田中 敏治 (〒41 東京都品川区戸越3丁目9番20号 平田機工株式会社内 Tokyo, 1420041, JP)
平田機工株式会社 (〒41 東京都品川区戸越3丁目9番20号 Tokyo, 1420041, JP)
TANAKA, Toshiharu (Togoshi 3-chome Shinagawa-k, Tokyo 41, 1420041, JP)
| ワークを保持する保持部、コンベア装置により搬送力が及ぼされる被搬送部、前記コンベア装置により支持される被支持部を備えたワーク保持ユニットであって、 前記被搬送部は、前記コンベア装置に含まれる無端ベルトが入り込んで係合し得るべく搬送方向に伸長して形成された長溝を有し、 前記被支持部は、前記コンベア装置に含まれるローラが転がり接触し得るべく搬送方向に伸長する平坦な接触面を有する、 ワーク保持ユニット。 |
| 前記長溝は、前記無端ベルトの湾曲断面をなす外周面と部分的に接触又は密接し得る断面形状に形成されている、 ことを特徴とする請求の範囲第1項に記載のワーク保持ユニット。 |
| 前記被支持部は、前記平坦な接触面を画定すると共に搬送方向に伸長する導電性の接地部材を含む、 ことを特徴とする請求の範囲第1項又は第2項に記載のワーク保持ユニット。 |
| 前記長溝は、その伸長方向における端部が、外向きに拡がるように縁取りされている、 ことを特徴とする請求の範囲第1項ないし第3項のいずれか一つに記載のワーク保持ユニット。 |
| ワークを保持する保持部、搬送力が及ぼされるべく搬送方向の一側部に形成された被搬送部、搬送方向の他側部に形成された被支持部を含むワーク保持ユニットを搬送するコンベア装置であって、 搬送方向に伸長する一対のフレームと、 前記一対のフレームの一方において搬送方向に配列された複数のプーリと、 前記複数のプーリに巻回されると共に前記被搬送部に形成された搬送方向に伸長する長溝に入り込んで係合し得る無端ベルトと、 前記複数のプーリの少なくとも一つに回転駆動力を及ぼす駆動源と、 前記一対のフレームの他方において搬送方向に配列されて前記被支持部に転がり接触し得る複数のローラと、 を含む、コンベア装置。 |
| 前記複数のプーリは、前記無端ベルトを受け入れて係合させるべく環状溝を有する、 ことを特徴とする請求の範囲第5項に記載のコンベア装置。 |
| 前記無端ベルトは、略円形又は略半円の断面をなすように形成されている、 ことを特徴とする請求の範囲第5項又は第6項に記載のコンベア装置。 |
| 前記無端ベルトは、弾性材料により形成されている、 ことを特徴とする請求の範囲第5項ないし第7項のいずれか一つに記載のコンベア装置。 |
| 前記複数のローラは、導電性材料により形成されると共に、前記被支持部に形成された平坦な接触面と接触する円筒状の外周面を有する、 ことを特徴とする請求の範囲第5項ないし第8項のいずれか一つに記載のコンベア装置。 |
本発明は、電子部品等のワークを所定位 に保持(担持、収容)するパレット,トレー、 器(ポッド)等のワーク保持ユニット及びこ ワーク保持ユニットを水平方向に搬送する ンベア装置に関する。
従来、処理ステーション相互間において、
ーク(半導体ウェーハ)を保持(収容)したワー
ク保持ユニットとしてのポッドをコンベア装
置により搬送するために、このポッドの下面
の一側部において搬送方向に伸長する長溝及
び他側部において回転自在なホイールを設け
、又、コンベア装置を、水平方向に伸長する
左右一対のフレーム、一方のフレームに対し
てポッドの長溝に係合して駆動力を及ぼす複
数の搬送駆動機構、他方のフレームにおいて
ポッドのホイールを転動自在に支持する支持
機構により形成したものが知られている(例
ば、特許文献1参照)。
そして、複数の搬送駆動機構は、それぞれ
フレームの上面から一部が突出してポッド
長溝に係合するように配列された複数のロ
