以下、本発明の最良の実施形態について添� ��図面を参照しつつ説明する。尚、ここで取� ��扱われるワークWは、四隅部をもつ矩形平板 状をなす大型(例えば、約1300mm×約700mmのサイ� ��をなす液晶パネル等)の基板である。
 このワークハンドリング装置は、図1ないし 図5に示すように、X軸方向に伸長する一対の� ��定フレーム10、Y軸方向に伸長し一対の固定� ��レーム10に移動自在に支持された第1可動フ� ��ーム20及び第2可動フレーム30、第1可動フレ� ��ム20においてY軸方向及び鉛直方向Zに移動自 在に支持された第1可動ホルダ40及び第3可動� �ルダ60、第2可動フレーム30においてY軸方向� �び鉛直方向Zに移動自在に支持された第2可動 ホルダ50及び第4可動ホルダ70、第1可動ホルダ 40に設けられた第1ハンド140、第2可動ホルダ50 に設けられた第2ハンド150、第3可動ホルダ60� �設けられた第3ハンド160、第4可動ホルダ70に� ��けられた第4ハンド170、一対の固定フレーム 10の中間エリアの下方に配置された2つの撮影 カメラ200,210、ワークWが中間エリアに移送さ� ��て撮影のタイミングを検出する検出センサ2 20、種々の制御を司る制御手段としての制御� ��路230、種々の情報を予め記憶する記憶回路2 40、撮影カメラ200,210により撮影された画像情 報を処理する画像処理回路250、画像処理回路 250により得られた画像データに関する情報と 記憶回路240に記憶された情報等に基づいてワ ークWの位置ずれ等を演算する演算回路260等� �備えている。

 そして、一対の固定フレーム10、第1可動� ��レーム20及び第2可動フレーム30、第1可動ホ� ��ダ40,第2可動ホルダ50,第3可動ホルダ60,第4可� ��ホルダ70により、複数のハンド(第1ハンド140 ,第2ハンド150,第3ハンド160,第4ハンド170)をそ� �ぞれ直交する三軸方向(X軸方向、Y軸方向、Z� ��方向)に三次元的に移動させるハンド駆動機 構が形成されている。また、画像処理回路250 及び演算回路260等によりワークWの位置ずれ� �演算する画像処理演算手段が形成されてい� �。さらに、一対の固定フレーム10の伸長方向 に平行なX軸と2つの可動フレーム20,30の伸長� �向に平行なY軸(互いに直交する二軸)により� �定される水平面が、ワークWを回転又は水平� ��動させて位置ずれを補正する所定平面とし� ��適用される。

 一対の固定フレーム10は、図1ないし図3に示 すように、水平面内において互いに平行にX� �方向に伸長するように形成されている。そ� �て、固定フレーム10は、第1可動フレーム20及 び第2可動フレーム30を独立してX軸方向に移� �可能に支持している。
 ここで、一対の固定フレーム10は、図2及び� ��3に示すように、その下方において、X軸方� �の一端側寄りにおいてワークWを受け取る受� ��エリアA1、ワークWの位置ずれを計測する中� ��エリアA2、X軸方向の他端側寄りにおいてワ� ��クWを所定位置に移載する移載エリアA3を画� ��している。

 第1可動フレーム20は、図1ないし図3に示す� �うに、Y軸方向に伸長するように形成されて� ��の両端が一対の固定フレーム10に可動に支� �されている。そして、第1可動フレーム20は� �第1可動ホルダ40及び第3可動ホルダ60をY軸方� ��に移動可能にかつ鉛直方向Zに移動可能に支 持している。
 第2可動フレーム30は、図1ないし図3に示す� �うに、Y軸方向に伸長するように形成されて� ��の両端が一対の固定フレーム10に可動に支� �されると共に、第1可動フレーム20と平行に� �置されている。そして、第2可動フレーム30� �、第2可動ホルダ50及び第4可動ホルダ70をY軸� ��向に移動可能にかつ鉛直方向Zに移動可能に 支持している。

