Drehratensensor, Verfahren zur Herstellung eines Drehratensensors Stand der Technik

Die Erfindung geht aus von einem Drehratensensor nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Drehratensensoren auf Substraten sind allgemein bekannt. Bei solchen Drehratensensoren handelt es sich um spezielle mikroelektromechanische Systeme (MEMS), mit welchen Drehraten gemessen werden können. Derartige Sensoren kommen in vielfältigen Anwendungen zum Einsatz. Typischerweise weisen Drehratensensoren dabei eine oder mehrere Antriebsstrukturen auf. Die Antriebsstrukturen können typischerweise über Elektroden, beispielsweise mittels Kammelektroden, angetrieben werden. Dafür, verbinden Federstrukturen/Federanordnungen die

Antriebsstrukturen (bzw. Antriebsrahmen) des Drehratensensors federnd mit dem Substrat. Hierbei kommen teilweise Federstrukturen, welche aus gefalteten Balken aufgebaut sind, zum Einsatz. Solche Federstrukturen haben bei gleicher Steifigkeit tendenziell einen geringeren Zugstress als einfache Balken. Derartige Federstrukturen werden U- Federn genannt. Eine spezielle Ausführung von Federanordnungen sind zwei verbundene U-Federn, welche durch einen breiten Federkopf (Flying-Bar) verbunden sind. Derartige Federanordnungen werden auch als„Double- Folded Beam Suspension" (DFBS) bezeichnet.

Nachteilig bei solchen bekannten Federanordnungen, insbesondere auch bei bekannten DFBS, ist jedoch, dass sie teils große Abweichung von einer gewünschten linearen Rückstellkraft aufweisen, was sich störend auf das Verhalten der Drehratensensoren auswirkt. Offenbarung der Erfindung

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Drehratensensor mit einer Antriebsstruktur, welche mithilfe einer Federanordnung an einem Substrat befestigt ist, vorzuschlagen, welcher im Vergleich zu aus dem Stand der Technik bekannten Drehratensensoren ein verbessertes Sensorverhalten aufweist.

Der erfindungsgemäße Drehratensensor gemäß dem Hauptanspruch hat gegenüber aus dem Stand der Technik bekannten Sensoren den Vorteil, dass durch die Anordnung einer Gruppe von Verbindungsbalken zwischen dem ersten und zweiten Randbalken erfindungsgemäß eine hohe Stabilität der Federanordnung bei reduzierter Masse ermöglicht wird. Dadurch ist es möglich, dass auf die Federanordnung, während des Schwingens, nur geringe Trägheitskräfte wirken, was sich vorteilhaft auf eine Reduzierung der Nichtlinearitäten der Antriebsschwingung auswirkt. Insbesondere ist es erfindungsgemäß möglich, das Gewicht des Zwischenstücks und damit der gesamten Federanordnung zu reduzieren. Die Anordnung der

Verbindungsbalken zwischen dem ersten und zweiten Randbalken des Zwischenstücks mit jeweils einem Öffnungswinkel zwischen 1° und 89° zwischen einem der Verbindungsbalken und dem ersten und/oder zweiten Randbalken wirkt sich vorteilhaft auf die Gewichtsreduzierung der

Federanordnung und gleichzeitig positiv auf die mechanischen

Eigenschaften aus. Hierdurch können beispielsweise eine hohe Stabilität und gleichzeitig vergleichsweise große Aussparungen innerhalb des Zwischenstücks realisiert werden. Eine Reduzierung der Nichtlinearität der Antriebsschwingung hat den weiteren Vorteil, dass die Anregbarkeit parasitärer Moden, welche lokal an der Federstruktur/Federanordnung auftreten, und die Rückkopplung von Antriebsschwingung auf diese parasitären Moden verringert werden.