ラ(ホイール)、それぞれのローラと同軸に
体形成されると共にフレームに覆われる複
のプーリ、テンショナープーリ、アイドラ
ーリ、複数のプーリ,テンショナープーリ,及
びアイドラプーリに巻回された無端ベルト、
無端ベルトに駆動力を及ぼす駆動プーリをも
つ駆動モータを備えるように形成され、又、
支持機構は、ポッドのホイールを転動させる
パッド等のクッション部材を備えるように形
成されている。
しかしながら、このコンベア装置におい は、無端ベルトを巻回するために、小径の ーリを複数のローラにそれぞれ一体的に設 る必要があるため、ローラの形状が複雑で 型になり、コストの増加を招く。また、ロ ラの外周面の縁部(エッジ)がポッドの長溝( 側壁)と直接接触するため、ローラ又はポッ ドの摩耗による粉塵等が発生し易くなる。ま た、ポッドを搬送する搬送力は、断続的に所 定の間隔をあけて配列されるローラの個数に 左右されるため、搬送力を大きくするにはロ ーラの配列間隔を狭くしてローラの個数を増 やす必要があり、その結果コストの増加、構 造の複雑化を招く。一方、ローラの配列間隔 を広くすると、搬送力が小さくなり、ポッド が重量物の場合はスリップして搬送されず、 このスリップによりローラとポッドが擦れて 摩耗粉を生じる虞がある。
また、複数のローラは、水平方向において
続的に配列されるため、図1に示すように、
所定の基準位置に配置されたローラRに対し
高さHだけ高めにずれて配置されたローラR´
存在すると、複数のローラR,R´により画定
れる搬送面に凹凸が発生する。
したがって、ワークWを収容したポッドPが
上流側のローラRにより搬送されて位置ずれ
生じたローラR´に達すると、ポッドPの前端
部がローラR´に衝突し、続いて、ローラR´を
越えると、ポッドPの前端部が前下がりにな
て次のローラRに衝突することになり、搬送
にポッドPが衝撃を受けて振動する。その結
果、ポッドPに収容されたワークWが位置ずれ
て脱落あるいは破損する虞がある。
また、ポッドPに収容されるワークWが電子
品等の場合は、搬送動作において発生する
電気等から保護する必要があるが、このポ
ドPにおいては、静電気に対する対策が何ら
されていないため、ワークWが静電気により
破損する虞がある。
本発明は、上記従来技術の事情に鑑みて されたものであり、その目的とするところ 、構造の簡素化、部品点数の削減、装置の 型化、低コスト化等を図りつつ、電子部品 のワークを保持して、衝撃等を生じること く円滑に搬送でき、又、静電気等の影響を 止できると共に、発塵を抑えてクリーンな 送を可能とする、ワーク保持ユニット及び のワーク保持ユニットを搬送するコンベア 置を提供することにある。
上記目的を達成する本発明のワーク保持ユ
ットは、ワークを保持する保持部、コンベ
装置により搬送力が及ぼされる被搬送部、
ンベア装置により支持される被支持部を備
たワーク保持ユニットであって、上記被搬
部は、コンベア装置に含まれる無端ベルト
入り込んで係合し得るべく搬送方向に伸長
て形成された長溝を有し、上記被支持部は
コンベア装置に含まれるローラが転がり接
し得るべく搬送方向に伸長する平坦な接触
を有する。
この構成によれば、ワーク保持ユニットは
その被支持部の平坦な接触面がコンベア装
の転動するローラにより支持された状態で
その被搬送部に設けられた長溝に入り込む
ンベア装置の無端ベルトの回転及び水平方
への移動に伴って、搬送方向に交差する方
への移動が規制されつつ、搬送方向(無端ベ
ルトの伸長方向)に搬送される。
このように、連続する無端ベルトにより搬
されるため、断続的に配列されるローラ等
比べて、振動あるいは衝撃等を招くことな
円滑に搬送される。したがって、ワーク保
ユニットに保持されたワークは、位置ずれ
生じることなく、又、衝突あるいは振動等
よる破損、変形等を招くことなく、所期の