 ここで、第1可動フレーム20及び第2可動フ レーム30は、図1に示すように、X軸駆動モー� �21,31、X軸駆動モータ21、31に直結された駆動� ��ーリ(不図示)、固定フレーム10上においてX� �方向に伸長して配設され駆動プーリが噛合� �は転動するベルト(不図示)、固定フレーム10� ��上面に沿うように屈曲自在に配置された可� ��ケーブル22,32等を備えている。すなわち、X� ��駆動モータ21,31が回転することで、駆動モ� �タ21,31と一体となって第1可動フレーム20及び 第2可動フレーム30がそれぞれX軸方向に移動� �るようになっている。

 第1可動ホルダ40は、図1に示すように、Y軸� �向に移動可能にかつ鉛直方向Zに移動可能に� ��第1可動フレーム20に支持されている。そし� ��、第1可動ホルダ40は、図1に示すように、そ の下端において第1ハンド140を保持している� �
 ここで、第1可動ホルダ40は、図1に示すよう に、Y軸駆動モータ41、Y軸駆動モータ41に直結 された駆動プーリ(不図示)、第1可動フレーム 20に沿ってY軸方向に伸長して配設され駆動プ ーリが噛合又は転動するベルト(不図示)、第1 可動フレーム20の上面に沿うように屈曲自在� ��配置された可撓ケーブル42、Z軸駆動モータ4 3、Z軸駆動モータ43により昇降駆動される昇� �機構(不図示)、可撓ケーブル44等を備えてい� ��。すなわち、Y軸駆動モータ41が回転するこ� ��で、Y軸駆動モータ41と一体となって第1可動 ホルダ40がY軸方向に移動し、Z軸駆動モータ43 が回転することで、第1可動ホルダ40がZ軸方� �に移動するようになっている。

 第2可動ホルダ50は、図1に示すように、Y軸� �向に移動可能にかつ鉛直方向Zに移動可能に� ��第2可動フレーム30に支持されている。そし� ��、第2可動ホルダ50は、図1に示すように、そ の下端において第2ハンド150を保持している� �
 ここで、第2可動ホルダ50は、図1に示すよう に、Y軸駆動モータ51、Y軸駆動モータ51に直結 された駆動プーリ(不図示)、第2可動フレーム 30に沿ってY軸方向に伸長して配設され駆動プ ーリが噛合又は転動するベルト(不図示)、第2 可動フレーム30の上面に沿うように屈曲自在� ��配置された可撓ケーブル52、Z軸駆動モータ5 3、Z軸駆動モータ53により昇降駆動される昇� �機構(不図示)、可撓ケーブル54等を備えてい� ��。すなわち、Y軸駆動モータ51が回転するこ� ��で、Y軸駆動モータ51と一体となって第2可動 ホルダ50がY軸方向に移動し、Z軸駆動モータ53 が回転することで、第2可動ホルダ50がZ軸方� �に移動するようになっている。

 第3可動ホルダ60は、図1に示すように、Y軸� �向に移動可能にかつ鉛直方向Zに移動可能に� ��第1可動フレーム20に支持されている。そし� ��、第3可動ホルダ60は、図1に示すように、そ の下端において第3ハンド160を保持している� �
 ここで、第3可動ホルダ60は、図1に示すよう に、Y軸駆動モータ61、Y軸駆動モータ61に直結 された駆動プーリ(不図示)、第1可動フレーム 20に沿ってY軸方向に伸長して配設され駆動プ ーリが噛合又は転動するベルト(不図示)、第1 可動フレーム20の上面に沿うように屈曲自在� ��配置された可撓ケーブル62、Z軸駆動モータ6 3、Z軸駆動モータ63により昇降駆動される昇� �機構(不図示)、可撓ケーブル64等を備えてい� ��。すなわち、Y軸駆動モータ61が回転するこ� ��で、Y軸駆動モータ61と一体となって第3可動 ホルダ60がY軸方向に移動し、Z軸駆動モータ63 が回転することで、第3可動ホルダ60がZ軸方� �に移動するようになっている。

