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Patent Searching and Data


Title:
ポジ型光像形成性底面反射防止コーティング
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2013507653
Kind Code:
A
Inventors:
ダンメル・ラルフ・アール
チャクラパニ・スリニバサン
パトマナバン・ミュニラスナ
宮▲ざき▼ 真治
エヌジー・エドワード・ダブリュー
工藤 隆範
ディオセス・アルバート・ディー
ハウリーアン・フランシス・エム
Application Number:
JP2012532672A
Publication Date:
March 04, 2013
Filing Date:
November 12, 2009
Export Citation:
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Assignee:
エイゼット・エレクトロニック・マテリアルズ・ユーエスエイ・コーポレイション
International Classes:
G03F7/11; C07C69/75; G03F7/004; G03F7/039; G03F7/38; H01L21/027; C09B67/46
Domestic Patent References:
JP2004054286A2004-02-19
JP2007536389A2007-12-13
JP2008501985A2008-01-24
JP2009107996A2009-05-21
Foreign References:
WO2009097436A22009-08-06
US20090042133A12009-02-12
Attorney, Agent or Firm:
江崎 光史
鍛冶澤 實
上西 克礼
虎山 一郎