質を保持しつつ円滑に搬送され得る。
上記構成をなすワーク保持ユニットにおい
、長溝は、無端ベルトの湾曲断面をなす外
面と部分的に接触又は密接し得る断面形状
形成されている、構成を採用することがで
る。
この構成によれば、長溝と無端ベルトの外
面とが、鋭角なエッジ等にて接触するので
なく、例えば、略台形の凹状断面をなす長
が無端ベルトの凸状湾曲断面をなす外周面
部分的に接触し、あるいは、略半円形の凹
断面をなす長溝が無端ベルトの凸状湾曲断
をなす外周面と密接して接触するため、擦
により摩耗粉等の発生を防止することがで
る。
上記構成をなすワーク保持ユニットにおい
、被支持部は、平坦な接触面を画定すると
に搬送方向に伸長する導電性の接地部材を
む、構成を採用することができる。
この構成によれば、ワーク保持ユニットの
支持部に導電性の接地部材が設けられてい
ため、搬送動作中に発生する静電気を、接
部材及びコンベア装置のローラを介して逃
すことができ、ワーク保持ユニットに保持
れたワークが、静電気による品質劣化、破
等の悪影響を受けるのを防止することがで
る。
上記構成をなすワーク保持ユニットにおい
、長溝は、その伸長方向における端部が、
向きに拡がるように縁取りされている、構
を採用することができる。
この構成によれば、長溝の端部が外向きに
がるように(面取り等により)縁取りされて
るため、ワーク保持ユニットが無端ベルト
係合する際に、円滑に係合することができ
特に、複数の無端ベルトが隙間をおいて配
される場合に、次の無端ベルトに係合する
の衝撃等を防止して円滑に係合させること
できる。
本発明のコンベア装置は、ワークを保持す
保持部、搬送力が及ぼされるべく搬送方向
一側部に形成された被搬送部、搬送方向の
側部に形成された被支持部を含むワーク保
ユニットを搬送するコンベア装置であって
搬送方向に伸長する一対のフレームと、一
のフレームの一方において搬送方向に配列
れた複数のプーリと、複数のプーリに巻回
れると共に被搬送部に形成された搬送方向
伸長する長溝に入り込んで係合し得る無端
ルトと、複数のプーリの少なくとも一つに
転駆動力を及ぼす駆動源と、一対のフレー
の他方において搬送方向に配列されて被支
部に転がり接触し得る複数のローラと、を
む。
この構成によれば、ワーク保持ユニットは
その被搬送部に設けられた長溝が一対のフ
ームの一方に配置された複数のプーリに巻
された無端ベルトに係合し、その被支持部
平坦な接触面が一対のフレームの他方に配
された複数のローラにより支持された状態
、駆動源により少なくとも一つのプーリが
転駆動されると、複数のプーリに巻回され
無端ベルトが回転しつつ搬送方向に移動し
、搬送方向に交差する方向への移動が規制
れつつ、搬送方向(無端ベルトの伸長方向)
搬送される。
このように、ワーク保持ユニットは、連続
る無端ベルトにより搬送されるため、断続
に配列されるローラ等に比べて、振動ある
は衝撃等を招くことなく円滑に搬送される
したがって、ワーク保持ユニットに保持さ
たワークは、位置ずれを生じることなく、
、衝突あるいは振動等による破損、変形等
招くことなく、所期の品質を保持しつつ円
に搬送され得る。
上記構成をなすコンベア装置において、複
のプーリは、無端ベルトを受け入れて係合
せるべく環状溝を有する、構成を採用する
とができる。
この構成によれば、無端ベルトは、その外
面の内側領域が環状溝に入り込むようにし
、複数のプーリに巻回されているため、無
ベルトがプーリから外れるのを防止でき、
、無端ベルトを所定の搬送方向に確実に方
付けすることができる。
上記構成をなすコンベア装置において、無
ベルトは、略円形又は略半円の断面をなす
うに形成されている、構成を採用すること
できる。
この構成によれば、無端ベルトとして、略
形断面をなすもの又は略半円断面をなすも
を採用し、円弧状をなす外周面をワーク保
