Röntgenstrahlung

Die Erfindung betrifft eine Röntgenkamera zur ortsaufgelösten Detektion von Röntgenstrahlung. Des weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Aufnahme eines Bildes eines zu Untersuchungsgegenstandes unter Verwendung von Röntgenstrahlung und Anwendungen der Röntgenkamera.

Es ist bekannt, Galliumnitrid (GaN) in Halbleiterdetektoren zur Detektion von Röntgenstrahlung zu verwenden. Beispielsweise wird in US 2010/0069749 AI ein GaN-Sensor beschrieben, der in Reaktion auf eine Röntgenbestrahlung Lumineszenzlicht emittiert. Das Lumineszenzlicht wird vom Sensor über einen Lichtleiter zu einem Photodetektor geleitet. Diese Technik hat Nachteile, da die Kombination des Sensors dem Lichtleiter einen empfindlichen Aufbau darstellt und da die detektierte Röntgenstrahlung nicht direkt in ein elektrisches Messsignal umgewandelt wird. Der GaN-Sensor gemäß US 2010/0069749 AI ist aufgrund seines Aufbaus insbesondere für eine Anordnung einer Vielzahl von Detektoren (Array-Anordnung) ungeeignet. Des weiteren wird von J.-Y. Duboz et al. in „Applied Physics Letters" Band 92, 2008, S. 263501, die Eignung von GaN zur Detektion von Röntgenstrahlung untersucht. Hierzu wurden GaN- Schichten, z. B. mit einer Dicke von 110 μιη oder 480 μπι, auf Silizium- oder Saphir-Substraten abgeschieden und mit Kon- taktelektroden versehen, die mit der GaN-Schicht einen

Schottky-Kontakt bildeten. Es wurde jedoch festgestellt, dass eine zuverlässige Detektion auf Röntgenstrahlung mit einer Energie unterhalb von 20 keV beschränkt war. Für praktische Anwendungen eines Strahlungsdetektors, zum Beispiel in der Dosimetrie, ist jedoch eine Empfindlichkeit für Röntgenstrahlung mit einer Energie oberhalb von 20 keV erforderlich.

Schließlich wird von . Hofstetter et al. in „Applied Physics Letters" Band 96, 2010, S. 092110, ein Strahlungsdetektor für Röntgenstrahlung beschrieben, der einen sogenannten HEMT („High Electron Mobility Transistor") mit einem GaN-basierten Mehrschichtsystem enthält. Dieser Strahlungsdetektor kann ebenfalls aufgrund seines Mehrschichtaufbaus Nachteile haben.

In der Praxis hat sich gezeigt, dass die bisher beschriebenen Strahlungsdetektoren auf GaN-Basis insbesondere aufgrund ihres komplexen Aufbaus, einer komplizierten Kalibrierung und/oder einer unzureichenden Empfindlichkeit für einen rou- tinemäßigen Einsatz in der Dosimetrie ungeeignet sind. Des weiteren sind bisher keine praktikablen Array-Anordnungen von GaN-basierten Strahlungsdetektoren, zum Beispiel in der Medizintechnik, der Materialprüfung oder der Strahlungsüberwachung beschrieben worden.

Die Aufgabe der Erfindung ist es, eine verbesserte Array- Anordnung von Strahlungsdetektoren anzugeben, mit der

Nachteile herkömmlicher Techniken überwunden werden. Die Ar- ray-Anordnung soll sich insbesondere durch einen vereinfach- ten Aufbau, einen vereinfachten Betrieb und/oder eine erhöhte Empfindlichkeit im Vergleich zu herkömmlichen Detektoren auszeichnen. Die Aufgabe der Erfindung ist es des Weiteren, Verfahren zur Röntgen-Bildgebung und Anwendungen der Array- Anordnung anzugeben, mit denen Nachteile herkömmlicher Tech- niken zur Detektion von Röntgenstrahlung überwunden werden.

Diese Aufgaben werden durch eine Röntgenkamera und Verfahren mit den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche gelöst. Vorteil- hafte Ausführungsformen und Anwendungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.

