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Patent Searching and Data


Title:
ウェハ試験装置のプローブ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2008532011
Kind Code:
A
Inventors:
ツラン リッチ サン
マラントニオ エドワード ランバート
ローレント エドワード
ハヌーン ハン
ミロネスキュ ダン
Application Number:
JP2007557057A
Publication Date:
August 14, 2008
Filing Date:
February 16, 2006
Export Citation:
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Assignee:
エス ヴィ プルーブ ピーティーイー リミテッド
International Classes:
G01R1/067; G01R1/073; G01R31/26; H01L21/66
Attorney, Agent or Firm:
沢田 雅男