ユニットの長溝に係合させることで、エッ
等ではなく面を接触させることができ、接
面圧を抑制して、摩耗粉等の発生を防止で
、耐久性を向上させることができる。
上記構成をなすコンベア装置において、無
ベルトは、弾性材料により形成されている
構成を採用することができる。
この構成によれば、無端ベルトが衝撃を吸
する役割をなすと共に、ワーク保持ユニッ
の長溝に対して滑ることなく密着して確実
搬送力を伝達することができる。また、無
ベルトの巻回及びその取付けあるいは交換
を容易に行うことができる。
上記構成をなすコンベア装置において、複
のローラは、導電性材料により形成される
共に、被支持部に形成された平坦な接触面
接触する円筒状の外周面を有する、構成を
用することができる。
この構成によれば、ワーク保持ユニット上
生じた静電気を、ローラを介して確実に逃
すことができる。これにより、ワークが、
電気による品質劣化、破壊等の悪影響を受
るのを防止することができる。
上記構成をなすワーク保持ユニット及び ンベア装置によれば、構造の簡素化、部品 数の削減、装置の小型化、低コスト化等を 成しつつ、電子部品等のワークを保持して 所望の搬送エリアに向けて(処理ステーショ ン相互間において)衝撃等を生じることなく 発塵を抑えてクリーンにかつ円滑に搬送で 、又、静電気等の影響を防止することがで る。
L 搬送方向
W1,W2 ワーク
10,10´ パレット(ワーク保持ユニット)
11 保持部
12 被搬送部
12a,12a´ 長溝
12b 面取り部(縁取り)
13 接地部材(被支持部)
13a 平坦な接触面
100,100´ コンベア装置
110 フレーム
111,112 一対のフレーム
113 連結フレーム
120,120´ 複数のプーリ
121,121´ 駆動プーリ
121a,121a´ 環状溝
121b 支軸
122,122´ 調節プーリ
122a,122a´ 環状溝
122b 支軸
123,123´ 補助プーリ
123a,123a´ 環状溝
123b 支軸
130,130´ 無端ベルト
130a 外周面
130b 平坦面
131 上側走行ベルト
132 下側走行ベルト
140 駆動モータ(駆動源)
150 アジャスト機構
151 スライダ
152 リードスクリュー
153 ナット
160 複数のローラ
161 外周面
162 支軸
以下、本発明の最良の実施形態について添
図面を参照しつつ説明する。尚、ここでは
ワーク保持ユニットとして、種類の異なる
子部品等のワークW1,W2を担持するパレット10
を示す。
このパレット10は、図2A、図2Bに示すように
略矩形の平板状に形成されており、その上
10aにおいてワークW1,W2を保持する保持部11、
その下面10bにおいて搬送方向Lの一側部に設
られた被搬送部12、その下面10bにおいて搬送
方向Lの他側部に設けられた被支持部として
接地部材13等を備えている。
保持部11は、図2Aに示すように、ワークW1,W2
それぞれ所定位置に位置決めして保持する
うに形成されている。
被搬送部12は、図7及び図8に示すように、後
述する無端ベルト140が入り込んで係合するべ
く搬送方向Lに伸長して形成された長溝12a、
溝12aの両端に形成された面取り部12bを有す
ように形成されている。
長溝12aは、図3B及び図8に示すように、3つの
平坦な内壁面により略台形の凹状断面を画定
するように形成されている。
すなわち、長溝12aは、図8に示すように、そ
の平坦な3つの内壁面が後述する無端ベルト13
0の滑らかな凸状湾曲(円形)断面をなす外周面
130aと部分的に接触するため、鋭角なエッジ
にて接触する場合に比べて擦れにより摩耗
等の発生を防止することができる。
面取り部12bは、図3Cに示すように、長溝12a
伸長方向(搬送方向L)の両端部において、外
きに拡がる(テーパ面をなす)ように縁取りさ