Gemäß einem ersten allgemeinen Gesichtspunkt der Erfindung wird eine Röntgenkamera zur Detektion von Röntgenstrahlung, bereitgestellt, die eine Vielzahl von Strahlungsdetektoren umfasst, die an einer Halteeinrichtung mit einer vorbestimmten Anordnung positioniert sind. Die Strahlungsdetektoren sind an der Halteeinrichtung entlang einer vorbestimmten Be- zugslinie (1D-Kamera, Kamerazeile) oder Bezugsfläche (2D-

Kamera) fixiert. Die Halteeinrichtung bildet eine Befestigung der Strahlungsdetektoren. Die Strahlungsdetektoren weisen eine vorbestimmte geometrische Anordnung auf der Halteeinrichtung auf, so dass Messsignale der Strahlungsdetektoren eine geometrische Verteilung von Dosiswerten in einem Strahlungsfeld der Röntgenstrahlung repräsentieren können und aus den Messsignalen der Strahlungsdetektoren ein Bild der Dosiswerte ermittelbar ist. Wenn die Röntgenstrahlung nach einer Wechselwirkung mit einem Untersuchungsgegenstand (z.B. Durch- Strahlung oder Wechselwirkung mit einer Oberfläche des Untersuchungsgegenstandes) in charakteristischer Weise durch Eigenschaften des Untersuchungsgegenstandes verändert ist, liefern die Messsignale der Strahlungsdetektoren ein Bild des Untersuchungsgegenstandes, wie z.B. ein Durchstrahlungsbild oder ein Reflektionsbild.

Gemäß der Erfindung umfasst jeder Strahlungsdetektor, d. h. jedes Pixel der Röntgenkamera, ein Trägersubstrat, eine auf dem Trägersubstrat angeordnete GaN-basierte Detektorschicht und mit der Detektorschicht verbundene Kontaktelektroden. Gemäß der Erfindung hat die Detektorschicht eine Dicke, die geringer als 50 μιη ist. Die Trägersubstrate der Strahlungsdetektoren können miteinander zu einem einheitlichen Substrat verbunden sein. Die Detektorschichten können, z. B. durch Ät- zen, aus einer auf dem Substrat gebildeten einheitlichen GaN- basierten Schicht gebildet sein. Des weiteren ist gemäß der Erfindung vorgesehen, dass die Kontaktelektroden mit der Detektorschicht ohmsche Kontakte bilden.

Die Erfinder haben festgestellt, dass eine einzige, mit ohm- schen Kontakten versehene Detektorschicht mit der genannten, im Vergleich zu herkömmlichen Strahlungsdetektoren erheblich verringerten Schichtdicke eine empfindliche, reproduzierbare und nur eine einfache Widerstands- oder Leitfähigkeitsmessung erfordernde Detektion von Röntgenstrahlung ermöglicht. Bei Anlegen einer Spannung an die mit den Kontakten versehene Detektorschicht liefert eine Strommessung einen Widerstandsoder Leitfähigkeitswert. Die Detektorschicht wirkt wie ein Photoleiter, dessen elektrischer Widerstand sich in Reaktion auf Röntgenbestrahlung ändert. An den Kontaktelektroden ist ein Detektorstrom messbar. Die detektierte Röntgenstrahlung wird somit direkt in ein elektrisches Messsignal (Detektorstrom, Widerstands- oder Leitfähigkeitswert) konvertiert. Die Konvertierungsausbeute ist dabei so groß, dass der erfindungsgemäße Strahlungsdetektor miniaturisierbar ist und besonders gut für eine Array-Anordnung in der Röntgenkamera geeignet ist. Vorzugsweise ist der Strahlungsdetektor für eine Detektion von Röntgenstrahlung in einem breiten Energiebe- reich von 1 keV bis 300 keV, insbesondere oberhalb von 50 keV ausgelegt .

Vorteilhafterweise stellen die erfindungsgemäß zum Aufbau der Röntgenkamera verwendeten Strahlungsdetektoren Strahlensenso- ren dar, welche die photoleitenden Eigenschaften von „wide bandgap" Halbleitern nutzen. Unter Strahleneinfluss ändert sich das leitende Detektorvolumen. Physikalisch ist dabei keine fest definierte elektrische Sperrschicht wie bei herkömmlichen Halbleiterdetektoren notwendig. Dies ermöglicht einen neuartigen Detektionsmodus für die Dosimetrie. Die De- tektion der Strahlung beruht auf dem Prinzip eines Photoleiters mit internen Verstärkungseigenschaften. Es ist keine elektrische Sperrschicht erforderlich, sondern eine Volumen- unabhängige Messung über die ohmschen Kontakte vorgesehen. Das Messsignal kann in verschiedener Weise (z. B. elektronisch, graphisch, akustisch) dargestellt werden.