 第4可動ホルダ70は、図1に示すように、Y軸� �向に移動可能にかつ鉛直方向Zに移動可能に� ��第2可動フレーム30に支持されている。そし� ��、第4可動ホルダ70は、図1に示すように、そ の下端において第4ハンド170を保持している� �
 ここで、第4可動ホルダ70は、図1に示すよう に、Y軸駆動モータ71、Y軸駆動モータ71に直結 された駆動プーリ(不図示)、第2可動フレーム 30に沿ってY軸方向に伸長して配設され駆動プ ーリが噛合又は転動するベルト(不図示)、第2 可動フレーム30の上面に沿うように屈曲自在� ��配置された可撓ケーブル72、Z軸駆動モータ7 3、Z軸駆動モータ73により昇降駆動される昇� �機構(不図示)、可撓ケーブル74等を備えてい� ��。すなわち、Y軸駆動モータ71が回転するこ� ��で、Y軸駆動モータ71と一体となって第4可動 ホルダ70がY軸方向に移動し、Z軸駆動モータ73 が回転することで、第4可動ホルダ70がZ軸方� �に移動するようになっている。

 第1ハンド140は、図4及び図6に示すように� ��第1可動ホルダ40の下端に保持されており、� ��L字型のハンド本体141、ハンド本体141に軸受 142を介して回転自在に支持された第1回転担� �部143、第1回転担持部143の内側に配置された� ��着パッド145等を備えている。

 第1回転担持部143は、ワークWを水平面(XY平� �)内において回転自在に担持する平坦な環状� ��持面143a、貫通孔143b,143c等を有する。環状担 持面143aは、鉛直方向Zの下方からワークWの隅 部領域W1を支持するように形成されている。� ��通孔143bは、後述する吸着パッド145の筒部145 bを受け入れて、吸引ポンプ(不図示)による空 気の吸込みを可能にしている。
 吸着パッド145は、ワークWの下面に密接する ラッパ状のパッド部145a、パッド部145aに接続� ��れて下方に伸長する筒部145b等を有する。

 そして、第1ハンド140においては、第1回転� �持部143(の環状担持面143a)が、吸着パッド145� �よりワークWを吸引した状態でワークWの隅部 領域W1を担持し、後述する第2ハンド150の担持 駆動機構155が一方向に駆動力を及ぼすと、第 1回転担持部143を支点として、ワークWが水平� ��(XY平面)内において移動(回転)するのを許容� ��るようになっている。
 ここでは、ワークWを吸着して保持する吸着 パッド145を採用しているため、ワークWを確� �に保持することができ、ワークWが比較的軽� ��物であっても、ワークWを移動させる際に第 1ハンド140からの滑り落ちあるいは位置ずれ� �防止することができる。

 第2ハンド150は、図8ないし図10に示すよう に、第2可動ホルダ50の下端に保持されており 、略L字型のハンド本体151、ハンド本体151上� �設けられてX軸方向及びY軸方向に移動可能な 他方向支持機構としてのテーブル152、テーブ ル152に対して軸受け153を介して回転自在に支 持された第2回転担持部154、テーブル152(第2回 転担持部154)をX軸方向(所定平面内の一方向)� �駆動する一方向駆動機構155、第2回転担持部1 54の内側に配置された吸着パッド156等を備え� ��いる。

 テーブル152は、ハンド本体151に対して、X軸 方向及びY軸方向に移動可能に支持され、後� �する吸着パッド156の筒部156bを通す貫通孔152a 、後述する第2駆動機構155の連結部155cをX軸方 向において不動にかつY軸方向において移動� �能に連結するガイドレール152b等を有する。
 第2回転担持部154は、ワークWを水平面(XY平� �)内において回転自在に担持する平坦な環状� ��持面154a、貫通孔154b等を有する。環状担持� �154aは、鉛直方向Zの下方からワークWの隅部� �域W2を支持するように形成されている。貫通 孔154bは、後述する吸着パッド156の筒部156bを� ��け入れて、吸引ポンプ(不図示)による空気� �吸込みを可能にしている。
 一方向駆動機構155は、ハンド本体151に固定� ��れて回転駆動力を及ぼす駆動モータ155a,駆� �モータ155aに直結されたリードスクリュー155b 、リードスクリュー155bに螺合されると共に� �ーブル152のガイドレール152bにY軸方向に摺動 自在に連結される連結部155c、駆動モータ155a� ��付随する部品(不図示)等を有する。
 吸着パッド156は、ワークWの下面に密接する ラッパ状のパッド部156a、パッド部156aに接続� ��れて下方に伸長する筒部156b等を有する。