れている。
このように、長溝12aの端部には、面取り部1
2bが設けられて外向きに拡がるように縁取り
れているため、パレット10が無端ベルト130
係合する際に、円滑に係合することができ
特に、複数の無端ベルト130が隙間をおいて
列される場合に、パレット10が下流側に続く
次の無端ベルト130に係合する際の衝撃等を防
止して円滑に係合させることができる。
被支持部としての接地部材13は、導電性の
料により形成されており、図3A及び図6に示
ように、後述する複数のローラ160が転がり
触し得るべく平坦な接触面13aを画定してい
。
このように、被支持部に導電性の接地部材1
3が設けられているため、搬送動作中に発生
る静電気を、接地部材13を介して逃がすこと
ができ、パレット10に保持されたワークW1,W2
、静電気により、品質劣化、破壊等の悪影
を受けるのを防止することができる。
コンベア装置100は、図4ないし図6に示す うに、一対のフレーム111,112及び連結フレー 113を含み全体の輪郭を画定するフレーム110 搬送方向Lに配列された複数のプーリ120、複 数のプーリ120に巻回された無端ベルト130、複 数のプーリ120の一つに回転駆動力を及ぼす駆 動モータ140、無端ベルト130の張力を調整する アジャスト機構150、複数のローラ160等を備え ている。
一対のフレーム111,112は、図4及び図5に示す
うに、搬送方向Lに平行に伸長するように形
成され、2つの連結フレーム113により結合さ
ている。
一方のフレーム111は、図4及び図5に示すよ
に、複数(ここでは、8つ)のプーリ120(後述す
駆動プーリ121,調節122,補助プーリ123)を回動
在に支持すると共に、駆動モータ140及びア
ャスト機構150を保持している。
他方のフレーム112は、図4及び図6に示すよ
に、複数(ここでは、8つ)のローラ160を回動
在に支持している。
複数のプーリ120は、搬送方向Lの両端に配置
された大径をなす駆動プーリ121及び調節プー
リ122、駆動プーリ121と調節プーリ122の間にお
いて搬送方向Lに配列された小径をなす6つの
助プーリ123を含んでいる。
駆動プーリ121は、図4、図5、図7に示すよう
、無端ベルト130が入り込む環状溝121a、フレ
ーム111に固定された支軸121bを備えている。
状溝121aは、無端ベルト130の外周面130aが密接
する半円形の凹状断面をなすように形成され
ている。支軸121bは、駆動モータ140の回転軸
直結されている。
調節プーリ122は、図4及び図5に示すように
無端ベルト130が入り込む環状溝122a、フレー
111に形成された搬送方向Lに伸長する長孔111
aにスライド自在に挿入されかつアジャスト
構150に連結された支軸122bを備えている。環
溝122aは、無端ベルト130の外周面130aが密接
る半円形の凹状断面をなすように形成され
いる。
補助プーリ123は、図4及び図6に示すように
無端ベルト130が入り込む環状溝123a、フレー
111に固定された支軸123bを備えている。環状
溝123aは、無端ベルト130の外周面130aが密接す
半円形の凹状断面をなすように形成されて
る。
このように、駆動プーリ121,調節プーリ122 ,及び補助プーリ123は、無端ベルト130を受け れて係合させるべく環状溝121a,122a,123aを有す るため、無端ベルト130を巻回して取り付ける 際に、その外周面130aの内側領域が環状溝121a, 122a,123aに入り込むようにして巻回されるため 、無端ベルト130が複数のプーリ120(駆動プー 121,調節プーリ122,補助プーリ123)から外れる を防止でき、又、無端ベルト130を所定の搬 方向Lに確実に方向付けすることができる。
無端ベルト130は、図4、図5、図7、図8に示す