Das Funktionsprinzip der erfindungsgemäß verwendeten GaN- Strahlungsdetektoren unterscheidet sich fundamental von dem der konventionell erhältlichen Halbleiterdetektoren für Röntgenstrahlung, bei denen Photo-induzierte Ladungsträger über ein elektrisches Feld gesammelt werden. Dagegen findet bei den GaN-Sensoren eine durch Strahlung hervorgerufene Änderung des Widerstandes statt ( Photokonduktor) , indem das Detektorvolumen verändert wird, in dem der Ladungstransport stattfindet. Obwohl auch in den GaN-Sensoren Raumladungszonen auftreten (in erster Linie durch Oberflächeneffekte) , passiert der elektrische Strom parallel zu diesen Raumladungszonen den Halbleiter. Die Bestrahlung führt zu einem Nicht-Gleichgewicht von freien Landungsträgerkonzentrationen, die das Gesamtvolumen der Raumladungszonen und somit das Volumen verändern, welches zum Ladungstransport beiträgt. Daraus ergibt sich, dass die Höhe des Messsignals nicht direkt auf die Er- zeugung von freien Ladungsträgern beschränkt ist, sondern eine massive interne Verstärkung stattfinden kann, wodurch im Vergleich zu herkömmlichen Techniken erhöhte Detektionssensi- tivitäten möglich sind. Gemäß einem zweiten allgemeinen Gesichtspunkt der Erfindung wird ein Verfahren zur Aufnahme eines Bildes eines Untersuchungsgegenstandes unter Verwendung von Röntgenstrahlung bereitgestellt, bei dem die Röntgenkamera gemäß dem ersten Gesichtspunkt der Erfindung verwendet wird. Gemäß der Erfindung umfasst das Verfahren einen ersten Schritt der Bestrahlung des Untersuchungsgegenstands entlang mindestens einer vorbestimmten Bestrahlungsrichtung. Der Untersuchungsgegenstand wird im Strahlungsfeld einer Röntgenquelle positioniert. Ge- maß der Erfindung umfasst das Verfahren des Weiteren einen zweiten Schritt der Detektion der Röntgenstrahlung nach einer Wechselwirkung mit dem Untersuchungsgegenstand. Dabei werden mit den Strahlungsdetektoren der erfindungsgemäßen Röntgenka- mera ortsaufgelöst Dosiswerte erfasst, welche die örtliche Verteilung der Dosis im Strahlungsfeld der Röntgenstrahlung repräsentieren. Schließlich wird erfindungsgemäß in einem dritten Schritt mindestens ein Bild des Untersuchungsgegenstandes aus den ermittelten Dosiswerten rekonstruiert. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung umfasst die Halteeinrichtung eine Halteplatte mit einer festen, vorbestimmten geometrischen Form. Es ist vorzugsweise eine Halteplatte aus einem starren Material, wie z.B. Kunststoff oder Keramik, vorgesehen. Vorzugsweise ist die Halteeinrichtung für eine Positionierung der Strahlungsdetektoren entlang einer geraden Bezugslinie oder einer ebenen Bezugsfläche ausgelegt. Vorteilhafterweise wird damit die Rekonstruktion eines Bildes aus den Messsignalen der Strahlungsdetektoren vereinfacht. Bei dieser Variante der Erfindung ist die Halteplatte vorzugsweise eben gebildet. Alternativ kann die Röntgenkamera in Abhängigkeit von der konkreten Anwendung an eine bestimmte geometrische Form des Untersuchungsgegenstandes angepasst sein. Die Halteeinrichtung kann konfiguriert sein, dass die Strahlungsdetektoren entlang einer gekrümmten Bezugslinie oder Bezugsfläche angeordnet sind. Bei dieser Variante der

Erfindung umfasst die Halteeinrichtung vorzugsweise eine gekrümmte Halteplatte. Vorteilhafterweise kann ein kompakter Aufbau der Röntgenkame- ra erzielt werden, wenn die Trägersubstrate der Strahlungsdetektoren unmittelbar mit der Halteeinrichtung fest verbunden, insbesondere auf der Halteplatte fixiert sind. Besonders be- vorzugt ist eine Variante, bei der die Trägersubstrate und die Halteeinrichtung ein einstückiges Bauteil bilden. Die Trägersubstrate der Strahlungsdetektoren sind bei dieser Variante der Erfindung zu einem gemeinsamen Bauelement, insbesondere zu einer gemeinsamen Halteplatte verbunden. Bei- spielsweise kann ein afer, z.B. aus Silizium oder aus Saphir, gleichzeitig die Halteplatte und die Trägersubstrate der Strahlungsdetektoren bilden.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfin- dung ist die Röntgenkamera mit einem Gehäuse versehen, das zur Aufnahme der Halteeinrichtung mit den Strahlungsdetektoren eingerichtet ist. Im Gehäuse sind vorzugsweise zusätzlich zur Halteeinrichtung mit den Strahlungsdetektoren auch Verbindungsleitungen zur Verbindung der Kontaktelektroden der Strahlungsdetektoren mit einer Messwertaufnehmereinrichtung aufgenommen .