 そして、第2ハンド150においては、第2回転� �持部154(の環状担持面154a)が、吸着パッド156� �よりワークWを吸引した状態で、ワークWの隅 部領域W2を自由に回転するようにかつ水平面( XY平面)内のY軸方向に自由に移動するように� �持し、一方向駆動機構155がX軸方向(一方向)� �駆動力を及ぼすと、テーブル152(第2回転担持 部154)がワークWを水平面(XY平面)内のX軸方向� �移動させるようになっている。
 ここでは、ワークWを吸着して保持する吸着 パッド156を採用しているため、ワークWを確� �に保持することができ、ワークWが比較的軽� ��物であっても、ワークWを移動させる際に第 2ハンド150からの滑り落ちあるいは位置ずれ� �防止することができる。
 尚、第2ハンド150においては、ワークWを担� �していない状態で、テーブル152(及び第2回転 担持部154)がY軸方向に勝手に移動しないよう� ��ロックするために、例えば、シリンダ機構� ��フック機構等を用いたロック手段(不図示)� �設けられている。

 上記第2回転担持部154、第2回転担持部154を� �平面(所定平面)内のX軸方向(一方向)に移動可 能に駆動する一方向駆動機構155、第2回転担� �部154を水平面(所定平面)内のY軸方向(他方向) に移動自在に支持するテーブル152(他方向支� �機構)により、第1回転担持部143を支点として 、ワークWを担持しつつ水平面(所定平面)内に おいて移動させる担持駆動機構が形成されて いる。
 これによれば、第2ハンド150の一方向駆動機 構155が一方向に駆動させられると、第1回転� �持部143を支点として、第2回転担持部154が自� ��に回転すると共に、第2回転担持部154が水平 面内のX軸方向(一方向)に移動させられ、又、 この移動に伴って第2回転担持部154がテーブ� �152を介して水平面内のY軸方向(他方向)に自� �に移動するようになっている。

 すなわち、第1ハンド140及び第2ハンド150が� �ワークWの対角線上に位置する異なる二箇所� ��隅部領域W1,W2を保持した状態で、第2ハンド1 50の一方向駆動機構155が駆動させられると、� ��1ハンド140の第1回転担持部143を支点として� �ワークWが水平面内において移動し、ワークW の位置ずれ(角度位置又は中心位置のずれ)が� ��正されるようになっている。
 このように、少なくとも2つのハンド140,150� �ワークWを保持するだけでも、ワークWを確実 に保持して移載することができ、又、ワーク Wの位置ずれを確実に補正して移載すること� �できる。

 第3ハンド160は、図4及び図7に示すように、� ��3可動ホルダ60の下端に保持されており、略L 字型のハンド本体161、ハンド本体161に設けら れた半球状の凹部を画定するキャリヤ162、キ ャリヤ162内に配列されたボールベアリング163 、ボールベアリング163により全方向に回転自 在に支持された担持部としての球体164等を備 えている。
 球体164は、ワークWを水平面(XY平面)内にお� �て全方向に移動自在に担持する球面164aを有� ��る。

 そして、第3ハンド160においては、球体164(� �球面164a)が、ワークWの隅部領域W3を水平面内 の全方向に自由に移動するように担持してい る。
 これによれば、第2ハンド150の第2回転担持� �154が、ワークWを担持した状態で一方向駆動� ��構155により移動させられると、その移動量� ��応じてワークWが移動する際に、球体164がワ ークWの隅部領域W3を担持しつつ自在に回転し て、ワークWが水平面内において移動するの� �許容するになっている。

 第4ハンド170は、第3ハンド160と同一の構成� �なすものであり、図4及び図7に示すように、 第4可動ホルダ70の下端に保持されており、略 L字型のハンド本体171、ハンド本体171に設け� �れた半球状の凹部を画定するキャリヤ172、� �ャリヤ172内に配列されたボールベアリング17 3、ボールベアリング173により全方向に回転� �在に支持された担持部としての球体174等を� �えている。
 球体174は、ワークWを水平面(XY平面)内にお� �て全方向に移動自在に担持する球面174aを有� ��る。