Der Öffnungswinkel bezieht sich insbesondere im Sinne der vorliegenden Erfindung auf den jeweils kleineren Winkel, welcher zwischen dem ersten oder zweiten Randbalken und einem Verbindungsbalken am Treffpunkt des ersten oder zweiten Randbalkens und dem Verbindungsbalken vorliegt (in der Ebene, die durch die Haupterstreckungsachse des Randbalkens und die Haupterstreckungsachse des Verbindungsbalkens aufgespannt wird). Der Öffnungswinkel kann also maximal 90° betragen, und zwar in dem Fall, dass, der Randbalken und der Verbindungsbalken senkrecht aufeinander stehen.

Generell wird im Betrieb des Drehratensensors bei kleinen Auslenkungen der Federstruktur/Federan Ordnung das Zwischenstück (insbesondere der „Flying-Bar") mitgezogen und folgt der beweglichen Masse des

Drehsensors in Phase. Bei größeren Auslenkungen wirken zunehmend Trägheitskräfte auf das Zwischenstück, wobei die Umkehrpunkte der Schwingung der beweglichen Masse und der Schwingung des

Zwischenstücks außer Phase driften. Dadurch werden die Balken (also insbesondere die erste und zweite Federkomponente) der

Federstruktur/Federanordnung stärker belastet. Dies führt zu einer dynamischen Nichtlinearität der Antriebsstruktur. Erfindungsgemäß ist es in vorteilhafter Weise möglich, besonders durch eine Verringerung der Masse des Zwischenstücks, die wirkenden Trägheitskräfte, insbesondere im dynamischen Fall, auf das Zwischenstück zu erreichen, wodurch es möglich ist, dass die Federanordnung vorteilhafterweise eine geringere dynamische Nichtlinearität aufweist.

Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind den Unteransprüchen sowie der Beschreibung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen entnehmbar.

Dadurch, dass gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung die Verbindungsbalken der Gruppe von Verbindungsbalken jeweils mit einem Öffnungswinkel zwischen 10° und 80°, bevorzugt zwischen 30° und 60°, besonders bevorzugt zwischen 40° und 50°, weiter besonders bevorzugt zwischen 44° und 46°, an dem ersten und/oder zweiten

Randbalken angeordnet sind, ist es besonders vorteilhaft möglich, das Gewicht des Zwischenstücks (also beispielsweise des Federkopfes) zu verringern und besonders vorteilhaft die auf die Federanordnung wirkenden Trägheitskräfte während des Schwingens zu reduzieren. Gleichzeitig können besonders vorteilhafte mechanische Eigenschaften erzielt werden, beispielsweise kann eine gewünschte Stabilität erreicht werden.

Dadurch, dass gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung die Verbindungsbalken einer ersten Untergruppe der Gruppe von

Verbindungsbalken relativ zu einer Haupterstreckungsachse des ersten Randbalkens eine positive Steigung aufweisen und wobei die

Verbindungsbalken einer zweiten Untergruppe der Gruppe von

Verbindungsbalken relativ zu der Haupterstreckungsachse des ersten Randbalkens eine negative Steigung aufweisen, wobei insbesondere die erste Untergruppe und die zweite Untergruppe im Wesentlichen gleich viele Verbindungsbalken aufweisen, ist es möglich, dass eine besonders vorteilhafte Gewichtsreduzierung bei gleichzeitigen vorteilhaften mechanischen Eigenschaften möglich ist.

Dadurch, dass gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung einer der Verbindungsbalken der ersten Untergruppe jeweils mindestens einen der Verbindungsbalken der zweiten Untergruppe kreuzt, ist es möglich, dass eine besondere mechanische Stabilität des Zwischenstücks gegenüber Krafteinflüssen aus verschiedensten Richtungen erreichbar ist.

Dadurch, dass gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zwischen den Verbindungsbalken Freiräume ausgebildet sind, wobei die Freiräume insbesondere projiziert auf eine Haupterstreckungsebene des Substrats eine rautenförmige Grundfläche aufweisen, ist es möglich, dass das Gewicht des Zwischenstücks (durch diese Freiräume bzw.