Vorteilhafterweise bestehen verschiedene Möglichkeiten, Verbindungsleitungen zur elektrischen Verbindung der Kontakt- elektroden der Strahlungsdetektoren mit der Messwertaufnehmereinrichtung bereitzustellen. Beispielsweise können für jeden Strahlungsdetektor jeweils zwei Verbindungsleitungen vorgesehen sein, welche die Kontaktelektroden mit der Messwertaufnehmereinrichtung verbinden. Diese Variante der Erfindung hat zwar einen komplexen Aufbau, da für eine bestimmte Anzahl von Strahlungsdetektoren die doppelte Anzahl von Verbindungsleitungen und eine entsprechende Schnittstelle an der Mess ^¬ wertaufnehmereinrichtung vorgesehen sein müssen. Vorteilhafterweise können jedoch an allen Strahlungsdetektoren gleich- zeitig Messsignale (Detektorströme) erfasst werden. Alternativ können die Strahlungsdetektoren gruppenweise mit Verbindungsleitungen verbunden werden, um Messsignale der Strahlungsdetektoren seriell zu erfassen. Beispielsweise kann eine Matrixanordnung von Strahlungsdetektoren in geraden Reihen und Spalten vorgesehen sein. In diesem Fall kann jeder Reihe von Strahlungsdetektoren jeweils eine Verbindungsleitung und jeder Spalte von Strahlungsdetektoren jeweils eine Verbindungsleitung zugeordnet werden, wobei das Messsignal eines einzelnen Strahlungsdetektors erfasst werden kann, indem an die Verbindungsleitungen der zugehörigen Reihe und Spalte eine Messspannung angelegt wird. Vorteilhafterweise wird damit der Aufbau der Röntgenkamera vereinfacht, da eine erheblich verringerte Anzahl von Verbindungsleitungen erforderlich ist.

Besonders bevorzugt ist das Gehäuse flüssigkeitsdicht, resistent gegen Säuren, resistent gegen Basen, temperaturbeständig und/oder druckbeständig. Dies ermöglicht vorteilhafterweise die Anwendung der Röntgenkamera in extremen Umgebungsbedin- gungen, zum Beispiel zur abbildenden Dosimetrie in einem chemischen Reaktor.

Gemäß einer weiteren Variante kann die Röntgenkamera mit mindestens einer Haftoberfläche ausgestattet sein. Die Bereit- Stellung der Haftoberfläche bedeutet, dass die Röntgenkamera und insbesondere deren Gehäuse auf mindestens einer Oberfläche mit einer inhärenten Haftfähigkeit gebildet ist. Die Haftoberfläche weist zum Beispiel ein Klebemittel auf, das ein Anhaften der Röntgenkamera an einem Gegenstand, zum Bei- spiel auf der Oberfläche eines Untersuchungsgegenstands oder eines Probanden, erlaubt.

Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist es, dass Röntgenstrahlung durch das Material der Halteeinrichtung und ggf. des Ge- häuses der Röntgenkamera nur vernachlässigbar geschwächt wird. Daher können die sensitiven Elemente der Strahlungsdetektoren, d.h. die Detektorschichten durch die Trägersubstrate und optional die Halteeinrichtung und/oder das Gehäuse hindurch bestrahlt werden. Die Seite der Röntgenkamera, zu der die Trägersubstrate der Strahlungsdetektoren weisen, wird auch als Vorderseite oder Strahlungseintrittsfenster der Röntgenkamera bezeichnet, während die entgegengesetzte Seite, auf der sich die Kontaktelektroden und Verbindungsleitungen der Strahlungsdetektoren befinden, als Rückseite der Röntgenkamera bezeichnet wird. Vorteilhafterweise wird die Detektion der Röntgenstrahlung durch die Trägersubstrate hindurch, d. h. bei Bestrahlung der Röntgenkamera von der Vorderseite her, nicht durch die Kontaktelektroden oder die Verbindungsleitun- gen beeinträchtigt.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Dicke der Detektorschichten geringer als 10 μπι, insbesondere geringer als 5 ym. Vorzugsweise ist die Dicke der Detektorschichten größer als 100 nm, insbesondere größer als 500 nm. Die geringe Dicke der GaN-basierten Detektorschichten bietet Vorteile sowohl in Bezug auf die Herstellung der Strahlungsdetektoren als auch in Bezug auf deren Integration in der Röntgenkamera. Gemäß weiteren bevorzugten Ausfüh- rungsformen der Erfindung haben die Detektorschichten der einzelnen Pixel eine Fläche, die geringer als 100 mm ² , insbesondere geringer als 10 mm ² ist. Die Fläche ist vorzugsweise größer als 1 pm ² , insbesondere größer als 0.1 mm ² . Die erfindungsgemäß verwendeten Strahlungsdetektoren sind durch litho- graphische Prozesse herstellbar und daher einfach miniaturisierbar. Die Detektorgröße (insbesondere Ausdehnung der empfindlichen Fläche) ist nahezu uneingeschränkt, insbesondere im Bereich von mehreren hundert pm bis zu 1 μιη, bevorzugt in der Größe von 30 pm, skalierbar. Vorzugsweise umfasst jeder Strahlungsdetektor eine einzige Detektorschicht. Mit anderen Worten, es ist ausschließlich eine Schicht vorgesehen, die mit ohmschen Kontakten ausges- tattet und zur Erzeugung des Messsignals vorgesehen ist. Besonders bevorzugt besteht die Detektorschicht aus GaN, das optional eine Dotierung, zum Beispiel aus Eisen oder Kohlstoff, enthalten kann. Weitere Vorteile für die Miniaturisierung des Strahlungsdetektors ergeben sich, wenn die Kontaktelektroden aus zwei Kontaktelektroden bestehen, die einseitig, das heißt insbesondere auf der zum Trägersubstrat entgegengesetzten Seite der Detektorschicht angeordnet sind. Die Kontakte befinden sich gemeinsam auf der selben Oberfläche der Detektorschicht.