 そして、第4ハンド170においては、球体174(� �球面174a)が、ワークWの隅部領域W4を水平面内 の全方向に自由に移動するように担持してい る。
 これによれば、第2ハンド150の第2回転担持� �154が、ワークWを担持した状態で一方向駆動� ��構155により移動させられると、その移動量� ��応じてワークWが移動する際に、球体174がワ ークWの隅部領域W4を担持しつつ自在に回転し て、ワークWが水平面内において移動するの� �許容するになっている。

 上記構成によれば、一対の固定フレーム10� �対して、第1可動フレーム20がX軸方向に移動� ��ることで、第1可動ホルダ40(第1ハンド140)及� ��第3可動ホルダ60(第3ハンド160)がX軸方向に移 動させられ、又、第2可動フレーム30がX軸方� �に移動することで、第2可動ホルダ50(第2ハン ド150)及び第4可動ホルダ70(第4ハンド170)がX軸� ��向に移動させられる。
 また、第1可動フレーム20に沿って第1可動ホ ルダ40及び第3可動ホルダ60がY軸方向に移動す ることで、第1ハンド140及び第3ハンド160がY軸 方向に移動させられ、又、第2可動フレーム30 に沿って第2可動ホルダ50及び第4可動ホルダ70 がY軸方向に移動することで、第2ハンド150及� ��第4ハンド170がY軸方向に移動させられ、さ� �に、第1可動ホルダ40~第4可動ホルダ70が鉛直� ��向Zに移動することで、第1ハンド140~第4ハン ド170が上下方向(鉛直方向Z)に移動させられる 。
 すなわち、一対の固定フレーム10、2つの可� ��フレーム20,30、4つの可動ホルダ40~70を含む� �ンド駆動機構により、第1ハンド140~第4ハン� �170が水平面(XY平面)内及び鉛直方向Zに三次元 的に移動させられるため、大型のワークWで� �っても確実に保持して容易に移動させるこ� �ができる。

 さらに、第1ハンド140,第2ハンド150,第3ハン� �160,及び第4ハンド170は、図11に示すように、� ��互いに協働してワークWを担持し、一方向駆 動機構155がワークWの角度位置のずれを補正� �るためにX軸方向に駆動力を及ぼすと、その� ��動量に応じてワークWの移動を許容するよう に、第1回転担持部143が自在に回転し、第2回� ��担持部154が自在に回転及び水平面内で移動� ��、第3ハンド160の球体164及び第4ハンド170の� �体174が自在に転動し、ワークWの角度位置の� ��れが補正される。
 このように、4つのハンド140,150,160,170により ワークWが保持されるため、ワークWをより確� ��に保持することができ、又、第3ハンド160及 び第4ハンド170が全方向に移動自在であるた� �、ワークWの担持箇所を増加させつつも、位� ��ずれを補正する際にワークWを円滑に移動さ せることができる。

 2つの撮影カメラ200,210は、図2及び図3に示す ように、照明(不図示)と共に中間エリアA2の� �域に配置されており、ワークWの対角線上に� ��置する隙部領域W1,W2を下方から撮影するよ� �に、上向きにした状態で固定されている。
 そして、撮影カメラ200,210は、4つのハンド14 0,150,160,170により保持されたワークWが、受取� ��リアA1から中間エリアA2に移送されると、ワ ークWの二箇所の隅部領域W1,W2をそれぞれ撮影 して、その画像情報を画像処理回路250に送る ようになっている。
 すなわち、2つの撮影カメラ200,210は、ワー� �Wが受取エリアA1から中間エリアA2を通過して 移載エリアA3に移送される行程において、中� ��エリアA2の領域に移送されてきたワークWを� ��影し、その撮影画像に基づいて後述するよ� ��にワークWの位置ずれ量が求められる。
 このように、ある程度の経路長さを確保で� ��る中間エリアA2においてワークWが撮影され� ��ため、複数の箇所の撮影が可能であると共� ��、移載エリアA3に至るまでの間に位置ずれ� �補正する補正動作を行うことができる。

 検出センサ220は、図3に示すように、固定 フレーム10に設けられており、第1可動ホルダ 20又は第2可動ホルダ30の一部を検出すること� ��、ワークWが中間エリアA2内の所定位置に移� ��されたことを検出すると共に、図5に示すよ うに、撮影カメラ200,210の撮影タイミングを� �らせるトリガ信号を制御回路230に向けて発� �るようになっている。

