Title:
マルチゾーンヒータ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016522881
Kind Code:
A
Abstract:
ウェハチャックは、軸とシャフト端部に接合されたプレートとを備えたシャフトを含む。プレートは、シャフトを越えて軸から半径方向外向きに延びる部分を有することができる。温度センサは、プレートの一部分に配置することができ、半導体製造工程中に温度センサの周りのプレート温度を測定するために、電気リード線は温度センサからシャフトを貫通して延びることができる。【選択図】図５
Inventors:
Elliot Brent Dee
Balma Frank
Elliott Alfred Grant
Weitther Alexander
Rex Dennis Gee
Schuster Richard E
Balma Frank
Elliott Alfred Grant
Weitther Alexander
Rex Dennis Gee
Schuster Richard E
Application Number:
JP2016502941A
Publication Date:
August 04, 2016
Filing Date:
March 14, 2014
Export Citation:
Assignee:
Component Re-Engineering Company, Inc.
International Classes:
G01K1/14; G01K7/02; H01L21/02; H05B3/20; H05B3/68
Domestic Patent References:
| JP2012080103A | 2012-04-19 | |||
| JP2012069947A | 2012-04-05 | |||
| JP2010109346A | 2010-05-13 |
Foreign References:
| US20120211484A1 | 2012-08-23 |
Attorney, Agent or Firm:
Takaki Nishijima
Disciple Maru Ken
Shinichiro Tanaka
Ino Sato
Mitsuru Matsushita
Ichiro Kurasawa
Disciple Maru Ken
Shinichiro Tanaka
Ino Sato
Mitsuru Matsushita
Ichiro Kurasawa