Gemäß einer weiteren Variante kann die Messwertaufnehmerein- richtung Teil der Röntgenkamera sein. Die Röntgenkamera kann mit der Messwertaufnehmereinrichtung ausgestattet sein, die zum Beispiel mit der Halteeinrichtung verbunden oder optional in dem Gehäuse eingeschlossen oder über ein Kabel mit den Strahlungsdetektoren verbunden ist. Die Messwertaufnehmereinrichtung kann zur Strommessung und Spannungsversorgung, Datenspeicherung und/oder Datenübertragung eingerichtet sein. Die Strommessung bedeutet, dass mit der Messwertaufnehmereinrichtung elektrische Messsignale erfassbar sind, die für die in Reaktion auf Röntgenstrahlung in den Detektorschicht erzeugten Detektorströme charakteristisch sind. Wenn die Messwertaufnehmereinrichtung gemäß einer besonders bevorzugten Variante der Erfindung zur drahtlosen Kommunikation mit einer externen Steuereinrichtung konfiguriert ist und hierzu insbesondere eine RFID-Einrichtung umfasst, ergeben sich Vorteile für die Anwendung der Röntgenkamera in komplex aufgebauten Untersuchungsgegenständen . Das örtliche Auflösungsvermögen der erfindungsgemäßen Rönt- genkamera wird allgemein durch die Größe der Strahlungsdetektoren bestimmt. Um das Auflösungsvermögen bei einer gegebenen Größe der Strahlungsdetektoren zu verbessern, kann die Rönt- genkamera gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung mit einer Antriebseinrichtung ausgestattet sein, mit der die Röntgenkamera relativ zu dem Untersuchungsgegenstand beweglich ist. Die Antriebseinrichtung ist für ei- ne Bewegung der Anordnung von Strahlungsdetektoren in einer von der Richtung der Röntgenstrahlung abweichenden Richtung konfiguriert. Vorzugsweise ist die Röntgenkamera mit der Antriebseinrichtung senkrecht zur Richtung der Röntgenstrahlung verschiebbar. Durch eine wiederholte Bildaufnahme mit einer jeweils relativ zum Untersuchungsgegenstand verschobenen

Röntgenkamera können mehrere Bilder erfasst werden, deren Rekonstruktion ein Bild mit einer örtlichen Auflösung ergibt, die besser als die Größe der Strahlungsdetektoren ist. Bevorzugte Anwendungen des erfindungsgemäßen Verfahrens sind beispielsweise bei der Computer-Tomographie (CT) , bei der zweidimensionalen Röntgen-Bildgebung, bei der Überwachung einer Strahlentherapie und/oder bei einer Material- oder Gepäckprüfung gegeben. Für die CT-Anwendung der Erfindung wird die Detektion der Röntgenstrahlung entlang einer Zahl von Bestrahlungsrichtungen, die um mindestens 180° um den Untersuchungsgegenstand verteilt sind, wiederholt, um ein tomographisches Bild des Gegenstands rekonstruieren zu können. Die Rekonstruktion erfolgt dabei mit Rekonstruktionsverfah- ren, die an sich aus dem Stand der Technik bekannt sind.