 制御手段としての制御回路230は、図5に示す ように、全体の制御を司るべく、撮影カメラ 200,210、検出センサ220、記憶回路240、画像処� �回路250、演算回路260、ハンド駆動機構(21,31,4 1,43,51,53,61,63,71,73)、一方向駆動機構155等との� ��で種々の信号を受け取り又制御信号を発す� ��ようになっている。
 記憶回路240は、種々の情報を予め記憶する� ��のであり、ワークWを4つのハンド140,150,160,17 0で保持して移送する際の基準位置に関する� �ータ情報、ワークWのサイズに関する情報、� ��の他の情報が記憶されている。

 画像処理回路250は、撮影カメラ200,210により 撮影されたワークWの画像データを適宜処理� �て、ワークWの所定位置(例えば、隅部領域W1, W2に予め設けられた2つのマーク)がXY平面内の 何処にあるかをXY座標にして出力するように� ��っている。
 演算回路260は、画像処理回路250により求め� ��れた2つのXY座標と、記憶回路240に記憶され� ��基準位置に関するXY座標とを比較して、所� �の基準位置に対するワークWの位置ずれ量(X� �方向のずれ量、Y軸方向のずれ量、角度位置� ��ずれ量)を演算にて計測するようになってい る。
 すなわち、画像処理回路250及び演算回路260� ��より、撮影カメラ200,210により得られた画像 情報に基づいてワークWの位置ずれ量を演算� �る画像処理演算手段が形成されている。

 続いて、このワークハンドリング装置にお� ��るXY座標のキャリブレーションについて、� �12を参照しつつ説明する。尚、キャリブレー ションは、装置を駆動させてハンドリングを 行う前に予め、ダミーのワークWを用いて行� �れる。
 先ず、第1ハンド140及び第2ハンド150をN箇所� ��任意の多数位置(Xi,Yi)、(但しi=1~N)に移動さ� �たとき、これら多数位置における撮影カメ� �200,210内でのマークP1の座標(x1,y1)及びマークP 2の座標(x2,y2)を測定する。

 そして、評価関数Fx1,Fy1,Fx2,Fy2を次式(1),(2),(3 ),(4)で定義し、
 (1) x1=Fx1(a1,a2,a3・・・、b1,b2,b3・・・、X1、Y 1、X2、Y2)
 (2) y1=Fy1(a1,a2,a3・・・、b1,b2,b3・・・、X1、Y 1、X2、Y2)
 (3) x2=Fx2(a1,a2,a3・・・、b1,b2,b3・・・、X1、Y 1、X2、Y2)
 (4) y2=Fy2(a1,a2,a3・・・、b1,b2,b3・・・、X1、Y 1、X2、Y2)
 次式(5)の値が最小となるときのキャリブレ� ��ションパラメータ(a1,a2,a3・・・,b1,b2,b3・・� ��)を求める。
 (5) σ _i=1~N (Fx1 _(i) -x1 _(i) ) ² +(Fy1 _(i) -y1 _(i) ) ² +(Fx2 _(i) -x2 _(i) ) ² +(Fy2 _(i) -y2 _(i) ) ²

 一方、実際に移動させたときの第1ハンド140 及び第2ハンド150の位置H1,H2が(X1,Y1),(X2,Y2)のと き、撮影カメラ200,210内でのマークP1,P2の座標 (x1,y1),(x2,y2)は、
 x1=Fx1(a1,a2,a3・・・、b1,b2,b3・・・、X1、Y1、X 2、Y2)
 y1=Fy1(a1,a2,a3・・・、b1,b2,b3・・・、X1、Y1、X 2、Y2)
 x2=Fx2(a1,a2,a3・・・、b1,b2,b3・・・、X1、Y1、X 2、Y2)
 y2=Fy2(a1,a2,a3・・・、b1,b2,b3・・・、X1、Y1、X 2、Y2)
であり、撮影カメラ200,210の中心位置の座標(x k1,yk1),(xk2,yk2)を加算しかつカメラ倍率を乗算� ��ることで、外部座標系によるマークP1,P2の� �標(xg1,yg1),(xg2,yg2)が求まる。
 すなわち、上記キャリブレーションはワー� ��Wが位置ずれしていない状態で行われ、上記 外部座標系によるマークP1,P2の座標S(xg1,yg1、x g2,yg2)を基準位置の座標として記憶回路240に� �め記憶させる。
 そして、実際にワークWをハンドリングする 際に、撮影カメラ200,210で撮影して求められ� �マークP1,P2の座標S´(xg1´,yg1´、xg2´,yg2´)を求 め、座標Sと座標S´の差からワークWの中心位� ��Cの座標(Xc,Yc)とずれ角度θを求め、位置ずれ 量(補正量)(δX,δY,δθ)を算出する。
 尚、キャリブレーションにおいては、移載� ��リアA3においても、中間エリアA2から移載エ リアA3に至る間に上記位置ずれ量に基づいて� ��置ずれ補正されたワークWを、撮影カメラに て再び撮影し、ワークWの中心位置Cが移載さ� ��るトレイTの中心位置Tcに正確に合っている� ��否かを確認する。