ように、伸縮及び屈曲自在な弾性材料(例え
、ゴム材料等)を用いて、円形断面(湾曲断面
)により画定される外周面130aをもつように形
されている。
そして、無端ベルト130は、駆動プーリ121、
節プーリ122、補助プーリ123に巻回されて、
述するアジャスト機構150によりその張力が
整された状態で、駆動モータ140の回転駆動
により、駆動プーリ121が回転すると、駆動
ーリ121,調節プーリ122,補助プーリ123の環状
121a,122a,123aに、その外周面130aの内側領域が
り込んだ無端ベルト130の(テンション側の)上
側走行ベルト131が搬送方向Lの下流側に向け
移動し、駆動プーリ121及び調節プーリ122の
状溝121a,122aに入り込んだ無端ベルト130の(ス
ック側の)下側走行ベルト132が搬送方向Lの
流側に向けて移動するようになっている。
このように、無端ベルト130は、円形断面 なすように形成されているため、その円弧 をなす外周面130aをパレット10の長溝12aに係 させることで、エッジ等ではなく面を接触 せることができ、接触面圧を抑制して、摩 粉等の発生を防止でき、耐久性を向上させ ことができる。また、無端ベルト130が弾性 料により形成されていることにより、衝撃 吸収する役割をなすと共に、パレット10の 溝12aに対して滑ることなく密着して確実に 送力を伝達することができ、又、無端ベル 130の巻回及びその取り付けあるいは交換等 容易に行うことができる。
駆動モータ140は、フレーム111に固定され 、その回転軸が駆動プーリ121の支軸121bに直 結されている。そして、駆動モータ140が回転 駆動力を発生すると、駆動プーリ121を回転さ せるようになっている。尚、ここでは、駆動 モータ140は、駆動プーリ121に直結されている が、減速歯車、プーリ及びベルト等の連動手 段を介して、駆動プーリ121に回転駆動力を及 ぼすように形成されてもよい。
アジャスト機構150は、図4に示すように、フ
レーム111の外側面に設けられており、調節プ
ーリ122の支軸122bに直結されたスライダ151、
ライダ151に固定されて搬送方向Lに伸長する
ードスクリュー152、リードスクリュー152に
合するナット153等を備えている。そして、
ット153を回転させて、スライダ151の位置を
節することにより、調節プーリ122の支軸122b
の位置を調節できるようになっている。
無端ベルト130の張力を大きくする場合は、
ット153を回転させて、スライダ151を搬送方
Lの上流側に向けて移動させ、一方、無端ベ
ルト130の張力を小さくする場合は、ナット153
を逆に回転させて、スライダ151を搬送方向L
下流側に向けて移動させるようになってい
。
複数(ここでは、8つ)のローラ160は、図4及び
図6に示すように、導電性材料により形成さ
て搬送方向Lに配列されており、パレット10
接地部材13に転がり接触する円筒状の外周面
161、フレーム112に固定された支軸162を備えて
いる。
このように、複数のローラ160は、導電性材
により形成されると共に、パレット10の接
部材13(の平坦な接触面13a)と接触する円筒状
外周面161を有するため、パレット10上に生
た静電気を、複数のローラ160を介して確実
逃がすことができ、それ故に、ワークW1,W2が
、静電気による品質劣化、破壊等の悪影響を
受けるのを防止することができる。
次に、このコンベア装置100の動作につい 、図9を参照しつつ説明する。尚、複数のプ ーリ120(1つの駆動プーリ121、1つの調節プーリ 122、6つの補助プーリ123)のうち、上流側から4 番目に配置された補助プーリ123は、図9に示 ように、所定の基準位置に配置された他の 助プーリ123に対して高さHだけ高めにずれて 置されているものとする。