Aussparungen) besonders vorteilhaft reduzierbar ist. Insbesondere ist es möglich, dass die Haupterstreckungsebene des Substrats parallel zu einer durch die Haupterstreckungsachsen der Verbindungsbalken und die Haupterstreckungsachsen der Randbalken aufgespannten Ebene angeordnet ist.

Dadurch, dass gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung der Drehratensensor eine weitere Federanordnung, bevorzugt zwei Federanordnungen, weiter bevorzugt drei weitere Federanordnungen, aufweist, wobei die weitere Federanordnung, bevorzugt die weiteren Federanordnungen, im Wesentlichen identisch zu der Federanordnung ausgebildet ist, ist es möglich, dass der Drehratensensor mehrere erfindungsgemäße Federanordnungen aufweist, welche beispielsweise an unterschiedlichen Seiten des Drehratensensors angeordnet sind und welche besonders bevorzugt (ausgenommen von einer möglichen relativen Drehung der jeweiligen weiteren Federanordnung im Vergleich zur Federanordnung) alle im Wesentlichen gleich ausgebildet sind.

Gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ist es möglich, dass zusätzlich zur Gruppe der Verbindungsbalken weitere

Verbindungselemente zwischen dem ersten und zweiten Randbalken angeordnet sind. Dabei kann es sich beispielsweise um weitere

Verbindungsbalken handeln, welche in einem beliebigen Winkel auf den ersten und/oder zweiten Randbalken treffen, beispielsweise senkrecht. Es ist alternativ oder zusätzlich möglich, dass weitere Verbindungsbalken zwischen dem ersten und zweiten Randbalken angeordnet sind, welche sich parallel zu mindestens einem der Randbalken erstrecken. Es ist weiterhin zusätzlich oder alternativ möglich, dass weitere

Verbindungselemente in Form von Flächen oder anderen geometrischen Formen zwischen dem ersten und zweiten Randbalken angeordnet sind.

Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es möglich, dass die Gruppe von Verbindungsbalken exakt oder mehr als zwei, drei, vier, fünf, zehn, zwanzig oder eine Vielzahl von Verbindungsbalken umfasst.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung eines Drehratensensors nach einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung hat gegenüber dem Stand der Technik die bereits im Zusammenhang mit dem

erfindungsgemäßen Drehratensensor oder einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Drehratensensors beschriebenen Vorteile.

Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Figur 1 zeigt schematisch eine Aufsicht auf einen Ausschnitt eines

Drehratensensors gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden

Erfindung.

Ausführungsformen der Erfindung

In den verschiedenen Figuren sind gleiche Teile stets mit den gleichen Bezugszeichen versehen und werden daher in der Regel auch jeweils nur einmal benannt bzw. erwähnt.

Figur 1 zeigt schematisch eine Aufsicht auf einen Ausschnitt eines

Drehratensensors gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden

Erfindung. Der Drehratensensor umfasst eine Federanordnung 10, welche eine Antriebsstruktur 2 mit einem im Wesentlichen unterhalb der gezeigten Federanordnung 10 angeordneten Substrat verbindet Das Substrat ist nicht explizit dargestellt Die Federanordnung 10 umfasst eine erste

Federkomponente 20, eine zweite Federkomponente 30 und ein

Zwischenstück 40, welches eine mechanische Verbindung zwischen der ersten und zweiten Federkomponente 20, 30 herstellt. Die erste

Federkomponente 20 umfasst einen als Balken ausgebildeten ersten Teilbereich 21 und einen als Balken ausgebildeten zweiten Teilbereich 22, wobei der erste und zweite Teilbereich 21, 22 mithilfe eines Mittelbereichs 25 verbunden sind. Die zweite Federkomponente 30 ist

spiegelsymmetrisch zur ersten Federkomponente 20 ausgebildet. Die Symmetrieebene liegt dabei in der Mitte zwischen der ersten und zweiten Federkomponente 20, 30 und erstreckt sich in Richtung der