 次に、このハンドリング装置によりワークW の移送動作及び位置ずれ補正動作について、 図13を参照しつつ説明する。
 先ず、4つのハンド140,150,160,170が、受取エリ アA1において、同期して駆動されて、X軸方向 において挟み込むように近づきワークWを持� �上げて担持する。そして、吸着パッド145,156� ��よりワークWを吸引吸着する。このとき、ワ ークWは、図13の受取エリアA1にて示すように� ��置ずれを生じている。

 続いて、4つのハンド140,150,160,170は、ワーク Wを保持した状態で、中間エリアA2に向けてワ ークWを移送する。
 この移送行程において、検出センサ220がト� ��ガ信号を発すると、2つの撮影カメラ200,210� �ワークWの隅部領域W1,W2を撮影する。そして� �得られた撮影画像は、画像処理演算手段(画� ��処理回路250,演算回路260)により処理されて� �ワークWの位置ずれ量(δX,δY、δθ)、すなわち 、中心位置Cのずれ量及び角度位置のずれ量� �演算により計測される。

 そして、制御回路230が、得られた位置ず� ��量に関する情報に基づいて、一方向駆動機� ��155を駆動制御して、先ずワークWの角度位置 のずれ量(δθ)を補正する。この補正動作は、 第1ハンド140の第1回転担持部143を支点として� ��ークWが水平面内で移動するように、一方向 駆動機構155により第2ハンド150の第2回転担持� ��154がX軸方向に移動させられると、第2回転� �持部154が自在に回転しつつテーブル152が自� �にY軸方向に移動して、ワークWが正規の角度 位置に合うように補正される。

 続いて、ハンド駆動機構(可動ホルダ40,50,60, 70)により、4つのハンド140,150,160,170が、相対� �な距離を一定に維持した状態でY軸方向に適� ��移動させられて移載エリアA3の直上に至る� �このとき、ワークWの中心位置Cは、その位置 ずれ量(δX,δY)が補正されて、移載されるべく トレイT上の中心位置Tcと一致するようになっ ている。
 上記位置ずれの補正動作は、ワークWをX軸� �向において停止させることなく、ワークWを� ��間エリアA2から移載エリアA3まで移送する移 送動作中に行われる。

 このように、ワークWの角度位置のずれ(δθ) が補正された後に、4つのハンド140,150,160,170� �相対的な距離を一定に維持した状態でワー� �Wの中心位置Cのずれ(δX,δY)が補正されるため 、大型のワークWを保持した状態であっても� �4つのハンド140,150,160,170を一緒に(同期させて )直線的に移動させることで、ワークWの中心� ��置Cを合わせる補正動作を容易に行うことが できる。
 また、受取エリアA1から移載エリアA3までワ ークWを保持して移送する移送動作中に(ワー� ��Wを移送しつつ)、ワークWの位置ずれが補正� ��れるため、移送動作及び補正動作を一連の� ��れの中で一体的に行うことができ、全体と� ��てのハンドリング動作の作業効率を向上さ� ��ることができる。
 尚、ワークWの位置ずれ量(δX,δY,δθ)は、基� ��的には回転角度のずれ量(δθ)を補正した後� ��中心位置Cのずれ量(δX,δY)が補正されるが、 これらのずれ量(δX,δY,δθ)が同時に補正され� ��場合もあり得る。