先ず、ワークW1,W2を担持したパレット10が、
このコンベア装置に搬入されると、その長溝
12a内に無端ベルト130の(上側走行ベルト131の)
周面130aの上側略半分が入り込み、かつ、接
地部材13(の平坦な接触面13a)にローラ160の外
面161が転がり接触し始める。
そして、パレット10が、位置ずれしたプー
123の位置に達しても、パレット10は連続する
無端ベルト130に支持されて搬送方向Lに案内
れているため、従来のような衝突を生じる
とはない。
また、パレット10が位置ずれしたプーリ123
通過する際にも、パレット10は常時無端ベル
ト130に支持されているため、パレット10の前
部が前下がりになって無端ベルト130に衝突
るのを緩和ないしは抑制することができる
その結果、パレット10に担持されたワークW1
,W2が位置ずれして脱落あるいは破損するのを
防止でき、ワークW1,W2を確実に搬送すること
できる。
また、パレット10に担持されるワークW1,W2 が電子部品等の場合は、搬送動作において発 生する静電気等から保護する必要があるが、 このパレット10においては、接地部材13→ロ ラ160とうい経路を辿って静電気を逃がすよ に形成されているため、ワークW1,W2が静電気 により品質劣化あるいは破壊等の悪影響を受 けるのを確実に防止することができる。
さらに、コンベア装置100が、搬送方向Lに 複数配列されて搬送ラインを形成する場合、 隣接する無端ベルト130同士は搬送方向Lにお て所定の隙間を生じることになるが(あるい 、隣接する無端ベルト130同士が上下方向に 差を生じる場合があるが)、パレット10の長 12aの端部が外向きに拡がるように(面取り部 12bにより)縁取りされているため、パレット10 が後続する無端ベルト130に係合する際に、衝 撃等を防止して円滑に係合することができる 。
上記コンベア装置100によれば、パレット10
、その被搬送部12に設けられた長溝12aが一方
のフレーム111に配置された複数のプーリ120に
巻回された無端ベルト130に係合し、その被支
持部13の平坦な接触面13aが他方のフレーム112
配列された複数のローラ160により支持され
状態で、無端ベルト130が回転しつつ搬送方
Lに移動することにより、搬送方向L(無端ベ
ト130の伸長方向)にガイドされつつ搬送され
る。
このように、パレット10は、連続する無端
ルト130により搬送されるため、断続的に配
されるローラ等に比べて、振動あるいは衝
等を招くことなく円滑に搬送される。した
って、パレット10に保持されたワークW1,W2は
位置ずれを生じることなく、又、衝突ある
は振動等による破損、変形等を招くことな
、所期の品質が確保される。
図10は、本発明に係るワーク保持ユニット
してのパレットの他の実施形態を示す部分
面図であり、前述の実施形態と同一の構成
ついて同一の符号を付してその説明を省略
る。
すなわち、このパレット10´は、その一側部
に形成された長溝12a´が、無端ベルト130の円
断面をなす外周面130aと密接し得る断面形状
、すなわち、湾曲面をなすように形成されて
いる。
これによれば、長溝12a´と無端ベルト130の
周面130aとが鋭角なエッジ等にて接触するの
はなく、略半円形の凹状断面をなす長溝12a
が無端ベルト130の円形断面をなす外周面130a
密接に接触するため、擦れにより摩耗粉等
発生をより確実に防止することができ、又
パレット10´を搬送方向Lにより確実に案内
ることができる。
図11ないし図13は、本発明に係るコンベア装
置の他の実施形態を示すものであり、前述の
実施形態と同一の構成については同一の符号
を付してその説明を省略する。
すなわち、このコンベア装置100´は、一対
フレーム111,112及び連結フレーム113を含み全
の輪郭を画定するフレーム110、搬送方向Lに
