラリが飛散し始め、飛散し たスラリはその後にクランパの側面に沿って 流れ落ちていた。そして切断がさらに進むと 、クランパの側面からのスラリは既に切断済 でウエーハ状になった箇所に滴下していた。

 また、シリコンインゴットについて観察す� ��と、シリコンインゴットのウエーハ状に切� ��された箇所において、蛇腹運動が頻繁に発� ��していた。
 ここで、図8に、切断されたウエーハ全数の Warpの測定結果を示す。Warpの平均値は7.72μmで あり大きな値となった。
 

 実施例1と比較例1のそれぞれにおいてシ� �コンインゴットをウエーハ状に切断し、各� �、切断されたウエーハのうち、新線供給側� �ら1枚目のウエーハを抜き出して、Warp形状を 測定した。測定結果を図9に示す。

 図9に示すように、本発明のワイヤソーを用 いて切断を行った実施例1と、従来のワイヤ� �ーを用いて切断を行った比較例1では、特に� ��切断終了部付近(切り込み位置が270mmから300m m)において、Warp形状に大きな差が見られる。
 比較例1では、クランパの側面にまで飛散し たスラリが、そこからシリコンインゴットの 特定箇所(ウエーハ状に切断されている箇所)� ��集中して滴下しており、それによって、蛇� ��運動が引き起こされやすく、Warp形状が悪化 したと考えられる。

 一方、実施例1では、クランパの下方に配設 されたプレート状部材22の下面にスラリが飛� ��するものの、その飛散スラリの大部分は、� ��ンゴットよりも幅広のプレート状部材の下� ��の縁から滴下し、シリコンインゴットのウ� ��ーハ状に切断された箇所にかかることもな� ��、蛇腹運動が発生するのを抑制することが� ��きた。そして、これによってWarp形状が悪化 するのを格段に抑えることができた。
 

 (実施例2)
 図3に示すような本発明のワイヤソー装置を 用い、直径300mm、軸方向長さ180mmのシリコン� �ンゴットをウエーハ状に切断し、165枚のス� �イスウエーハを得る。
 なお、幅(直径)が300mmの上記シリコンインゴ ットに対して、ワーク保持部の構成として、 幅が360mmのクランパ16Aからなるものを用意し� ��。
 他の切断条件は実施例1と同様とした。
 このようにして、本発明のワークの切断方� ��を実施した。

 切断されるシリコンインゴットよりも幅広� ��クランパを用いたため、シリコンインゴッ� ��のワイヤの切入り部から飛散したスラリは� ��ランパの側面に達することはなく、従来の� ��うにクランパの側面をつたってスラリが滴� ��することはなかった。
 蛇腹運動の発生も抑制されており、切断し� ��ウエーハのWarpの値も実施例1と同様に小さ� �、優れた品質のスライスウエーハを得るこ� �ができた。
 

 (実施例3)
 図4(A)に示すような本発明のワイヤソー装置 を用い、直径300mm、軸方向長さ180mmのシリコ� �インゴットをウエーハ状に切断し、165枚の� �ライスウエーハを得る。
 なお、幅が300mmの上記シリコンインゴット� �対して、ワーク保持部の構成として、幅が26 0mmのクランパ16Bと、幅がそれぞれ100mmの2つの カバー部材20からなるものを用意した。クラ� ��パ16Bの下面16Buとカバー部材20の下面20uの高� ��方向の位置を一致させ、クランパ16Bの両側� ��カバー部材20を各々接して配設した。この� �うにして一体となって形成された面の幅は46 0mmであった。
 このようにして、本発明のワークの切断方� ��を実施した。

 切断されるシリコンインゴットに面する、� ��記の一体となって形成された面は、シリコ� ��インゴットよりも幅広であるため、シリコ� ��インゴットのワイヤの切入り部から飛散し� ��スラリは両側のカバー部材20の側面20sに達� �ることはなく、該側面をつたってスラリが� �下することはなかった。
 蛇腹運動の発生も抑制されており、切断し� ��ウエーハのWarpの値も実施例1と同様に小さ� �、優れた品質のスライスウエーハを得るこ� �ができた。
 

 なお、本発明は、上記実施形態に限定さ� ��るものではない。上記実施形態は、例示で� ��り、本発明の特許請求の範囲に記載された� ��術的思想と実質的に同一な構成を有し、同� ��な作用効果を奏するものは、いかなるもの� ��あっても本発明の技術的範囲に包含される� ��

 たとえば、実施例ではワークの幅が300mm� �ものを用いたが、本発明はこれに限定され� �、300mmよりも大、たとえば400mm以上のものに� ��用することもできる。本発明であれば、こ� ��ような幅がさらに大きなワークであっても� ��Warpが良好(例えば9μm未満)なスライスウエー ハ群を得ることが可能である。