Des Weiteren haben die erfindungsgemäß verwendeten Strahlungsdetektoren einen sehr großen Energiemessbereich, einen sehr großer Dosisratenmessbereich und nahezu keine Energieab- hängigkeit im diagnostischen Röntgenbereich. Durch die extrem breiten Detektionsbereiche der GaN-Sensoren (Energie und Dosisrate) , der Möglichkeit zur Biokompatibilisierung und die Möglichkeit zur Miniaturisierung, bieten die GaN-Sensoren ein erhebliches Potential im Bereich der Medizin sowie in medi- zin-technischen Anwendungen. Schließlich ermöglicht der

Strahlungsdetektor eine 3-dimensionale Dosimetrie mit der Möglichkeit der Bildgebung. Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung werden im

Folgendem unter Bezug auf die in den beigefügten Zeichnungen dargestellten bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung erläutert. Es zeigen in: Figuren 1A und 1B: eine schematische Draufsicht auf die

Strahlungsdetektoren einer erfindungsgemäßen Röntgenkamera und eine schematische Schnittansicht einer erfindungsgemäßen Röntgenkamera gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung;

Figur 2: eine schematische Draufsicht auf die

Strahlungsdetektoren und Verbindungsleitungen der erfindungsgemäßen Röntgenkame- ra gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung;

Figuren 3A und 3B: eine schematische Schnittansicht und eine schematische Draufsicht auf eine bevor- zugte Ausführungsform eines Strahlungsdetektors einer erfindungsgemäßen Röntgenkamera; Figuren 4 und 5: schematische Perspektivansichten verschiedener Varianten erfindungsgemäßer

Röntgenkame Figur 6: eine schematische Illustrationen der Positionierung einer erfindungsgemäßen Röntgenkamera am Körper eines Probanden; und

Figur 7 : eine schematische Illustration einer erfindungsgemäßen Röntgenkamera gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung.

Die Figuren 1A und 1B illustrieren schematisch eine erfin- dungsgemäße Röntgenkamera 100 in schematischer Draufsicht auf die Anordnung der Strahlungsdetektoren (Figur 1A) und in schematischer Schnittansicht (Figur 1B) gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung. Die Röntgenkamera 100 umfasst eine Vielzahl von Strahlungsdetektoren 10, die im dargestell- ten Beispiel matrixförmig in geraden Reihen und Spalten angeordnet sind. Alle Strahlungsdetektoren 10 der Röntgenkamera 100 sind gleich aufgebaut. Einzelheiten des Aufbaus der

Strahlungsdetektoren 10, die jeweils ein Trägersubstrat, eine Detektorschicht und Kontaktelektroden umfassen, sind unten unter Bezug auf Figur 3 beschrieben. In einer abgewandelten Variante der Erfindung können die Strahlungsdetektoren mit einer anderen geometrischen Verteilung, z. B. in Kreisen oder als einzelne Reihe, und/oder mit verschiedenen Formen oder Größen vorgesehen sein. In einem praktischen Beispiel sind die Strahlungsdetektoren 10 auf einem 2-Zoll-Wafer angeordnet, der eine Fläche von ca. 2000 mm ² aufweist. Es sind auch Kameras mit einer größeren sensitiven Fläche möglich, z. B. indem mehrere Wafer zusammengesetzt werden. Die Strahlungsdetektoren 10 sind auf einer Halteeinrichtung 20 angeordnet, die eine Halteplatte 21 umfasst. Es ist eine ebene Halteplatte 21 aus einem Kunststoffmaterial, z.B. aus Polydimethylsiloxan (PDMS), PEN ( Polyethylennaphthalat ) oder Polyethylenterephthalat (PET) vorgesehen. Die Strahlungsdetektoren 10 sind auf der Halteplatte 21 aufgeklebt. Die ebene Halteplatte 21 bildet eine ebene Bezugsfläche, entlang derer die Strahlungsdetektoren 10 angeordnet sind. Gemäß einer abgewandelten Variante der Erfindung sind die

Trägersubstrate der Strahlungsdetektoren 10 durch ein gemeinsames Substrat, z. B. aus Saphir, gebildet, das gleichzeitig die Halteplatte der Halteeinrichtung 20 ist. Mit anderen Worten, die Bereitstellung der Halteplatte ist nicht zwingend erforderlich. Zum Beispiel das Saphirsubstrat, auf dem die

Strahlungsdetektoren 10 gebildet sind, ist ausreichend stabil und kann daher selbst als Halteplatte dienen.

Auf der frei liegenden Oberfläche der Strahlungsdetektoren 10 sind Verbindungsleitungen 14 vorgesehen, welche die Kontaktelektroden 13 der Strahlungsdetektoren 10 mit der Messwertaufnehmereinrichtung (nicht dargestellt) zur Messwertaufnahme und zur Steuerung der Röntgenkamera 100 verbinden. Beim dargestellten Beispiel sind an jedem Strahlungsdetektor 10 zwei Verbindungsleitungen 14 vorgesehen, die mit der elektronischen Schaltung verbunden sind. Die von den Verbindungsleitungen 14 wegweisende Seite der Anordnung der Strahlungsdetektoren 10 bildet die Vorderseite oder das Strahlungseintrittsfenster 101 der Röntgenkamera 100, während die entge- gengesetzte Seite, auf der sich die Verbindungsleitungen 14 befinden, die Rückseite der Röntgenkamera 100 bildet.