配列された複数のプーリ120´、複数のプーリ1
20´に巻回された無端ベルト130´、複数のプー
リ120´の一つに回転駆動力を及ぼす駆動モー
140、無端ベルト130´の張力を調整するアジ
スト機構150、複数のローラ160等を備えてい
。
無端ベルト130´は、図11ないし図13に示すよ
に、伸縮及び屈曲自在な弾性材料(例えば、
ゴム材料等)を用いて、略半円形断面(湾曲断
)をなすように、すなわち、円弧状の外周面
130a及び後述する複数のプーリ120´の環状溝121
a´,122a´,123a´の底面に接触する平坦面130bをも
つように形成されている。
複数のプーリ120´は、駆動プーリ121´、調節
プーリ122´、補助プーリ123´を含み、駆動プ
リ121´は略台形の凹状断面をなす環状溝121a´
をもつように形成され、調節プーリ122´は略
形の凹状断面をなす環状溝122a´をもつよう
形成さ、補助プーリ123´は略台形の凹状断
をなす環状溝123a´をもつように形成されて
る。
ここで、環状溝121a´,122a´,123a´の底面は円
状に形成されて、無端ベルト130´の平坦面130
bが接触するようになっている。
このように、無端ベルト130´が略半円の 面(外周面130a及び平坦面130b)をなすように形 され、かつ、複数のプーリ120´が略台形の 面をなすように形成されているため、無端 ルト130´の湾曲断面をなす外周面130aと長溝12 aを係合させることで、エッジ等ではなく面 接触させることができ、接触面圧を抑制し 摩耗粉等の発生を防止でき、耐久性を向上 せることができ、又、無端ベルト130´の平坦 面130bを環状溝121a´,122a´,123a´に係合させるこ とで、両者を密着させて相対的な滑りを防止 することができ、駆動力を効率よく無端ベル ト130´に伝達することができる。
上記コンベア装置100´によれば、パレッ 10は、前述同様に、連続する無端ベルト130に より搬送されるため、断続的に配列されるロ ーラ等に比べて、振動あるいは衝撃等を招く ことなく円滑に搬送される。したがって、パ レット10に保持されたワークW1,W2は、位置ず を生じることなく、又、衝突あるいは振動 による破損、変形等を招くことなく、所期 品質が確保される。
上記実施形態においては、本発明のワーク
持ユニットとして、ワークW1,W2を担持(保持)
するパレット10,10´を示したが、これに限定
れるものではなく、ワークを収容する容器(
ッド)、あるいは、ワークを載置するトレイ
等であってもよい。
上記実施形態においては、複数のプーリ120,
120´として、大径をなす駆動プーリ121,121´及
調節プーリ122,122´、小径をなす6つの補助プ
ーリ123,123´を示したが、これに限定されるも
のではなく、全て同一外径をなすプーリを採
用してもよい。
上記実施形態においては、複数のローラ160
して、円筒状の外周面161を画定するものを
したが、これに限定されるものではなく、
レット10,10´の被支持部を支持するものであ
れば、その他の形態をなすローラを採用して
もよい。
上記実施形態においては、複数のプーリ120,
120´のうちの一つの駆動プーリ121,121´を駆動
ータ140により直接回転駆動する場合を示し
、これに限定されるものではなく、2つ以上
のプーリに回転駆動力を及ぼすようにしても
よい。
以上述べたように、本発明のワーク保持ユ
ット及びコンベア装置は、電子部品等のワ
クを所定の処理ステーション間で搬送する
に適用できるのは勿論のこと、電子部品等
取り扱う電子機器分野に限らず、その他の
品、製品等を取り扱う他の分野(例えば、機
械、化学等)においても有用である。
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