 以上述べたように、この装置によれば、� ��造の簡素化、部品の集約化、装置の小型化� ��を達成しつつ、特に大型の基板状(例えば、 液晶パネル等)のワークWを、所定の受取エリ� ��A1(収容位置)から取り出して保持し、保持し た状態にあるワークWの位置ずれ(中心位置の� ��れ、角度位置のずれ等)を補正しつつ、移載 エリアA3のトレイT(所定の載置位置)に高精度� ��位置決めして、円滑に移載することができ� ��。

 図14は、本発明に係るワークハンドリング� �置の他の実施形態を示す平面図である。
 この装置は、図14に示すように、X軸方向に� ��長する1つの固定フレーム10´、固定フレー� �10´に沿って移動自在に支持されたスライダ3 00、スライダ300を共通の鉛直軸として同軸に� ��回転可能に支持された第1可動フレーム20´� �び第2可動フレーム30´、第1可動フレーム20´� ��沿って移動可能にかつ鉛直方向Zに移動可能 に支持された第1可動ホルダ40及び第2可動ホ� �ダ50、第2可動フレーム30´に沿って移動可能� ��かつ鉛直方向Zに移動可能に支持された第3� �動ホルダ60及び第4可動ホルダ70、第1可動ホ� �ダ40に設けられた第1ハンド140、第2可動ホル� ��50に設けられた第2ハンド150、第3可動ホルダ 60に設けられた第3ハンド160、第4可動ホルダ70 に設けられた第4ハンド170等を備えている。
 また、この装置は、前述の実施形態と同様� ��(図14において図示せず)、2つの撮影カメラ20 0,210、検出センサ220、制御回路230、記憶回路2 40、画像処理回路250、演算回路260等を備えて� ��る。

 すなわち、この装置においては、1つの固定 フレーム10´に沿って移動可能な鉛直軸(スラ� ��ダ300)回りに回転可能に支持された第1可動� �レーム20´及び第2可動フレーム30´を備えて� �る。
 そして、第1可動フレーム20´は、第1ハンド4 0を保持する第1可動ホルダ140及び第2ハンド50� ��保持する第2可動ホルダ150を支持している。 また、第2可動フレーム30´は、第3ハンド60を� ��持する第3可動ホルダ160及び第4ハンド70を保 持する第4可動ホルダ170を支持している。
 この装置によれば、二つの可動フレーム20´ ,30´は鉛直軸回りに回転可能でかつスライダ3 00を介して固定フレーム10´に沿って移動する ため、お互いがなす角度を適宜調整(制御)す� ��ことで、種々の幅寸法をなすワークに容易� ��対応させることができる。また、固定フレ� ��ム10´は1つでもよいため、構造を簡素化す� �ことができる。

 上記実施形態においては、ワークWを保持す るハンドとして4つのハンド140,150,160,170を適� �した場合を示したが、これに限定されるも� �ではなく、第1ハンド140及び第2ハンド150の2� �のハンド、又は、第1ハンド140及び第2ハンド 150に第3ハンド160又は第4ハンド170の一方を加� ��た3つのハンドを適用してもよい。また、5� �以上のハンドを適用してもよい。
 上記実施形態においては、第2ハンド150にお いて、第2回転担持部154を直線駆動する方向� �してX軸方向を適用したが、これに限定され� ��ものではなく、第2回転担持部154を直線駆動 する方向としてY軸方向を採用してもよい。
 上記実施形態においては、ハンド駆動機構� ��して、固定フレーム10,10´、2つの可動フレ� �ム20,30、20´,30´、各々のハンド140、150、160、 170を保持する可動ホルダ40、50、60、70を適用� ��た場合を示したが、これに限定されるもの� ��はなく、複数のハンドを少なくとも二次元� ��に駆動できるものであれば、その他の機構� ��採用してもよい。
 上記実施形態においては、ワークWを撮影す るために2つの撮影カメラ200,210を適用した場� ��を示したが、これに限定されるものではな� ��、3つ以上の撮影カメラを採用してもよい。
 上記実施形態においては、ワークWに予めマ ークP1,P2を施し、このマークP1,P2を含む領域� �撮影カメラ200,210にて撮影する場合を示した� ��、マークを設けず、ワークW上の所定の基準 位置を含む領域を撮影カメラ200,210にて撮影� �るようにしてもよい。