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Patent Searching and Data


Title:
マルチゾーンヒータ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016522881
Kind Code:
A
Abstract:
ウェハチャックは、軸とシャフト端部に接合されたプレートとを備えたシャフトを含む。プレートは、シャフトを越えて軸から半径方向外向きに延びる部分を有することができる。温度センサは、プレートの一部分に配置することができ、半導体製造工程中に温度センサの周りのプレート温度を測定するために、電気リード線は温度センサからシャフトを貫通して延びることができる。【選択図】図5

Inventors:
エリオット ブレント ディー
バルマ フランク
エリオット アルフレッド グラント
ヴェイトサー アレクサンダー
レックス デニス ジー
シュスター リチャード イー
Application Number:
JP2016502941A
Publication Date:
August 04, 2016
Filing Date:
March 14, 2014
Export Citation:
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Assignee:
コンポーネント リ−エンジニアリング カンパニー インコーポレイテッド
International Classes:
G01K1/14; G01K7/02; H01L21/02; H05B3/20; H05B3/68
Domestic Patent References:
JP2012080103A2012-04-19
JP2012069947A2012-04-05
JP2010109346A2010-05-13
Foreign References:
US20120211484A12012-08-23
Attorney, Agent or Firm:
西島 孝喜
弟子丸 健
田中 伸一郎
井野 砂里
松下 満
倉澤 伊知郎