Zur ortsaufgelösten Detektion von Röntgenstrahlung 1 wird die Röntgenkamera 100 so positioniert, dass die Röntgenstrahlung 1 auf das Strahlungseintrittsfenster 101 gerichtet ist. Die an den einzelnen Strahlungsdetektoren 10 gemessenen Dosiswerte werden erfasst, indem an jeden Strahlungsdetektor 10 eine Messspannung angelegt und der am Strahlungsdetektor 10 flie- ßende Detektorstrom gemessen wird. Der Detektorstrom hängt von der Dosis der einfallenden Röntgenstrahlung 1 ab. Die gemessenen Detektorströme liefern Dosiswerte, aus denen eine durch die Röntgenstrahlung 1 repräsentierte Bildinformation rekonstruiert werden kann.

Die Röntgenkamera 100 ist gemäß Figur 1 mit einem Gehäuse 30 ausgestattet, das die Strahlungsdetektoren 10 und die Halteeinrichtung 20 sowie die Verbindungsleitungen 14 einschließt. Auf der Vorderseite 101 der Röntgenkamera 100 kann das Gehäu- se 30 durch die Halteplatte 21 gebildet werden, d.h. an der Vorderseite 101 kann die Halteplatte 21 frei liegen.

Figur 2 illustriert schematisch eine abgewandelte Ausführungsform der Erfindung, bei der abweichend von Figur 1 nicht jeder Strahlungsdetektor 10 mit zwei Verbindungsleitungen 14, sondern Gruppen von Strahlungsdetektoren 10 mit Verbindungsleitungen 14.1, 14.2 verbunden sind. Die Strahlungsdetektoren 10 sind matrixförmig mit geraden Reihen und Spalten angeordnet. Jeder Strahlungsdetektor 10 hat eine erste Kontaktelekt- rode 13.1 und eine zweite Kontaktelektrode 13.2. Die ersten

Kontaktelektroden 13.1 sind reihenweise mit einer gemeinsamen Verbindungsleitung 14.1 verbunden, während die zweiten Kontaktelektroden 13.2 spaltenweise mit einer gemeinsamen Ver ^¬ bindungsleitung 14.2 verbunden sind. Die Zahl der ersten Ver- bindungsleitungen 14.1 ist somit gleich der Zahl der Reihen der Matrix-Anordnung der Strahlungsdetektoren 10, während die Zahl der zweiten Verbindungsleitungen 14.2 gleich der Zahl der Spalten der Matrix-Anordnung der Strahlungsdetektoren 10 ist. Die ersten und zweiten Verbindungsleitungen 14.1, 14.2 sind mit Multiplex-Schaltungen 41, 42 der Messwertaufnehmer- einrichtung 40 verbunden. Die Multiplex-Schaltungen 41, 42 sind dazu konfiguriert, aufeinander folgend Strahlungsdetektoren 10 mit Messspannungen zu beaufschlagen, um an den ein- zelnen Strahlungsdetektoren 10 Detektorströme zur ortsaufgelösten Dosismessung zu erfassen.

Die Strahlungsdetektoren 10 der erfindungsgemäßen Röntgenka- mera 100 sind z.B. aufgebaut, wie dies im Folgenden unter Be- zug auf die Figuren 3A und 3B erläutert ist.