Haupterstreckungsrichtung 300 des ersten Teilbereichs 21 (verdeutlicht durch den Pfeil 300) und in eine Richtung senkrecht zum Substrat (bzw. dessen Oberfläche). Das Zwischenstück 40 umfasst einen ersten

Randbalken 41 und einen zweiten Randbalken 42. Der erste Randbalken 41 und der zweite Randbalken 42 sind parallel zueinander angeordnet, sodass eine erste Haupterstreckungsachse 100 des erste Randbalkens 41 in die gleiche Richtung zeigt wie eine zweite Haupterstreckungsachse des zweiten Randbalkens 42. Zwischen dem ersten und zweiten Randbalken 41, 42 ist eine Gruppe 50 von Verbindungsbalken angeordnet. Die Gruppe von Verbindungsbalken ist unterteilbar in einer erste Untergruppe von Verbindungsbalken und eine zweite Untergruppe von Verbindungsbalken. Die Verbindungsbalken 51, 52 der ersten Untergruppe von

Verbindungsbalken besitzen relativ zu der Haupterstreckungsachse 100 (verdeutlicht durch den Pfeil 100) des ersten Randbalkens 41 eine positive Steigung. Die Verbindungsbalken 53, 54 der zweiten Untergruppe von Verbindungsbalken weisen relativ zu der Haupterstreckungsachse 100 des ersten Randbalkens 41 eine negative Steigung auf. Im vorliegenden Fall umfassen die erste Untergruppe und die zweite Untergruppe jeweils die gleiche Anzahl an Verbindungsbalken. Es ist jedoch auch möglich, dass sie eine unterschiedliche Anzahl an Verbindungsbalken umfassen. Alle dargestellten Verbindungsbalken 51, 52, 53, 54 der Gruppe 50 von

Verbindungsbalken (also beider Untergruppen) treffen jeweils in einem Öffnungswinkel von ca. 45° auf den ersten und zweiten Randbalken 41, 42. Ein exemplarischer Öffnungswinkel 60 am Verbindungsbalken 51 ist in Figur 1 zur Verdeutlichung eingezeichnet. In der dargestellten

Ausführungsform kreuzen sich jeweils einer der Verbindungsbalken 51, 52 der ersten Untergruppe und einer der Verbindungsbalken 53, 54 der zweiten Untergruppe im Zwischenraum/Zwischenbereich zwischen dem ersten und zweiten Randbalken 41, 42.

Bevorzugt gehen die sich kreuzenden Verbindungsbalken, beispielsweise die Verbindungsbalken 51, 53, in ihrem Kreuzungsbereich jeweils ineinander über, sodass Ihre Gesamtdicke im Kreuzungsbereich ca. der Dicke eines der betroffenen Verbindungsbalken 51, 53 entspricht.

Erfindungsgemäß ist es wie in Figur 1 dargestellt möglich, dass das Zwischenstück 40 spiegelsymmetrisch zu der Symmetrieebene (die in der Mitte zwischen der ersten und zweiten Federkomponente 20, 30 liegt und sich in Richtung der Haupterstreckungsrichtung 300 des ersten

Teilbereichs 21 und in eine Richtung senkrecht zum Substrat bzw. dessen Oberfläche erstreckt) angeordnet ist. Es ist dadurch möglich, dass die Federanordnung 10 (wie in Figur 2 dargestellt) insgesamt im Wesentlichen spiegelsymmetrisch zu dieser Symmetrieebene ist.

Bei der in Figur 1 dargestellten Ausführungsform (insbesondere mit einer Fachwerkstruktur) ist es beispielweise in vorteilhafter Weise möglich, die

Masse des Zwischenstücks 40 der Federanordnung 10 um 30% gegenüber einer DFBS mit perforiertem Zwischenstück zu reduzieren.

Simulationsergebnisse zeigen, dass dadurch die Nichtlinearität der Antriebsschwingung um 11% verringerbar ist.