Gemäß den Figuren 3A und 3B umfasst jeder Strahlungsdetektor 10 ein Trägersubstrat 11, eine Detektorschicht 12 und Kontaktelektroden 13, die über die Verbindungsleitungen 14 mit der Messwertaufnehmereinrichtung zur Strommessung (nicht dargestellt) verbunden werden können. Das Trägersubstrat 11 umfasst zum Beispiel Saphir mit einer Dicke von 0,33 mm. Die Detektorschicht 12 besteht aus GaN mit einer Dicke von zum Beispiel 2,5 μπι. Die Kontaktelektroden 13 bestehen zum Bei- spiel aus Ti/Al. Sie sind mittels thermischem Aufdampfen oder Elektronenstrahl-Aufdampfen auf der GaN-Detektorschicht 12 fixiert, so dass zwischen den Kontaktelektroden 13 und der Detektorschicht 12 jeweils ein ohmscher Kontakt gebildet wird. Die Maße der Detektorschicht 12 (Figur 1B) betragen zum Beispiel 0,5 mm ' 2 mm, während die Maße der Kontaktelektroden 13 zum Beispiel jeweils 300 m " 300 μπι betragen. Der Strahlungsdetektor 10 ist für Röntgenstrahlung mit einer Energie von 20 keV bis 300 keV bis in den Gy-Bereich empfindlich. Wie oben erwähnt, muss nicht jeder Detektor ein se- parates Trägersubstrat haben. Es ist gemäß der Erfindung möglich, die einzelnen Detektorschichten (Pixel) aus einer einzigen, zusammenhängenden Detektorschicht (Wafer) , zum Beispiel durch Ätzen, auf einem gemeinsamen Substrat zu bilden. Das Substrat wird dabei zwischen den Pixeln nicht getrennt. Die Figuren 4 und 5 illustrieren schematisch zwei Varianten der erfindungsgemäßen Röntgenkamera 100 mit einer ebenen (Figur 4) oder einer gekrümmten (Figur 5) Form des Strahlungs- eintrittsfensters 101. Gemäß Figur 4 sind die Strahlungsdetektoren im Gehäuse 20 untergebracht, von dem ein Verbindungskabel 22 zu der Messwertaufnehmereinrichtung 40 verläuft, in der die Messwertaufnahme und -speicherung und ggf. die Rekonstruktion des erfassten Bildes erfolgen. Gemäß Figur 5 ist kein Gehäuse vorgesehen. In diesem Fall sind die Strahlungsdetektoren 10 mit den Verbindungsleitungen auf der Rückseite der Röntgenkamera 100 mit einer Kunststoffschicht verkapselt. Wiederum führt ein Verbindungskabel 22 zu der Messwertaufnehmereinrichtung 40, in der die Messwertaufnahme und -speicherung sowie optional die Bildrekonstruktion vorgesehen sind .

Figur 6 veranschaulicht schematisch die Positionierung von Röntgenkamera 100 gemäß der Erfindung auf der Hautoberfläche eines Probanden 2. Wenn das Gehäuse der Röntgenkamera 100 eine Haftoberfläche aufweist, kann die Röntgenkamera 100 ohne weitere Hilfsmittel direkt auf der Hautoberfläche fixiert werden. Alternativ ist eine subkutane Anordnung oder eine Anordnung in einem Hohlraum des Probandenkörpers möglich.

Figur 7 illustriert schematisch eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Röntgenkamera 100, die zum Beispiel für die bildgebende Dosimetrie bei der Materialprüfung eingerichtet ist. Die Röntgenkamera 100 ist mit einer Antriebsein- richtung 50 verbunden, mit der die Röntgenkamera 100 relativ zu einem Tisch 102 verschiebbar ist. Der Tisch 102 ist zur Aufnahme des Untersuchungsgegenstandes 3 vorgesehen. Bei Bestrahlung des Untersuchungsgegenstands 3 mit Röntgenstrahlung 1 wird das Strahlungsfeld mit der Röntgenkamera 100 ortsauf- gelöst erfasst. Die Antriebseinrichtung 50 und die Strahlungsdetektoren 10 der Röntgenkamera 100 sind mit der Messwertaufnehmereinrichtung 40 verbunden, die für die Messwertaufnahme und -speicherung und auch für die Steuerung der Kom- ponenten 10, 50 vorgesehen ist. Die Bildrekonstruktion kann in einer gesonderten Rekonstruktionsschaltung 43 erfolgen, die mit der Messwertaufnehmereinrichtung 40 verbunden ist.

Zur Verbesserung der örtlichen Auflösung der Bildaufnahme kann mit der Antriebseinrichtung 50 die Röntgenkamera 100 in einer Versatzrichtung (x-Richtung) senkrecht zur Bestrahlungsrichtung (z-Richtung) verfahren werden, um aufeinander folgend mehrere Bilder des durchstrahlten Untersuchungsgegenstands 3 aufzunehmen. Für jedes Bild wird die Röntgenkame- ra relativ zum Untersuchungsgegenstand in der Versatzrichtung verschoben. Der Betrag der Verschiebung ist kleiner als die Ausdehnung Δχ der Strahlungsdetektoren in der Versatzrichtung. Wenn der Betrag der Verschiebung in der Versatzrichtung ein ganzzahliger Teil der Ausdehnung Δχ/Ν des Strahlungsde- tektors ist, sind vorzugsweise entsprechend N Bildaufnahmen jeweils mit verschiedenen Positionen der Röntgenkamera relativ zum Untersuchungsgegenstand 3 vorgesehen. Aus den N Bildaufnahmen kann ein Bild mit einer im Vergleich zu einem Einzelbild verbesserten örtlichen Auflösung rekonstruiert wer- den.

Die in der vorstehenden Beschreibung, den Zeichnungen und den Ansprüchen offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in Kombination für die Verwirklichung der Erfindung in ihren verschiedenen Ausgestaltungen von Bedeutung sein.